JPH0443902A - 干渉測定装置とそのアライメント検出方法 - Google Patents
干渉測定装置とそのアライメント検出方法Info
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- JPH0443902A JPH0443902A JP2150882A JP15088290A JPH0443902A JP H0443902 A JPH0443902 A JP H0443902A JP 2150882 A JP2150882 A JP 2150882A JP 15088290 A JP15088290 A JP 15088290A JP H0443902 A JPH0443902 A JP H0443902A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光の干渉作用によって形成される干渉縞を利
用して、レンズ、ミラーなどの平面または球面および非
球面の形状を精密に測定する干渉測定装置に関する。
用して、レンズ、ミラーなどの平面または球面および非
球面の形状を精密に測定する干渉測定装置に関する。
一般に光の波長以下のオーダで光学素子の面形状などの
測定を行う検出装置の文献としては、例えば実開平１−
６７５１４号公報がある。この公報に開示された技術を
第５図および第６図にて説明する。
測定を行う検出装置の文献としては、例えば実開平１−
６７５１４号公報がある。この公報に開示された技術を
第５図および第６図にて説明する。
第５図において、光源１より射出された光は、ビームエ
キスパンダ２を透過して、ビームスプリッタ３に入射し
て参照光束と測定光束とに２分割し、それぞれ参照面４
と被検面６に入射させその反射光束をそれぞれ再度ビー
ムスプリッタ３に入射させて重ね合わせて干渉縞が結像
レンズ８を介してイメージセンサ９上に形成されて表示
部１２にて表示される。このとき参照面４に傾きを与え
ると、表示部１２上に干渉縞が得られる。即ち第６図（
４）（ｂ）（Ｃ）に示すように多数の干渉縞による像が
得られ、この縞の本数と傾ときを目視で一本づつ数えて
干渉計のアライメントを検出して測定するというもので
ある。
キスパンダ２を透過して、ビームスプリッタ３に入射し
て参照光束と測定光束とに２分割し、それぞれ参照面４
と被検面６に入射させその反射光束をそれぞれ再度ビー
ムスプリッタ３に入射させて重ね合わせて干渉縞が結像
レンズ８を介してイメージセンサ９上に形成されて表示
部１２にて表示される。このとき参照面４に傾きを与え
ると、表示部１２上に干渉縞が得られる。即ち第６図（
４）（ｂ）（Ｃ）に示すように多数の干渉縞による像が
得られ、この縞の本数と傾ときを目視で一本づつ数えて
干渉計のアライメントを検出して測定するというもので
ある。
更に、上記目視に変える方法の文献としては例えば特開
平１−１８５４０４号公報がある。この公報に開示され
た技術は、干渉縞をイメージセンサで受光し、干渉縞画
像信号として出力し、一方の画像記憶手段に記憶される
基準縞画像データとを演算手段により重ね合わせてモア
レ縞信号を形成し、参照面の傾き調整に応じて変化する
モアレ縞の周期から干渉針のアライメントを検出すると
いうものである。
平１−１８５４０４号公報がある。この公報に開示され
た技術は、干渉縞をイメージセンサで受光し、干渉縞画
像信号として出力し、一方の画像記憶手段に記憶される
基準縞画像データとを演算手段により重ね合わせてモア
レ縞信号を形成し、参照面の傾き調整に応じて変化する
モアレ縞の周期から干渉針のアライメントを検出すると
いうものである。
しかし、上記前者の公報による技術、即ち干渉縞の本数
と傾きを目視で数えて干渉計のアライメントを検出する
という方法は、検出作業が非常に厄介であり、また微妙
な作動が困難であるため高精度なアライメントが得られ
ないという問題があった。
と傾きを目視で数えて干渉計のアライメントを検出する
という方法は、検出作業が非常に厄介であり、また微妙
な作動が困難であるため高精度なアライメントが得られ
ないという問題があった。
また、上記後者の公報によるモアレ縞を用いたアライメ
ント検出方法は、基準縞画像データを記憶する記憶手段
と、モアレ縞の周期を電気的に検出するという信号処理
回路が必要であるなどの構成上と原価上および品質上に
おいて問題があった。
