JPH0439227B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、リードフレームの搬送装置に関する
もので、特にダイボンデイング装置やワイヤボン
デイング装置におけるリードフレームの搬送に使
用されるものである。

〔発明の技術的背景〕

半導体装置の製造においては、ウエーハプロセ
ス終了後の半導体チツプ上の電極を引き出してパ
ツケージのリードとするため、リードフレームに
半導体チツプを固定するダイボンデイング、チツ
プ上の電極とリードフレームのリード間を配線す
るワイヤボンデイング、樹脂でパツケージを形成
する樹脂封止などが行われる。これらの工程およ
び工程間ではリードフレームを単位として製造が
行われるため、リードフレームの搬送が重要であ
る。

ところで、リードフレームの半導体装置の形
状、ピン数等によりいろいろな種類がある。リー
ドフレームは１枚の板に複数個のチツプが載つた
まま搬送されるので、保管や搬送を行い易いよう
にリードフレームの幅は標準化がされているが、
それでも数種の幅が存在する。同様に、各装置に
おいてリードフレームを収容するリードフレーム
マガジンは、リードフレームの幅に応じた数種の
ものが用意されており、また工程間の搬送を行う
リードフレーム搬送装置ではガイドレールの幅を
可変できるようになつている。

第１図は、ワイヤボンデイング工程におけるリ
ードフレーム搬送装置の一部を示したものであつ
て、リードフレームマガジン１に収納されたリー
ドフレーム２は送り爪３によつて１枚ずつ引き出
され、ガイドレール４の上に搭載され、別の送り
爪３′，３″によつて搬送されてガイドレールの他
端に置かれたもう一つの空のフレームマガジン５
に収納される。このフレームマガジン１および５
はマガジンエレベータ６および７に載せられてお
り、マガジンエレベータ６および７はそれぞれモ
ータ８および９の回転により駆動されるリードス
クリユー１０および１１によつて摺動軸１２と１
３，１４と１５に沿つて上下する。また、ガイド
レール４の中央部にはワイヤボンデイグン装置１
６が設けられており、アーム１７が動くことによ
りその下にあるリードフレーム２のダイボンデイ
ングされた半導体チツプ１８上の電極とリードフ
レーム上のリード間にワイヤ１９が配線される。

ここでガイドレール４、マガジンエレベータ
６，７、送り爪３および図示されていない送り爪
の駆動機構などはリードフレーム搬送装置を構成
する。

第２図は第１図におけるリードフレーム搬送装
置のワイヤボンデイング装置下のレール部構造を
示す断面図であつて、ベース２１上にはリードフ
レームの幅方向に摺動可能なガイドレール４ａお
よび４ｂが設けられており、これらの上部内側の
切欠き部４１ａとレールふた２２ａとの間の空隙
２３ａおよび切欠き部４１ｂとレールふた２２ｂ
との間の空隙２３ｂにはリードフレーム２が挿入
されて支持される。このリードフレーム２には半
導体チツプ１８がダイボンデイングされている。
ガイドレール４ａおよび４ｂはそれぞれボルト２
３および２４によつてベース２１に固定さるる。
なお第２図においては、ガイドレール４ｂ側では
ボルトおよびナツトは省略されている。またガイ
ドレール４ａおよび４ｂのほぼ中心位置にはワイ
ヤボンデイング時にリードフレーム２を加熱する
ヒータブロツク２５が設けられている。

このようなリードフレーム搬送装置において
は、ガイドレール４ａの切欠き部４１ａの端とガ
イドレール４ｂの切欠き部４１ｂの端との距離が
リードフレーム２の幅よりもわずかに大きくなる
ようにガイドレール４ａおよび４ｂ間の距離Ｌを
調整しなければならない。

〔背景技術の問題点〕 ところが、このようなガイドレール間の距離を
調整するには、ガイドレールを固定しているボル
トやナツトをゆるめ所定の位置に合わせる人手に
よる煩雑な作業を必要とし、時間がかかる。この
調整時間の間は設備の稼動が停止するため、調整
時間は少ないほど望ましいのであるが、リードフ
レームの幅が各種存在するため、この稼動停止時
間は無視できないものとなつている。このため、
ガイドレール間の位置決めを容易にするために、
第２図に示すようなレール幅ゲージ２６を使用す
る等して稼動停止時間の短縮を図る工夫がなされ
ているが、稼動停止時間は調整１回につき数時間
に達している。特に、最近のように多品種少量生
産が主流になりつつある場合においてはリードフ
レームの種類に応じてガイドレールの幅を変更す
る際の稼動停止時間が多くなり、問題である。

