JPH0440828B2 - - Google Patents
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- JPH0440828B2 JPH0440828B2 JP60102676A JP10267685A JPH0440828B2 JP H0440828 B2 JPH0440828 B2 JP H0440828B2 JP 60102676 A JP60102676 A JP 60102676A JP 10267685 A JP10267685 A JP 10267685A JP H0440828 B2 JPH0440828 B2 JP H0440828B2
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- Japan
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- cathode
- anode
- conductor
- sealed
- sealing
- Prior art date
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
- G03F7/70016—Production of exposure light, i.e. light sources by discharge lamps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/36—Seals between parts of vessels; Seals for leading-in conductors; Leading-in conductors
- H01J61/366—Seals for leading-in conductors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/82—Lamps with high-pressure unconstricted discharge having a cold pressure > 400 Torr
- H01J61/822—High-pressure mercury lamps
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば半導体の製造プロセスにおけ
る紫外線照射処理工程で光源として用いられる直
流放電灯に関するものである。
る紫外線照射処理工程で光源として用いられる直
流放電灯に関するものである。
例えば半導体の製造においては、シリコンウエ
ハーに回路パターンを焼付けるために紫外線が利
用されている。紫外線を発生する光源としては、
通常、超高圧水銀灯が用いられている。
ハーに回路パターンを焼付けるために紫外線が利
用されている。紫外線を発生する光源としては、
通常、超高圧水銀灯が用いられている。
半導体の製造において従来用いられている超高
圧水銀灯の一例においては、例えば第４図に示す
ように、石英ガラス製封体１と、この封体１内に
一端がそれぞれ突出し他端がそれぞれ陽極封止部
２及び陰極封止部３内に固定された陽極棒４及び
陰極棒５と、これら陽極封止部２及び陰極封止部
３内においてそれぞれ気密に埋設され一端がそれ
ぞれ陽極棒４及び陰極棒５に接続されたモリブデ
ン箔よりなる陽極封着導電体６及び陰極封着導電
体７と、これらの封着導電体６及び封着導電体７
に一端がそれぞれ接続され他端がそれぞれ陽極封
止部２及び陰極封止部３から外方に突出するよう
当該陽極封止部２及び陰極封止部３に固定して設
けた陽極外部リード８及び陰極外部リード９と、
これら陽極外部リード８及び陰極外部リード９に
それぞれ電気的に接続され陽極封止部２及び陰極
封止部３にそれぞれ固定して設けた陽極金属ベー
ス１０及び陰極金属ベース１１とにより構成され
ている。そしてこの超高圧水銀灯の封体１内には
水銀，不活性ガスが封入されていて、点灯時には
封体１内の圧力が例えば約10〜50気圧もの高圧と
なる。
圧水銀灯の一例においては、例えば第４図に示す
ように、石英ガラス製封体１と、この封体１内に
一端がそれぞれ突出し他端がそれぞれ陽極封止部
２及び陰極封止部３内に固定された陽極棒４及び
陰極棒５と、これら陽極封止部２及び陰極封止部
３内においてそれぞれ気密に埋設され一端がそれ
ぞれ陽極棒４及び陰極棒５に接続されたモリブデ
ン箔よりなる陽極封着導電体６及び陰極封着導電
体７と、これらの封着導電体６及び封着導電体７
に一端がそれぞれ接続され他端がそれぞれ陽極封
止部２及び陰極封止部３から外方に突出するよう
当該陽極封止部２及び陰極封止部３に固定して設
けた陽極外部リード８及び陰極外部リード９と、
これら陽極外部リード８及び陰極外部リード９に
それぞれ電気的に接続され陽極封止部２及び陰極
封止部３にそれぞれ固定して設けた陽極金属ベー
ス１０及び陰極金属ベース１１とにより構成され
ている。そしてこの超高圧水銀灯の封体１内には
水銀，不活性ガスが封入されていて、点灯時には
封体１内の圧力が例えば約10〜50気圧もの高圧と
なる。
封着導電体６及び７としてモリブデン箔が用い
られるのは、当該モリブデン箔が点灯及び消灯の