ント検出方法は、基準縞画像データを記憶する記憶手段
と、モアレ縞の周期を電気的に検出するという信号処理
回路が必要であるなどの構成上と原価上および品質上に
おいて問題があった。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、高精度
にかつ高速に干渉計のアライメント検出調整ができる干
渉測定装置と、そのアライメントの検出方法とを提供す
ることを目的とするものである。
にかつ高速に干渉計のアライメント検出調整ができる干
渉測定装置と、そのアライメントの検出方法とを提供す
ることを目的とするものである。
本発明の概要を図面に基づいて説明する。
第１図は、本発明に係わる干渉測定装置の原理的構成を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
図に示すように、干渉計１４の参照面４からの反射光と
、傾き角調整および光軸方向に移動可能な保持部を有す
るアライメント調整部７に保持された被検面６からの反
射光との干渉によって形成され、上記アライメント調整
部７の調整によって変化する干渉縞を干渉縞検出部９に
よって大刀され、その出力を演算処理部１１にて処理し
て波面収差を演算し、更にこの演算処理部１１において
求められた波面収差をＺｅｒｎｉｋｅ多項式に展開し、
Ｘ方向ティルト、Ｘ方向ティルト、デフォーカス成分に
相当する係数を用いてＸ方向ティルト、Ｙ、方向ティル
ト、デフォーカス量を算出し表示部１２に表示するよう
構成されたものである。
、傾き角調整および光軸方向に移動可能な保持部を有す
るアライメント調整部７に保持された被検面６からの反
射光との干渉によって形成され、上記アライメント調整
部７の調整によって変化する干渉縞を干渉縞検出部９に
よって大刀され、その出力を演算処理部１１にて処理し
て波面収差を演算し、更にこの演算処理部１１において
求められた波面収差をＺｅｒｎｉｋｅ多項式に展開し、
Ｘ方向ティルト、Ｘ方向ティルト、デフォーカス成分に
相当する係数を用いてＸ方向ティルト、Ｙ、方向ティル
ト、デフォーカス量を算出し表示部１２に表示するよう
構成されたものである。
上記構成の作用を数式を用いて説明する。
瞳座標（Ｘｉ 、 Ｙｊ ）での波面収差を（Ｘｉ 。
Ｙｊ ）とし、Ｚｅｒｎｉｋｅ多項弐で第９項まで展開
すると極座標（ρ、Ｑ）形式で、 Ｗ （Ｘｉ、Ｙｊ）−Ｃｏ＋Ｃ＋ρｃｏｓθ＋Ｃ１ρｓ
ｉｎθ＋Ｃｘ（２ρ” １）＋ Ｃ、ｐ ”ｃｏｓ
２θ十Ｃ，ρ”５ｉｎ２θ＋ ＣｂＣ３ｐ ” −２）
ａｃｏｓθ＋Ｃ７（３ρ”−２）ｐｓｉｎθ ＋ｃ＊（６ρ４−６ρ２＋１）・・・■と表される。（
但し、ρ＝、ｒ７１１下コーＰ）■式から次に示すよう
なザイデルの収差が計夏できる、 Ｗ （Ｘ ｉ、 Ｙｊ） ＝ （Ｃｏ Ｃｓ＋ Ｃａ
）＋（Ｃ＋−２Ｃ＊）ｐｃｏｓθ・Ｘ方向ティルト＋（
Ｃ２２Ｃｔ） ｐｓ＋ｎθ・Ｙ方向ティルト＋（２Ｃ３
−６Ｃ，）ρ２ ・・・デフォーカス十Ｆで７１７７”
ｃｏｓ （２θ−−）ρオ・・・アス＋３１てｈ ＋Ｃ
７ｃｏｓ（θ−β）ρ３°°°コマ＋６０．ρ４
・・・３次球面収差〔但し、ａ ＝ｔａｎ−’
（Ｃｓ／ Ｃａ）β＝ｔａＮ’ （ｃｔ／ｃｉ））”・
■各係数Ｃ，〜Ｃ１は晟小自乗法により求める。
すると極座標（ρ、Ｑ）形式で、 Ｗ （Ｘｉ、Ｙｊ）−Ｃｏ＋Ｃ＋ρｃｏｓθ＋Ｃ１ρｓ
ｉｎθ＋Ｃｘ（２ρ” １）＋ Ｃ、ｐ ”ｃｏｓ
２θ十Ｃ，ρ”５ｉｎ２θ＋ ＣｂＣ３ｐ ” −２）
ａｃｏｓθ＋Ｃ７（３ρ”−２）ｐｓｉｎθ ＋ｃ＊（６ρ４−６ρ２＋１）・・・■と表される。（
但し、ρ＝、ｒ７１１下コーＰ）■式から次に示すよう
なザイデルの収差が計夏できる、 Ｗ （Ｘ ｉ、 Ｙｊ） ＝ （Ｃｏ Ｃｓ＋ Ｃａ
）＋（Ｃ＋−２Ｃ＊）ｐｃｏｓθ・Ｘ方向ティルト＋（
Ｃ２２Ｃｔ） ｐｓ＋ｎθ・Ｙ方向ティルト＋（２Ｃ３
−６Ｃ，）ρ２ ・・・デフォーカス十Ｆで７１７７”
ｃｏｓ （２θ−−）ρオ・・・アス＋３１てｈ ＋Ｃ
７ｃｏｓ（θ−β）ρ３°°°コマ＋６０．ρ４
・・・３次球面収差〔但し、ａ ＝ｔａｎ−’
（Ｃｓ／ Ｃａ）β＝ｔａＮ’ （ｃｔ／ｃｉ））”・
■各係数Ｃ，〜Ｃ１は晟小自乗法により求める。
０式から波面収差の中で干渉計のアライメント誤差に起
因するものはＸ方向ティルト、Ｘ方向ティルト、デフォ
ーカスの３成分であり、それらの大きさは次のように与
えられる。
因するものはＸ方向ティルト、Ｘ方向ティルト、デフォ
ーカスの３成分であり、それらの大きさは次のように与
えられる。
Ｘ方向のティルト量 Ｃ，−２Ｃ。
Ｙ方向のティルト量 Ｃｚ ２Ｃｔテア ｔ −カ
スｌ ２ Ｃｘ ６ Ｃ＊ ＋ （て７５−Ｃ７こ
れらアライメント量が所定の目標値以下になるようにア
ライメント調整部７で調整する。
スｌ ２ Ｃｘ ６ Ｃ＊ ＋ （て７５−Ｃ７こ
れらアライメント量が所定の目標値以下になるようにア
ライメント調整部７で調整する。
本発明の干渉測定装置とそのアライメント方法を実施例
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
なお、図中において上記第１図および各実施例における
同一構成または同一部材については、同一符号を用いて
その説明は、最初の図面にて行い以後は省略する。
同一構成または同一部材については、同一符号を用いて
その説明は、最初の図面にて行い以後は省略する。
（第１実施例）
第２図は、本発明に係わる干渉測定装置の第１実施例の
構成を概略にて示す正面図である。
構成を概略にて示す正面図である。
本実施例においての干渉計は、トワイマングリーン型干
渉計に適用した例を示す。
渉計に適用した例を示す。
図に示す光源１より射出した光は、ビームエキスパンダ
２を通過してビームスプリッタ３に入射して参照光束と
測定光束とに２分割されて、それぞれの光軸上に配設さ
れた参照面４と集光レンズ５を介して被検面６に入射し
て反射される。
２を通過してビームスプリッタ３に入射して参照光束と
測定光束とに２分割されて、それぞれの光軸上に配設さ
れた参照面４と集光レンズ５を介して被検面６に入射し
て反射される。
反射された各光束は、再度ビームスプリッタ３に入射し
重ね合わされて干渉縞が結像レンズ８を介してイメージ
センサ９上に形成される。
重ね合わされて干渉縞が結像レンズ８を介してイメージ
センサ９上に形成される。
上記イメージセンサ９上に形成された干渉縞をＡ／Ｄ変
換器１０を介して演算処理部１１に入力し、上記した０
式によってＸ方向ティルト、Ｘ方向ティルト、デフォー
カスの各量を算出し、値が所定の目標値以下（それぞれ
□λ）になるようにｘＹ軸方向の進退によってＸＹの方
向の２方向にあおりができ、かつＺ方向に移動される保
持具を端部に有するアライメント調整部７によって調整
が行われて表示部１２に表示される。
換器１０を介して演算処理部１１に入力し、上記した０
式によってＸ方向ティルト、Ｘ方向ティルト、デフォー
カスの各量を算出し、値が所定の目標値以下（それぞれ
□λ）になるようにｘＹ軸方向の進退によってＸＹの方
向の２方向にあおりができ、かつＺ方向に移動される保
持具を端部に有するアライメント調整部７によって調整
が行われて表示部１２に表示される。
上記目標値は、被検面６の面精度およびアライメント調
整部７の調整精度などにより決定される。
整部７の調整精度などにより決定される。
上記構成による本実施例によれば、アライメント量が定
量的に与えられるために高精度なアライメント微調整が
できる。
量的に与えられるために高精度なアライメント微調整が
できる。
（第２実施例）
第３図は、本発明に係わる干渉測定装置の第２実施例の
構成を概略にて示す正面図である。
構成を概略にて示す正面図である。
本実施例における干渉計の構成は、上記第１実施例と同
様にトワイマングリーン型干渉計に適用した例を示す。
様にトワイマングリーン型干渉計に適用した例を示す。
上記第１図および第２図において説明した■弐によって
求められたＸ方向ティルト、Ｘ方向ティルト、デフォー
カスの各量に応じてアライメント制御部１３がアライメ
ント調整部５を制御するよう構成されている。即ち調整
駆動部にピエゾ素子などを用いることによりアライメン
トの微調整が可能となる。
求められたＸ方向ティルト、Ｘ方向ティルト、デフォー
カスの各量に応じてアライメント制御部１３がアライメ
ント調整部５を制御するよう構成されている。即ち調整
駆動部にピエゾ素子などを用いることによりアライメン
トの微調整が可能となる。
上記構成にすることによりアライメント調整を自動的に
行うことができると共に高速なアライメント調整が可能
となる。
行うことができると共に高速なアライメント調整が可能
となる。
（第３実施例）
第４図は、本発明に係わる干渉測定装置の第３実施例の
構成を概略にて示す正面図である。
構成を概略にて示す正面図である。
本実施例における干渉計の構成は、上記第１実施例およ
び第２実施例とは異なりフィゾー型干渉針に通用した例
を示したものである。
び第２実施例とは異なりフィゾー型干渉針に通用した例
を示したものである。
上記第１実施例における第２図にて示したビームスプリ
ッタ３に入射した光を２分割してその光束を参照面４と
被検面６とにそれぞれ入射されて反射するように構成し
たものであるが、本実施例においては、第４図に示すよ
うにビームスプリッタ３と被検面６間に配設し、参照面
４で反射された光と参照面４を透過して被検面６にて反
射させた反射光とを干渉させるように構成したものであ
る。
ッタ３に入射した光を２分割してその光束を参照面４と
被検面６とにそれぞれ入射されて反射するように構成し
たものであるが、本実施例においては、第４図に示すよ
うにビームスプリッタ３と被検面６間に配設し、参照面
４で反射された光と参照面４を透過して被検面６にて反
射させた反射光とを干渉させるように構成したものであ
る。
上記構成による本実施例によれば、参照面光束と測定光
束が同一バスを通るため、光学系を小型にでき、また、
光路差による内部収差を小さくすることができるなどの
利点を有する。
束が同一バスを通るため、光学系を小型にでき、また、
光路差による内部収差を小さくすることができるなどの
利点を有する。
上記構成および方法の本発明によれば、測定波面収差を
Ｚｅｒｎｉｋｅ多項式に展開し、その展開係数を用いて
アライメント量を検出するようにしたため、定量的で高
精度なアライメントが可能となった。またアライメント
量を定量的に検出できるため、その値をアライメント制
御装置にフィードバックすることにより干渉計の自動ア
ライメントも可能となるなどの効果を奏する。
Ｚｅｒｎｉｋｅ多項式に展開し、その展開係数を用いて
アライメント量を検出するようにしたため、定量的で高
精度なアライメントが可能となった。またアライメント
量を定量的に検出できるため、その値をアライメント制
御装置にフィードバックすることにより干渉計の自動ア
ライメントも可能となるなどの効果を奏する。
第１図は、本発明に係わる干渉測定装置の原理的構成を
示すブロック図。 第２図は、本発明に係わる干渉測定装置の第１実施例の
構成を概略にて示す正面図。 第３図は、本発明に係わる干渉測定装置の第２実施例の
構成を概略にて示す正面図。 第４図は、本発明に係わる干渉測定装置の第３実施例の
構成を概略にて示す正面図。 第５図は、従来の干渉計の構成を概略にて示す正面図。 第６図（ａ）（ｂ）（Ｃ）は、モアレ縞の写真図である
。 ｌ・・・光源 ２・・・ビームエキスパンダ ３・・・ビームスプリンタ ４・・・参照面 ５・・・集光ビーム ６・・・被検面 ７・・・アライメント調整部 ８・・・結像レンズ ９・・・イメージセンサ １０・・・Ａ／Ｄ変換器 １１・・・演算処理部 １２・・・表示部 １３・・・アライメント制御部 １４・・・干渉針 第１図
示すブロック図。 第２図は、本発明に係わる干渉測定装置の第１実施例の
構成を概略にて示す正面図。 第３図は、本発明に係わる干渉測定装置の第２実施例の
構成を概略にて示す正面図。 第４図は、本発明に係わる干渉測定装置の第３実施例の
構成を概略にて示す正面図。 第５図は、従来の干渉計の構成を概略にて示す正面図。 第６図（ａ）（ｂ）（Ｃ）は、モアレ縞の写真図である
。 ｌ・・・光源 ２・・・ビームエキスパンダ ３・・・ビームスプリンタ ４・・・参照面 ５・・・集光ビーム ６・・・被検面 ７・・・アライメント調整部 ８・・・結像レンズ ９・・・イメージセンサ １０・・・Ａ／Ｄ変換器 １１・・・演算処理部 １２・・・表示部 １３・・・アライメント制御部 １４・・・干渉針 第１図
Claims (4)
- （１）光源から射出した光束を参照面と被検面にそれぞ
れ入射させて、その反射光を干渉して干渉縞を形成する
干渉計と、上記干渉縞を検出する干渉縞検出手段と、こ
の干渉縞検出手段の出力に基づいて参照面と被検面との
間の波面収差を演算し、その演算による波面収差をＺｅ
ｒｎｉｋｅ多項式に展開して干渉計のアライメント量を
求める演算処理手段と、被検面と参照面のうちの一方の
ティルトを調整する可動保持部を設けたアライメント調
整手段とを具備したことを特徴とする干渉測定装置。 - （２）光源から射出した光束を２分し、一方の光束を参
照面に、他方の光束を被検面にそれぞれ入射させて、そ
の反射光を干渉して干渉縞を形成する干渉計と、上記干
渉縞を検出する干渉縞検出手段と、この干渉縞検出手段
の出力に基づいて参照面と被検面との間の波面収差を演
算し、その演算による波面収差をＺｅｒｎｉｋｅ多項式
に展開して干渉計のアライメント量を求める演算処理手
段と、被検面と参照面のうちの一方のティルトを調整す
る可動保持部を設けたアライメント調整手段とを具備し
たことを特徴とする干渉測定装置。 - （３）上記参照面と被検面のうちの一方のティルトを調
整する傾き角と光軸方向への移動とを行う演算処理手段
により求められたアライメント量に従って制御するアラ
イメント制御手段とを設けたことを特徴とする請求項第
１項および第２項記載の干渉測定装置。 - （４）光源から射出した光束を２分し、一方の光束を参
照面に、他方の光束を被検面にそれぞれ入射させて、そ
の反射光を干渉して形成した干渉縞を検出する干渉縞検
出手段の出力に基づいて、上記参照面と被検面との間の
波面収差をＺｅｒｎｉｋｅ多項式に展開し、その展開計
数Ｃ＿０〜Ｃ＿２を用いて、 Ｋ＿１＝Ｃ＿１−２Ｃ＿４、Ｋ＿２＝Ｃ＿２−２Ｃ＿７
Ｋ＿３＝２Ｃ＿３−６＿８±√（Ｃ＿４＾２＋Ｃ＿３＾
２）をそれぞれ算出し、これらの量が、所定の目標値以
下になるようにＸ方向ティルト、Ｙ方向ティルト、デフ
ォーカスを調整することを特徴とする干渉測定装置のア
ライメント検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2150882A JP2951366B2 (ja) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | 干渉測定装置とそのアライメント検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2150882A JP2951366B2 (ja) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | 干渉測定装置とそのアライメント検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0443902A true JPH0443902A (ja) | 1992-02-13 |
| JP2951366B2 JP2951366B2 (ja) | 1999-09-20 |
Family
ID=15506447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2150882A Expired - Lifetime JP2951366B2 (ja) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | 干渉測定装置とそのアライメント検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2951366B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006126078A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Nikon Corp | マーク位置検出装置及び設計方法及び評価方法 |
| JP4880513B2 (ja) * | 2007-03-29 | 2012-02-22 | 富士フイルム株式会社 | 非球面レンズの面ずれ測定方法および装置 |
| JP5095539B2 (ja) * | 2008-07-17 | 2012-12-12 | 富士フイルム株式会社 | 収差測定誤差補正方法 |
| JP5473743B2 (ja) * | 2010-04-20 | 2014-04-16 | 富士フイルム株式会社 | 軸外透過波面測定装置 |
-
1990
- 1990-06-08 JP JP2150882A patent/JP2951366B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2951366B2 (ja) | 1999-09-20 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |