JPH0446202Y2 - - Google Patents
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- JPH0446202Y2 JPH0446202Y2 JP1985107503U JP10750385U JPH0446202Y2 JP H0446202 Y2 JPH0446202 Y2 JP H0446202Y2 JP 1985107503 U JP1985107503 U JP 1985107503U JP 10750385 U JP10750385 U JP 10750385U JP H0446202 Y2 JPH0446202 Y2 JP H0446202Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moisture
- humidity
- sensitivity
- gas
- sensors
- Prior art date
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Description
【考案の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
この考案は、水分測定セルに関する。さらに詳
しくは、各種気体、液体、固体試料中に含有され
る水分を高精度、高確度に測定でき、例えば石油
化学工業用のプロセスガスやリサイクルガス、高
圧ボンベ、有機溶剤、石油などの中の水分濃度、
ことに微量の水分濃度を検出するのに好適な水分
測定セルに関する。
しくは、各種気体、液体、固体試料中に含有され
る水分を高精度、高確度に測定でき、例えば石油
化学工業用のプロセスガスやリサイクルガス、高
圧ボンベ、有機溶剤、石油などの中の水分濃度、
ことに微量の水分濃度を検出するのに好適な水分
測定セルに関する。
(ロ) 従来の技術
従来から各種媒体中ことに気体や液体中の水分
濃度を定量する方法として、カールフイツシヤー
法、ガスクロマトグラフイ、水分吸着による抵
抗、電気容量、重量等の物理的変化に基づいて水
分を検知する水分（湿度）センサを用いる方法、
赤外線加熱による重量変化を検知する方法などが
用途に応じて選択され実用されている。
濃度を定量する方法として、カールフイツシヤー
法、ガスクロマトグラフイ、水分吸着による抵
抗、電気容量、重量等の物理的変化に基づいて水
分を検知する水分（湿度）センサを用いる方法、
赤外線加熱による重量変化を検知する方法などが
用途に応じて選択され実用されている。
(ハ) 考案が解決しようとする問題点
これらのうち最も汎用されているのはカールフ
イツシヤー法であるが、かかる方法では、測定時
間が長く（通常、10〜20分）、微量水分測定では
多量（通常、50ｇ以上）の試料（気体の場合は吸
収液）を要し、さらにカールフイツシヤー試薬と
試料中の共存成分と化学反応を起したり吸湿性で
あるため微量水分測定の際に誤差が生じ易く測定
範囲が100μｇ〜105μｇ（H2Ｏ濃度で10ppm〜
100％wt／vol）に規制されるという問題点があ
つた。
イツシヤー法であるが、かかる方法では、測定時
間が長く（通常、10〜20分）、微量水分測定では
多量（通常、50ｇ以上）の試料（気体の場合は吸
収液）を要し、さらにカールフイツシヤー試薬と
試料中の共存成分と化学反応を起したり吸湿性で
あるため微量水分測定の際に誤差が生じ易く測定
範囲が100μｇ〜105μｇ（H2Ｏ濃度で10ppm〜
100％wt／vol）に規制されるという問題点があ
つた。
一方、湿度センサを用いる方法は、上記カール
フイツシヤー法に比して簡便な方法であるが、測
定対象系が限られかつ微量水分に対する感度や耐
久性の点で問題がある。
フイツシヤー法に比して簡便な方法であるが、測
定対象系が限られかつ微量水分に対する感度や耐
久性の点で問題がある。
この点に関し、本考案者らは、0.1μｇの水分量
（H2Ｏ濃度で1ppm程度）まで検出できる圧電型
（発振周波数検知型）の湿度センサを見出した
（特開昭59−24234号公報）。
（H2Ｏ濃度で1ppm程度）まで検出できる圧電型
（発振周波数検知型）の湿度センサを見出した
（特開昭59−24234号公報）。
しかしながら、かかる湿度センサは水分に対し
て安定で優れた感度を有するが、有機溶媒につい
ても感応性を有するため、共存物質として有機溶
媒を含む試料ガスを対象とした場合に測定精度や
確度が低下し易く、ことに微量分析の際に問題で
あつた。
て安定で優れた感度を有するが、有機溶媒につい
ても感応性を有するため、共存物質として有機溶
媒を含む試料ガスを対象とした場合に測定精度や
確度が低下し易く、ことに微量分析の際に問題で
あつた。
この考案は、かかる状況に鑑みなされたもので
あり、ことに有機溶媒を共存する気体試料や気化
試料中の微量水分を高精度、高確度に測定できる
水分測定セルを提供しようとするものである。
あり、ことに有機溶媒を共存する気体試料や気化
試料中の微量水分を高精度、高確度に測定できる
水分測定セルを提供しようとするものである。
(ニ) 問題点を解決するための手段及び作用
かくしてこの考案によれば、ガス導入口及び排
出口を備え、水分についての感度は異なるが有機
溶媒についての感度が実質的に同一の二つの湿度
センサを内蔵してなり、これらの両湿度センサの
出力差に基づいて導入ガス中の水分濃度を決定し
うる差動演算部を具備してなる水分測定セルが提
供される。
出口を備え、水分についての感度は異なるが有機
溶媒についての感度が実質的に同一の二つの湿度
センサを内蔵してなり、これらの両湿度センサの
出力差に基づいて導入ガス中の水分濃度を決定し
うる差動演算部を具備してなる水分測定セルが提
供される。
この考案の最も特徴とする点は、一つのセル内
に上記のごとき異なる特性を有する二つの湿度セ
ンサを内蔵させた点にある。このセル内に有機溶
媒を含むガスが導入されるとそれぞれの湿度セン
サでは、含有水分及び含有有機溶媒に対応する出
力が得られるが、有機溶媒についての出力は同一
であるので、これらに出力差は真の水分濃度に対
応することとなる。従つてこの減算によつて含有
有機溶媒による測定値への影響を除去することが
でき、適当な濃度変換フアクタを用いたり検量線
等により導入ガス中の水分濃度やガス化前の各種
試料中の水分量などを高精度、高確度に検出する
ことが可能となる。
に上記のごとき異なる特性を有する二つの湿度セ
ンサを内蔵させた点にある。このセル内に有機溶
媒を含むガスが導入されるとそれぞれの湿度セン
サでは、含有水分及び含有有機溶媒に対応する出
力が得られるが、有機溶媒についての出力は同一
であるので、これらに出力差は真の水分濃度に対
応することとなる。従つてこの減算によつて含有
有機溶媒による測定値への影響を除去することが
でき、適当な濃度変換フアクタを用いたり検量線
等により導入ガス中の水分濃度やガス化前の各種
試料中の水分量などを高精度、高確度に検出する
ことが可能となる。
この考案における二種の湿度センサは圧電素子
上にプラズマ重合膜をベースとする感湿膜を形成
させたものが好ましい。かかる湿度センサに上記
のごとき二種の特性を付与させる方法としては、
該プラズマ重合膜内に導入させる親水性基の量を
制御する方法が適している。プラズマ重合膜の表
面を化学処理することによつてアンモニウム基や
スルホネート基等の親水性基を導入することによ
り感湿膜が得られるが、この化学処理時間を調整
することによつて上記二つの特性をもつ二つの湿
度センサを得ることが可能である。ことに、圧電
素子板上に一対の電極を蒸着形成し、これを疎水
性有機化合物の蒸気下でプラズマ重合に付して、
これらの電極間又は少なくとも一つの電極上に高
分子膜を形成し、次いで有機アミノ化合物の蒸気
下でプラズマ重合に付して上記高分子膜上にアミ
ノ基含有高分子膜を形成させた後、ハロゲン化ア
ルキル蒸気中に保持して上記アミノ基含有高分子
膜中のアミノ基をアンモニウム塩型の親水性基に
変換する方法で湿度センサを製造し、この際のハ
ロゲン化アルキルによる処理時間を制御すること
により、有機溶媒に対して同一感度で水分に対し
て感度の異なる二種類の湿度センサを簡便に得ら
れる事実も見出された。かかる感湿膜は疎水性有
機化合物のプラズマ重合高分子層からなる内部層
と、その上に形成された有機アモノ化合物のプラ
ズマ重合によるアミノ基含有高分子層からなる表
面層とで基本構成され、かつ上記表面層のアミノ
基含有高分子層にはアミノ基の変換によるアンモ
ニウム塩型の親水性基が導入されてなるものであ
り、センサとしての応答性、耐久性などからも好
ましいものである。
上にプラズマ重合膜をベースとする感湿膜を形成
させたものが好ましい。かかる湿度センサに上記
のごとき二種の特性を付与させる方法としては、
該プラズマ重合膜内に導入させる親水性基の量を
制御する方法が適している。プラズマ重合膜の表
面を化学処理することによつてアンモニウム基や
スルホネート基等の親水性基を導入することによ
り感湿膜が得られるが、この化学処理時間を調整
することによつて上記二つの特性をもつ二つの湿
度センサを得ることが可能である。ことに、圧電
素子板上に一対の電極を蒸着形成し、これを疎水
性有機化合物の蒸気下でプラズマ重合に付して、
これらの電極間又は少なくとも一つの電極上に高
分子膜を形成し、次いで有機アミノ化合物の蒸気
下でプラズマ重合に付して上記高分子膜上にアミ
ノ基含有高分子膜を形成させた後、ハロゲン化ア
ルキル蒸気中に保持して上記アミノ基含有高分子
膜中のアミノ基をアンモニウム塩型の親水性基に
変換する方法で湿度センサを製造し、この際のハ
ロゲン化アルキルによる処理時間を制御すること
により、有機溶媒に対して同一感度で水分に対し
て感度の異なる二種類の湿度センサを簡便に得ら
れる事実も見出された。かかる感湿膜は疎水性有
機化合物のプラズマ重合高分子層からなる内部層
と、その上に形成された有機アモノ化合物のプラ
ズマ重合によるアミノ基含有高分子層からなる表
面層とで基本構成され、かつ上記表面層のアミノ
基含有高分子層にはアミノ基の変換によるアンモ
ニウム塩型の親水性基が導入されてなるものであ
り、センサとしての応答性、耐久性などからも好
ましいものである。
上記疎水性有機化合物としては、親水性基を有
していない種々の有機化合物が挙げられ、例えば
スチレン、ジビニルベンゼン等のビニル芳香族系
化合物やベンゼン、トルエン等の芳香族及びエチ
レン、プロピレン等の不飽和炭化水素等が挙げら
れる。これらは２種以上用いてもよい。また多層
構造とすることもできる。これらのうちプラズマ
重合が容易なスチレンを用いるのが好ましい。
していない種々の有機化合物が挙げられ、例えば
スチレン、ジビニルベンゼン等のビニル芳香族系
化合物やベンゼン、トルエン等の芳香族及びエチ
レン、プロピレン等の不飽和炭化水素等が挙げら
れる。これらは２種以上用いてもよい。また多層
構造とすることもできる。これらのうちプラズマ
重合が容易なスチレンを用いるのが好ましい。
上記有機アミノ化合物としては、ジアリルアミ
ン、ジアミルアミン、ジエチルアリルアミン、
Ｎ，Ｎ，N′，N′−テトラメチルヘキサンジアミ
ン等の少なくとも一つの直鎖状置換基を有するア
ミンやアニリン、ピリジン、フエネチルアミン等
の環状もしくは芳香族アミンが挙げられ、これ以
外にもトリエチルアミン、エチレンジアミン、ジ
エチレントリアミン、トリエチレンテトラミン等
が挙げられる。これらは２種以上組合せてもよ
い。これらのうちテトラメチルヘキサンジアミン
及びジエチルアリルアミン等の直鎖状置換基を有
する第３級アミンを用いるのが好ましい。
ン、ジアミルアミン、ジエチルアリルアミン、
Ｎ，Ｎ，N′，N′−テトラメチルヘキサンジアミ
ン等の少なくとも一つの直鎖状置換基を有するア
ミンやアニリン、ピリジン、フエネチルアミン等
の環状もしくは芳香族アミンが挙げられ、これ以
外にもトリエチルアミン、エチレンジアミン、ジ
エチレントリアミン、トリエチレンテトラミン等
が挙げられる。これらは２種以上組合せてもよ
い。これらのうちテトラメチルヘキサンジアミン
及びジエチルアリルアミン等の直鎖状置換基を有
する第３級アミンを用いるのが好ましい。
上記アモノ基含有高分子膜中のアミン基の化学
処理はハロゲン化アルキルの蒸気中に保持させて
行なうのが好ましい。この際のハロゲン化アルキ
ルとしては、モノハロゲン化低級アルキルを用い
るのが適当であり、その具体例としては、塩化メ
チル、塩化エチル、ヨウ化メチル、臭化メチル等
