JPH0550841B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0550841B2 JPH0550841B2 JP60014532A JP1453285A JPH0550841B2 JP H0550841 B2 JPH0550841 B2 JP H0550841B2 JP 60014532 A JP60014532 A JP 60014532A JP 1453285 A JP1453285 A JP 1453285A JP H0550841 B2 JPH0550841 B2 JP H0550841B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- value
- correction
- detection
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ光により抵抗体のトリミングを
行なうレーザトリマ装置等で使用する抵抗測定
器、特に、抵抗値を測定しながら目標値に達する
まで続けてレーザを照射してトリミングする方式
において使用される抵抗測定器に関するものであ
る。
行なうレーザトリマ装置等で使用する抵抗測定
器、特に、抵抗値を測定しながら目標値に達する
まで続けてレーザを照射してトリミングする方式
において使用される抵抗測定器に関するものであ
る。
従来の上記のような抵抗体のトリミングを行う
ときに用いられる抵抗測定器としては、あとに図
を用いて説明するが、トリミング目標値に相当す
る基準電圧を発する基準回路と、被加工抵抗体の
抵抗値に比例する電圧を検出する手段と、この検
出した電圧が基準回路の発する基準電圧に達する
とトリミング停止を指示する信号を発する比較回
路とから成る測定器がひろく用いられており、従
来における生産規模においては充分その役目を果
してきた。しかしレーザトリマ装置に関しては、
最近になつて被膜タイプの抵抗体の需要が急速に
増大して加工能力として例えば毎秒数十程度の高
速性が要求されるようになり、このため前述の従
来の抵抗測定器を用いてはレーザトリマ装置の加
工精度を必要な値に保つことが困難となつてき
た。それは、レーザ加工には加工中に抵抗値が変
化するいわゆるドリフトの問題があり、従来の加
工速度においては変化した抵抗値がほぼ定常状態
に近づいてから測定できる余裕があつたので特に
問題にならなかつたが、前記のように加工速度を
上げると、まだ十分に定常状態にならない内に測
定を行なわざるを得ないので、より大きなドリフ
トが生じ、加工精度が悪くなるからである。
ときに用いられる抵抗測定器としては、あとに図
を用いて説明するが、トリミング目標値に相当す
る基準電圧を発する基準回路と、被加工抵抗体の
抵抗値に比例する電圧を検出する手段と、この検
出した電圧が基準回路の発する基準電圧に達する
とトリミング停止を指示する信号を発する比較回
路とから成る測定器がひろく用いられており、従
来における生産規模においては充分その役目を果
してきた。しかしレーザトリマ装置に関しては、
最近になつて被膜タイプの抵抗体の需要が急速に
増大して加工能力として例えば毎秒数十程度の高
速性が要求されるようになり、このため前述の従
来の抵抗測定器を用いてはレーザトリマ装置の加
工精度を必要な値に保つことが困難となつてき
た。それは、レーザ加工には加工中に抵抗値が変
化するいわゆるドリフトの問題があり、従来の加
工速度においては変化した抵抗値がほぼ定常状態
に近づいてから測定できる余裕があつたので特に
問題にならなかつたが、前記のように加工速度を
上げると、まだ十分に定常状態にならない内に測
定を行なわざるを得ないので、より大きなドリフ
トが生じ、加工精度が悪くなるからである。
なお、もしドリフト量が一定であればその分を
見込んで早目にトリミングを終了する補正方法も
採れるが、ドリフト量は一定ではなく、抵抗体の
形状やカツトの形状そして特に切り込みの深さな
どによつて大きく変化するため、従来適切な補正
方法は知られていなくて、加工精度と処理能力を
両立させることは難かしかつた。
見込んで早目にトリミングを終了する補正方法も
採れるが、ドリフト量は一定ではなく、抵抗体の
形状やカツトの形状そして特に切り込みの深さな
どによつて大きく変化するため、従来適切な補正
方法は知られていなくて、加工精度と処理能力を
両立させることは難かしかつた。
したがつて本発明の目的は、レーザトリマ装置
などにおいて、高速でトリミングを行なう場合で
も良好な加工精度が得られるような抵抗測定器を
提供することにある。
などにおいて、高速でトリミングを行なう場合で
も良好な加工精度が得られるような抵抗測定器を
提供することにある。
本発明は加工時における抵抗値のドリフト量が
大きい場合でも、その時定数自体はほぼ一定であ
ることに着目したものである。
大きい場合でも、その時定数自体はほぼ一定であ
ることに着目したものである。
本発明によれば、トリミング目標値に相当する
基準電圧を発する基準回路と、被加工低抗体の両
端から得られる該抵抗体の抵抗値に比例した電圧
を検出電圧として発生する検出電圧発生手段と、
前記発生された検出電圧に基づく電圧の値を前記
基準電圧と比較し、該検出電圧に基づく電圧の値
が該基準電圧の値に達するとトリミングの終了を
指示する指示信号を発する比較回路とを有し、抵
抗値を測定しながら目標値に達するまで続けてレ
ーザを照射してトリミングする方式で使用される
抵抗測定器において、前記検出電圧発生手段の発
生した検出電圧の時間変化量を求め、この時間変
化量に比例する補正電圧を出力する補正電圧発生
手段と、前記検出電圧に前記出力された補正電圧
を加算して収束電圧を求め、該求められた収束電
圧を前記検出電圧に基づく電圧として出力する加
算回路とを付加して成ることを特徴とする抵抗測
定器が得られる。
基準電圧を発する基準回路と、被加工低抗体の両
端から得られる該抵抗体の抵抗値に比例した電圧
を検出電圧として発生する検出電圧発生手段と、
前記発生された検出電圧に基づく電圧の値を前記
基準電圧と比較し、該検出電圧に基づく電圧の値
が該基準電圧の値に達するとトリミングの終了を
指示する指示信号を発する比較回路とを有し、抵
抗値を測定しながら目標値に達するまで続けてレ
ーザを照射してトリミングする方式で使用される
抵抗測定器において、前記検出電圧発生手段の発
生した検出電圧の時間変化量を求め、この時間変
化量に比例する補正電圧を出力する補正電圧発生
手段と、前記検出電圧に前記出力された補正電圧
を加算して収束電圧を求め、該求められた収束電
圧を前記検出電圧に基づく電圧として出力する加
算回路とを付加して成ることを特徴とする抵抗測
定器が得られる。
次に図面を参照して詳細に説明する。
〔従来装置の具体例〕
第４図は、本発明の特徴を明確にするために示
した、従来の標準的な抵抗測定器の機能構成を示
したブロツク図である。被加工抵抗１には、定電
流源２から一定電流が供給されているので、その
両端には抵抗値とその時点における電流値の積に
よつて決まる電位差が発生する。この電位差を検
出してこの検出電圧と基準回路３によつて作られ
るトリミング目標値に相当する基準電圧とが比較
回路４において比較される。その結果に基づき抵
抗値が目標値に達するかわずかオーバーした時に
トリミングを終了すれば、目標とする抵抗値が得
られる。しかしながらこの構成では、先に説明し
たように、高速でトリミングを行なうときはドリ
フトの影響が大きくなり、充分な加工精度が得ら
れない難点がある。
した、従来の標準的な抵抗測定器の機能構成を示
したブロツク図である。被加工抵抗１には、定電
流源２から一定電流が供給されているので、その
両端には抵抗値とその時点における電流値の積に
よつて決まる電位差が発生する。この電位差を検
出してこの検出電圧と基準回路３によつて作られ
るトリミング目標値に相当する基準電圧とが比較
回路４において比較される。その結果に基づき抵
抗値が目標値に達するかわずかオーバーした時に
トリミングを終了すれば、目標とする抵抗値が得
られる。しかしながらこの構成では、先に説明し
たように、高速でトリミングを行なうときはドリ
フトの影響が大きくなり、充分な加工精度が得ら
れない難点がある。
第１図は本発明の第１の実施例の構成を示す図
であつて、被加工抵抗体１と定電流源２から成
