JPH0439953A - 半導体搬送システム - Google Patents
半導体搬送システムInfo
- Publication number
- JPH0439953A JPH0439953A JP2146760A JP14676090A JPH0439953A JP H0439953 A JPH0439953 A JP H0439953A JP 2146760 A JP2146760 A JP 2146760A JP 14676090 A JP14676090 A JP 14676090A JP H0439953 A JPH0439953 A JP H0439953A
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- JP
- Japan
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- cassette
- transport
- orientation flat
- manufacturing
- stocker
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 11
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 42
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 26
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 14
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、半導体製造ラインにおける搬送システムに関
する。
する。
［従来の技術］
従来の技術として、第２図に示すようにカセットストッ
カーと各製造装置間を接続する工程内搬送システムが知
られていた６搬送装置は各種方式があり、有軌道台車式
、無軌道台車式、コンベア式等の搬送機構と、カセット
の受は渡しを行）移載ロボット、移載フォーク等の移載
機構から構成される。
カーと各製造装置間を接続する工程内搬送システムが知
られていた６搬送装置は各種方式があり、有軌道台車式
、無軌道台車式、コンベア式等の搬送機構と、カセット
の受は渡しを行）移載ロボット、移載フォーク等の移載
機構から構成される。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、かかる従来の半導体搬送システムは、カセット
ストッカー、搬送装置ともにカセットの移載、搬送機能
しかなく、製造装置側にもカセットの受は渡しに必要な
機能しか有していない。
ストッカー、搬送装置ともにカセットの移載、搬送機能
しかなく、製造装置側にもカセットの受は渡しに必要な
機能しか有していない。
従って、カセットが搬送される製造装置が拡散炉等のウ
ェハのオリフラが揃っている状態で供線されることを必
要とする装置であった場合には、あらかしめ前工程でウ
ェハのオリフラを揃えておいて搬送するか、搬送の途中
とこかでウェハのオリフラを揃えてやることが必要とな
る。しがし、前者の場合には前工程からの長距離搬送の
間に振動等によりウェハのオリフラがズしてしまうとい
う問題点と、後者の場合には工程内搬送の途中て自動的
にオリフラを揃える機能を備えていないので作業者が介
在しなければならないという問題点を有していた。
ェハのオリフラが揃っている状態で供線されることを必
要とする装置であった場合には、あらかしめ前工程でウ
ェハのオリフラを揃えておいて搬送するか、搬送の途中
とこかでウェハのオリフラを揃えてやることが必要とな
る。しがし、前者の場合には前工程からの長距離搬送の
間に振動等によりウェハのオリフラがズしてしまうとい
う問題点と、後者の場合には工程内搬送の途中て自動的
にオリフラを揃える機能を備えていないので作業者が介
在しなければならないという問題点を有していた。
そこで、本発明は従来のこのような問題点を解決するた
め、カセットストッカーから製造装置まで、作業者が介
在することなく全自動でカセットを搬送し処理する半導
体搬送システムを提供することを目的とする。
め、カセットストッカーから製造装置まで、作業者が介
在することなく全自動でカセットを搬送し処理する半導
体搬送システムを提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］
上記課題を解決するため、本発明の半導体搬送システム
は、半導体製造ラインで、カセットストッカーと製造装
置間でのカセットの搬送を行う工程内搬送システムにお
いて、前記カセットストッカー、工程内搬送装置、およ
び前記製造装置のいずれかにカセット内ウェハのオリフ
ラを合わせるオリフラ合わせ機能を備えたことを特徴と
する。
は、半導体製造ラインで、カセットストッカーと製造装
置間でのカセットの搬送を行う工程内搬送システムにお
いて、前記カセットストッカー、工程内搬送装置、およ
び前記製造装置のいずれかにカセット内ウェハのオリフ
ラを合わせるオリフラ合わせ機能を備えたことを特徴と
する。
［実 施 例］
以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。第
１図において、カセットストッカー１と各製造装置２は
工程内搬送装置３により接続され、１つの工程内搬送シ
ステムを構成している。
１図において、カセットストッカー１と各製造装置２は
工程内搬送装置３により接続され、１つの工程内搬送シ
ステムを構成している。
第１図（ａ）は、カセットストッカー１の内部にオリフ
ラ合わせ機構４を備えている場合である。工程間搬送５
により搬送されてきたカセット６はカセットストッカー
ｌ内に収納される。この時にカセット６内のウェハのオ
リフラは、すべて一方向に揃っているわけでねない。そ
こで、カセットストッカー１内に収納されたカセット６
は、カセットストッカ−１内部に組み込まれているオリ
フラ合わせ機構４によって、ウェハのオリフラを一方向
に揃えられる。その後カセット６は工程内搬送装置３に
よって各製造装置２のカセットステージ部へ搬送され、
各製造装置２によって処理される。
ラ合わせ機構４を備えている場合である。工程間搬送５
により搬送されてきたカセット６はカセットストッカー
ｌ内に収納される。この時にカセット６内のウェハのオ
リフラは、すべて一方向に揃っているわけでねない。そ
こで、カセットストッカー１内に収納されたカセット６
は、カセットストッカ−１内部に組み込まれているオリ
フラ合わせ機構４によって、ウェハのオリフラを一方向
に揃えられる。その後カセット６は工程内搬送装置３に
よって各製造装置２のカセットステージ部へ搬送され、
各製造装置２によって処理される。
第１図（ｂ）は、工程内搬送装置３にオリフラ合わせ機
構４を備えている場合である。工程内搬送装置３は軌道
