JPH0444804A - レーザスクライバ基板の自動投入排出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はレーザスクライパの加工位置にセラミック基板
（以下基板とする）を自動的に投入及び排出する装置に
係シ、特に基板の２蚊取シを防止し、高速に基板の投入
及び排出が可能なレーデスクライバ基板の自動投入排出
装置に関する。

（従来の技術） 従来のレーザスクライパ基板の自動投入排出装置は、伺
えば第１２図の（ａ）及び（ｂ）にそれぞれ平面図、正
面図を示すようにレーザスクライパ本体外に設置された
マガジンから真空パッドにより基板２３を供給及び排出
するものが佃られている。この装置は、主に加工前の基
板２３を保管しておく供給側マガジン１．供給側マガジ
ンｌ上に保管されている基板２３を昇降させる供給側昇
降モータ２、基板２３を吸着保持する吸着バッド３．吸
着バッド３を９０度回転させる回転装置４．レーザスク
ライパ内のＸＹ子テーブルに供給され九基板２３を位置
決めする位置決めビン６、押し当てエアシリンダー７、
加工治具８．加工後の基板２３を保管する排出側マガジ
ン９．排出側マガジン９上に保管した基板２３を昇降さ
せる排出側昇降モータ１０及び装置動作ｆフン）ａ−・
ルする制御用シーケンサ１１から構成されでいる。

動作は、供給側昇降モータ２により供給側マガジンｌ上
に保管Ｌ４おいた基板２３を吸着バッド３で吸着される
位置まで上昇させ７’ｌ：後、＃上部の基板２３をアー
ムの先端に承句けた吸着バッド３で吸着し。ついで回転
装置４を作動させてアームを右側に９０度回転させて基
板２３をＸＹデープル５上に畝ｆｌｉｔ、、さらに位置
決めビン６で所定の位置にセット（８，た後、加工治具
８を用いて基板２３に所定の穴、スリットなどを加工［
２て形成し５゜加工終了後加工済の基板２３を再度吸着
バッド３で吸着すると同時に他の吸着バッド３で供給側
マガジン１から新Ｌ７い基板２３を吸着し５．そしてア
ームを右＠に９０度回転させて加工済の基板２３を排出
ｌｌｖｌツガ９上に載置すると同時ｉＣ覇り、い基板２
３は、ＸＹ子テーブル上に載置される。加工が開始され
るとアームは逆方向に９０度回転し６加工絆了まで待機
する。以後上記の動作を繰り返シフ、供給側マガジン１
から基板２３が無くなるまで全自動で加工が行われる。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら上記に示す装置を用いて基板に加工を施す
場合、研蒙した基板を用いると、基板の面精度が高いた
め基板同上が密着し２．吸着バッドで基板を吸着すると
き２枚取りを起と−ｔという欠点が生じる。

まな基板の投入、取出し５の高速化を図るため。

基板の搬送時間を・短縮（，２り場合、基板の＠看保持
を吸着パッドにより行っており、さらにアームを回転さ
せて基板を搬送するため、吸着パッドから基板が幕下し
たり、基板のｂｒ置ずれが生じたりするンそれがある。

本発明は供給側マガジンからの基板の取出１，１（おい
で、確実［２秒取りを防止し、シ・−ザスクライバの加
工チー・ブルー・の基板の投入、排出の高速化が図れる
レーザスクライパ基板の自動投入排出装置を提供するこ
とを目的とするものである。

（ａｌｌを解決するだめの手段） 本発明は上下に移動が可能であり、かつ下部に基′！！
１１枚が通過で鼻る隙間を股！／を六基板取出［１を有
する供給マガジン部、上記と同様に上下ＶＣ＃動が可能
であり、かつ下部に基板１枚が通過できる隙間を設は大
基板取入口を有する収納１ガジン部。

該供給Ｔガジン部の最下部から取出し７た基板を吸着固
定する供給側吸着穴と加工が完了（，５た基板を吸着固
定する収納側吸着穴を有り、かつ供給−ンガジン部の下
部と収納マガジン部の下部との間を移動可能な搬送テー
ブル及び搬送デープルの供給・シガジン部から基板を移
し７替えて位置決めを行い吸着固定する位置合せ台を備
え、てなるレーザスクライパ基板の自動投入排出装置に
閣する。

なお本発明におけるレーザスクライパの基板の自動投入
排出装置に用いられる基板としてはセラミック基板に用
いることが好ましＡが、その他の基板に用いても差し支
えない。

（実施例） 以下本発明の実施例になるレーザスクライパ基板の自動
投入排出装置を図面により説明する。

第１図は本発明の実施例になるレーザスクライパ基板の
自動投入排出装置の斜視図。第２図、第３図、第４図及
び第５図は第１図の名１−ニットの拡大図並びＶ−第６
図７’７至第１１図ｄ本発明の実施例になるし・・−ザ
スクライバ基板の自動投入排出装置の動作を示す一部省
略断面図である。

本発明になるレーザスクライパ基板の自動投入排出装置
ｔは第１図に示すように、レーザスクライパ加工テーブ
ル１２上のＸＹ方向の任意の位置に架台１３．さらにそ
の上部に供給マガジン部１４゜搬送テーブル１５１位置
合せ台１６及び収納ンガジ２・部１７から構成されてい
る。なお第１図において２３目、基板及び４３は穴、ス
リットなどを加工するための加工ｌヘッドである。

第２図に供給マガジン部１４の拡大図を示すが。

この供給マガジン部１４は、レーザスクライパ加工テー
ブル１２上の架台１３上に固着された１対のステー１８
と仁のステー１８に暇付けられ六１対のり；アガイド１
９及びリニアガイド１９に内蔵されたシリンダ（図示せ
ず）により上下方向に可動する供給マ・ガジン２０から
構成さねている。

第３図汀薪２図のＡ−Ａｌｌｉ！断面図、詳１、〈は供
給マガジン部１４の断面図を示すもので、供給マガジン
２０ｉ１１：側板２１．裏板２２．下部に基板２３が１
枚分だけ通過できる隙間りを設けた基板取出口を有する
表板２４及び搬送テーブル１５に接触しないように裏板
２２の下部に取付けられた基板押え板２５から構成され
ている。

第４図は搬送テーブル１５の拡大図を示すもので、架台
１３に固定されたガイドステー２６．ガイドステー２６
と共にボールネジ２９上を水平方向に可動するリニアガ
イド２７．ガイドステー２６とＩＪ　ニアガイド２７を
可動させるためのモータ２８及びフォトセンサ３０によ
シ任意の位置に位置決め可能なテーブル部３１から構成
されている。なおテーブル部３１には供給マガジン部１
４から取出された基板２３を吸着固定するための供給側
吸着穴３２及び収納側吸着穴３３が形成されており、こ
の供給側吸着穴３２及び収納側吸着穴３３には真空吸引
源（図示せず）までチューブ３４が接続されている。ま
たテーブル部３１の上面の先端にｔｌＥ１図に示す収納
マガジン部１７の最下部の基板２３の下面を滑り易くす
るため九合成樹脂板３５が取付けられてもよい。

第５図は位置合せ台１６の拡大図を示す賜ので。

搬送テーブル１５との接触を防止するため［２つに分か
れておシ、架台１３に取付けた下ブロック３６と垂直方
向に可動するリニアガイド３７を介してシリンダー３８
により上下動する上ブロック３９及び該上ブロック３９
に圧入され、基板位置決めの基準となる位置決めビン４
０．１Ｎ位置決めビン４０に基板２３を押付けて位置決
めを行う位置決めシリンダー４１から構成されている。

なお上ブロック３９には基板反シ修正、基板固定のため
の吸着穴４２が形成されている。

本発明では上記の他に収納マガジン部を有するが、収納
マガジン部は第２図に示す供給マガジン部１４とほぼ同
じ構成のため省略する。

以下第６図乃至第１１図によシ本発明の実施例［するレ
ーザスクライパ基へ自動投入、ｓ出ｉｔＯ動作について
説明する。

先ず第６図に示すように供給マガジン部１４及び収納マ
ガジン部１７を第２図に示すリニアガイド１９に内蔵さ
れたシリンダ（図示せず）で上昇させ、一方位置合せ台
１６ｔ−第５図に示すシリンダ３８で下降させ、さらに
搬送テーブル１５を供給マガジン部１４側に合せ、供給
マガジン部１４内に基板２３をセットする（初期位置）
。

この後第７図に示すように供給マガジン部１４を搬送テ
ーブル１５の供給側吸着穴３２の部分まで下降させ、か
つ収納マガジン部１７を搬送テーブル１５の第４図に示
す合成樹脂板３５上に下降し、基板２３′の最下部を合
成樹脂板３５に接触させる。このとき搬送時の基板位置
ずれを防止するため取出す基板２３を供給側吸着穴３２
で、また収納する基板２３′を収納側吸着穴３３でしっ
かりと吸着固定する。

次に第８図に示すように搬送テーブル１５上に供給マガ
ジン部１４内の最下段の基板２３を取出し、加工位置に
移動させる。一方加工済みの基板２３′を収納マガジン
部１７内の最下部に第４図に示す合成樹脂板３５に続い
て滑り込ませ収納する。

ついで第９図に示すように位置合せ台１６．詳しくは第
５図に示す上ブロック３９を加工高さまで上昇させ、搬
送テーブル１５から基板２３を受けとり９位置決めを行
い真空吸着すると同時に供給マガジン部１４及び収納マ
ガジン部１７を元の位置に戻す（上昇させる）。

さらに第１０図に示すように加工ヘッド４３などを用い
て基板２３に所定の穴、スリットなどを加工して形成す
ると同時に搬送テーブル１５を元の位置（供給マガジン
部１４側）に戻し待機する。

この後第１１図に示すように位置決め及び真空吸着を解
除し１位置合せ台１６の第５図に示す上ブロック３９を
下降して第６図に示す初期状態に戻す。

（発明の効果） 本発明になるレーザスクライパ基板の自動投入排出装置
によれば、レーザスクライパ加工テーブルへの基板供給
を確実に行うことができ、基板搬送時の基板の位置ずれ
、基板の落下がなく、また基板の投入、取出しの高速化
を図ることができる。

この九め基板１枚当シの加工時間を短縮することができ
、製品を安価に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

ｓ１図は本発明の実施例になるレーザスクライパ基覧自
動投入、排出装置の斜視図、第２図乃至第５図は第１図
の拡大図を示すもので、第２図は供給マガジン部の拡大
図、第３図は第２図のＡ−Ａｉｌ！断面図、第４図は搬
送テーブルの拡大図及び篤５図は位置合せ台の拡大図を
示し。第６図乃至第１１図は本発明の実施例になるレー
ザスフライの バ基９動投入戸排出装置の動作を示す図であり。 第６図は初期状態を示す一部省略断面図、第７図は基板
を吸着した状態を示す一部省略断面図、第８図は基板の
取出し、収納を示す一部省略断面図。 第９図は位置合せ台を上昇させ、供給マガジン部及び収
納マガジン部を元の位置に戻す状態を示す一部省略断面
図、第１０図は加工時の搬送チーフルの移動状態を示す
一部省略断面図及び第１１図は位置合せ台が下降し、初
期状態に戻る状態を示す一部省略断面図並びに第１２図
の（ａｌけ従来のレーザスクライパめ基板府勧投入排出
装置を示す平面図及びｆｂ）はその正面図である。 符号の説明 １・・・供給側マガジン　２・・・供給側昇降モータ３
・・・吸着バッド　　　４・・・回転装置５・・・ＸＹ
子テーブル　６・・・位置決めビン７°°゛押し当てボ
アシリンダー・ ８・・・加工治具　　　　９・・・排出側マガジン１０
・・・排出側昇降モータ １１・・・制御用シーケンサ １２・・・レーザスクライパ加工テーブル１３・・・架
台　　　　　１４・・・供給マガジン部１５・・・搬送
テーブル　１６・・・位置合せ台１７−−・収納マガジ
ン部１８・・・ステー１９・・・リニアガイド　２０・
・・供給マガジン２１・・・側板　　　　　２２・・・
長板２３・・・基板　　　　　２４・・・表板２５・・
・基板押え板　　２６・・・ガイドステー２７・・・リ
ニアガイド　２８・・・モータ２９・・・ボールネジ　
　３０・・・フォトセンサ３１・・・テーブル部　　３
２・・・供給側吸着穴３３・・・収納側吸着穴　３４・
・・チューブ３５・・・合成樹脂板　　３６・・・下ブ
ロック３７・・・リニアガイド　３８・・・シリンダー
３９・・・上ブロック　　４０・・・位置決めビン４１
・・・位置決めシリンダー ４２・・・吸着穴　　　　４３・・・加工ヘッド■ ヒ） ２ざ七−ｙ Ｙ 回 め Δ 口 図 第 図 第 口 ■ ／ρ 磨 ■ 図 ｚ 曙

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、上下に移動が可能であり、かつ下部に基板１枚が通
   過できる隙間を設けた基板取出口を有する供給マガジン
   部、上記と同様に上下に移動が可能であり、かつ下部に
   基板１枚が通過できる隙間を設けた基板取入口を有する
   収納マガジン部、該供給マガジン部の最下部から取出し
   た基板を吸着固定する供給側吸着穴と加工が完了した基
   板を吸着固定する収納側吸着穴を有し、かつ供給マガジ
   ン部の下部と収納マガジン部の下部との間を移動可能な
   搬送テーブル及び搬送テーブルの供給マガジン部から基
   板を移し替えて位置決めを行い吸着固定する位置合せ台
   を備えてなるレーザスクライパ基板の自動投入排出装置
   。