JPH0441608U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0441608U JPH0441608U JP8307990U JP8307990U JPH0441608U JP H0441608 U JPH0441608 U JP H0441608U JP 8307990 U JP8307990 U JP 8307990U JP 8307990 U JP8307990 U JP 8307990U JP H0441608 U JPH0441608 U JP H0441608U
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- Japan
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- members
- thickness
- projecting
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- measuring
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- Pending
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の厚み測定装置の
センサヘツドを示す斜視図である。第２図は第１
図に示すセンサヘツドの電気的構成を示す概略ブ
ロツク図である。第３図は第２図に示すセンサヘ
ツドに接続されるコントローラの概略ブロツク図
である。第４図は従来の光学式変位計を利用して
、測定対象物体の厚みを計測しようとする場合に
配置される光学式変位計の配置状態図である。 図において、１はセンサヘツド、２および３は
ヘツド部材、４は連結部材、５はケーブル、６お
よび１３は半導体レーザ、７および１４は駆動回
路、８および１５はＰＳＤ、９，１０，１６およ
び１７は増幅回路、１９はケーシング、２１はコ
ントローラ、２２は発振回路、２３および２４は
変位演算回路、２５は加算回路を示す。
センサヘツドを示す斜視図である。第２図は第１
図に示すセンサヘツドの電気的構成を示す概略ブ
ロツク図である。第３図は第２図に示すセンサヘ
ツドに接続されるコントローラの概略ブロツク図
である。第４図は従来の光学式変位計を利用して
、測定対象物体の厚みを計測しようとする場合に
配置される光学式変位計の配置状態図である。 図において、１はセンサヘツド、２および３は
ヘツド部材、４は連結部材、５はケーブル、６お
よび１３は半導体レーザ、７および１４は駆動回
路、８および１５はＰＳＤ、９，１０，１６およ
び１７は増幅回路、１９はケーシング、２１はコ
ントローラ、２２は発振回路、２３および２４は
変位演算回路、２５は加算回路を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 測定対象物体の厚みを測定する装置であつて、 それぞれが所定の間隔を隔てて対向して設けら
れ、かつ一体的に形成された第１および第２の部
材を有するケーシングと、 前記ケーシングの前記第１および第２の部材に
それぞれ設けられ、前記第１および第２の部材の
間い測定用対象物体が介在するとき、前記測定対
象物体の対向する面の互いに対応する場所にそれ
ぞれ測定用光を投光する投光手段と、 前記測定対象物体の対向する面の前記各場所か
ら反射された反射光を受け得るように前記ケーシ
ングの前記第１および第２の部材に設けられた受
光手段とを備え、 前記第１および第２の部材に設けられた前記受
光手段出力に基づいて、測定対象物体の厚みを測
定する、厚み測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8307990U JPH0441608U (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8307990U JPH0441608U (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0441608U true JPH0441608U (ja) | 1992-04-08 |
Family
ID=31630453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8307990U Pending JPH0441608U (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0441608U (ja) |
-
1990
- 1990-08-03 JP JP8307990U patent/JPH0441608U/ja active Pending