JPH0445410A - optical scanning device - Google Patents
optical scanning deviceInfo
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- JPH0445410A JPH0445410A JP2153685A JP15368590A JPH0445410A JP H0445410 A JPH0445410 A JP H0445410A JP 2153685 A JP2153685 A JP 2153685A JP 15368590 A JP15368590 A JP 15368590A JP H0445410 A JPH0445410 A JP H0445410A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、例えばレーザプリンターやレーザ複写機にお
いてレーザ光をホログラム等の回折格子により偏向し直
線走査する光走査装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to an optical scanning device for linearly scanning a laser beam by deflecting it using a diffraction grating such as a hologram in, for example, a laser printer or a laser copying machine.
従来の技術
レーザ光を偏向させ、被走査面を走査する光走査装置の
一種として、光源に半導体レーザ、偏向手段としてホロ
グラムディスクを用いたものが提案されている(例えば
、特願昭54−147544号、特願昭57−5527
5号)。以下、第3図によりレーザプリンタ用の光走査
装置の基本構成について簡単に説明する。Prior Art As a type of optical scanning device that deflects a laser beam to scan a surface to be scanned, one has been proposed that uses a semiconductor laser as a light source and a hologram disk as a deflection means (for example, Japanese Patent Application No. 147544/1983). No., patent application No. 57-5527
No. 5). Hereinafter, the basic configuration of an optical scanning device for a laser printer will be briefly explained with reference to FIG.
半導体レーザ光源1から射出されたレーザビームはコリ
メータレンズ2を通って、偏向手段としての第1のホロ
グラム3および第2のホログラム4により回折され、感
光体ドラム等の被走査面5に結像される。したがって、
ホログラム4を回転させることにより被走査面5のレー
ザビームスポットを走査することができる。また前記ホ
ログラム4は複数のファセットからなり、1回転でファ
セットの数だけ走査することができる。A laser beam emitted from a semiconductor laser light source 1 passes through a collimator lens 2, is diffracted by a first hologram 3 and a second hologram 4 as deflection means, and is imaged on a scanned surface 5 such as a photoreceptor drum. Ru. therefore,
By rotating the hologram 4, the laser beam spot on the surface to be scanned 5 can be scanned. Further, the hologram 4 is composed of a plurality of facets, and can be scanned by the number of facets in one rotation.
しかし、半導体レーザの波長は周囲温度や駆動電流によ
り絶えず変化しており、このため走査線の直線性やレー
ザビーム径が悪化したり、所定の走査線から上下にずれ
たり、また走査長が変化したりする。However, the wavelength of a semiconductor laser constantly changes depending on the ambient temperature and drive current, which can cause the linearity of the scanning line and laser beam diameter to deteriorate, to deviate vertically from a predetermined scanning line, or to change the scanning length. I do things.
このような問題に対して、半導体レーザの温度を制御す
ることにより解決する従来例が提案されている。また、
温度特性の経時変化に対してフィードバック制御を行う
ことにより対応するための簡易な波長検出機構部も提案
されている(特願昭59−89730号)。Conventional examples have been proposed to solve such problems by controlling the temperature of the semiconductor laser. Also,
A simple wavelength detection mechanism for responding to changes in temperature characteristics over time by performing feedback control has also been proposed (Japanese Patent Application No. 59-89730).
発明が解決しようとする課題
ところが、光走査装置におけるレーザビーム検出機構部
は、位置検出、波長検出においても1走査に1回のみし
か検出できないため、走査中に発生する変動に対しては
補正することができなかった。Problem to be Solved by the Invention However, the laser beam detection mechanism in an optical scanning device can only detect once per scan, even in position detection and wavelength detection, so it is necessary to compensate for fluctuations that occur during scanning. I couldn't.
また、半導体レーザの温度とレーザ光の波長との関係は
、第4図に示すように、一般に階段状の線で表される。Further, the relationship between the temperature of the semiconductor laser and the wavelength of the laser light is generally expressed by a stepped line, as shown in FIG.
この階段の部分の波長変化現象はモードホップといわれ
、約0.5nm程度の波長変化がある。このため1走査
1検出方式では瞬時に起こるこのモードホップを補償す
ることはできない。This phenomenon of wavelength change in the step part is called a mode hop, and there is a wavelength change of about 0.5 nm. Therefore, the one-scan, one-detection method cannot compensate for this instantaneous mode hop.
本発明は上記問題点に鑑み、常時波長を検出することが
できる光走査装置を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, an object of the present invention is to provide an optical scanning device that can constantly detect wavelengths.
課題を解決するための手段
上記目的を達成するために本発明は、レーザ光源から出
射されたレーザビームを分割し、その−方を波長検出用
の回折格子に入射させ、回折角の変化によるレーザビー
ムの位置変化を検出することによって波長変動を検出す
る構成とした。Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, the present invention splits a laser beam emitted from a laser light source, makes one part incident on a diffraction grating for wavelength detection, and generates a laser beam by changing the diffraction angle. The configuration is such that wavelength fluctuations are detected by detecting changes in the position of the beam.