り、抵抗体の抵抗値に比例する電位差を検出する
部分は第４図の従来装置の場合と同じであるが、
あとの説明のために更に具体的に説明すると、こ
の部分は抵抗体１の各時点における抵抗Ｒ(t)に比
例する電圧Ｅ(t)を検出してこれを検出電圧として
送出する検出電圧発生部である。基準電圧ERを
発する基準回路３および比較回路４も第４図の場
合と全く同じである。
であつて、被加工抵抗体１と定電流源２から成
り、抵抗体の抵抗値に比例する電位差を検出する
部分は第４図の従来装置の場合と同じであるが、
あとの説明のために更に具体的に説明すると、こ
の部分は抵抗体１の各時点における抵抗Ｒ(t)に比
例する電圧Ｅ(t)を検出してこれを検出電圧として
送出する検出電圧発生部である。基準電圧ERを
発する基準回路３および比較回路４も第４図の場
合と全く同じである。
本発明において新規に加えた構成要素は、抵抗
Ｒと容量Ｃから成り、上記の電圧Ｅ(t)の時間変化
量すなわちＥ(t)をｔで微分した微分係数E′(t)を検
出する時間変化量検出回路（微分回路）５と、こ
の微分した値を所定の値で増幅する増幅回路６
と、加算器７である。次にこれらの動作を本発明
における基本的な考え方と共に説明する。
Ｒと容量Ｃから成り、上記の電圧Ｅ(t)の時間変化
量すなわちＥ(t)をｔで微分した微分係数E′(t)を検
出する時間変化量検出回路（微分回路）５と、こ
の微分した値を所定の値で増幅する増幅回路６
と、加算器７である。次にこれらの動作を本発明
における基本的な考え方と共に説明する。
微分回路５の入力信号である検出電圧Ｅ(t)に対
応する抵抗体１の抵抗値Ｒ(t)は、近似的に時間ｔ
の函数として次の(1)式のように表わされる。
応する抵抗体１の抵抗値Ｒ(t)は、近似的に時間ｔ
の函数として次の(1)式のように表わされる。
Ｒ(t)＝R0（１−e-t/〓） ……(1)
ここにR0はトリミングにより一時的に低下又
は上昇した温度が時間の経過と共に実質的に元の
温度に戻つたときの集束抵抗値、τは前記の温度
の戻る速さの時定数をあらわすものとする。した
がつて微分回路５の出力信号E′(t)に相当する抵抗
値の微分係数R′(t)は(1)式を微分することによつ
て得られ、 R′(t)＝R0／τe-t/〓 ……(2) で表わされる。(1)式と(2)式とから時間ｔを消去す
ると、下記(3)式が得られる。
は上昇した温度が時間の経過と共に実質的に元の
温度に戻つたときの集束抵抗値、τは前記の温度
の戻る速さの時定数をあらわすものとする。した
がつて微分回路５の出力信号E′(t)に相当する抵抗
値の微分係数R′(t)は(1)式を微分することによつ
て得られ、 R′(t)＝R0／τe-t/〓 ……(2) で表わされる。(1)式と(2)式とから時間ｔを消去す
ると、下記(3)式が得られる。
R0＝Ｒ(t)＋R′(t)・τ ……(3)
またこの(3)式を電圧であらわせば、集束抵抗値
R0に対応する電圧をE0とすると、 E0＝Ｅ(t)＋E′(t)τ ……(4) となる。
R0に対応する電圧をE0とすると、 E0＝Ｅ(t)＋E′(t)τ ……(4) となる。
(3)式と(4)式から分るように、時定数は一定であ
るから、或る測定時点の抵抗値Ｒ(t)を示す検出信
号Ｅ(t)に、その抵抗変化の微分係数R′(t)を示す
時間変化量電圧E′(t)に時定数τを掛けたものを加
えれば、最終的な抵抗値R0に対応する集束電圧
E0が得られることを示している。そしてこの時
間変化量電圧を求めるのがはじめに述べたように
時間変化量検出回路（微分回路）５であり、τを
掛けるのが増幅器６であり、検出電圧Ｅ(t)に補正
電圧ともいうべきE′(t)τを加えるのが加算器７で
あり、この加算器の出力が集束電圧E0となるわ
けである。そして比較器４において集束電圧E0
と基準電圧ERを比較し、前者の値が後者の値に
達するとトリミングの終了を指示する指示信号
S′が出力する。
るから、或る測定時点の抵抗値Ｒ(t)を示す検出信
号Ｅ(t)に、その抵抗変化の微分係数R′(t)を示す
時間変化量電圧E′(t)に時定数τを掛けたものを加
えれば、最終的な抵抗値R0に対応する集束電圧