が挙げられる。かようなハロゲン化アルキル蒸気
との接触によりアミノ基含有高分子膜中に存在す
るアミノ基がアルキル化されて第４級アンモニウ
ム塩、第３アミン塩、第２アミン塩等のアンモニ
ウム塩型の親水性基に変換される。この接触は、
加温下で行なうことによつて反応を促進できる
が、常温で反応させてもよい。ハロゲン化アルキ
ル蒸気は常圧下約１／分程度の流量でアミノ基
含有高分子膜を形成したセンサーに接触するよう
に調整するのが好ましい。
処理はハロゲン化アルキルの蒸気中に保持させて
行なうのが好ましい。この際のハロゲン化アルキ
ルとしては、モノハロゲン化低級アルキルを用い
るのが適当であり、その具体例としては、塩化メ
チル、塩化エチル、ヨウ化メチル、臭化メチル等
が挙げられる。かようなハロゲン化アルキル蒸気
との接触によりアミノ基含有高分子膜中に存在す
るアミノ基がアルキル化されて第４級アンモニウ
ム塩、第３アミン塩、第２アミン塩等のアンモニ
ウム塩型の親水性基に変換される。この接触は、
加温下で行なうことによつて反応を促進できる
が、常温で反応させてもよい。ハロゲン化アルキ
ル蒸気は常圧下約１／分程度の流量でアミノ基
含有高分子膜を形成したセンサーに接触するよう
に調整するのが好ましい。
上記化学処理の時間による水分及び有機溶媒の
応答性の変化を第２図に示した。なお、使用した
各湿度センサは後述する実施例と同様にして作製
したものである。このように化学処理時間を調整
することによりまず水分に対する感度が変化して
いることが分る。これはプラズマ重合膜の表層に
導入される親水性基の量が増加する点に基づいて
いる。化学処理を２日以上行なつても感度が変化
していないのは導入される親水性基の量が飽和し
ていることを意味する。一方、有機溶媒に対する
感度は６時間以上化学処理しても変化は見られな
い。つまり、水分官能基（親水性基）の量に関係
なく感度は一定しており、水と有機溶媒の感湿膜
に対する吸着機構は全く異なるものと考えられ
る。従つて、かかる化学処理時間を変えることに
より有機溶媒に対して同一感度であり水に対して
低感度と高感度の二種の湿度センサが簡便に作製
できることとなる。
応答性の変化を第２図に示した。なお、使用した
各湿度センサは後述する実施例と同様にして作製
したものである。このように化学処理時間を調整
することによりまず水分に対する感度が変化して
いることが分る。これはプラズマ重合膜の表層に
導入される親水性基の量が増加する点に基づいて
いる。化学処理を２日以上行なつても感度が変化
していないのは導入される親水性基の量が飽和し
ていることを意味する。一方、有機溶媒に対する
感度は６時間以上化学処理しても変化は見られな
い。つまり、水分官能基（親水性基）の量に関係
なく感度は一定しており、水と有機溶媒の感湿膜
に対する吸着機構は全く異なるものと考えられ
る。従つて、かかる化学処理時間を変えることに
より有機溶媒に対して同一感度であり水に対して
低感度と高感度の二種の湿度センサが簡便に作製
できることとなる。
一般に、水晶振動板の物理特性はつぎのように
表現される。
表現される。
ここで、ΔfH2Ｏ、ΔfOを水分および有機溶媒
による周波数変化、ΔMH2Ｏ、ΔMOを水分およ
び有機溶媒の水晶板上の質量変化、ｆを共振周波
数、Arを水晶板の表面積、Ｐを圧電結晶密度、
Ｎを周波数定数とすると、次の関係が成立する。
による周波数変化、ΔMH2Ｏ、ΔMOを水分およ
び有機溶媒の水晶板上の質量変化、ｆを共振周波
数、Arを水晶板の表面積、Ｐを圧電結晶密度、
Ｎを周波数定数とすると、次の関係が成立する。
ΔfH2Ｏ／ｆ＝−ｆ・ΔMH2Ｏ／Ar・Ｐ・Ｎ
ΔfO／ｆ＝−ｆ・ΔMO／Ar・Ｐ・Ｎ
ここで、
Ｋ＝−f2／Ar・Ｐ・Ｎ
とおき、Δfを水分および有機溶媒合計の周波数
変化とすると次式を得る。
変化とすると次式を得る。
Δf＝ΔfH2Ｏ＋ΔfO
＝Ｋ・ΔMH2Ｏ＋Ｋ・ΔMO
本考案になる２つのセンサーａ，ｂについて
も、同様の関係式が成立するが、両者を区別する
ためａ，ｂを付記する。
も、同様の関係式が成立するが、両者を区別する
ためａ，ｂを付記する。
Δfa＝ΔfaH2Ｏ＋ΔfaＯ
Δfb＝ΔfbH2Ｏ＋ΔfbＯ
ここで、センサーａ，ｂの周波数変化の差であ
る両センサの出力差ΔΔfは次式で表される。
る両センサの出力差ΔΔfは次式で表される。
ΔΔf＝Δfa−Δfb
＝ΔfaH2Ｏ＋ΔfaＯ−（ΔfbH2Ｏ＋ΔfbＯ）
本考案のセンサは水分に対しは低感度（センサ
ａ）、高感度（センサｂ）と差があるが、有機溶
媒に対しては同一感度のものを適用するので、第
２項（有機溶媒の項）は消去できる。
ａ）、高感度（センサｂ）と差があるが、有機溶
媒に対しては同一感度のものを適用するので、第
２項（有機溶媒の項）は消去できる。
ΔfaＯ−ΔfbＯ≒０
結局、両センサの出力差ΔΔfは次のように簡単
に表せる。
に表せる。
ΔΔf＝ΔfaH2Ｏ−ΔfbH2Ｏ
となり、結果的に両センサの出力差を検知するこ
とにより、共存有機溶媒の影響を除去することが
でき、この出力差に基づいて検量線や濃度換算フ
アクタを設定しておくことにより、水分について
の高精度・高確度の測定を行なうことができる。
なお、両センサの水分応答性の差ができるだけ大
きなものを選択するのが精度の点で好ましい。
とにより、共存有機溶媒の影響を除去することが
でき、この出力差に基づいて検量線や濃度換算フ
アクタを設定しておくことにより、水分について
の高精度・高確度の測定を行なうことができる。
なお、両センサの水分応答性の差ができるだけ大
きなものを選択するのが精度の点で好ましい。
また、かかる二種のセンサは、応答性の点で、
ガス導入方向に対してその感湿面が平行となるよ
うに内蔵することが好ましい。
ガス導入方向に対してその感湿面が平行となるよ
うに内蔵することが好ましい。
(ホ) 実施例
第１図に示す１は、この考案の水分測定セルを
用いた湿度測定装置を示す。図において湿度測定
装置１は、キヤリアガス（窒素ガス）供給路３、
液体試料気化室（４；約250℃、内容積２ml）及
び水分測定セル２をこの順に管路接続してなる。
キヤリアガス供給路３にはモレキユラーシーブを
充填してなる乾燥器３１が備えられここでキヤリ
アガス中の水分は除去される。また、気化室４に
はインジエクシヨンポート４１が付設されこれを
通じてシリンジ４からの液体試料が気化室４内に
注入されそこでガス化されキヤリアガスで水分測
定セル２へと移送される。
用いた湿度測定装置を示す。図において湿度測定
装置１は、キヤリアガス（窒素ガス）供給路３、
液体試料気化室（４；約250℃、内容積２ml）及
び水分測定セル２をこの順に管路接続してなる。
キヤリアガス供給路３にはモレキユラーシーブを
充填してなる乾燥器３１が備えられここでキヤリ
アガス中の水分は除去される。また、気化室４に
はインジエクシヨンポート４１が付設されこれを
通じてシリンジ４からの液体試料が気化室４内に
注入されそこでガス化されキヤリアガスで水分測
定セル２へと移送される。
水分測定セル２は、周面にガス導入口２１及び
ガス排出口２２を対向して備えた円筒状容器（直
径18mm×高さ12mm）からなり、その内部には円板
状の二種の湿度センサａ及びｂが、ガスの導入方
向（矢印）に平行になるように間隔約８mmで並設
されている。湿度センサａは、9.022MHzの円板
状水晶発振子６の両面に金電極を形成しその上に
スチレンモノマー下でプラズマ重合（1torr下、
1KHz）を、続いてＮ，Ｎ，N′，N′−テトラメチ
ルヘキサンジアミン下でプラズマ重合（0.7torr
下、1KHz）を行なつて約0.7μｍのプラズマ重合
膜を形成させ、さらにその表面を塩化メチルガス
で６時間接触させてアンモニウム基を導入させた
感湿膜５を有する発振周波数検知型の湿度センサ
である。かかるセンサの水及び有機溶媒について
の感度は第２図ａのごとくである（図中、黒丸は
水0.5μ対する感度；白丸は無水プロパノール
10μに対する感度を示す）。一方、湿度センサ
ｂは塩化メチルガス化学処理時間を48時間に変え
る以外、センサａと同様な条件で作製したもので
その感度は第２図ｂのごとくである。
ガス排出口２２を対向して備えた円筒状容器（直
径18mm×高さ12mm）からなり、その内部には円板
状の二種の湿度センサａ及びｂが、ガスの導入方
向（矢印）に平行になるように間隔約８mmで並設
