JPH0442910Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、分子線エピタキシヤル装置（以下
MBEと称す）等の真空装置内へ比較的低融点の
物質を、装置の真空を破ることなくエアーロツク
で導入しようとする治具の改良に関する。

〔従来の技術〕

第２図に従来の試料導入治具を示す。

１はマグネツト、２はゲートバルブ、３は試料受
皿、４は試料、５は試料入れ用るつぼである。

ゲートバルブを閉じた状態で、試料導入治具を
取り外し、試料４を、試料受皿３に入れる。再び
治具を装置に取りつけ所定の排気を行なう。排気
後ゲートバルブ２を開け、マグネツト１を操作し
て試料受皿を試料入れ用るつぼ５の近くまで移動
させる。試料を試料受皿から試料入れ用るつぼに
移すには、マグネツトを回転させ、受皿を傾ける
ことにより行なつていた。

〔従来の問題点〕

しかるに、この様に構成された従来の試料導入
治具では、以下の如き問題があつた。

(a) 試料受皿を試料入れ用るつぼの入口に接近さ
せるには、高度の熟練技術を要すると共に、る
つぼ入口が水平でない場合、受皿からるつぼへ
試料を移すのが容易ではない。手間どればるつ
ぼ入口付近についていた異物が試料が付着し、
コンタミの原因となる。

(b) 受皿からるつぼへ試料を移す場合、試料がる
つぼの底へ徐々に落ちてゆかず、一度に落下す
ることが多く、PBNなどの材質で作られたる
つぼの場合、るつぼ底部が割れる。

本考案は、上述した欠点を取り除き、試料に異
物を付着させることなく、試料を迅速に受皿から
るつぼに移す治具を提供することを目的としてい
る。

〔問題点を解決するための手段〕

MBE等の真空装置内へGa，In，Al等の比較的
低融点の物質を導入する際、試料導入治具先端の
受皿外周に、試料を加熱溶解さすためのヒーター
と、かつ溶解した試料を、試料入れ用るつぼに導
く導管を受皿底部に設けた。

〔作用〕 導入管を受皿底部に設けた事によりるつぼ入口
へ、受皿底部導入管を容易に移動出来る。かつ受
皿外周にヒーター線を設けた事により、試料を溶
解させ、導入管を通して、試料を容易にるつぼへ
移すことが出来る。

〔実施例〕

本考案による一実施例の断面図を図１に示す。
６は試料受皿３の外周に設けられたヒーター、７
は受皿３の底部から下方に設けられた導入管、８
は電流導入端子である。なお、(1)〜(5)は、従来の
ものと同様である。

本考案による動作は、試料を受皿に入れてから
受皿をるつぼ近くまで移動させるのは、従来のも
のと同様である。受皿底部の導入管７をるつぼ入
口まで近づけた後、電流導入端子８よりヒーター
線６に通電し、試料を溶解させる。溶解した試料
は導入管を通つてるつぼ内部へ入る。

以上の実施例からも明らかな様に、本考案の構
成による試料導入治具を用いれば、るつぼ入口の
断面積に対し、導入管の方が小さいので、るつぼ
と受皿の位置合せが容易である。またるつぼが水
平に近い状態であつても、導入管から試料を入れ
るので、試料の移動が容易である。ヒーターで試
料を溶解させるので、るつぼに対し機械的な振
動、力がかからないのでるつぼが割れない。試料
にるつぼ入口周辺の異物が付着しない、試料表面
の酸化物は受皿内部の壁面に付着して残り、試料
内部の洗浄なもののみるつぼへ入るという利点を
有する。

〔考案の効果〕

この考案によれば治具先端部の受皿の外周に、
試料を加熱溶解するヒーターを設け、さらに、受
皿の底部に導入管を設け、ヒーターにより溶解し
た試料を受皿の底部から導入管により下方のるつ
ぼに導くようにしたので、試料を汚染することな
く、迅速にるつぼに導くことができるという優れ
た効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案による試料導入治具の断面
図、第２図は、従来のものを示す。 図において、１はマグネツト、２はゲートバル
ブ、３は試料受皿、４は試料、５は試料入れ用る
つぼ、６はヒーター、７は導入管、８は電流導入
端子である。なお図中同一符号は同一もしくは相
当部分を示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空装置内に試料をエアーロツクで導入する治
   具において、治具先端部の試料受皿の外周にヒー
   ターを設け、試料を加熱溶解させるようにし、さ
   らに、受皿の底部から下方に導入管を設け、溶解
   した試料を受皿底部から導入管により、真空室内
   に配設された下方の試料入れ用るつぼに導くよう
   にしたことを特徴とする試料導入治具。