E0が得られることを示している。そしてこの時
間変化量電圧を求めるのがはじめに述べたように
時間変化量検出回路（微分回路）５であり、τを
掛けるのが増幅器６であり、検出電圧Ｅ(t)に補正
電圧ともいうべきE′(t)τを加えるのが加算器７で
あり、この加算器の出力が集束電圧E0となるわ
けである。そして比較器４において集束電圧E0
と基準電圧ERを比較し、前者の値が後者の値に
達するとトリミングの終了を指示する指示信号
S′が出力する。
従つて第１図の実施例の構成によれば、加工直
後であつてもその後に発生するドリフト量を予測
して補正することができ、高速でトリミングを行
うときでも良好な加工精度を得ることができる。
後であつてもその後に発生するドリフト量を予測
して補正することができ、高速でトリミングを行
うときでも良好な加工精度を得ることができる。
なお時定数τの値は被加工抵抗体の材質によつ
て大きく変り、実際にはミリ秒から0.1秒程度ま
で種々あり、また半導体と金属では符号が逆にな
るものである。
て大きく変り、実際にはミリ秒から0.1秒程度ま
で種々あり、また半導体と金属では符号が逆にな
るものである。
第２図は本発明の第２の実施例で用いる時間変
化量検出回路５の構成を示すブロツク図であり、
それ以外は第１の実施例と同じである。第２図に
おいて、入力信号Ｅ(t)は第１のサンプルホールド
回路１１においてタイミング発生器１２からの周
期的なタイミング信号によりサンプリングされ保
持される。一方第２のサンプルホールド回路１３
は、第１のサンプルホールド回路１１のサンプリ
ング動作の直前に動作するタイミング信号を受け
て、第１のサンプルホールドの出力信号をサンプ
リングし保持するものである。そうすると、サン
プリングの際の一部期間を除いて、２つのサンプ
ルホールド回路１１と１３の出力信号の差信号を
演算回路１４でとると、その値はサンプリング周
期から決まる時間の間の入力信号変化量電圧E′(t)
すなわち抵抗値変化R′(t)を示すので、この構成
によつても第１の実施例と同様に抵抗値変化の微
係数を求め、補正を行なうこのができ、高速でト
リミングを行なう場合でも、良好な加工精度を得
ることができる。
化量検出回路５の構成を示すブロツク図であり、
それ以外は第１の実施例と同じである。第２図に
おいて、入力信号Ｅ(t)は第１のサンプルホールド
回路１１においてタイミング発生器１２からの周
期的なタイミング信号によりサンプリングされ保
持される。一方第２のサンプルホールド回路１３
は、第１のサンプルホールド回路１１のサンプリ
ング動作の直前に動作するタイミング信号を受け
て、第１のサンプルホールドの出力信号をサンプ
リングし保持するものである。そうすると、サン
プリングの際の一部期間を除いて、２つのサンプ
ルホールド回路１１と１３の出力信号の差信号を
演算回路１４でとると、その値はサンプリング周
期から決まる時間の間の入力信号変化量電圧E′(t)
すなわち抵抗値変化R′(t)を示すので、この構成
によつても第１の実施例と同様に抵抗値変化の微
係数を求め、補正を行なうこのができ、高速でト
リミングを行なう場合でも、良好な加工精度を得
ることができる。
第３図は第３の実施例の構成を示すブロツク図
で、時間変化量検出回路１５の出力信号E′(t)を増
幅度を可変できる増幅器１６でτ倍増幅したの
ち、この増幅した補正電圧E′(t)・τを加算回路７
で検出電圧Ｅ(t)に加算して集束電圧E0になるよ
うにしたものである。この構成では外部からの制
御信号EVにより増幅器１６の増幅率を制御でき
るので、トリミングする抵抗体の材質が違つて、
ドリフトの時定数が変つた場合でも、じん速に適
切な補正を行なうことができる。
で、時間変化量検出回路１５の出力信号E′(t)を増
幅度を可変できる増幅器１６でτ倍増幅したの
ち、この増幅した補正電圧E′(t)・τを加算回路７
で検出電圧Ｅ(t)に加算して集束電圧E0になるよ
うにしたものである。この構成では外部からの制
御信号EVにより増幅器１６の増幅率を制御でき
るので、トリミングする抵抗体の材質が違つて、
ドリフトの時定数が変つた場合でも、じん速に適
切な補正を行なうことができる。
以上詳述した様に、本発明による抵抗測定器に
よれば、抵抗値に比例した信号の時間変化量を検
出し、この信号から測定后に生じるドリフト分を
求めて予めドリフト分を補正することにより、高
速でトリミングを行なう場合でもドリフトの影響
を除去でき、良好な加工精度を得ることができ
る。
よれば、抵抗値に比例した信号の時間変化量を検
出し、この信号から測定后に生じるドリフト分を
求めて予めドリフト分を補正することにより、高
速でトリミングを行なう場合でもドリフトの影響
を除去でき、良好な加工精度を得ることができ
る。
第１図は本発明の第１の実施例である抵抗測定
器の構成を示すブロツク図、第２図は本発明の第
２の実施例の抵抗測定器で用いる時間変化率検出
回路の構成を示すブロツク図、第３図は本発明の
第３の実施例の構成を示すブロツク図、第４図は
従来の標準的な抵抗測定器の構成を示すブロツク
図である。 記号の説明：１は被加工抵抗、２は定電流源、
３は基準回路、４は比較回路、５は時間変化量検
出回路（微分回路）、６は増幅器、７は加算器、
１１と１３はサンプルホールド回路。１４は演算
回路、１６は可変増幅器をそれぞれあらわしてい
る。
器の構成を示すブロツク図、第２図は本発明の第
２の実施例の抵抗測定器で用いる時間変化率検出
回路の構成を示すブロツク図、第３図は本発明の
第３の実施例の構成を示すブロツク図、第４図は
従来の標準的な抵抗測定器の構成を示すブロツク
図である。 記号の説明：１は被加工抵抗、２は定電流源、
３は基準回路、４は比較回路、５は時間変化量検
出回路（微分回路）、６は増幅器、７は加算器、
１１と１３はサンプルホールド回路。１４は演算
回路、１６は可変増幅器をそれぞれあらわしてい
る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ トリミング目標値に相当する基準電圧を発す
る基準回路と、被加工抵抗体の両端から得られる
該抵抗体の抵抗値に比例した電圧を検出電圧とし
て発生する検出電圧発生手段と、前記発生された
検出電圧に基づく電圧の値を前記基準電圧と比較
し、該検出電圧に基づく電圧の値が該基準電圧の
値に達するとトリミングの終了を指示する指示信
号を発する比較回路とを有し、抵抗値を測定しな
がら目標値に達するまで続けてレーザを照射して
トリミングする方式で使用される抵抗測定器にお
いて、 前記検出電圧発生手段の発生した検出電圧の時
間変化量を求め、この時間変化量に比例する補正
電圧を出力する補正電圧発生手段と、前記検出電
圧に前記出力された補正電圧を加算して収束電圧
を求め、該求められた収束電圧を前記検出電圧に
基づく電圧として出力する加算回路とを付加して
成ることを特徴とする抵抗測定器。 ２ 補正電圧発生手段における検出電圧の時間変
化量を求める機構が、直列に接続された複数のサ
ンプルホールド回路と、これらサンプルホールド
回路の複数の出力信号の演算回路とを有している
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項の抵抗測
定器。 ３ 補正電圧発生手段における検出電圧の時間変
化量から補正電圧を得る機構が、外部から増幅率
を制御し得る可変増幅機能を有していることを特
徴とする特許請求の範囲第１項もしくは第２項の
抵抗測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60014532A JPS61174701A (ja) | 1985-01-30 | 1985-01-30 | 抵抗測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60014532A JPS61174701A (ja) | 1985-01-30 | 1985-01-30 | 抵抗測定器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61174701A JPS61174701A (ja) | 1986-08-06 |
| JPH0550841B2 true JPH0550841B2 (ja) | 1993-07-30 |
Family
ID=11863750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60014532A Granted JPS61174701A (ja) | 1985-01-30 | 1985-01-30 | 抵抗測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61174701A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2683277B2 (ja) * | 1989-05-19 | 1997-11-26 | 松下電子工業株式会社 | 薄膜抵抗体のトリミング方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5917208A (ja) * | 1982-07-21 | 1984-01-28 | 株式会社日立製作所 | 機能トリミング装置 |
-
1985
- 1985-01-30 JP JP60014532A patent/JPS61174701A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61174701A (ja) | 1986-08-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4305132A (en) | Method to eliminate the noise at known frequency | |
| JPS61174701A (ja) | 抵抗測定器 | |
| JP2736810B2 (ja) | 平均値測定装置 | |
| SE435553B (sv) | Anordning for metning av en storhet som paverkar en felteffekttransistor | |
| JPH0228913B2 (ja) | ||
| JPH0324403A (ja) | 亀裂深さ測定装置 | |
| JPH0395469A (ja) | 実効値測定装置 | |
| JP3205603B2 (ja) | 磁場型質量分析計における質量校正法 | |
| JP2805525B2 (ja) | 抵抗値測定装置 | |
| JPH0743176A (ja) | 光学式非接触ポテンショメータ | |
| JP2651495B2 (ja) | 熱分析装置 | |
| US4984469A (en) | Amplitude measurement device for viscoelasticity analysis | |
| JP2912967B2 (ja) | 赤外線放射温度計 | |
| SU1273774A1 (ru) | Устройство дл измерени скорости износа режущего инструмента в процессе резани | |
| JPH05240810A (ja) | Ｘ線分析方法 | |
| JPS6148162B2 (ja) | ||
| JP2897080B2 (ja) | 変位計調整方法及びその装置 | |
| SU845163A1 (ru) | Устройство дл анализа спектрограмм | |
| JP2001133488A (ja) | 交流電圧測定装置及び方法 | |
| SU200774A1 (ja) | ||
| JPH07301512A (ja) | 変位測定装置 | |
| JPS59188158A (ja) | 機能トリミング方式 | |
| JPS6182991A (ja) | レ−ザトリミング装置 | |
| JPS61226803A (ja) | プロセス制御装置 | |
| SU994970A1 (ru) | Устройство дл непрерывного потенциометрического определени концентрации ионов в растворах |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |