JPH0445096B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0445096B2 JPH0445096B2 JP60157053A JP15705385A JPH0445096B2 JP H0445096 B2 JPH0445096 B2 JP H0445096B2 JP 60157053 A JP60157053 A JP 60157053A JP 15705385 A JP15705385 A JP 15705385A JP H0445096 B2 JPH0445096 B2 JP H0445096B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- corrosive liquid
- electrodes
- holes
- liquid
- insulating film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/042—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point by using materials which expand, contract, disintegrate, or decompose in contact with a fluid
- G01M3/045—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point by using materials which expand, contract, disintegrate, or decompose in contact with a fluid with electrical detection means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/16—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は腐食性液検知用センサに関する。
例えば塩酸のような腐食性液が工場等で漏出す
るようなことがあれば大きな公害問題を惹起する
ことになるので、そのような液の漏出を早期にか
つ確実に検出しうることが望まれている。このよ
うな要望に対して、第３図ＡおよびＢに示されて
いるような腐食性液検知用センサが提案されてい
る。第３図Ａは図示の便宜上、それを分解して概
略的に示す横断面図であり、同図Ｂはそれの断片
的な平面図である。このセンサは、検知されるべ
き腐食性液によつて腐食されない例えばポリテト
ラフラオルエチレンのような絶縁材料で形成され
た一対の絶縁膜１ａおよび１ｂ間に、前記腐食性
材料によつて腐食されうる例えばアルミニウムの
ような金属よりなる断面円形の一対の金属線すな
わち電極２ａおよび２ｂを互いに平行に配置し、
それらの電極２ａおよび２ｂを間に挟んだ状態で
絶縁膜１ａおよび１ｂを互いに重ね合わせて融着
し合体したものである。第３図Ａでは上述のよう
に図示の便宜上、それらの各構成要素が分解して
示されている。また、第３Ｂ図からわかるよう
に、一方の絶縁膜１ａには、それぞれ上記電極２
ａおよび２ｂに沿つた２つの列３ａおよび３ｂを
なしかつ各列において互いに所定の間隔をもつ
て、多数の透孔４ａおよび４ｂが形成されてい
て、それらの透孔を通じて電極２ａおよび２ｂが
露呈されている。
るようなことがあれば大きな公害問題を惹起する
ことになるので、そのような液の漏出を早期にか
つ確実に検出しうることが望まれている。このよ
うな要望に対して、第３図ＡおよびＢに示されて
いるような腐食性液検知用センサが提案されてい
る。第３図Ａは図示の便宜上、それを分解して概
略的に示す横断面図であり、同図Ｂはそれの断片
的な平面図である。このセンサは、検知されるべ
き腐食性液によつて腐食されない例えばポリテト
ラフラオルエチレンのような絶縁材料で形成され
た一対の絶縁膜１ａおよび１ｂ間に、前記腐食性
材料によつて腐食されうる例えばアルミニウムの
ような金属よりなる断面円形の一対の金属線すな
わち電極２ａおよび２ｂを互いに平行に配置し、
それらの電極２ａおよび２ｂを間に挟んだ状態で
絶縁膜１ａおよび１ｂを互いに重ね合わせて融着
し合体したものである。第３図Ａでは上述のよう
に図示の便宜上、それらの各構成要素が分解して
示されている。また、第３Ｂ図からわかるよう
に、一方の絶縁膜１ａには、それぞれ上記電極２
ａおよび２ｂに沿つた２つの列３ａおよび３ｂを
なしかつ各列において互いに所定の間隔をもつ
て、多数の透孔４ａおよび４ｂが形成されてい
て、それらの透孔を通じて電極２ａおよび２ｂが
露呈されている。
このような構成によつて腐食性液の漏出を検知
するために、そのセンサを漏出が生ずるおそれの
ある場所に設置し、それぞれ電極として作用する
上記電極２ａおよび２ｂを検出回路（図示せず）
に接続しておく。このような状態で漏出が発生す
ると、漏出した腐食性液が上記透孔４ａおよび４
ｂの少なくとも一部分を通つてセンサの内部に浸
入して、電極２ａおよび２ｂの少なくとも一方を
