JPH0441563Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0441563Y2 JPH0441563Y2 JP1982149300U JP14930082U JPH0441563Y2 JP H0441563 Y2 JPH0441563 Y2 JP H0441563Y2 JP 1982149300 U JP1982149300 U JP 1982149300U JP 14930082 U JP14930082 U JP 14930082U JP H0441563 Y2 JPH0441563 Y2 JP H0441563Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- condenser lens
- probe current
- current
- acceleration voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はＸ線マイクロアナライザ等における電
子線プローブのプローブ電流設定装置に関する。
子線プローブのプローブ電流設定装置に関する。
Ｘ線マイクロアナライザ等ではプローブ電流即
ち試料を照射する電子ビームの電流は電子ビーム
のコンデンサレンズのパワーを変えることによつ
て調節している。しかしコンデンサレンズのパワ
ーを一定にしたまゝでプローブの電子加速電圧を
変えるとプローブ電流も変つてしまう。
ち試料を照射する電子ビームの電流は電子ビーム
のコンデンサレンズのパワーを変えることによつ
て調節している。しかしコンデンサレンズのパワ
ーを一定にしたまゝでプローブの電子加速電圧を
変えるとプローブ電流も変つてしまう。
本考案はプローブの電子加速電圧を変えても、
プローブ電流が変化しないようにしたプローブ電
流設定装置を得ることを目的としてなされた。
プローブ電流が変化しないようにしたプローブ電
流設定装置を得ることを目的としてなされた。
本考案はプローブ電流設定手段と、プローブの
電子加速電圧検出手段と、上記プローブ電流設定
手段から出力されるプローブ電流を示す信号と上
記加速電圧検出手段の出力信号に基づき、加速電
圧をパラメーターとしたコンデンサレンズのパワ
ーとプローブ電流との関数関係から設定されたプ
ローブ電流に対応するコンデンサレンズ電流値を
算出する制御回路と、同制御回路によつて制御さ
れ、上記算出された値の電流をコンデンサレンズ
に供給するコンデンサレンズ電源とよりなるプロ
ーブ電流設定装置を提供するものである。
電子加速電圧検出手段と、上記プローブ電流設定
手段から出力されるプローブ電流を示す信号と上
記加速電圧検出手段の出力信号に基づき、加速電
圧をパラメーターとしたコンデンサレンズのパワ
ーとプローブ電流との関数関係から設定されたプ
ローブ電流に対応するコンデンサレンズ電流値を
算出する制御回路と、同制御回路によつて制御さ
れ、上記算出された値の電流をコンデンサレンズ
に供給するコンデンサレンズ電源とよりなるプロ
ーブ電流設定装置を提供するものである。
以下実施例によつて本考案を説明する。第１図
はコンデンサレンズのパワーとプローブ電流との
関係をプローブの電子加速電圧Accをパラメータ
として示したものである。今或る一定のプローブ
電流をiPとし、このプローブ電流を得るためのコ
ンデンサレンズのパワーをicとすると、icは電子
加速電圧Accによつて変化し、 ic＝iof（Acc） ……(1) の形で表わすことができる。(1)式でioは基準値で
プローブ電流ipの関数であり、基準加速電圧をao
とするとき io＝（ip） ……(2) で与えられ、（ip）は第１図でパラメータをao
としたときのカーブを与えるものである。
はコンデンサレンズのパワーとプローブ電流との
関係をプローブの電子加速電圧Accをパラメータ
として示したものである。今或る一定のプローブ
電流をiPとし、このプローブ電流を得るためのコ
ンデンサレンズのパワーをicとすると、icは電子
加速電圧Accによつて変化し、 ic＝iof（Acc） ……(1) の形で表わすことができる。(1)式でioは基準値で
プローブ電流ipの関数であり、基準加速電圧をao
とするとき io＝（ip） ……(2) で与えられ、（ip）は第１図でパラメータをao
としたときのカーブを与えるものである。
第２図は本考案の一実施例の構成を示すブロツ
ク図である。１はプローブ電流設定回路で、一定
電圧が印加されているポテンシヨメータであり、
その摺動子Ｓにプローブ電流設定つまみ（不図
示）が結合されている。摺動子Ｓの電圧をｅ１と
する。ｅ１がプローブ電流を示す信号である。２
はプローブの電子加速電圧検出部で、その出力信
号と前記ｅ１の電圧が制御回路３に入力されてい
る。前記(1)式に(2)式を代入すれば、ic＝Ｆ（Acc，
ip）であるから ic＝Fr（Acc）×ip の形で表わし、Fr（Acc）＝√とすることによ
つて充分な精度が得られるので、制御回路３は入
力されるｅ１とAccの信号とによりe2＝√×
e1の演算を行つて電圧信号ｅ２を出力する。４は
コンデンサレンズ電源回路であつて、電圧信号ｅ
２に比例した電流をコンデンサレンズ５に流して
所定のパワーを与え、プローブ電流が設定値に調
整される。
ク図である。１はプローブ電流設定回路で、一定
電圧が印加されているポテンシヨメータであり、
その摺動子Ｓにプローブ電流設定つまみ（不図
示）が結合されている。摺動子Ｓの電圧をｅ１と
する。ｅ１がプローブ電流を示す信号である。２
はプローブの電子加速電圧検出部で、その出力信
号と前記ｅ１の電圧が制御回路３に入力されてい
る。前記(1)式に(2)式を代入すれば、ic＝Ｆ（Acc，
ip）であるから ic＝Fr（Acc）×ip の形で表わし、Fr（Acc）＝√とすることによ
つて充分な精度が得られるので、制御回路３は入
力されるｅ１とAccの信号とによりe2＝√×
e1の演算を行つて電圧信号ｅ２を出力する。４は
コンデンサレンズ電源回路であつて、電圧信号ｅ
２に比例した電流をコンデンサレンズ５に流して
所定のパワーを与え、プローブ電流が設定値に調
整される。
従来、Ｘ線マイクロアナライザ等では電子加速
電圧を変えるとプローブ電流が変化するので、プ
ローブ電流を再調整する必要があつたが、本考案
によれば、加速電圧を変えてもプローブ電流は任
意に設定した一定値に自動的に調整される。
電圧を変えるとプローブ電流が変化するので、プ
ローブ電流を再調整する必要があつたが、本考案
によれば、加速電圧を変えてもプローブ電流は任
意に設定した一定値に自動的に調整される。
第１図はコンデンサレンズのパワーとプローブ
電流と加速電圧との関係を示すグラフ、第２図は
本考案の一実施例を示すブロツク図である。 １……プローブ電流設定回路、２……加速電圧
検出部、３……制御回路、４……コンデンサレン
ズ電源回路、５……コンデンサレンズ。
電流と加速電圧との関係を示すグラフ、第２図は
本考案の一実施例を示すブロツク図である。 １……プローブ電流設定回路、２……加速電圧
検出部、３……制御回路、４……コンデンサレン
ズ電源回路、５……コンデンサレンズ。
Claims (1)
- プローブ電流設定手段と、プローブの電子等加
速電圧検出手段と、上記両手段の出力信号に基づ
き、加速電圧をパラメーターとしたコンデンサレ
ンズのパワーとプローブ電流との関数関係から、
設定されたプローブ電流に対応するコンデンサレ
ンズ電流値を算出する制御回路と、同制御回路に
よつて制御され、上記算出された値の電流をコン
デンサレンズに供給するコンデンサレンズ電源と
よりなる電子プローブ等のプローブ電流設定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14930082U JPS5953756U (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 電子プロ−ブ等のプロ−ブ電流設定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14930082U JPS5953756U (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 電子プロ−ブ等のプロ−ブ電流設定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5953756U JPS5953756U (ja) | 1984-04-09 |
| JPH0441563Y2 true JPH0441563Y2 (ja) | 1992-09-30 |
Family
ID=30331459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14930082U Granted JPS5953756U (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 電子プロ−ブ等のプロ−ブ電流設定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5953756U (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5596557U (ja) * | 1978-12-27 | 1980-07-04 |
-
1982
- 1982-09-30 JP JP14930082U patent/JPS5953756U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5953756U (ja) | 1984-04-09 |
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