されている。湿度センサａは、9.022MHzの円板
状水晶発振子６の両面に金電極を形成しその上に
スチレンモノマー下でプラズマ重合（1torr下、
1KHz）を、続いてＮ，Ｎ，N′，N′−テトラメチ
ルヘキサンジアミン下でプラズマ重合（0.7torr
下、1KHz）を行なつて約0.7μｍのプラズマ重合
膜を形成させ、さらにその表面を塩化メチルガス
で６時間接触させてアンモニウム基を導入させた
感湿膜５を有する発振周波数検知型の湿度センサ
である。かかるセンサの水及び有機溶媒について
の感度は第２図ａのごとくである（図中、黒丸は
水0.5μ対する感度；白丸は無水プロパノール
10μに対する感度を示す）。一方、湿度センサ
ｂは塩化メチルガス化学処理時間を48時間に変え
る以外、センサａと同様な条件で作製したもので
その感度は第２図ｂのごとくである。
上記両センサａ，ｂの出力差に基づいて差動演
算部２３で導入ガス中の水分濃度の算出が行なわ
れる。すなわち、両センサａ，ｂの周波数変化は
周波数測定器２３１，２３１′及び差動アンプ２
３２によつてその差分だけが周波数／電圧変換器
２３３に出力されレコーダ２４に記録され、この
強度に基づいて水分濃度が決定される。この際、
周波数変化の差分は前記のごとく有機溶媒の影響
を受けない実質的に水分のみによるものとなる。
算部２３で導入ガス中の水分濃度の算出が行なわ
れる。すなわち、両センサａ，ｂの周波数変化は
周波数測定器２３１，２３１′及び差動アンプ２
３２によつてその差分だけが周波数／電圧変換器
２３３に出力されレコーダ２４に記録され、この
強度に基づいて水分濃度が決定される。この際、
周波数変化の差分は前記のごとく有機溶媒の影響
を受けない実質的に水分のみによるものとなる。
かかる装置において、実際に有機溶媒（プロパ
ノール）10μ中の水分を測定した際に得られる
ピークを第３図に示し、さらに第４図にこの装置
を用いて得られた検量線を例示した。
ノール）10μ中の水分を測定した際に得られる
ピークを第３図に示し、さらに第４図にこの装置
を用いて得られた検量線を例示した。
このように上記の水分測定セルを用いることに
より、導入ガス中に共存するプロパノールの影響
を受けることなく水分の濃度を高精度、高確度に
測定できることが分る。なお、他の有機溶媒（ア
セトン、エタノール、トリクレン）についても同
様であつた。
より、導入ガス中に共存するプロパノールの影響
を受けることなく水分の濃度を高精度、高確度に
測定できることが分る。なお、他の有機溶媒（ア
セトン、エタノール、トリクレン）についても同
様であつた。
(ヘ) 効果
この考案の水分測定セルによれば、有機溶媒の
共存する各種試料中、場合によつては有機溶媒中
の水分濃度や量を選択的に検出することができ
る。ことに従来、共存有機溶媒の存在により制限
されていた湿度センサによる定量限界を改善する
ものであり、微量水分（ppmオーダ）の測定、管
理用として有用である。
共存する各種試料中、場合によつては有機溶媒中
の水分濃度や量を選択的に検出することができ
る。ことに従来、共存有機溶媒の存在により制限
されていた湿度センサによる定量限界を改善する
ものであり、微量水分（ppmオーダ）の測定、管
理用として有用である。
第１図は、この考案の水分測定セルを用いた湿
度測定装置を例示する構成説明図、第２図は、こ
の考案に用いる湿度センサの感度を説明するため
のグラフ、第３図及び第４図はそれぞれこの考案
の水分測定セルによる水分応答性を説明するため
のグラフである。 ａ，ｂ……湿度センサ、２……水分測定セル、
５……感湿膜、６……水晶発振子、２１……ガス
導入口、２２……ガス排出口、２３……差動演算
部、２４……レコーダ。
度測定装置を例示する構成説明図、第２図は、こ
の考案に用いる湿度センサの感度を説明するため
のグラフ、第３図及び第４図はそれぞれこの考案
の水分測定セルによる水分応答性を説明するため
のグラフである。 ａ，ｂ……湿度センサ、２……水分測定セル、
５……感湿膜、６……水晶発振子、２１……ガス
導入口、２２……ガス排出口、２３……差動演算
部、２４……レコーダ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ ガス導入口及び排出口を備え、かつハロゲン
化アルキルによる処理時間の制御により有機溶
媒に対して同一感度で水分に対して感度の異な
る二種類のプラズマ重合感湿膜を形成してなる
湿度センサを内蔵し、これらの両湿度センサの
出力差に基づいて導入ガス中の水分濃度を決定
しうる差動演算部を具備してなる水分測定セ
ル。 ２ 二つの湿度センサが、ガスの導入方向に対し
てその感湿面が平行となるように内蔵されてな
る実用新案登録請求の範囲第１項記載の水分測
定セル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985107503U JPH0446202Y2 (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985107503U JPH0446202Y2 (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6216455U JPS6216455U (ja) | 1987-01-31 |
| JPH0446202Y2 true JPH0446202Y2 (ja) | 1992-10-29 |
Family
ID=30983845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985107503U Expired JPH0446202Y2 (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0446202Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10513088B2 (en) | 2015-01-09 | 2019-12-24 | Dsm Ip Assets B.V. | Lightweight laminates and plate-carrier vests and other articles of manufacture therefrom |
| US11090898B2 (en) | 2013-03-13 | 2021-08-17 | Dsm Ip Assets B.V. | Engineered composite systems |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5924234A (ja) * | 1982-07-31 | 1984-02-07 | Shimadzu Corp | 湿度センサ−及びその製造方法 |
| CH662421A5 (de) * | 1983-07-13 | 1987-09-30 | Suisse Horlogerie Rech Lab | Piezoelektrischer kontaminationsdetektor. |
| JPH0640056B2 (ja) * | 1984-11-27 | 1994-05-25 | 松下電器産業株式会社 | 湿度センサ |
-
1985
- 1985-07-12 JP JP1985107503U patent/JPH0446202Y2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11090898B2 (en) | 2013-03-13 | 2021-08-17 | Dsm Ip Assets B.V. | Engineered composite systems |
| US10513088B2 (en) | 2015-01-09 | 2019-12-24 | Dsm Ip Assets B.V. | Lightweight laminates and plate-carrier vests and other articles of manufacture therefrom |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6216455U (ja) | 1987-01-31 |
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