繰返しによる大きな温度変化に対しても塑性変形
を起こし、封止部２及び３における気密が保持さ
れ易いからである。気密保持の観点からは金属箔
６及び７は薄いもの程よいといえるが、電気容
量、機械的な強度或いは製造時の作業性を考慮す
ると通常は数十μm、好ましくは約20μm程度の厚
さとされる。
られるのは、当該モリブデン箔が点灯及び消灯の
繰返しによる大きな温度変化に対しても塑性変形
を起こし、封止部２及び３における気密が保持さ
れ易いからである。気密保持の観点からは金属箔
６及び７は薄いもの程よいといえるが、電気容
量、機械的な強度或いは製造時の作業性を考慮す
ると通常は数十μm、好ましくは約20μm程度の厚
さとされる。
しかしながら従来の超高圧水銀灯においては、
例えば使用寿命が400時間となるように設計して
製造したのにも拘わらず、点灯時間が100〜300時
間程度で点灯不能となる場合が多々あり、この場
合には半導体の製造プロセスにおける紫外線照射
処理工程において紫外線照射処理が度々中断され
て半導体の製造プロセスの円滑な遂行が阻害され
る問題点のあることが判明した。
例えば使用寿命が400時間となるように設計して
製造したのにも拘わらず、点灯時間が100〜300時
間程度で点灯不能となる場合が多々あり、この場
合には半導体の製造プロセスにおける紫外線照射
処理工程において紫外線照射処理が度々中断され
て半導体の製造プロセスの円滑な遂行が阻害され
る問題点のあることが判明した。
このようなことから本発明者は早期に点灯不能
となつた超高圧水銀灯について調べたところ、第
５図に一部を拡大して示すように、陰極封止部３
においてのみ封着導電体７と陰極封止部３のガラ
ス部分３１との間に隙間３２が生じていることを
見出した。即ちこの隙間３２は初期においては小
さくても点灯時間の増加に伴つて次第に陰極外部
リード９に向かつて進行し遂には封着導電体７と
陰極封止部３のガラス部分３１との気密が破壊さ
れて点灯不能になるものと考えられ、斯かる知見
に基いて本発明を完成した。
となつた超高圧水銀灯について調べたところ、第
５図に一部を拡大して示すように、陰極封止部３
においてのみ封着導電体７と陰極封止部３のガラ
ス部分３１との間に隙間３２が生じていることを
見出した。即ちこの隙間３２は初期においては小
さくても点灯時間の増加に伴つて次第に陰極外部
リード９に向かつて進行し遂には封着導電体７と
陰極封止部３のガラス部分３１との気密が破壊さ
れて点灯不能になるものと考えられ、斯かる知見
に基いて本発明を完成した。
本発明は以上の如き事情に基いてなされたもの
であつて、その目的は、点灯時の封体内圧力が高
い場合にも陰極封止部における気密が長期間に亘
り確実に保持され、例えば半導体の製造プロセス
における紫外線照射工程において光源として用い
る場合にも紫外線照射処理が期せずして中断され
ることがなくて、半導体の製造プロセスを円滑に
遂行することができる使用寿命が長くて信頼性の
高い直流放電灯を提供することにある。
であつて、その目的は、点灯時の封体内圧力が高
い場合にも陰極封止部における気密が長期間に亘
り確実に保持され、例えば半導体の製造プロセス
における紫外線照射工程において光源として用い
る場合にも紫外線照射処理が期せずして中断され
ることがなくて、半導体の製造プロセスを円滑に
遂行することができる使用寿命が長くて信頼性の
高い直流放電灯を提供することにある。
本発明直流放電灯は、石英ガラス製封体と、こ
の封体の陽極封止部及び陰極封止部の内部にそれ
ぞれ封着された陽極封着導電体及び陰極封着導電
体と、これらの陽極封着導電体及び陰極封着導電
体にそれぞれ一端が電気的に接続され他端が前記
封体の外方に突出する陽極外部リード及び陰極外
部リードと、前記陽極封着導電体及び陰極封着導
電体のそれぞれに一端が電気的に接続され他端が
前記封体の内部に突出するよう前記陽極封止部及
び陰極封止部内に固定された陽極棒及び陰極棒と
を具えてなる直流放電灯であつて、前記陰極封止
部の外壁に導電性部材を設け、この導電性部材と
前記陰極封着導電体とを電気的に接続したことを
特徴とする。
の封体の陽極封止部及び陰極封止部の内部にそれ
ぞれ封着された陽極封着導電体及び陰極封着導電
体と、これらの陽極封着導電体及び陰極封着導電
体にそれぞれ一端が電気的に接続され他端が前記
封体の外方に突出する陽極外部リード及び陰極外
部リードと、前記陽極封着導電体及び陰極封着導
電体のそれぞれに一端が電気的に接続され他端が
前記封体の内部に突出するよう前記陽極封止部及
び陰極封止部内に固定された陽極棒及び陰極棒と
を具えてなる直流放電灯であつて、前記陰極封止
部の外壁に導電性部材を設け、この導電性部材と
前記陰極封着導電体とを電気的に接続したことを
特徴とする。
斯かる構成によれば、陰極封止部の外壁には陰
極封着導電体に電気的に接続された導電性部材が
設けられているため、点灯時においては当該導電
性部材の電位が陰極封着導電体の電位と等しくな
り、この結果後述する実験例の説明からも理解さ
れるように、陰極封着導電体と石英ガラスとの気
密な結合が破壊されることなく、長期間安定に保
持され、結局使用寿命が長くて信頼性の高い直流
