JPH0441362Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、電磁誘導方式によつて自走車を誘導
する無人搬送ラインのフロアパネルに関するもの
である。

従来の技術 例えば、IC等の半導体装置の製造工場におい
て、塵埃が発生し、それが製造工程に侵入する
と、半導体装置の機能に支障を来す。そこで、通
常、上記製造工場は、第３図に示すように、矩形
状を有するフロアパネル７を敷きつめたフリーア
クセスフロア２と呼ばれる床上げ構造を有し、天
井から床下に向けて清浄空気を流通させ、同時に
床下には配管等の設備も配される。ところが、上
記製造工場において、例えば作業者が動いたりす
ると、衣服等に付着している塵埃が落下して舞い
上がり、半導体装置の製造工程に侵入することが
ある。そのため、半導体装置の製造工場では作業
者の数を減らすことが図られており、特に物品の
搬送には、第３図に示すように、自走車１による
無人の搬送ラインが設けられる。

而して、上記無人搬送ラインにおいては自走車
１の誘導が必要であり、その誘導方式として従
来、電磁誘導方式、光学誘導方式、レーザ光誘導
方式がある。

上記電磁誘導方式は、第４図に示すように、フ
ロア２の内部に電線３を埋め込んで走行路を形成
し、電線３から放射された電波を自走車１に設け
た複数のセンサ４によつて検知することにより自
走車１を誘導するものである。即ち、自走車１の
底に複数のセンサ４を並設し、電線３から放射さ
れる電波をセンサ４によつて検知したとする。こ
の時、自走車１が走行路から外れない限り、両側
のセンサ４に検地される電波の強さのバランスは
崩れない。従つて、このバランスが常に得られる
ように自走車１の走行方向を制御すれば、自走車
３は正確に走行路に従う。次に、光学誘導方式
は、第５図に示すように、フロア２の表面にアル
ミニウムの反射テープ５を貼り付けて走行路を形
成すると共に、自走車１にフオトカプラ６を設
け、フオトカプラ６から反射テープ５に投射され
た光の反射光を再びフオトカプラ６で受光するこ
とにより自走車１を誘導するものである。即ち、
自走車１の底に複数のフオトカプラ６を並設し、
フオトカプラ６から反射テープ５に投射した光の
反射光を再びフオトカプラ６によつて受光したと
する。この時、自走車１が走行路から外れない限
り、両側のフオトカプラ６の受光する反射光の強
さは、略同等になるが、自走車１が走行路から外
れると、両側のフオトカプラ６の受光する反射光
の強さのバランスが崩れる。従つて、このバラン
スが常に得られるように自走車１の走行方向を制
御すれば、自走車１は正確に走行路に従う。又、
レーザ光誘導方式（図示せず）は、レーザ光を受
光しながら走行路を検知し、自走車１を誘導する
ものであるが、安全性に難点があり、人のいる作
業場で用いることはできず、又、設備も高価であ
る。

考案が解決しようとする問題点 ところで、日進月歩の半導体産業にあつては、
工場内の設備のレイアウトの変更や設備の入れ替
えが頻繁に行われており、従つてその都度、無人
搬送ラインの自走車１の走行路も変更しなければ
ならない。

ところが、電磁誘導方式の場合、フロア２の内
部に電線３が埋め込まれているため、上記走行路
を変更するには、生産ラインを止めて電線３の埋
め込み工事をやり直さなければならず、手間と費
用がかかる。又、光学誘導方式の場合、上記走行
路を変更するには、電磁誘導方式に比べ単に反射
テープ５を貼り替えるだけでよいが、通常、反射
テープ５は自走車１の走行や作業者の歩行によつ
て簡単に剥れないように強力な接着剤で貼り付け
られており、その貼り替え工事は、やはり手間が
かかり、しかも汚れに弱い。

問題点を解決するための手段 本考案は、内部に電線を埋め込んだフロア上で
走行すると共に該電線から放射される電波を検知
して誘導される自走車で物品を搬送する無人搬送
ラインにおいて、所定寸法の矩形状を有すると共
に端部が分岐点となる部分的電磁誘導パターンが
埋め込まれた複数の同一パターンのフロアパネル
を組み合わせて、全面に固定の電磁誘導パターン
を埋め込んだフロアを形成するようにしたもので
ある。

作 用 所定寸法の矩形状を有すると共に端部が分岐点
となる部分的電磁誘導パターンが埋め込まれた複
数の同一パターンのフロアパネルを組み合わせて
フロアの全面に固定の電磁誘導パターンを形成
し、そのパターンから自走車の走行路となるパタ
ーンをコンピユータで選択する。

実施例 本考案の一実施例を第１図及び第２図を参照し
て以下説明する。図において、８は本考案に用い
る正方形のフロアパネルで、内部に点線で示すよ
うな部分的電磁誘導パターン８ａ（以下、部分パ
ターンと称す。）が埋め込まれている。尚、図面
は、四分円からなる４本のパターン８a′と十字の
パターン８a″との組み合わせからなる部分的パタ
ーン８ａを埋込んだ例を示す。そして、第２図に
示すように上記フロアパネル８を組み合わせて所
定面積のフロア９を形成すると、当該フロア９の
全面に上記部分パターン８ａの結合模様からなる
固定の電磁誘導パターン９ａ（以下、単に固定パ
ターンと称す。）が形成される。

そこで、上記固定パターン９ａから電波を放射
する状態で、例えば部分パターン８ａの接点９
a′、即ち固定パターン９ａの分岐点に分岐信号を
出すものを埋めておく。そして、自走車１が分岐
点９a′に到達する毎に外部のコンピユータから指
令を送つて分岐信号を出し、自走車１に部分パタ
ーン８ａの三つのルートから一つのルートを選ば
せる。この操作を繰り返すことにより、固定パタ
ーン９ａから自走車１の走行路を任意に選択する
ことができる。或いは、上記走行路を選択する他
の手段として、コンピユータにフロア９の全面に
亘る固定パターン９ａを認識させておき、そこか
ら予め特定のルートを選択して記憶させ、そのル
ートを通るように自走車１に走行指令を送るよう
にしてもよい。又は、コンピユータからの指令で
自走車１に必要なルートを選択させる。例えば、
常に最短距離を通るように自走車１に指令を送れ
ば、自走車１はその指令に従い必要なルートを選
択して走行する。

更に、自走車の如く、フロア９の全面の固定パ
ターン９ａから電波を放射し、固定パターン９ａ
からコンピユータによつて特定のルートを自走車
１の走行路として選ぶ他、特定のルートのみから
電波を放射し、そのルートに沿つて電波を検知し
ながら自走車１を走行させるようにしてもよい。
即ち、固定パターン９ａから特定のルートをコン
ピユータに記憶させると共に固定パターン９ａの
分岐点９a′にスイツチを設けておく。そして、こ
のスイツチのON、OFFをコンピユータによつて
制御すれば、必要なルートのみから電波を放射す
ることができる。

従つて、上記実施例によれば、無人搬送ライン
の電磁誘導方式における自走車１の走行路の変更
時には、コンピユータによつて他のルートを選択
するだけでよく、工事を必要とせず、簡便に走行
路を変更できる。

尚、通常、フロアパネル８は450mm〜600mm平方
の正方形であり、生産設備に対し十分小さいた
め、固定パターン９ａは十分に密となり、生産設
備のレイアウト変更に対応できるものである。

考案の効果 本考案によれば、電磁誘導方式によつて自走車
を誘導する無人搬送ラインにおいて、一定の形状
と部分的電磁誘導パターンを有する複数の同一パ
ターンのフロアパネルを組み合わせて、全面に固
定の電磁誘導パターンを埋め込んだフロアを形成
したから、その固定パターンから特定のルートを
コンピユータによつて選択するだけで自走車の走
行路を形成できるようになる。そのため、上記走
行路の変更が簡単となり、生産設備のレイアウト
変更に対し短時間でしかも低コストにて走行路を
変更できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るフロアパネルの一実施例
の平面図、第２図は第１図のフロアパネルを組み
合わせてなるフリーアクセスフロアの部分平面
図、第３図は従来のフリーアクセスフロアの部分
斜視図、第４図は無人搬送ラインにおける電磁誘
導方式の説明図、第５図は無人搬送ラインにおけ
る光学誘導方式の説明図である。 １……自走車、３……電線、８……フロアパネ
ル、８ａ……部分的電磁誘導パターン、９……フ
ロア、９ａ……電磁誘導パターン。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 内部に電線を埋め込んだフロア上で走行すると
   共に該電線から放射される電波を検知して誘導さ
   れる自走車で物品を搬送する無人搬送ラインにお
   いて、 所定寸法の矩形状を有すると共にその端部が分
   岐点となる部分的電磁誘導パターンが埋め込ま
   れ、複数の同一パターンのフロアパネルを組み合
   わせて、その全面に固定の電磁誘導パターンを形
   成するようにしたことを特徴とするフロアパネ
   ル。