JPH0439951A - モールドｉｃリード照明装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はモールドエ０のリード検査装置において光学的
方法でリード形状を測定する場合の照明装置を提供する
ものである。

〔従来の技術〕

従来モールドエＣのリード検査は投影機あるいは画像処
理装置を利用した測定機によって行われている。これら
の装置のリード照明は透過あるいは反射で行っている。

第６図は透過照明の一例を示したものである。ステージ
上にモールドエＣ５を置き、光源６によりリード６を透
過照明し対辺にＣＣＤカメラ７を設置してリード乙の透
過像を取り込みモニタ８に表示したり、画像処理装置に
転送している。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の反射方式ではリード先端の形状のバラツキにより
安定したリード像が得られない。また従来の透過方式で
は次の課題がある。表面実装対応のＱＦＰ（Ｑｕａｄ　
　Ｆｌａｔ　　Ｐａｃｋａｇｅ）モールドエＣ（以下Ｑ
ｙｐと記述する）のリードはリード下面とモールド下面
との差との差が０．１５ｍと小さ（なっている。この為
第７図に示す様に従来の透過照明では、リードが上方向
に変形した６ｆｐ　６ｙのリード部はモールドの影とな
って透過像として見えなくなり計測ができなくなる。そ
こで本発明の目的はＱＦＰのリード検査においてリード
が上方向に変形した場合にも透過像として見ることがで
きる照明方法を提供するものである。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題を解決する為本発明は、モールドエＣリード検
査装置に係り、モールド下部にモールド外周とリードと
の隙間部に凸部を有し、かつ下面に反射防止処理を有し
た透過板を用いたことを特徴としたモールドエＣリード
照明装置。

〔実施例〕

本発明の構成を第１図、第２図を用いて説明する。光源
６より発した光はホルダ１に支持された透過板２αに入
射する。入射した光は突起部２Ｃを介してモールドエＣ
５のリード部６を内側より照明する。この突起部２Ｃは
第２図に示す様にＱＦＰの形状に対応して透過板２ｃＬ
上に四辺に対して形成している。また透過板２αの下面
には反射防止膜２ｂが処理されている。ハウジング４は
光源５．ホルダ１を固定するものである。カメラ７は本
照明装置によるＱＦＰのリード像を観察する為のもので
ある。モニタテレビ８はカメラ７の映像を表示する為の
ものである。反射防止膜２ｂの効果について説明する。

光源５から発した光９は透過板２α中で拡散する。一部
は突起２Ｃを介してＩｙ・−ドロを照明する光となる。

また光９と反対方向の光１１として下方向に進む光も発
生する。

この光１１は反射防止膜２ｂに吸収される。よって光１
１の反射はない。この結果リード６の透過像は光の濃淡
のはっきりしたものとなり−リード６の先端の輪郭６ｃ
Ｌが明確にカメラ７に取り込むことができる。第６図（
α）、（ｂ）はこの状態を示したものである。リード６
は突起２ζ部より発光する光のみにより他方向からの光
の影響を受けない為第５図（ｂ）に示す輪郭６αがはっ
きり像として得ることができる。一方第４図（α）に示
す様に反射防止膜２ｂが無い場合は、光１１０反射光１
２によりリード６の下面は突起２Ｃの光取外の反射光１
２の影響を下面方向より受ける。第４図（ｂ）はこの場
合のり一ド６の透過像の例を示したものである。リード
乙の実際の輪郭は６ａであるが反射光１２の影響を受は
輪郭６ｂの位置まで変化した様にカメラ７に取り込まれ
る。これは反射光１２がリード６の下部を照らす為にリ
ード下部が明るくなる為である。第５図（α）、（ｂ）
は反射防止膜２ｂの効果を測定したものである。第５図
（α）の横軸は第５Ｂ図に示すリードの光量測定位置で
ある。リード６の無い位置がらり−ド６内まで測定点を
取った。縦軸は各測定点の光量の強さを示している。２
５０の値がリード６が無い場所の光の強さを示し、リー
ド６の影となるリード６内部の光の強さは小さ（なる。

反射防止膜２ｂを処理した特性はリード輪郭６αに対応
して急激に光量が小さくなる。一方反射防止処理を行わ
無い特性は変化が干満である。画像処理を用いてリード
６の輪郭を認識して寸法測定を行う場合に、リード輪郭
に対応して光量変化が大きい特性が測定精度を高くする
。すなわち干満な変化特性ではどこが輪郭か不安定とな
り、二値化（アナログ量を０．１のディジタル値に変換
すること）の際に少し二値化レベルが変化すると輪郭の
位置が太き（変化して誤認識してしまう。光量変化が急
峻であれは二値化レベルが変動してもリード輪郭の位置
は変化せず安定した測定ができる。本発明によりリード
乙の輪郭６αに対応した透過光の強さの変化特性が急峻
となった。第６，７図は従来の透過照明装置を示したも
のである。リード乙の先端がモールド５より上にある６
ｆｔ６ｇは像として認識できなかった。

また、本発明はＱＦＰモールドＩＣｃｒ）照明について
作用を説明したが、透過板の突起の形状を変更すること
でＳＯＰ、ＰＬ（１！Ｏ等の他のモールドエＣの照明装
置として用いろことができる。

〔発明の効果〕

本発明によりＱＩＦＰモールドエＣのリード部を確実に
透過像としてカメラに取り込むことができ画像処理装置
等により正確なリード形状の測定が可能となった。また
光量の変化があっても安定した測定ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の照明装置の断面図である。第２図は透
過板の平面図。第３図（α）９Ｃｂ）は反射防止膜の効
果を示す断面図。第４図（α）。 Ｃｂ）は反射防止膜のない場合の断面図。第５図（α）
　（ｂ）は反射防止処理の効果を示す透過光の特性図。 第６図は従来の照明装置の断面図。 第７図は従来の照明装置で得られたリード像の図α〜１
−・−リード輪郭 ・−・・・・・・カメラ ・−・−・・・・テレビモニタ ・・・・・・・−光源の光 ・・・−・−透過光 −・・・・−・透過板内での拡散光 ・・・−・・・・拡散光の反射光 ・−・・・・−・ホルダ α・−一・透過板 ｂ・・・−反射防止膜 ｃ−・・・突起部 −・・・・・−・光　源 −・・・・・・・ハウジング ・・・・−一モールド ・−・・・・・・・リード

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　モールドＩＣリード検査装置に係り、モールドＩＣ下
   部にモールド外周とリードとの隙間部に凸部を有し、か
   つ下面に反射防止処理を有した透過板を用いたことを特
   徴としたモールドＩＣリード照明装置。