作 用
レーザビームを分割して利用することにより、走査ビー
ムに影響を与えずに、波長検出用のビームを取り出し、
波長検出用の回折格子に入射させる。ここでビームは検
出手段上で結像するように波面が補正される。波長変動
により回折角が大きく変動するように設計された前記回
折格子により検出手段上のレーザスポットの位置が波長
により変動する。この位置変化により波長変化を常時検
出できる。By dividing the working laser beam and using it, the beam for wavelength detection can be extracted without affecting the scanning beam.
Inject it into a diffraction grating for wavelength detection. Here, the wavefront of the beam is corrected so that it is imaged on the detection means. The position of the laser spot on the detection means varies depending on the wavelength due to the diffraction grating designed so that the diffraction angle varies greatly depending on the wavelength variation. This positional change allows wavelength changes to be detected at all times.
実 施 例
以下、本発明の一実施例を図面を参照しながら説明する
。Embodiment An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第1図に、本発明の第1の実施例における光走査装置の
概略構成を示す。FIG. 1 shows a schematic configuration of an optical scanning device according to a first embodiment of the present invention.
6は半導体レーザ光源、7はレーザビーム分割手段とし
てのハーフミラ−8はホログラム、9は感光体ドラム等
の被走査面、10は波長検出用回折格子、ユ1は反射ミ
ラー 12は波長検出器である。6 is a semiconductor laser light source, 7 is a half mirror as a laser beam splitting means, 8 is a hologram, 9 is a scanned surface such as a photosensitive drum, 10 is a diffraction grating for wavelength detection, 1 is a reflection mirror, and 12 is a wavelength detector. be.
半導体レーザ光源6から出射されたレーザ光はハーフミ
ラ−7により、走査用のレーザビーム13と、波長検出
用のレーザビーム14とに分割される。走査用のレーザ
ビーム13はホログラム8に入射し、回折されて被走査
面9に到達する。A laser beam emitted from the semiconductor laser light source 6 is split by a half mirror 7 into a laser beam 13 for scanning and a laser beam 14 for wavelength detection. A scanning laser beam 13 enters the hologram 8, is diffracted, and reaches the scanned surface 9.
波長検出用のレーザビーム14は波長検出用回折格子1
0に入射し、波長検出器12に結像するように回折光の
波面が補正される。波長検出用回折格子10は、レーザ
ビームの波長変動により回折角が大きく変化するように
設定されており、検出器12上では波長変動をレーザビ
ームスポットの位置変化として検出することができる。A laser beam 14 for wavelength detection is a diffraction grating 1 for wavelength detection.
The wavefront of the diffracted light is corrected so that it is incident on the wavelength detector 12 and focused on the wavelength detector 12. The wavelength detection diffraction grating 10 is set so that the diffraction angle changes greatly depending on the wavelength fluctuation of the laser beam, and the wavelength fluctuation can be detected on the detector 12 as a positional change of the laser beam spot.
以上のように本実施例によれば、レーザ光源6から出射
された光をハーフミラ−7で分割し、その一方を波長検
出用の回折格子10に入射させ、回折格子10における
回折角の変化によるレーザビームの位置変化を波長検出
器12によって検出することにより、半導体レーザめ温
度変化や駆動電流の変化に起因する波長変動を常時検出
することができ、波長変動によって走査線の直線性やレ
ーザビーム径が悪化したり、所定の走査線から上下にず
れたり、また走査長が変化したりする現象を走査中にお
いても補正することが可能となる。As described above, according to this embodiment, the light emitted from the laser light source 6 is divided by the half mirror 7, and one of the parts is made incident on the diffraction grating 10 for wavelength detection, and the change in the diffraction angle in the diffraction grating 10 is By detecting changes in the position of the laser beam with the wavelength detector 12, it is possible to constantly detect wavelength fluctuations caused by changes in the temperature of the semiconductor laser or changes in the driving current. It is possible to correct phenomena such as deterioration of the diameter, vertical deviation from a predetermined scanning line, or change in scanning length even during scanning.
以下、本発明の第2の実施例について図面を参照しなが
ら説明する。A second embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第2図は、実施例における光走査装置の構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of the optical scanning device in the embodiment.
同図において、15は半導体レーザ光源、16はホログ
ラム、17は被走査面である。第1の実施例の構成と異
なるのは、波長検出用回折格子18をホログラム16の
後方に位置させ、ホログラム16の0次光(非回折光)
が入射するようにしたことである。In the figure, 15 is a semiconductor laser light source, 16 is a hologram, and 17 is a surface to be scanned. The difference from the configuration of the first embodiment is that the wavelength detection diffraction grating 18 is located behind the hologram 16, and the 0th order light (non-diffracted light) of the hologram 16 is
is made so that it is incident.
ホログラム16に入射したレーザビームは回折され被走
査面17に到達するように設計されているが、実際には
そのうち一部は回折されずにホログラム16を透過した
り、反射したりする。このうちホログラム16を透過す
るレーザビーム(0次光)を利用する。0次光を波長検
出用回折格子18に入射させ、検出器19に結像するよ
うに波面を補正する。Although the laser beam incident on the hologram 16 is designed to be diffracted and reach the scanned surface 17, in reality, a portion of the laser beam is transmitted through the hologram 16 or reflected without being diffracted. Of these, a laser beam (zero-order light) that passes through the hologram 16 is used. The zero-order light is made incident on the wavelength detection diffraction grating 18, and the wavefront is corrected so that it is imaged on the detector 19.
波長検出用回折格子18はレーザビームの波長変動によ
り回折角が大きく変化するように設定されており、検出
器19上では波長変動をレーザビームスポットの位置変
化として検出することができる。The wavelength detection diffraction grating 18 is set so that the diffraction angle changes greatly depending on the wavelength fluctuation of the laser beam, and the wavelength fluctuation can be detected on the detector 19 as a positional change of the laser beam spot.
以上のように、波長検出用回折格子18をホログラム1
6の後方に設置し、ホログラム16の0次光を利用する
ことでレーザビームを走査用と波長検出用に分離するた
めの専用の光学素子は不要となり、また走査用レーザビ
ームの光強度を従来の構成より悪化させずに波長検出を
常時行うことができる。As described above, the wavelength detection diffraction grating 18 is attached to the hologram 1.
6 and uses the zero-order light of the hologram 16, there is no need for a dedicated optical element to separate the laser beam into scanning and wavelength detection. Wavelength detection can be performed at all times without deterioration compared to the above configuration.
なお、第1及び第2の実施例では波長検出用回折格子を
1枚としたが2枚以上にしても良いことは言うまでもな
い。In the first and second embodiments, one wavelength detection diffraction grating is used, but it goes without saying that two or more diffraction gratings may be used.
発明の効果
以上のように本発明によれば、レーザビームの波長変動
を常時検出することができるので、走査中における急激
な波長変動に対しても補正が可能となる。Effects of the Invention As described above, according to the present invention, it is possible to constantly detect variations in the wavelength of a laser beam, so it is possible to correct even sudden wavelength variations during scanning.
第1図は本発明の第1の実施例における光走査装置を示
す構成図、第2図は本発明の第2の実施例における光走
査装置を示す構成図、第3図は従来の光走査装置の構成
図、第4図は半導体レーザ光源の波長変化特性を示す図
である。
6.15・・・・・・レーザ光源、7・・・・・・ハー
フミラ−8,16・・・・・・ホログラム、10.18
・・・・・・波長検出用回折格子、12.19・・・・
・・検出器。FIG. 1 is a configuration diagram showing an optical scanning device according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a configuration diagram showing an optical scanning device according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a configuration diagram showing a conventional optical scanning device. FIG. 4, a block diagram of the apparatus, is a diagram showing wavelength change characteristics of a semiconductor laser light source. 6.15... Laser light source, 7... Half mirror 8, 16... Hologram, 10.18
...Diffraction grating for wavelength detection, 12.19...
··Detector.
Claims (2)
ザビームを所定の走査線に沿って走査する回折格子とを
用いた光走査装置において、前記レーザ光源から出射さ
れたレーザビームを分割するレーザビーム分割手段と、
分割された波長検出用レーザビームが入射される波長検
出用回折格子と、この波長検出用回折格子における回折
角の変化によるレーザビームの位置変化を検出すること
により波長変動を検出する検出手段とを備えたことを特
徴とする光走査装置。(1) In an optical scanning device using a laser light source and a diffraction grating that scans the laser beam emitted from the laser light source along a predetermined scanning line, a laser beam that splits the laser beam emitted from the laser light source a dividing means;
A wavelength detection diffraction grating into which the divided wavelength detection laser beam is incident, and a detection means for detecting wavelength fluctuation by detecting a change in the position of the laser beam due to a change in the diffraction angle in the wavelength detection diffraction grating. An optical scanning device comprising:
、回折格子の0次回折光であることを特徴とする請求項
1記載の光走査装置。(2) The optical scanning device according to claim 1, wherein the laser beam incident on the wavelength detection diffraction grating is 0th order diffracted light of the diffraction grating.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2153685A JPH0445410A (en) | 1990-06-12 | 1990-06-12 | optical scanning device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2153685A JPH0445410A (en) | 1990-06-12 | 1990-06-12 | optical scanning device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0445410A true JPH0445410A (en) | 1992-02-14 |
Family
ID=15567917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2153685A Pending JPH0445410A (en) | 1990-06-12 | 1990-06-12 | optical scanning device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0445410A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013011657A (en) * | 2011-06-28 | 2013-01-17 | Canon Inc | Image forming apparatus |
-
1990
- 1990-06-12 JP JP2153685A patent/JPH0445410A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013011657A (en) * | 2011-06-28 | 2013-01-17 | Canon Inc | Image forming apparatus |
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