JPH0443757B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0443757B2 JPH0443757B2 JP61139188A JP13918886A JPH0443757B2 JP H0443757 B2 JPH0443757 B2 JP H0443757B2 JP 61139188 A JP61139188 A JP 61139188A JP 13918886 A JP13918886 A JP 13918886A JP H0443757 B2 JPH0443757 B2 JP H0443757B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- robot
- clean room
- bellows
- arm
- backward
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Manipulator (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はクリーンルーム内で作業を行なうロボ
ツトの蛇腹を用いた密封構造に関し、特にロボツ
トの腕の進退に伴う蛇腹内部圧力の調整構造に関
する。
ツトの蛇腹を用いた密封構造に関し、特にロボツ
トの腕の進退に伴う蛇腹内部圧力の調整構造に関
する。
（従来の技術と問題点）
近年、LSI等の回路素子の製造現場やその他の
精密製品の製造、組立現場にロボツトが導入され
ている。LSI等の回路素子の製造現場において
は、空中に浮遊する微細な塵埃類の影響さえ受
け、素子にこれらの塵埃が付着すると不良品にな
る。このため回路素子の製造現場は清浄雰囲気を
保持したクリーンルームとする必要があり、更に
その中で働く人も塵埃類を出さないように防塵用
の衣類等を着用して作業を行なう。従つてこうし
たクリーンルームで作動するロボツトにも塵埃や
油脂類が外部に放出されないよう工夫、改良がな
されなければならない。
精密製品の製造、組立現場にロボツトが導入され
ている。LSI等の回路素子の製造現場において
は、空中に浮遊する微細な塵埃類の影響さえ受
け、素子にこれらの塵埃が付着すると不良品にな
る。このため回路素子の製造現場は清浄雰囲気を
保持したクリーンルームとする必要があり、更に
その中で働く人も塵埃類を出さないように防塵用
の衣類等を着用して作業を行なう。従つてこうし
たクリーンルームで作動するロボツトにも塵埃や
油脂類が外部に放出されないよう工夫、改良がな
されなければならない。
依つて、本発明は斯る問題点の解決を図るべ
く、クリーンルーム用ロボツトの腕の進退運動に
際し、塵埃を含んだロボツト内の空気、或いは油
脂類を外部のクリーンルームに放出しないように
蛇腹で覆うと共に、蛇腹内部の大きな空気圧変動
による蛇腹の損傷を防止し、かつ腕の滑らかな進
退運動が可能となる構造のロボツトを提供せんと
するものである。
く、クリーンルーム用ロボツトの腕の進退運動に
際し、塵埃を含んだロボツト内の空気、或いは油
脂類を外部のクリーンルームに放出しないように
蛇腹で覆うと共に、蛇腹内部の大きな空気圧変動
による蛇腹の損傷を防止し、かつ腕の滑らかな進
退運動が可能となる構造のロボツトを提供せんと
するものである。
本発明は上述した発明目的に鑑みて、ロボツト
本体の頂部に設けられた上部ケーシングに対して
進退動作する進退腕を備え、クリーンルームにお
いて使用されるクリーンルーム用ロボツトにおい
て、 前記進退腕の前記クリーンルーム内に突出した
腕部分の外周部を密閉状態に囲繞する蛇腹と、 前記クリーンルームの外部と連通可能に前記ロ
ボツト本体に形成した開放口と、 前記ロボツト本体に予め設けた開放口と該ロボ
ツト本体の内部空間を介して連通されるように前
記進退腕の内部に形成された軸方向孔からなる空
気通路手段と、 前記進退腕の前記クリーンルーム内に突出した
腕部分の壁に貫通状に穿設され、前記軸方向孔と
前記蛇腹で囲繞された密閉領域とを連通させる径
方向孔とを、 具備し、前記蛇腹で囲繞された密閉領域が前記進
退腕の前記径方向孔、前記軸方向孔、前記ロボツ
ト本体の内部空間を介して前記開放口に常時、連
通され以て前記進退腕の進退動作に伴う前記蛇腹
内部の空気圧変動が防止されるようにしたクリー
ンルーム用ロボツト構造を提供する。
本体の頂部に設けられた上部ケーシングに対して
進退動作する進退腕を備え、クリーンルームにお
いて使用されるクリーンルーム用ロボツトにおい
て、 前記進退腕の前記クリーンルーム内に突出した
腕部分の外周部を密閉状態に囲繞する蛇腹と、 前記クリーンルームの外部と連通可能に前記ロ
ボツト本体に形成した開放口と、 前記ロボツト本体に予め設けた開放口と該ロボ
ツト本体の内部空間を介して連通されるように前