放電灯を提供することができる。従つて斯かる直
流放電灯を半導体の製造プロセスにおける紫外線
照射工程において光源として用いることにより、
紫外線照射処理が期せずして中断されることがな
く、この結果半導体の製造プロセスを長期間円滑
に遂行することが可能となる。
極封着導電体に電気的に接続された導電性部材が
設けられているため、点灯時においては当該導電
性部材の電位が陰極封着導電体の電位と等しくな
り、この結果後述する実験例の説明からも理解さ
れるように、陰極封着導電体と石英ガラスとの気
密な結合が破壊されることなく、長期間安定に保
持され、結局使用寿命が長くて信頼性の高い直流
放電灯を提供することができる。従つて斯かる直
流放電灯を半導体の製造プロセスにおける紫外線
照射工程において光源として用いることにより、
紫外線照射処理が期せずして中断されることがな
く、この結果半導体の製造プロセスを長期間円滑
に遂行することが可能となる。
以下図面を参照しながら本発明の実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
第１図イ及びロは本発明の一実施例を示す説明
図であり、この例においては直流放電灯として超
高圧水銀灯を構成する場合を示す。
図であり、この例においては直流放電灯として超
高圧水銀灯を構成する場合を示す。
１は石英ガラス製の封体であり、２及び３はそ
れぞれ陽極封止部及び陰極封止部である。
れぞれ陽極封止部及び陰極封止部である。
陰極封止部３においては、モリブデン箔よりな
る陰極封着導電体７が陰極封止部３のガラス内に
気密に埋設され、この陰極封着導電体７の一端に
陰極棒５の一端が接続されると共にその他端が封
体１内に突出するよう当該一端が陰極封止部３の
ガラス内に固定されている。陰極封着導電体７の
他端には陰極外部リード９の一端が接続されると
共にその他端が封体１外に突出するよう当該一端
が陰極封止部３のガラス内に固定されている。陽
極封止部２においては、上述の陰極封止部３にお
けると同様にして、モリブデン箔よりなる陽極封
着導電体６，陽極棒４，陽極外部リード８が設け
られている。
る陰極封着導電体７が陰極封止部３のガラス内に
気密に埋設され、この陰極封着導電体７の一端に
陰極棒５の一端が接続されると共にその他端が封
体１内に突出するよう当該一端が陰極封止部３の
ガラス内に固定されている。陰極封着導電体７の
他端には陰極外部リード９の一端が接続されると
共にその他端が封体１外に突出するよう当該一端
が陰極封止部３のガラス内に固定されている。陽
極封止部２においては、上述の陰極封止部３にお
けると同様にして、モリブデン箔よりなる陽極封
着導電体６，陽極棒４，陽極外部リード８が設け
られている。
１０，１１はそれぞれ陽極封止部２及び陰極封
止部３に設けた筒状の陽極金属ベース及び陰極金
属ベースであり、これらの金属ベース１０，１１
はそれぞれ接着剤１２，１３により陽極封止部２
及び陰極封止部３に固定され、かつ陽極外部リー
ド８及び陰極外部リード９が例えばロウ接により
それぞれ金属ベース１０及び１１に接続されてい
る。１４，１５は装着用ねじ部である。
止部３に設けた筒状の陽極金属ベース及び陰極金
属ベースであり、これらの金属ベース１０，１１
はそれぞれ接着剤１２，１３により陽極封止部２
及び陰極封止部３に固定され、かつ陽極外部リー
ド８及び陰極外部リード９が例えばロウ接により
それぞれ金属ベース１０及び１１に接続されてい
る。１４，１５は装着用ねじ部である。
２０は導電性部材であり、第１図に示した例の
導電性部材２０は、陰極封止部３における陰極封
着導電体７を囲むガラス部分の外壁の略全周に亘
つて、例えばpt（白金），Au（金），Pd（パラジウ
ム），Ag（銀），Ni（ニツケル），Re（レニウム）な
どの金属よりなる金属膜２１を設けて構成されて
いる。
導電性部材２０は、陰極封止部３における陰極封
着導電体７を囲むガラス部分の外壁の略全周に亘
つて、例えばpt（白金），Au（金），Pd（パラジウ
ム），Ag（銀），Ni（ニツケル），Re（レニウム）な
どの金属よりなる金属膜２１を設けて構成されて
いる。
この金属膜２１は、例えばステンレスよりなる
接続線２２により前記陰極金属ベース１１に接続
されていてこれにより金属膜２１が陰極封着導電
体７に電気的に接続された状態とされている。金
属膜２１の厚さは例えば0.5〜5μm程度である。
接続線２２により前記陰極金属ベース１１に接続
されていてこれにより金属膜２１が陰極封着導電
体７に電気的に接続された状態とされている。金
属膜２１の厚さは例えば0.5〜5μm程度である。
そして封体１の内部には、水銀，不活性ガスな
どが、点灯時の圧力で約30〜40気圧となる量封入
されている。
どが、点灯時の圧力で約30〜40気圧となる量封入
されている。
以上の実施例によれば、陰極封止部３における
陰極封着導電体７を囲むガラス部分の外壁の略全
周に亘つて金属膜２１よりなる導電性部材２０を
設け、この導電性部材２０を接続線２２により陰
極金属ベース１１に接続することにより当該導電
性部材２０と陰極封着導電体７とを電気的に接続
した構成であるため、点灯時においては当該導電
性部材２０の電位が陰極封着導電体７の電位と等
しくなり、この結果後述する実験例の説明からも
理解されるように、陰極封着導電体７と石英ガラ
スとの気密な結合が長期間安定して保持され、結
局使用寿命が長くて信頼性の高い超高圧水銀灯を
提供することができる。
陰極封着導電体７を囲むガラス部分の外壁の略全
周に亘つて金属膜２１よりなる導電性部材２０を
設け、この導電性部材２０を接続線２２により陰
極金属ベース１１に接続することにより当該導電
性部材２０と陰極封着導電体７とを電気的に接続
した構成であるため、点灯時においては当該導電
性部材２０の電位が陰極封着導電体７の電位と等
しくなり、この結果後述する実験例の説明からも
理解されるように、陰極封着導電体７と石英ガラ
スとの気密な結合が長期間安定して保持され、結
局使用寿命が長くて信頼性の高い超高圧水銀灯を
提供することができる。
このように陰極封着導電体７と石英ガラスとの
気密な結合が長期間安定して保持されるのは次の
ようなことが理由の一部であると推察される。即
ち点灯時においては陰極封着導電体７と導電性部
材２０との間のガラス部分の電界強度が実質上零
となり、従つて陰極封着導電体７と石英ガラスと
の気密な結合を阻害する原因と考えられる石英ガ
ラス中に通常不可避的に含まれる不純物金属陽イ
オンの電界による移動が実質上なくなり、この結
果陰極封着導電体７と石英ガラスとの結合部に不
純物金属陽イオンが集中することがなく、結局陰
極封着導電体７と石英ガラスとの気密な結合が破
壊されることがなくてこの気密な結合が長期間安
定に保持されるようになるものと考えられる。
気密な結合が長期間安定して保持されるのは次の
ようなことが理由の一部であると推察される。即
ち点灯時においては陰極封着導電体７と導電性部
材２０との間のガラス部分の電界強度が実質上零
となり、従つて陰極封着導電体７と石英ガラスと
の気密な結合を阻害する原因と考えられる石英ガ
ラス中に通常不可避的に含まれる不純物金属陽イ
オンの電界による移動が実質上なくなり、この結
果陰極封着導電体７と石英ガラスとの結合部に不
純物金属陽イオンが集中することがなく、結局陰
極封着導電体７と石英ガラスとの気密な結合が破
壊されることがなくてこの気密な結合が長期間安
定に保持されるようになるものと考えられる。
従つて斯かる超高圧水銀灯を半導体の製造プロ
セスにおける紫外線照射工程において光源として
用いることにより、設備コストが安くしかも長期
間に亘り円滑な紫外線照射処理が可能となり多大
な利点が得られる。
セスにおける紫外線照射工程において光源として
用いることにより、設備コストが安くしかも長期
間に亘り円滑な紫外線照射処理が可能となり多大
な利点が得られる。
これに対して従来の超高圧水銀灯においては、
点灯時陰極封止部３が高温となるので陰極封止部
３においては石英ガラス中に通常含まれる不純物
金属陽イオンが熱励起されるうえ、陰極封着導電
体７には通電時負の電圧が印加されるので陰極封
止部３の石英ガラス中には当該石英ガラスから陰
極封着導電体７に向う方向に大きな電界が発生
し、このため石英ガラス中の不純物金属陽イオン
が陰極封着導電体７との界面近傍に集中し、これ
により陰極封着導電体７と石英ガラスとの結合が
破壊されて両者の間に隙間が発生すると共に点灯
時間の増加に伴い点灯時の封体１内の高圧力によ
り隙間が徐々に大きくなり、この結果陰極封着導
電体７と石英ガラスとの隙間が封体１の外部と連
通するようになつて使用寿命が短縮されるものと
考えられる。
点灯時陰極封止部３が高温となるので陰極封止部
３においては石英ガラス中に通常含まれる不純物
金属陽イオンが熱励起されるうえ、陰極封着導電
体７には通電時負の電圧が印加されるので陰極封
止部３の石英ガラス中には当該石英ガラスから陰
極封着導電体７に向う方向に大きな電界が発生
し、このため石英ガラス中の不純物金属陽イオン
が陰極封着導電体７との界面近傍に集中し、これ
により陰極封着導電体７と石英ガラスとの結合が
破壊されて両者の間に隙間が発生すると共に点灯
時間の増加に伴い点灯時の封体１内の高圧力によ
り隙間が徐々に大きくなり、この結果陰極封着導
電体７と石英ガラスとの隙間が封体１の外部と連
通するようになつて使用寿命が短縮されるものと
考えられる。
上記実施例に基いて、下記条件の超高圧水銀灯
を10本製作した。
を10本製作した。
消費電力；150W（50V，9A）
電極間距離；2.2mm
封体１内の圧力（点灯時）；40気圧
封入物質；水銀，アルゴンガス
陰極封着導電体７の厚さ；0.02mm
陰極封着導電体７の長さ；19mm
金属膜２１の材質；金
金属膜２１の長さ；11mm
金属膜２１の厚さ；0.001mm
この10本の超高圧水銀灯について実際に400時
間に亘り連続点灯する実験を行つたところ、10本
の何れの超高圧水銀灯においても最後まで安定し
て点灯せしめることができた。
間に亘り連続点灯する実験を行つたところ、10本
の何れの超高圧水銀灯においても最後まで安定し
て点灯せしめることができた。
次に、比較のために金属製皮膜２１を設けない
ほかは上述と同様にして10本の超高圧水銀灯を作
製し、これらの超高圧水銀灯について上述と同様
にして実際に点灯する実験を行つたところ、10本
のうち３本の超高圧水銀灯が、点灯時間が100〜
300時間で点灯不能となり使用寿命の短いもので
あつた。
ほかは上述と同様にして10本の超高圧水銀灯を作
製し、これらの超高圧水銀灯について上述と同様
にして実際に点灯する実験を行つたところ、10本
のうち３本の超高圧水銀灯が、点灯時間が100〜
300時間で点灯不能となり使用寿命の短いもので
あつた。
第２図イ及びロは本発明の他の実施例を示す説
明図であり、この例においては、金属線２３を陰
極封止部３の外壁に巻回して導電性部材２０が構
成されている。この金属線２３は、線径が例えば
0.15〜0.3mmのニツケルクローム線よりなる。２
４は金属線２３と陰極金属ベース１１との電気的
に接続するための接続線である。
明図であり、この例においては、金属線２３を陰
極封止部３の外壁に巻回して導電性部材２０が構
成されている。この金属線２３は、線径が例えば
0.15〜0.3mmのニツケルクローム線よりなる。２
４は金属線２３と陰極金属ベース１１との電気的
に接続するための接続線である。
斯かる構成においても既述の実施例と同様に、
陰極封着導電体７と石英ガラスとの気密な結合が
長期間安定に保持され、使用寿命が長くて信頼性
の高い超高圧水銀灯を提供することができる。
陰極封着導電体７と石英ガラスとの気密な結合が
長期間安定に保持され、使用寿命が長くて信頼性
の高い超高圧水銀灯を提供することができる。
陰極封止部においては、モリブデン箔よりなる
陰極封着導電体を２枚以上用いる構成としてもよ
い。例えば第３図に示すように、陰極封止部４１
の内部において、石英ガラスよりなる柱状の補助
ガラス部材５１を設け、この補助ガラス部材５１
の外周上に長さ方向に伸びるよう複数枚の陰極封
着導電体５２を配置し、これらの陰極封着導電体
５２を補助ガラス部材５１と外管４２との間に気
密に埋設した構成としてもよい。斯かる構成によ
れば大電流を流す場合に好適である。
陰極封着導電体を２枚以上用いる構成としてもよ
い。例えば第３図に示すように、陰極封止部４１
の内部において、石英ガラスよりなる柱状の補助
ガラス部材５１を設け、この補助ガラス部材５１
の外周上に長さ方向に伸びるよう複数枚の陰極封
着導電体５２を配置し、これらの陰極封着導電体
５２を補助ガラス部材５１と外管４２との間に気
密に埋設した構成としてもよい。斯かる構成によ
れば大電流を流す場合に好適である。
本発明は、石英ガラス製封体と、この封体の陽
極封止部及び陰極封止部の内部にそれぞれ封着さ
れた陽極封着導電体及び陰極封着導電体と、これ
らの陽極封着導電体及び陰極封着導電体にそれぞ
れ一端が電気的に接続され他端が前記封体の外方
に突出する陽極外部リード及び陰極外部リード
と、前記陽極封着導電体及び陰極封着導電体のそ
れぞれに一端が電気的に接続され他端が前記封体
の内部に突出するよう前記陽極封止部及び陰極封
止部内に固定された陽極棒及び陰極棒とを具えて
なる直流放電灯であつて、前記陰極封止部の外壁
に導電性部材を設け、この導電性部材と前記陰極
封着導電体とを電気的に接続したことを特徴とす
る直流放電灯であるから、点灯時においては当該
導電性部材の電位が陰極封着導電体の電位と等し
くなり、このため陰極封着導電体と石英ガラスと
の気密な結合が破壊されることなく長期間安定に
保持され、従つて使用寿命が長くて信頼性の高い
直流放電灯を提供することができる。そしてこの
ことから斯かる直流放電灯を半導体の製造プロセ
スにおける紫外線照射工程において光源として用
いる場合には、紫外線照射処理が期せずして中断
されることがなく、従つて半導体の製造プロセス
を長期間円滑に遂行することが可能となる。
極封止部及び陰極封止部の内部にそれぞれ封着さ
れた陽極封着導電体及び陰極封着導電体と、これ
らの陽極封着導電体及び陰極封着導電体にそれぞ
れ一端が電気的に接続され他端が前記封体の外方
に突出する陽極外部リード及び陰極外部リード
と、前記陽極封着導電体及び陰極封着導電体のそ
れぞれに一端が電気的に接続され他端が前記封体
の内部に突出するよう前記陽極封止部及び陰極封
止部内に固定された陽極棒及び陰極棒とを具えて
なる直流放電灯であつて、前記陰極封止部の外壁
に導電性部材を設け、この導電性部材と前記陰極
封着導電体とを電気的に接続したことを特徴とす
る直流放電灯であるから、点灯時においては当該
導電性部材の電位が陰極封着導電体の電位と等し
くなり、このため陰極封着導電体と石英ガラスと
の気密な結合が破壊されることなく長期間安定に
保持され、従つて使用寿命が長くて信頼性の高い
直流放電灯を提供することができる。そしてこの
ことから斯かる直流放電灯を半導体の製造プロセ
スにおける紫外線照射工程において光源として用
いる場合には、紫外線照射処理が期せずして中断
されることがなく、従つて半導体の製造プロセス
を長期間円滑に遂行することが可能となる。
第１図イ及びロはそれぞれ本発明の一実施例を
示す説明用縦断正面図及び説明用縦断側面図、第
２図イ及びロは他の実施例を示す説明用縦断正面
図及び説明用縦断側面図、第３図は変形例を示す
説明用断面図、第４図は従来の超高圧水銀灯の一
例を示す説明用断面図、第５図は第４図の要部を
拡大して示す説明用断面図である。 １……封体、２……陽極封止部、３……陰極封
止部、４……陽極棒、５……陰極棒、６……陽極
封着導電体、７……陰極封着導電体、８……陽極
外部リード、９……陰極外部リード、１０……陽
極金属ベース、１１……陰極金属ベース、２０…
…導電性部材、２１……金属膜、２２……接続
線、２３……金属線、２４……接続線、３２……
隙間、４１……陰極封止部、５１……補助ガラス
部材、５２……陰極封着導電体。
示す説明用縦断正面図及び説明用縦断側面図、第
２図イ及びロは他の実施例を示す説明用縦断正面
図及び説明用縦断側面図、第３図は変形例を示す
説明用断面図、第４図は従来の超高圧水銀灯の一
例を示す説明用断面図、第５図は第４図の要部を
拡大して示す説明用断面図である。 １……封体、２……陽極封止部、３……陰極封
止部、４……陽極棒、５……陰極棒、６……陽極
封着導電体、７……陰極封着導電体、８……陽極
外部リード、９……陰極外部リード、１０……陽
極金属ベース、１１……陰極金属ベース、２０…
…導電性部材、２１……金属膜、２２……接続
線、２３……金属線、２４……接続線、３２……
隙間、４１……陰極封止部、５１……補助ガラス
部材、５２……陰極封着導電体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 石英ガラス製封体と、この封体の陽極封止部
及び陰極封止部の内部にそれぞれ封着された陽極
封着導電体及び陰極封着導電体と、これらの陽極
封着導電体及び陰極封着導電体にそれぞれ一端が
電気的に接続され他端が前記封体の外方に突出す
る陽極外部リード及び陰極外部リードと、前記陽
極封着導電体及び陰極封着導電体のそれぞれに一
端が電気的に接続され他端が前記封体の内部に突
出するよう前記陽極封止部及び陰極封止部内に固
定された陽極棒及び陰極棒とを具えてなる直流放
電灯であつて、 前記陰極封止部の外壁に導電性部材を設け、こ
の導電性部材と前記陰極封着導電体とを電気的に
接続したことを特徴とする直流放電灯。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60102676A JPS61263040A (ja) | 1985-05-16 | 1985-05-16 | 直流放電灯 |
| US06/799,583 US4673843A (en) | 1985-05-16 | 1985-11-19 | DC discharge lamp |
| FR858517098A FR2582148B1 (fr) | 1985-05-16 | 1985-11-19 | Lampe a decharge en courant continu |
| DE3541211A DE3541211C2 (de) | 1985-05-16 | 1985-11-21 | Gleichstromentladungslampe |
| GB8528738A GB2175130B (en) | 1985-05-16 | 1985-11-21 | Dc discharge lamp |
| NL8503447A NL193478C (nl) | 1985-05-16 | 1985-12-13 | Gelijkspanningsontladingslamp van het zeerhogedruktype. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60102676A JPS61263040A (ja) | 1985-05-16 | 1985-05-16 | 直流放電灯 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61263040A JPS61263040A (ja) | 1986-11-21 |
| JPH0440828B2 true JPH0440828B2 (ja) | 1992-07-06 |
Family
ID=14333833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60102676A Granted JPS61263040A (ja) | 1985-05-16 | 1985-05-16 | 直流放電灯 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4673843A (ja) |
| JP (1) | JPS61263040A (ja) |
| DE (1) | DE3541211C2 (ja) |
| FR (1) | FR2582148B1 (ja) |
| GB (1) | GB2175130B (ja) |
| NL (1) | NL193478C (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010118166A (ja) * | 2008-11-11 | 2010-05-27 | Ushio Inc | 放電ランプ |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4939421A (en) * | 1986-06-23 | 1990-07-03 | Motorola, Inc. | Method and apparatus for reducing interference from light sources |
| JPH0531801Y2 (ja) * | 1990-01-29 | 1993-08-16 | ||
| JPH066447Y2 (ja) * | 1990-03-29 | 1994-02-16 | ウシオ電機株式会社 | ショートアーク型水銀蒸気放電灯 |
| US5791767A (en) * | 1992-09-09 | 1998-08-11 | Nikon Corporation | Semiconductor exposure device |
| US5519285A (en) * | 1992-12-15 | 1996-05-21 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Electrodeless discharge lamp |
| JPH09283014A (ja) * | 1996-02-14 | 1997-10-31 | Toshiba Lighting & Technol Corp | 直流点灯形放電ランプ、直流点灯形放電ランプ点灯装置、投光装置およびプロジェクタ装置 |
| JPH1074489A (ja) * | 1996-08-30 | 1998-03-17 | Matsushita Electron Corp | メタルハライドランプ |
| WO1998047169A1 (en) * | 1997-04-11 | 1998-10-22 | Ushio Denki Kabushiki Kaisya | Seal of bulb |
| EP0964432B1 (en) * | 1998-05-12 | 2005-08-03 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | High pressure discharge lamp |
| EP1057211B1 (en) * | 1998-12-21 | 2005-11-30 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Electric lamp |
| JP3558597B2 (ja) * | 1999-02-05 | 2004-08-25 | 松下電器産業株式会社 | 高圧水銀蒸気放電ランプおよびランプユニット |
| JP3591439B2 (ja) * | 2000-09-21 | 2004-11-17 | ウシオ電機株式会社 | ショートアーク放電ランプ |
| JP2003092198A (ja) | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Ushio Inc | 光源装置 |
| KR100446970B1 (ko) * | 2002-02-22 | 2004-09-01 | 주식회사 엘지이아이 | 무전극 조명 기기의 외기 차단 장치 |
| US7759849B2 (en) * | 2004-10-18 | 2010-07-20 | Heraeus Noblelight Ltd. | High-power discharge lamp |
| JP2006331963A (ja) | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Ushio Inc | 放電ランプ点灯回路および放電ランプ点灯装置、光源装置 |
| DE102006010803A1 (de) * | 2006-03-07 | 2007-09-13 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH | Verfahren zur Herstellung einer Entladungslampe und eine nach einem derartigen Verfahren hergestellte Lampe |
| WO2008067850A1 (de) * | 2006-12-07 | 2008-06-12 | Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Entladungslampe und verfahren zum erstellen eines kolbenhalses für eine entladungslampe |
| JP2011511404A (ja) * | 2008-02-05 | 2011-04-07 | オスラム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 熱的に改良されたランプ |
| JP5167955B2 (ja) * | 2008-05-27 | 2013-03-21 | ウシオ電機株式会社 | キセノンランプ |
| CN104332383A (zh) * | 2014-09-08 | 2015-02-04 | 朱红斌 | 一种长寿命节能荧光灯 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB465137A (en) * | 1935-11-01 | 1937-05-03 | British Thomson Houston Co Ltd | Improvements in and relating to electric discharge lamps |
| US2177714A (en) * | 1936-10-27 | 1939-10-31 | Gen Electric | Gaseous electric discharge lamp device |
| US2467687A (en) * | 1946-07-08 | 1949-04-19 | Gen Electric | High-pressure discharge lamp |
| DE1922103U (de) * | 1965-01-21 | 1965-08-26 | Philips Nv | Elektrische lampe. |
| JPS4325737Y1 (ja) * | 1966-09-20 | 1968-10-28 | ||
| DE2138103C3 (de) * | 1971-07-30 | 1980-04-30 | Otto Dipl.-Ing. 5828 Ennepetal Busselmeier | Schnellkupplung für Flüssigkeitsund Gasleitungen |
| JPS5836093Y2 (ja) * | 1977-08-15 | 1983-08-15 | 東芝テック株式会社 | 照明器具 |
| JPS5447380A (en) * | 1977-09-20 | 1979-04-13 | Matsushita Electronics Corp | High-pressure sodium vapor lamp |
| JPS5486979A (en) * | 1977-12-23 | 1979-07-10 | Ushio Electric Inc | Discharge lamp |
| JPS56116263A (en) * | 1980-02-19 | 1981-09-11 | Mitsubishi Electric Corp | Metal-vapor discharge lamp |
| JPS5763761A (en) * | 1980-10-03 | 1982-04-17 | Matsushita Electronics Corp | High pressure sodium lamp |
| GB2122024B (en) * | 1982-05-28 | 1986-01-29 | Gen Electric Co Plc | Lamp stems |
-
1985
- 1985-05-16 JP JP60102676A patent/JPS61263040A/ja active Granted
- 1985-11-19 US US06/799,583 patent/US4673843A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-11-19 FR FR858517098A patent/FR2582148B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1985-11-21 GB GB8528738A patent/GB2175130B/en not_active Expired
- 1985-11-21 DE DE3541211A patent/DE3541211C2/de not_active Expired - Lifetime
- 1985-12-13 NL NL8503447A patent/NL193478C/nl not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010118166A (ja) * | 2008-11-11 | 2010-05-27 | Ushio Inc | 放電ランプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| NL193478B (nl) | 1999-07-01 |
| NL8503447A (nl) | 1986-12-16 |
| DE3541211C2 (de) | 1995-11-16 |
| JPS61263040A (ja) | 1986-11-21 |
| NL193478C (nl) | 1999-11-02 |
| GB2175130A (en) | 1986-11-19 |
| GB2175130B (en) | 1989-07-05 |
| GB8528738D0 (en) | 1985-12-24 |
| FR2582148B1 (fr) | 1990-01-12 |
| DE3541211A1 (de) | 1986-11-20 |
| US4673843A (en) | 1987-06-16 |
| FR2582148A1 (fr) | 1986-11-21 |
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|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |