JPH0445234Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、IC又はトランジスタ等の半導体を
製造するに際して、ウエハに半導体素子のパター
ンを露光によつて焼付けるアライナーにおいて、
そのウエハに対する焼付けの時間を測定する装置
に関するものである。

〔従来の技術〕

ウエハに半導体素子のパターンを露光によつて
焼付けるアライナーにおいては、電源の電圧変動
とかランプの劣化等によつてウエハに対する露光
量が変化することを防止するために、電源の電圧
変動とかランプの劣化等による光量の変動に応じ
て露光時間を調節することが行われている。

しかし、ウエハに対する焼付け露光を最良にす
る露光時間には、一定の基準値が存在し、露光時
間がこの基準値より外れた場合には、焼付け不良
が発生することになるから、アライナーにおける
露光時間を、定期的に測定する必要がある。

そこで従来は、作業者がストツプウオツチのボ
タンを、アライナーにおけむるシヤツタの開閉に
応じて押すことによつて露光時間を測定してい
た。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかし、ストツプウオツチによる露光時間の測
定には、作業者の個人差とか作業者の健康状態な
どによりかなりの誤差が生じるものであるから、
露光時間を正確に測定することができず、露光時
間が前記基準値を外れたまま焼付け露光作業に入
つてしまうことがしばしばあつた。

本考案は、ウエハに対して半導体素子のパター
ンを焼付ける場合の露光時間を個人差なく正確に
測定できる装置を提供することを目的とするもの
である。

〔問題点を解決するための手段〕

このため本考案は、半導体用アライナーにおけ
る被処理物の近傍位置に、当該アライナーの露光
用シヤツタの開閉による光量変化を感知する光セ
ンサーを配設する一方、アライナーの近傍位置に
は、前記光センサーに結線された時間表示装置を
配設し、前記光センサーのONからOFFまでの感
知出力に応じて前記被処理物に対する露光時間を
測定するように構成したものである。

〔考案の作用・効果〕

この構成により、光センサーをアライナーにお
ける被処理物の近傍に配置したので、アライナー
における露光用シヤツタが開くことにより被処理
物の付近の光量が増大すると、直ちに光センサー
にてこれを正確に感知して出力でき、同様にシヤ
ツタが閉じて光量が減少したことも光センサーに
よれば、正確に感知でき、出力OFFとすること
になる。

換言すれば、前記光センサーは、アライナーに
おける露光用シヤツタの開閉による光量変化を感
知してON・OFFする自動的なスイツチの役割を
果たすことになり、作業者が光量の増大又はシヤ
ツタの開きを感知してからストツプウオツチを押
し、また光量が減少してからストツプウオツチを
押す場合にばらつきがなくなり、もつて作業者の
個人的誤差をなくすることができる。

従つて、本考案の時間表示装置から、前記露光
時間を知ることにより、アライナーにおける現在
の露光時間が基準値内に入つているか否かの判定
が正確に行うことができ、アライナーにおける規
格外れの露光作業をなくして、アライナー装置自
体の稼働率を向上させる効果を奏する。

〔実施例〕

次に、本考案の実施例を図面に基づいて説明す
ると、図において符号１は被処理物であるレジス
トが塗布されたウエハの表面に所定のパターンを
露光焼付けするためのアライナーを示し、該アラ
イナー１における被処理物の設置箇所２の上方位
置には図示しない露光用シヤツタが設けられてい
る。

前記被処理物の設置箇所２の近傍位置（露光用
シヤツタの開閉によりアライナー１内の光源から
の光量の増減が感知できる箇所）には、本考案の
露光時間測定装置３における光センサー４装着の
感知部ボツクス５を配設し、該感知部ボツクス５
から離れた箇所には、前記光センサー４にコード
６により結線された時間表示装置７のケース７ａ
を配設するものである。

第３図は本考案の露光時間測定装置３における
概略回路図を示し、前記光センサー４は光信号を
受けて電気信号に変換するホトトランジスタまた
はホトダイオード等よりなり、該光センサー４
は、通常の室内灯等の照明用の光によつて感知し
ないように感度を調節可能にする。その手段とし
ては、可変抵抗器９を用いるか、又はフイルタ８
を光センサー４の受光部の前面に着脱自在に配置
するものである。

前記時間表示装置７のケース７ａ内には、乾電
池、水銀電池等のバツテリ１０を含む電源部１１
と、基準タイムパルスを発生させる発振部１２
と、該発振部１２の出力パルス信号と前記光セン
サー４からのON信号のAND条件により出力し、
光センサー４からの信号が無いと出力しない論理
回路１３と、該論理回路１３からの出力をカウン
トするカウント回路１４と、該カウント回路１４
からのｎ進法カウント出力信号を１０進法に変換
するためのデコーダ１５と、該デコーダ１５から
の信号を時間（単位：秒）表示するための液晶素
子等の表示部１６とから成る。

本実施例における表示部１６では、0.01秒から
9.99秒までの時間表示ができるように構成してい
るが、最小0.001秒からタイムカウントし、若し
くは最大60秒までタイムカウントできる４桁乃至
５桁表示にしても良いことはいうまでもない。

符号１７は、前記カウント回路１４におけるカ
ウントを零に戻すリセツト回路である。

なお、前記電源部１１には、メインスイツチ１
８と、チエツクスイツチ１９とを設け、メインス
イツチ１８をON状態にしたまま、チエツクスイ
ツチ１９を押すことにより、バツテリ１０の電圧
が基準値以下であれば赤ランプ２０を点灯させ、
基準値以上であれば緑ランプ２１を点灯させるよ
うに構成して測定装置３のセルフチエツクを行う
ことができる。

この構成において、前記アライナー１にセツト
した被処理物に露光する時間が基準値以内に入つ
ているか否かの測定に際して、アライナー１の露
光部分を９０度右に振り、光センサー４のボツク
ス５を照光部に配置し、予めメインスイツチ１８
をON状態にし、チエツクスイツチ１９を押して
バツテリ１０の電圧が正常であることを確認し、
さらに表示部１６の数字が総て零であることを確
認して後、アライナー１を通常通り運転する。

アライナー１の露光用シヤツタを開き光量が増
大すると、光センサー４の出力がONとなり、次
いで露光用シヤツタが閉じて光量が減少するまで
光センサー４の出力がONの状態を保持し、その
ON状態の時間をカウンタ回路１４、デコーダ１
５を通じて表示部１６に表示させる。

前記露光用シヤツタの閉じによる光量の減少に
て光センサー４の出力がOFFとなれば、前記表
示部１６の表示数字は固定維持される。

これにより、前記光センサーのONからOFFま
での感知出力に応じて前記被処理物に対する露光
時間を測定することができ、作業者がストツプウ
オツチにて測定するのに比べて個人的誤差を生じ
ることなく、正確に露光時間を測定することがで
きるのである。

本考案の露光時間測定装置３は携帯用であるの
で、複数のアライナー１に対して任意に測定する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示し、第１図はアライ
ナーの斜視図、第２図は本考案の露光時間測定装
置の平面図、第３図は露光時間測定装置の概略回
路図である。 １……アライナー、３……露光時間測定装置、
４……光センサー、５……感知部ボツクス、６…
…コード、７……時間表示装置、７ａ……ケー
ス、８……フイルタ、１０……バツテリ、１１…
…電源部、１２……発振部、１３……論理回路、
１４……カウント回路、１５……デコーダ、１６
……表示部、１７……リセツト回路、１８……メ
インスイツチ、１９……チエツクスイツチ、２２
……リセツトボタン。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 半導体用アライナーにおける被処理物の近傍位
   置に、当該アライナーの露光用シヤツタの開閉に
   よる光量変化を感知する光センサーを配設する一
   方、アライナーの近傍位置には、前記光センサー
   に結線された時間表示装置を配設し、前記光セン
   サーのONからOFFまでの感知出力に応じて前記
   被処理物に対する露光時間を測定するように構成
   したことを特徴とする半導体用アライナーの露光
   時間測定装置。