溶断することにより、上記検出回路が開放される
ことになるので、それに基づいて腐食性液の漏出
を検知する。
するために、そのセンサを漏出が生ずるおそれの
ある場所に設置し、それぞれ電極として作用する
上記電極２ａおよび２ｂを検出回路（図示せず）
に接続しておく。このような状態で漏出が発生す
ると、漏出した腐食性液が上記透孔４ａおよび４
ｂの少なくとも一部分を通つてセンサの内部に浸
入して、電極２ａおよび２ｂの少なくとも一方を
溶断することにより、上記検出回路が開放される
ことになるので、それに基づいて腐食性液の漏出
を検知する。
しかしながら、上述した構成では、上記電極と
しての金属線２ａおよび２ｂは通常直径0.6mm程
度という小径のものであるがため、腐食性液によ
つて溶解されるべき表面積が小さく、従つてその
電極の溶断に長時間を要するという問題があり、
また、電極が溶断しても、腐食性液によつて短絡
された形となり、その液の固有抵抗が低いため
に、回路の完全な開放状態が得られにくく、従つ
て、漏出の発生を確実に検出することが困難であ
つた。第４図は、第３図ＡおよびＢに示されたセ
ンサを適当に二分してそれらをそれぞれ試料１お
よび２とし、それらを濃度36重量％の塩酸約100
c.c.に浸漬した場合の時間経過にともなう、上述し
た検出回路でみた抵抗値の変化を示しており、上
述したセンサでは、浸漬後約100分を経過しても
10Ωの抵抗が約70Ωに変化した程度の抵抗変化し
か生じていない。このことからも、第３図Ａおよ
びＢに示された構成では、漏出を確実に検知する
ことが困難であることがわかるであろう。
しての金属線２ａおよび２ｂは通常直径0.6mm程
度という小径のものであるがため、腐食性液によ
つて溶解されるべき表面積が小さく、従つてその
電極の溶断に長時間を要するという問題があり、
また、電極が溶断しても、腐食性液によつて短絡
された形となり、その液の固有抵抗が低いため
に、回路の完全な開放状態が得られにくく、従つ
て、漏出の発生を確実に検出することが困難であ
つた。第４図は、第３図ＡおよびＢに示されたセ
ンサを適当に二分してそれらをそれぞれ試料１お
よび２とし、それらを濃度36重量％の塩酸約100
c.c.に浸漬した場合の時間経過にともなう、上述し
た検出回路でみた抵抗値の変化を示しており、上
述したセンサでは、浸漬後約100分を経過しても
10Ωの抵抗が約70Ωに変化した程度の抵抗変化し
か生じていない。このことからも、第３図Ａおよ
びＢに示された構成では、漏出を確実に検知する
ことが困難であることがわかるであろう。
本発明は、腐食性液の漏出を迅速かつ正確に検
出しうる構成とすることにより、上述した従来技
術における問題点を一挙に解決しうる腐食性液検
知用センサを提供することを目的とする。
出しうる構成とすることにより、上述した従来技
術における問題点を一挙に解決しうる腐食性液検
知用センサを提供することを目的とする。
複数の透孔を有する中間絶縁膜を一対の平型電
極の間に配置し、それらの平型電極を、少なくと
も一方に多数の透孔を実質的に全面にわたつて形
成された一対の外側絶縁膜で外側から被いかつそ
れらの外側絶縁膜全体を合体したことを特徴とす
るものである。
極の間に配置し、それらの平型電極を、少なくと
も一方に多数の透孔を実質的に全面にわたつて形
成された一対の外側絶縁膜で外側から被いかつそ
れらの外側絶縁膜全体を合体したことを特徴とす
るものである。
本発明によれば、腐食性液によつて溶断される
べき電極としてフイルム状または箔状の平型電極
を用いているので、その腐食性液の漏出が生じた
場合、電極の一部に腐食による開孔が生じただけ
で両電極間に腐食性液を介しての短絡が生じ、そ
れに基づいて漏液の検知が行われるので、迅速な
検知が可能となる。しかも、そのように電極間の
短絡による検知方式を用いているため、短絡前後
において顕著な抵抗値変化が得られるので、確実
な検知が可能となる。
べき電極としてフイルム状または箔状の平型電極
を用いているので、その腐食性液の漏出が生じた
場合、電極の一部に腐食による開孔が生じただけ
で両電極間に腐食性液を介しての短絡が生じ、そ
れに基づいて漏液の検知が行われるので、迅速な
検知が可能となる。しかも、そのように電極間の
短絡による検知方式を用いているため、短絡前後
において顕著な抵抗値変化が得られるので、確実
な検知が可能となる。
以下本発明の一実施例について図面を参照して
説明しよう。
説明しよう。
第１図ＡおよびＢは本発明の一実施例による腐
食性液検知用センサを示しており、第１図Ａはこ
れを図示の便宜上分解しかつ拡大して示す概略な
横断面図、同図Ｂは断片的な平面図である。
食性液検知用センサを示しており、第１図Ａはこ
れを図示の便宜上分解しかつ拡大して示す概略な
横断面図、同図Ｂは断片的な平面図である。
この実例では例えば厚さ0.1mmのアルミニウム
シートよりなる一対の平型電極１１ａおよび１１
ｂの間に、例えばポリテトラフルオルエチレンよ
りなる中間絶縁膜１２ｃが配置されてサンドイツ
チ状となされている。この中間絶縁膜１２ｃに
は、後述する目的のために、複数の透孔１３ｃが
設けられている。このように中間絶縁膜１２ｃを
間に挟んだ一対の電極１１ａおよび１１ｂのサン
ドイツチ状構体はさらに、その外側から、中間絶
縁膜１２ｃと同様にポリテトラフルオルエチレン
で形成された一対の外側絶縁膜１２ａおよび１２
ｂで被われかつそれらの外側絶縁膜１２ａおよび
１２ｂが互いに接着又は融着されて全体として合
体されている。上述のように、第１図Ａでは図示
の便宜上分解して示されている。この場合、外側
絶縁膜１２ａには、第１図Ｂに示されているよう
に、それのほぼ全面にわたつて多数の透孔１３ａ
が形成されており、これらの透孔１３ａは、中間
絶縁膜１２ｃに形成された透孔１３ｃとともに、
検知された腐食性液の通路となるものである。こ
の場合、一方の平型電極１１ａは外側絶縁膜１２
ａに設けられた多数の透孔１３ａを通じて露呈さ
れた形となつている。
シートよりなる一対の平型電極１１ａおよび１１
ｂの間に、例えばポリテトラフルオルエチレンよ
りなる中間絶縁膜１２ｃが配置されてサンドイツ
チ状となされている。この中間絶縁膜１２ｃに
は、後述する目的のために、複数の透孔１３ｃが
設けられている。このように中間絶縁膜１２ｃを
間に挟んだ一対の電極１１ａおよび１１ｂのサン
ドイツチ状構体はさらに、その外側から、中間絶
縁膜１２ｃと同様にポリテトラフルオルエチレン
で形成された一対の外側絶縁膜１２ａおよび１２
ｂで被われかつそれらの外側絶縁膜１２ａおよび
１２ｂが互いに接着又は融着されて全体として合
体されている。上述のように、第１図Ａでは図示
の便宜上分解して示されている。この場合、外側
絶縁膜１２ａには、第１図Ｂに示されているよう
に、それのほぼ全面にわたつて多数の透孔１３ａ
が形成されており、これらの透孔１３ａは、中間
絶縁膜１２ｃに形成された透孔１３ｃとともに、
検知された腐食性液の通路となるものである。こ
の場合、一方の平型電極１１ａは外側絶縁膜１２
ａに設けられた多数の透孔１３ａを通じて露呈さ
れた形となつている。
ここで、上述した本発明によるセンサの動作に
ついて説明すると、このセンサを腐食性液の漏出
が生ずるおそれのある場所に設置しかつ両電極１
１ａ，１１ｂを要素とする適当な検知回路（図示
せず）に接続しておく。このような状態におい
て、腐食性液の漏出が発生すると、その液が一方
の外側絶縁膜１２ａからそれの透孔１３ａの少な
くとも一部を通つてセンサ内に浸入してそれらの
透孔１３ａを通じて露呈されている側の平型電極
１１ａを溶断して開孔を生じ、さらにその液は中
間絶縁膜１２ｃの透孔１３ｃを通つて他方の平型
電極１１ｂに達し、この場合、平型電極１１ｂは
浸入した腐食性液のいわば受皿のような役割をす
る。この結果、両電極１１ａおよび１１ｂが、被
検知液を介して互いに短絡され、この短絡にとも
なう抵抗の変化を、あるいは短絡前の容量変化や
インピーダンス変化を上述した検知回路において
観測することにより、腐食性液の漏出が生じたこ
とを検知することができるのである。
ついて説明すると、このセンサを腐食性液の漏出
が生ずるおそれのある場所に設置しかつ両電極１
１ａ，１１ｂを要素とする適当な検知回路（図示
せず）に接続しておく。このような状態におい
て、腐食性液の漏出が発生すると、その液が一方
の外側絶縁膜１２ａからそれの透孔１３ａの少な
くとも一部を通つてセンサ内に浸入してそれらの
透孔１３ａを通じて露呈されている側の平型電極
１１ａを溶断して開孔を生じ、さらにその液は中
間絶縁膜１２ｃの透孔１３ｃを通つて他方の平型
電極１１ｂに達し、この場合、平型電極１１ｂは
浸入した腐食性液のいわば受皿のような役割をす
る。この結果、両電極１１ａおよび１１ｂが、被
検知液を介して互いに短絡され、この短絡にとも
なう抵抗の変化を、あるいは短絡前の容量変化や
インピーダンス変化を上述した検知回路において
観測することにより、腐食性液の漏出が生じたこ
とを検知することができるのである。
このように、本発明では、例えば0.1mm程度の
薄いシート状の平型電極を溶断して開孔を生じさ
せるものであるから、冒頭で述べた在来のものの
ように断面円形状の金属線を溶断させる場合とは
異なり、その溶断に長時間を要することがなくそ
の溶断を迅速になしうるものである。また、前述
した在来のものでは金属線の溶断によつて回路を
開放させようとするものであつたが、腐食性液が
存在しそれによつて短絡された状態となつている
がために、そのように開放されたことが明確に検
知され得ないという難点があつた。これに対し
て、本発明では被検知液の漏出によつて一方の電
極を腐食貫通せしめ、その液の両電極間の介在に
よる容量変化やインピーダンス変化を検知する
か、あるいはその液を介して、短絡させ、その短
絡による検知回路における抵抗値の変化に基づい
て検知するものであるから、確実な検知が可能で
ある。第２図は、第１図に示された本発明による
センサを、第４図の場合と同様に、濃度36重量％
の塩酸約100c.c.に浸漬した場合の、時間経過にと
もなう、上述した検出回路でみた抵抗値の変化を
示しており、本発明のセンサでは、無限大の抵抗
値が、わずかに６分経過後には1kΩ以下に変化し
ている。このように、本発明によるセンサでは、
短時間で非常に大きな抵抗変化量が得られるが、
これは、本発明によるセンサではそれの外側絶縁
膜の全面に透孔が均一に分布された形成されてお
りしかも溶断されるべき電極が迅速かつ確実に溶
断されうるシート状ないしは箔状の平型電極であ
ることによるものであることは容易に理解される
であろう。
薄いシート状の平型電極を溶断して開孔を生じさ
せるものであるから、冒頭で述べた在来のものの
ように断面円形状の金属線を溶断させる場合とは
異なり、その溶断に長時間を要することがなくそ
の溶断を迅速になしうるものである。また、前述
した在来のものでは金属線の溶断によつて回路を
開放させようとするものであつたが、腐食性液が
存在しそれによつて短絡された状態となつている
がために、そのように開放されたことが明確に検
知され得ないという難点があつた。これに対し
て、本発明では被検知液の漏出によつて一方の電
極を腐食貫通せしめ、その液の両電極間の介在に
よる容量変化やインピーダンス変化を検知する
か、あるいはその液を介して、短絡させ、その短
絡による検知回路における抵抗値の変化に基づい
て検知するものであるから、確実な検知が可能で
ある。第２図は、第１図に示された本発明による
センサを、第４図の場合と同様に、濃度36重量％
の塩酸約100c.c.に浸漬した場合の、時間経過にと
もなう、上述した検出回路でみた抵抗値の変化を
示しており、本発明のセンサでは、無限大の抵抗
値が、わずかに６分経過後には1kΩ以下に変化し
ている。このように、本発明によるセンサでは、
短時間で非常に大きな抵抗変化量が得られるが、
これは、本発明によるセンサではそれの外側絶縁
膜の全面に透孔が均一に分布された形成されてお
りしかも溶断されるべき電極が迅速かつ確実に溶
断されうるシート状ないしは箔状の平型電極であ
ることによるものであることは容易に理解される
であろう。
なお、上述の実施例では、電極をアルミニウム
で形成したが、検知すべき腐食性液によつて容易
に溶断されうるものであれば他の任意適当な金属
を用いてもよい。
で形成したが、検知すべき腐食性液によつて容易
に溶断されうるものであれば他の任意適当な金属
を用いてもよい。
また、上述の実施例では、各絶縁膜をポリテト
ラフルオルエチレンで形成したが、本発明はそれ
に限定されるものではなく、検知すべき腐食性液
によつて腐食されない他の任意適当な絶縁材料を
用いてもよい。
ラフルオルエチレンで形成したが、本発明はそれ
に限定されるものではなく、検知すべき腐食性液
によつて腐食されない他の任意適当な絶縁材料を
用いてもよい。
さらにまた、上述の実施例では、絶縁膜１２ａ
および１２ｂの一方にのみ透孔を形成したが、両
方に形成してもよく、また、それらの透孔のパタ
ーンも第１図Ｂに示されたものに限定されるもの
でないことも容易に理解されるであろう。
および１２ｂの一方にのみ透孔を形成したが、両
方に形成してもよく、また、それらの透孔のパタ
ーンも第１図Ｂに示されたものに限定されるもの
でないことも容易に理解されるであろう。
第１図Ａは本発明の一実施例による腐食性液検
知用センサを、図示の便宜上分解しかつ拡大して
示す概略断面図、第１図Ｂはそれの断片的な平面
図、第２図は本発明によるセンサの説明に供する
図、第３図Ａは在来の腐食性液検知用センサの一
例を、第１図Ａと同様に図示の便宜上分解しかつ
拡大して示す概略断面図、第３図Ｂはそれの断片
的な平面図、第４図は第３図に示されたセンサの
説明に供する図である。 図面において、１１ａ，１１ｂは平型電極、１
２ａ，１２ｂ，１２ｃは絶縁膜、１３ａ，１３ｃ
は透孔をそれぞれ示す。
知用センサを、図示の便宜上分解しかつ拡大して
示す概略断面図、第１図Ｂはそれの断片的な平面
図、第２図は本発明によるセンサの説明に供する
図、第３図Ａは在来の腐食性液検知用センサの一
例を、第１図Ａと同様に図示の便宜上分解しかつ
拡大して示す概略断面図、第３図Ｂはそれの断片
的な平面図、第４図は第３図に示されたセンサの
説明に供する図である。 図面において、１１ａ，１１ｂは平型電極、１
２ａ，１２ｂ，１２ｃは絶縁膜、１３ａ，１３ｃ
は透孔をそれぞれ示す。
Claims (1)
- １ 検知されるべき腐食性液により腐食されうる
金属で形成された一対の平型電極を、それら間に
前記腐食性液によつて腐食されない絶縁材料で形
成されかつ複数の透孔を形成された中間絶縁膜を
配置した状態で、前記絶縁性液によつて腐食され
ない絶縁材料で形成されかつ少なくともいずれか
一方に複数の透孔を実質的に全面にわたつて形成
された一対の外側絶縁膜で外側から被いかつそれ
らの外側絶縁膜を互いに合体してなることを特徴
とする腐食性液検知用センサ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60157053A JPS6219748A (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 | 腐食性液検知用センサ |
| US06/884,726 US4677373A (en) | 1985-07-18 | 1986-07-11 | Sensor for detecting leaks of corrosive liquid |
| DE3623872A DE3623872A1 (de) | 1985-07-18 | 1986-07-15 | Sensor zur erfassung einer leckage einer korrosiven fluessigkeit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60157053A JPS6219748A (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 | 腐食性液検知用センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6219748A JPS6219748A (ja) | 1987-01-28 |
| JPH0445096B2 true JPH0445096B2 (ja) | 1992-07-23 |
Family
ID=15641171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60157053A Granted JPS6219748A (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 | 腐食性液検知用センサ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4677373A (ja) |
| JP (1) | JPS6219748A (ja) |
| DE (1) | DE3623872A1 (ja) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3639720C1 (de) | 1986-11-20 | 1993-04-29 | Reinecker Heyko | Pumpe mit Spaltrohrmotor- oder Spaltrohrmagnetkupplungsantrieb |
| JPH01102334A (ja) * | 1987-10-16 | 1989-04-20 | Junkosha Co Ltd | 漏液センサ |
| JPH01285847A (ja) * | 1988-05-13 | 1989-11-16 | Junkosha Co Ltd | 流体検知センサ |
| JPH0227559U (ja) * | 1988-08-11 | 1990-02-22 | ||
| GB2230631B (en) * | 1989-04-04 | 1993-03-03 | Gore & Ass | A solvent responsive signal-carrying device |
| US5316035A (en) * | 1993-02-19 | 1994-05-31 | Fluoroware, Inc. | Capacitive proximity monitoring device for corrosive atmosphere environment |
| US5977782A (en) * | 1998-01-23 | 1999-11-02 | Cts Corporation | Fluid abrasion and/or corrosion sensors and method of sensing abrasion and/or corrosion |
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| US6865941B2 (en) * | 2001-11-21 | 2005-03-15 | Before-The-Event, Ltd. | Liquid leak detector |
| US6877359B2 (en) * | 2001-11-30 | 2005-04-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Liquid leak detection |
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| US20100127460A1 (en) * | 2008-11-26 | 2010-05-27 | Odyssian Technology, Llc | Seals with integrated leak detection capability |
| US8061211B1 (en) | 2009-06-19 | 2011-11-22 | Odyssian Technology, Llc | Seal with integrated sensor |
| US8448949B2 (en) * | 2009-08-13 | 2013-05-28 | Parker-Hannifin Corporation | Sealing assembly with integral sensor |
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