式搬送車を例とした場合であり、搬送車上のカセット搭
載部にオリフラ合わせ機構４が組み込まれている。工程
間搬送５によりカセットストッカー１へ搬送されてきた
カセット６は、ウェハのオリフラが揃えられないまま工
程内搬送装置３により、各製造装置２へ搬送される。
構４を備えている場合である。工程内搬送装置３は軌道
式搬送車を例とした場合であり、搬送車上のカセット搭
載部にオリフラ合わせ機構４が組み込まれている。工程
間搬送５によりカセットストッカー１へ搬送されてきた
カセット６は、ウェハのオリフラが揃えられないまま工
程内搬送装置３により、各製造装置２へ搬送される。
この工程内搬送によって搬送される間に、搬送車上のオ
リフラ合わせ機構４によって、カセット６内のウェハの
オリフラを揃えられて各製造装置２へ搬送される。工程
内搬送装置２が無軌道式搬送車など他の方式であっても
同様である。
リフラ合わせ機構４によって、カセット６内のウェハの
オリフラを揃えられて各製造装置２へ搬送される。工程
内搬送装置２が無軌道式搬送車など他の方式であっても
同様である。
第１図（Ｃ）は、各製造装置２のカセットストッカにオ
リフラ合わせ機構４を備えている場合である。カセット
６は、上記の場合と同様に各製造装置２まで搬送される
が、ウェハのオリフラは同一方向に揃ってはいない。そ
こで、各製造装置２のカセットステージ部に組み込まれ
ているオリフラ合わせ機構４により、ウェハのオリフラ
を合わせてから処理を行う。
リフラ合わせ機構４を備えている場合である。カセット
６は、上記の場合と同様に各製造装置２まで搬送される
が、ウェハのオリフラは同一方向に揃ってはいない。そ
こで、各製造装置２のカセットステージ部に組み込まれ
ているオリフラ合わせ機構４により、ウェハのオリフラ
を合わせてから処理を行う。
以上のような実施例において、前工程からオリフラが揃
っていないままカセットストッカー１に搬送されてきた
カセット６は、カセットストッカ１、工程内搬送装置３
、各製造装置２のいずれかに設置されたオリフラ合わせ
機構４によって、自動でオリフラ合わせが行われる。こ
のように、カセットストッカー１から製造装置２まで、
作業者が介在することなく全自動でカセット６を搬送−
処理する工程内搬送システムが構築できる。
っていないままカセットストッカー１に搬送されてきた
カセット６は、カセットストッカ１、工程内搬送装置３
、各製造装置２のいずれかに設置されたオリフラ合わせ
機構４によって、自動でオリフラ合わせが行われる。こ
のように、カセットストッカー１から製造装置２まで、
作業者が介在することなく全自動でカセット６を搬送−
処理する工程内搬送システムが構築できる。
なお、本実施例において、各製造装置２にオリフラ合わ
せ機構４を設置するよりは、カセッ［ストッカー１また
は工程内搬送装置３に設置した方が、コスト面、製造装
置２のサイクルタイム、処理能力面からは、より有効で
ある。
せ機構４を設置するよりは、カセッ［ストッカー１また
は工程内搬送装置３に設置した方が、コスト面、製造装
置２のサイクルタイム、処理能力面からは、より有効で
ある。
［発明の効果］
本発明の半導体搬送システムは、以上説明したように、
カセットストッカー、工程内搬送装置、および製造装置
のいずれかに力セント内ウェハのオリフラを合わせるオ
リフラ合わせ機能を備えることによって、作業者が介在
することなく全自動でカセットストッカーと製造装置間
のカセット搬送を可能にするという効果がある。
カセットストッカー、工程内搬送装置、および製造装置
のいずれかに力セント内ウェハのオリフラを合わせるオ
リフラ合わせ機能を備えることによって、作業者が介在
することなく全自動でカセットストッカーと製造装置間
のカセット搬送を可能にするという効果がある。
第１図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は本発明の半導体搬送シ
ステムの構成図。第２図は、従来の半導体搬送システム
の構成図。 ・カセットストッカ ・製造装置 ・工程内搬送装置 ・オリフラ合わせ機構 ・工程間搬送 ・カセット
ステムの構成図。第２図は、従来の半導体搬送システム
の構成図。 ・カセットストッカ ・製造装置 ・工程内搬送装置 ・オリフラ合わせ機構 ・工程間搬送 ・カセット
Claims (1)
- （１）半導体製造ラインで、カセットストッカーと製造
装置間でのカセットの搬送を行う工程内搬送システムに
おいて、前記カセットストッカー、工程内搬送装置、お
よび前記製造装置のいずれかにカセット内ウェハのオリ
フラを合わせるオリフラ合わせ機能を備えたことを特徴
とする半導体搬送システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2146760A JPH0439953A (ja) | 1990-06-05 | 1990-06-05 | 半導体搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2146760A JPH0439953A (ja) | 1990-06-05 | 1990-06-05 | 半導体搬送システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0439953A true JPH0439953A (ja) | 1992-02-10 |
Family
ID=15414950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2146760A Pending JPH0439953A (ja) | 1990-06-05 | 1990-06-05 | 半導体搬送システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0439953A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001520803A (ja) * | 1997-04-14 | 2001-10-30 | アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド | 一貫生産型のベイ内バッファ・デリベリ・ストッカシステム |
-
1990
- 1990-06-05 JP JP2146760A patent/JPH0439953A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001520803A (ja) * | 1997-04-14 | 2001-10-30 | アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド | 一貫生産型のベイ内バッファ・デリベリ・ストッカシステム |
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