記進退腕の内部に形成された軸方向孔からなる空
気通路手段と、 前記進退腕の前記クリーンルーム内に突出した
腕部分の壁に貫通状に穿設され、前記軸方向孔と
前記蛇腹で囲繞された密閉領域とを連通させる径
方向孔とを、 具備し、前記蛇腹で囲繞された密閉領域が前記進
退腕の前記径方向孔、前記軸方向孔、前記ロボツ
ト本体の内部空間を介して前記開放口に常時、連
通され以て前記進退腕の進退動作に伴う前記蛇腹
内部の空気圧変動が防止されるようにしたクリー
ンルーム用ロボツト構造を提供する。
本発明による上記手段によれば、ロボツトの進
退腕が進退運動する場合にロボツト内部の塵埃や
油脂類が放出されることはなく、しかも進退腕を
滑らかに駆動することが可能となる。
退腕が進退運動する場合にロボツト内部の塵埃や
油脂類が放出されることはなく、しかも進退腕を
滑らかに駆動することが可能となる。
以下、本発明を添付図面に示す実施例に基づい
て更に詳細に説明する。第１図はクリーンルーム
用ロボツトの一部破断の上面図、第２図は蛇腹の
取付構造図、第３図は第１図の矢印Ａ方向から見
たクリーンルーム用ロボツトの側面図である。
て更に詳細に説明する。第１図はクリーンルーム
用ロボツトの一部破断の上面図、第２図は蛇腹の
取付構造図、第３図は第１図の矢印Ａ方向から見
たクリーンルーム用ロボツトの側面図である。
第３図を参照して本実施例におけるクリーンル
ーム用ロボツトの概略構造を説明する。このロボ
ツトは長手方向軸線回りに回転可能で、かつ上下
方向に摺動可能となつている。この上部には上部
ケーシング２２が固定されており、このケーシン
グ２２の先端部に固定された筒状体２４に保持さ
れ、水平方向Ｘに進退可能な進退腕８を有してい
る。この進退腕８が筒状体２４の外に突出した摺
動軸部分は蛇腹１０に覆われている。またこのロ
ボツトはロボツト内の空気を外部へ開放するため
の開放口３８を具備している。
ーム用ロボツトの概略構造を説明する。このロボ
ツトは長手方向軸線回りに回転可能で、かつ上下
方向に摺動可能となつている。この上部には上部
ケーシング２２が固定されており、このケーシン
グ２２の先端部に固定された筒状体２４に保持さ
れ、水平方向Ｘに進退可能な進退腕８を有してい
る。この進退腕８が筒状体２４の外に突出した摺
動軸部分は蛇腹１０に覆われている。またこのロ
ボツトはロボツト内の空気を外部へ開放するため
の開放口３８を具備している。
以上の構成によりこのクリーンルーム用ロボツ
トは上部ケーシング２２を軸４０の軸線回りに回
転すると共に上下方向に上昇、下降が可能であ
る。更に進退腕８が水平方向Ｘに進退可能な構成
となつている。
トは上部ケーシング２２を軸４０の軸線回りに回
転すると共に上下方向に上昇、下降が可能であ
る。更に進退腕８が水平方向Ｘに進退可能な構成
となつている。
本発明によるロボツト構造を詳細に説明するた
めに第１図を参照すると、該クリーンルーム用ロ
ボツトはその前後方向Ｘに進退運動可能な進退腕
８を有している。この進退腕８はロボツトの上部
ケーシング２２の先端部に固定された筒状体２４
に保持されたボールスプラインナツト１４と係合
するスプライン軸１２を具備している。このスプ
ライン軸１２のスプラインナツト１４を経由して
クリーンルームに突出した部分は蛇腹１０により
囲繞されている。蛇腹１０の両端は夫々ボールス
プラインナツト１４の端面とスプライン軸１２の
端面カバー部材２６とに固定されており、後述の
取り付け構造により蛇腹内の空気を外部（クリー
ンルーム）に放出しない構造になつている。スプ
ライン軸１２とボールスプラインナツト１４との
摺動部にはグリースが塗られており、蛇腹１０は
このグリースがクリーンルーム内に蒸発すること
を防止すると共にロボツトの上部ケーシング２２
内の塵埃を含んだ空気がクリーンルームに放出さ
れることも防止している。更には、この蛇腹１０
はスプライン軸１２を保護する役目も果たしてい
る。
めに第１図を参照すると、該クリーンルーム用ロ
ボツトはその前後方向Ｘに進退運動可能な進退腕
８を有している。この進退腕８はロボツトの上部
ケーシング２２の先端部に固定された筒状体２４
に保持されたボールスプラインナツト１４と係合
するスプライン軸１２を具備している。このスプ
ライン軸１２のスプラインナツト１４を経由して
クリーンルームに突出した部分は蛇腹１０により
囲繞されている。蛇腹１０の両端は夫々ボールス
プラインナツト１４の端面とスプライン軸１２の
端面カバー部材２６とに固定されており、後述の
取り付け構造により蛇腹内の空気を外部（クリー
ンルーム）に放出しない構造になつている。スプ
ライン軸１２とボールスプラインナツト１４との
摺動部にはグリースが塗られており、蛇腹１０は
このグリースがクリーンルーム内に蒸発すること
を防止すると共にロボツトの上部ケーシング２２
内の塵埃を含んだ空気がクリーンルームに放出さ
れることも防止している。更には、この蛇腹１０
はスプライン軸１２を保護する役目も果たしてい
る。
上記の如く構成された進退腕８が駆動モータ
（図示せず）により駆動され、Ｘ方向に進退運動
を行なうと、蛇腹１０とスプライン軸１２外周と
により囲繞された空間内の空気が膨張、或いは圧
縮される。この膨張率、或いは圧縮率は大きく、
蛇腹の損傷の原因となると共に駆動モータに過大
な負荷が作用し、また進退腕８の滑らかな作動が
阻害される。以上の問題点を解決すべくスプライ
ン軸１２にはクリーンルームの外部からロボツト
内の空気を開放するためのロボツトの開放口３８
（第３図）と導通した空気通路を形成している。
スプライン軸１２の先端近くにスプライン軸１２
の径方向に設けた径方向孔１６と、スプライン軸
１２の軸方向全長に亘つて穿たれた軸方向孔１７
と、上部ケーシング内空間と、前記吸引口３８と
導通したロボツト本体孔２０とによつて空気通路
を形成している。従つて、進退腕８の進退運動に
際してロボツト内の塵埃、或いは油脂類を含んだ
空気がクリーンルームに放出されることはなく、
しかも圧縮空気は開放口３８を介して外部に開放
され、また進退腕８の前進運動に伴う負圧空気が
ロボツト本体内の大容量の空気により緩和される
ことにより進退腕８の滑らかな作動が可能とな
る。
（図示せず）により駆動され、Ｘ方向に進退運動
を行なうと、蛇腹１０とスプライン軸１２外周と
により囲繞された空間内の空気が膨張、或いは圧
縮される。この膨張率、或いは圧縮率は大きく、
蛇腹の損傷の原因となると共に駆動モータに過大
な負荷が作用し、また進退腕８の滑らかな作動が
阻害される。以上の問題点を解決すべくスプライ
ン軸１２にはクリーンルームの外部からロボツト
内の空気を開放するためのロボツトの開放口３８
（第３図）と導通した空気通路を形成している。
スプライン軸１２の先端近くにスプライン軸１２
の径方向に設けた径方向孔１６と、スプライン軸
１２の軸方向全長に亘つて穿たれた軸方向孔１７
と、上部ケーシング内空間と、前記吸引口３８と
導通したロボツト本体孔２０とによつて空気通路
を形成している。従つて、進退腕８の進退運動に
際してロボツト内の塵埃、或いは油脂類を含んだ
空気がクリーンルームに放出されることはなく、
しかも圧縮空気は開放口３８を介して外部に開放
され、また進退腕８の前進運動に伴う負圧空気が
ロボツト本体内の大容量の空気により緩和される
ことにより進退腕８の滑らかな作動が可能とな
る。
一方、第２図を参照して蛇腹１０の取り付け構
造を簡単に説明する。蛇腹１０の端部は環状の鉄
板３０に接着されており、この蛇腹付き鉄板３０
は環状のガスケツト３２を介してボルト３４によ
り前述の端面カバー部材２６（及びボールスプラ
インナツト１４の端面）に固定されている。蛇腹
１０はこうした取り付け構造となつているためそ
の内部空間は外部（クリーンルーム）とは完全に
遮断されている。
造を簡単に説明する。蛇腹１０の端部は環状の鉄
板３０に接着されており、この蛇腹付き鉄板３０
は環状のガスケツト３２を介してボルト３４によ
り前述の端面カバー部材２６（及びボールスプラ
インナツト１４の端面）に固定されている。蛇腹
１０はこうした取り付け構造となつているためそ
の内部空間は外部（クリーンルーム）とは完全に
遮断されている。
以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、蛇腹を装備しているのでロボツトが腕を進退
させることによつてクリーンルームにそのロボツ
ト内部の空気を放出することはなく、しかも進退
腕の進退運動に際して蛇腹内部の空間が大きな圧
力変動を生ずることのないよう進退腕のクリーン
ルーム内部への突出腕部における蛇腹で囲繞され
た外周の密閉領域を、同突出腕に形成した径方向
孔、進退腕内の軸方向孔、ロボツト本体の内部空
間を経由した同ロボツト本体に形成した開放口へ
常時、連通させた空気の逃げ通路を有しているた
め蛇腹が損傷することがなく、更には駆動モータ
に過大な負荷を作用させることもなく、進退腕を
滑らかに駆動することの可能なクリーンルーム用
ロボツト構造を提供することが可能となる。
ば、蛇腹を装備しているのでロボツトが腕を進退
させることによつてクリーンルームにそのロボツ
ト内部の空気を放出することはなく、しかも進退
腕の進退運動に際して蛇腹内部の空間が大きな圧
力変動を生ずることのないよう進退腕のクリーン
ルーム内部への突出腕部における蛇腹で囲繞され
た外周の密閉領域を、同突出腕に形成した径方向
孔、進退腕内の軸方向孔、ロボツト本体の内部空
間を経由した同ロボツト本体に形成した開放口へ
常時、連通させた空気の逃げ通路を有しているた
め蛇腹が損傷することがなく、更には駆動モータ
に過大な負荷を作用させることもなく、進退腕を
滑らかに駆動することの可能なクリーンルーム用
ロボツト構造を提供することが可能となる。
第１図はクリーンルーム用ロボツトの一部破断
の上面図、第２図は一部破断の蛇腹の取付構造
図、第３図は第１図の矢印Ａ方向から見たクリー
ンルーム用ロボツトの側面図。 ８…進退腕、１０…蛇腹、１２…スプライン
軸、１４…ボールスプラインナツト、１６…径方
向孔、１７…軸方向孔、２０…ロボツト本体孔、
３０…鉄板、３２…ガスケツト、３８…開放口。
の上面図、第２図は一部破断の蛇腹の取付構造
図、第３図は第１図の矢印Ａ方向から見たクリー
ンルーム用ロボツトの側面図。 ８…進退腕、１０…蛇腹、１２…スプライン
軸、１４…ボールスプラインナツト、１６…径方
向孔、１７…軸方向孔、２０…ロボツト本体孔、
３０…鉄板、３２…ガスケツト、３８…開放口。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ロボツト本体の頂部に設けられた上部ケーシ
ング２２，２４に対して進退動作する進退腕８を
備え、クリーンルームにおいて使用されるクリー
ンルーム用ロボツトにおいて、 前記進退腕８の前記クリーンルーム内に突出し
た腕部分の外周部を密閉状態に囲繞する蛇腹１０
と、 前記クリーンルームの外部と連通可能に前記ロ
ボツト本体に形成した開放口３８と、 前記ロボツト本体に予め設けた開放口３８と該
ロボツト本体の内部空間を介して連通されるよう
に前記進退腕８の内部に形成された軸方向孔１７
からなる空気通路手段と、 前記進退腕８の前記クリーンルーム内に突出し
た腕部分の壁に貫通状に穿設され、前記軸方向孔
１７と前記蛇腹１０で囲繞された密閉領域とを連
通させる径方向孔１６とを、 具備し、前記蛇腹８で囲繞された密閉領域が前記
進退腕８の前記径方向孔１６、前記軸方向孔１
７、前記ロボツト本体の内部空間を介して前記開
放口３８に常時、連通され以て前記進退腕の進退
動作に伴う前記蛇腹内部の空気圧変動が防止され
るようにしたことを特徴とするクリーンルーム用
ロボツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13918886A JPS62297086A (ja) | 1986-06-17 | 1986-06-17 | クリ−ンル−ム用ロボツト構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13918886A JPS62297086A (ja) | 1986-06-17 | 1986-06-17 | クリ−ンル−ム用ロボツト構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62297086A JPS62297086A (ja) | 1987-12-24 |
| JPH0443757B2 true JPH0443757B2 (ja) | 1992-07-17 |
Family
ID=15239604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13918886A Granted JPS62297086A (ja) | 1986-06-17 | 1986-06-17 | クリ−ンル−ム用ロボツト構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62297086A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1036794A1 (nl) * | 2008-04-25 | 2009-10-27 | Asml Netherlands Bv | Robot for in-vacuum use. |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5629353U (ja) * | 1979-08-13 | 1981-03-19 | ||
| JPS5924292U (ja) * | 1982-08-05 | 1984-02-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 腕状機構 |
| JPS6133891A (ja) * | 1984-07-26 | 1986-02-17 | 松下電器産業株式会社 | 工業用ロボツト |
-
1986
- 1986-06-17 JP JP13918886A patent/JPS62297086A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62297086A (ja) | 1987-12-24 |
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