〔発明の目的〕

そこで、本発明はガイドレール幅をリードフレ
ームの種類に応じて人手の介在なしに迅速に変更
できることのできるリードフレーム搬送装置を提
供することを目的とする。

〔発明の概要〕

上記目的達成のため、本発明においては、あら
かじめリードフレームの幅情報を記憶させた記憶
部を有する制御装置と、この記憶部からリードフ
レームの種類に応じて読み出した幅情報をもとに
この制御装置によりリードフレームの幅方向に駆
動されるガイドレールとを具備しており、人手の
介在なしに迅速にガイドレール幅の調整が可能で
稼動停止時間を最少にできるものである。

〔発明の実施例〕

以下、図面を参照しながら本発明の一実施例を
説明する。

第３図は本発明にかかるリードフレーム搬送装
置の機構を示す平面図であつて、リードフレー
ム、リードフレームを移動させる機構、リードフ
レームの種類に入力してガイドレール幅を変更さ
せる信号を発生する制御装置は省略してある。

これによれば、ガイドレール５１ａおよび５１
ｂはボールガイド５２ａと５３ａおよび５２ｂと
５３ｂを介して摺動軸５４および５５に摺動自在
に取付けられている。ガイドレール５１ａの下部
には右ねじナツト５６ａが、ガイドレール５１ｂ
の下部には左ねじナツト５６ｂが取付けられてお
り、これらとかみ合う右ねじおよび左ねじを同一
軸を有するリードスクリユー５７がかみ合つてい
る。このリードスクリユー５７はパルスモータ５
８と連結されている。

ガイドレールの両端部にはフレームマガジン５
９，６０を上下させるマガジンエレベータ６１，
６２が設けられている点は従来と同様であるが、
この実施例においては、リードフレームマガジン
５９，６０を所定位置に位置決めできるよう、マ
ガジンガイド６５ａ，６６ａ，６５ｂ，６６ｂを
連結部材６３ａ，６４ａ，６３ｂ，６４ｂによつ
てガイドレール５１ａ，５１ｂに取付けている。

第４図はガイドレールを駆動する制御装置と駆
動部との関係を示したブロツク図であつて、制御
装置１００は制御部１０１、記憶部１０２、駆動
部１０３から成つており、キーボード等の入力部
１０４は制御部１０１に、パルスモータ等の機構
部１０５は駆動部１０３にそれぞれ接続されてい
る。

第５図は第３図の機構部１０５を駆動させる制
御装置１００におけるガイドレール間幅を変更さ
せるステツプを示したものであつて、リードフレ
ームの種類を表わすデータが制御装置１００に入
力部１０４から入力される（ステツプ１）と、こ
のデータによつて制御装置１００内にある記憶部
１０２内の番地が指定され、ガイドレール幅情報
が読出される（ステツプ２）。このガイドレール
幅情報は、ガイドレールの基準位置に対するパル
スモータ駆動パルス量である。次に制御部１０１
で現在のガイドレール幅に対するガイドレール幅
情報と新しいガイドレール幅情報との比較を行つ
て駆動量を算出し（ステツプ３）、この駆動量に
より駆動部１０３から機構部１０５に対する駆動
パルスが出力される（ステツプ４）。

この結果、第３図においては、パルスモータ５
８が回転することによりリードスクリユー５７が
連動して回転する。リードスクリユー５７が右ね
じと左ねじの部分があるからこれにかみ合つたね
じ５６ａおよび５７ａはパルスモータ５８の回転
方向によつて互いに近ずくか離れるかいずれかの
運動を行う。したがつてねじ５６ａおよび５７ａ
上に取付けられたガイドレール５１ａおよび５１
ｂは中心線６７に対し常に対称位置にあるように
移動する。この際、摺動軸とボールガイドの作動
でガイドレール５１ａおよび５１ｂは常に平行を
保つたまま移動し幅ｌのリードフレームを支持す
るようにＬの間隔を有する位置で停止する。な
お、マガジンガイド６５ａ，６５ｂ，６６ａ，６
６ｂもガイドレールに連動して動き、幅ｌのリー
ドフレームに対して幅ｌｍのリードフレームマガ
ジン５９，６０が安定して支持できるようにな
る。また、上述のような右ねじと左ねじを組合わ
せた移動機構では中心位置が変動しないため、例
えばダイボンデイングやワイヤボンデイングにお
けるボンデイング位置はリードフレームの幅に関
係なく一定となり都合が良い。

以上の実施例においてリードフレームの位置決
め機構を必要に応じて付加することができ、リー
ドフレーム送り機構は送り爪によるもの、ローラ
によるもの等任意のものが使用できる。

また、実施例においてはガイドレールは中心線
から対称に双方向に移動するものであつたが、こ
れに限るものではなく、一方が固定で一方のみが
可動であつてもよい。

さらにガイドレールの駆動手段としては実施例
のようなリードスクリユーのみでなく、リニアパ
ルスモータやリンク機構の使用が可能であり、ま
た、これら駆動手段の個数、ガイドールの支持方
法を問うものではない。

また、マガジンガイドはガイドレールと連動し
ている必要は必ずしもなく、別個に位置決めでき
るものでもよい。

さらに、ガイドレールの駆動は実施例のように
現在位置を基準にする方法だけでなく、一旦基準
位置に戻り、新たなリードフレームに対するガイ
ドレール駆動を行うようにしてもよい。

またリードフレームの種類の入力は手入力に限
らず、フレームマガジン上に設けられた識別標識
を検出して入力するようにしてもよい。

〔発明の効果〕

以上のように本発明かかるリードフレーム搬送
装置によれば、リードフレームの種類ごとに幅情
報を記憶させた制御装置内の記憶部からリードフ
レームの種類に応じて読出した幅情報によつてガ
イドレール幅の調整を行うようにしているので、
人手によるガイドレール幅の調整が不要で、かつ
短時間にガイド幅調整が正確に行え、設備の稼動
停止時間を最小にできる。

また、ガイドレールが中心線に対し対称位置に
あるように駆動されら実施態様では、リードフレ
ーム中心が一定であるため、設備に対する位置決
めが不要となる。

さらにガイドレールにリードフレームマガジン
の位置決め部材を連結した実施態様では、リード
フレームマガジンの位置決めも同時に行えるた
め、設備の効率を上げることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のワイヤボンデイング装置用のリ
ードフレーム搬送装置を示す斜視図、第２図はそ
の構造を示す断面図、第３図は本発明にかかるリ
ードフレーム搬送装置の機構を示す平面図、第４
図は本発明にかかるリードフレーム搬送装置の制
御装置と駆動部との関係を示すブロツク図、第５
図は制御装置におけるガイドレール変更動作を示
すフローチヤートである。 １，５，５９，６０……フレームマガジン、２
……リードフレーム、３，３′，３″……送り爪、
４，５１……ガイドレール、６，７，６１，６２
……マガジンエレベータ、５６……ねじ、５７…
…リードスクリユー、５８……モータ、６５，６
６……マガジンガイド。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ２本のガイドレールでリードフレームを係合
   支持しつつ送り手段により前記リードフレームの
   長手方向に移送する搬送機構を有し、前記２本の
   ガイドレールのうち少なくとも一方を前記リード
   フレームの幅方向に可動として幅の異なる複数種
   類のリードフレームの搬送を可能としたリードフ
   レーム搬送装置において、 あらかじめリードフレームの種類毎に幅情報を
   記憶させた記憶部を有する制御装置を具備し、 前記制御装置によつて前記記憶部からリードフ
   レームの種類に応じて読み出した前記幅情報をも
   とに前記ガイドレールを前記リードフレームの幅
   方向に駆動するようにしたリードフレーム搬送装
   置。 ２ ２本のガイドレールがこれらの中心位置を基
   準に常に対称位置にあるように駆動されるもので
   ある特許請求の範囲第１項記載のリードフレーム
   搬送装置。 ３ ガイドレールがリードフレームマガジンの位
   置決め部材を連結したものである特許請求の範囲
   第１項記載のリードフレーム搬送装置。