JPH0446859Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0446859Y2 JPH0446859Y2 JP1985201323U JP20132385U JPH0446859Y2 JP H0446859 Y2 JPH0446859 Y2 JP H0446859Y2 JP 1985201323 U JP1985201323 U JP 1985201323U JP 20132385 U JP20132385 U JP 20132385U JP H0446859 Y2 JPH0446859 Y2 JP H0446859Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- turntable
- groove
- substrate
- shaped
- shaped space
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、平滑な円板状乃至はドーナツ状の基
板の上面に溶液乃至は分散液を供給し、回転運動
によつて、所定の膜状構造を該基板上に形成させ
ることを目的として用いられるスピンコーターの
回転部分、即ちターンテーブルの構造に関するも
のである。
板の上面に溶液乃至は分散液を供給し、回転運動
によつて、所定の膜状構造を該基板上に形成させ
ることを目的として用いられるスピンコーターの
回転部分、即ちターンテーブルの構造に関するも
のである。
スピンコーターを用いて円板状乃至はドーナツ
状の基板に溶液乃至は分散液を回転塗布する場
合、ターンテーブル上に適当な方法で固定保持さ
れた基板の外周辺縁から、ターンテーブルの回転
数に応じて、溶液乃至は分散液が基板から離脱
し、液滴状或いは飛沫状となつてターンテーブル
を収容するケース内を飛行し、ケースの内壁に衝
突し、更に細分され、ケース内の空間に浮遊する
程度の微細なミストとなる。このように基板から
離脱した溶液乃至分散液の一部は、基板上に形成
されつつある膜の上に落下定着して、膜構造に好
ましくない斑点状の不均一部分を付与する結果と
なる。斯かる弊害に対する従来行われている対策
としては、ターンテーブルを収容するケース内を
排気し、生成したミストを気流と共にケース外に
除去する方法があるが、ターンテーブル上部の強
制対流によつて溶剤の蒸発を促進し、均一な膜形
成を妨げる場合が多かつた。
状の基板に溶液乃至は分散液を回転塗布する場
合、ターンテーブル上に適当な方法で固定保持さ
れた基板の外周辺縁から、ターンテーブルの回転
数に応じて、溶液乃至は分散液が基板から離脱
し、液滴状或いは飛沫状となつてターンテーブル
を収容するケース内を飛行し、ケースの内壁に衝
突し、更に細分され、ケース内の空間に浮遊する
程度の微細なミストとなる。このように基板から
離脱した溶液乃至分散液の一部は、基板上に形成
されつつある膜の上に落下定着して、膜構造に好
ましくない斑点状の不均一部分を付与する結果と
なる。斯かる弊害に対する従来行われている対策
としては、ターンテーブルを収容するケース内を
排気し、生成したミストを気流と共にケース外に
除去する方法があるが、ターンテーブル上部の強
制対流によつて溶剤の蒸発を促進し、均一な膜形
成を妨げる場合が多かつた。
本考案のターンテーブルは前記の様な問題点を
解決する目的で使用される。
解決する目的で使用される。
即ち、ターンテーブルの外周部に位置し、中心
に向かつて開口した溝状の空間部分を設け、該溝
状空間部分を、ターンテーブルが静止している時
及び回転している時に、溶液乃至分散液の３立方
センチメートル以上を保持し得るようにし、回転
塗布の操作中における、基板上に斑点状の不均一
部分を生成するミストの発生を防止することを可
能にしたものである。この溝状空間部分に保持し
得る溶液乃至は分散液の量は、塗布に使用する該
溶液乃至分散液の体積量に応じて決定され、機械
的な加工操作により容易に製作可能である。
に向かつて開口した溝状の空間部分を設け、該溝
状空間部分を、ターンテーブルが静止している時
及び回転している時に、溶液乃至分散液の３立方
センチメートル以上を保持し得るようにし、回転
塗布の操作中における、基板上に斑点状の不均一
部分を生成するミストの発生を防止することを可
能にしたものである。この溝状空間部分に保持し
得る溶液乃至は分散液の量は、塗布に使用する該
溶液乃至分散液の体積量に応じて決定され、機械
的な加工操作により容易に製作可能である。
本考案のターンテーブルは、基本的に円板状構
造を有し、その外周部に、底面部６と立ち上がり
部７及び立ち上がり部先端から円板の中心に向か
つて折り込まれた折込み部８から形成される、即
ち断面略コ字状の、円板の中心に向かつて開口し
た溝状の空間部分３を設け、折込み部８の下面は
基板１の位置よりも高く形成され、該溝状空間部
分を、静止時及び回転時に流動性を持つた液体の
３立方センチメートル以上を保持し得るようにし
た形状のものである。
造を有し、その外周部に、底面部６と立ち上がり
部７及び立ち上がり部先端から円板の中心に向か
つて折り込まれた折込み部８から形成される、即
ち断面略コ字状の、円板の中心に向かつて開口し
た溝状の空間部分３を設け、折込み部８の下面は
基板１の位置よりも高く形成され、該溝状空間部
分を、静止時及び回転時に流動性を持つた液体の
３立方センチメートル以上を保持し得るようにし
た形状のものである。
本考案の具体例を第１図及び第２図で説明す
る。
る。
第１図は外周部に溝状空間部分を設けた本考案
のターンテーブルの略示縦断面図であり、特に回
転塗布に供される基板の設定位置と溝状空間部分
の相対関係を示したものであり、第２図は従来使
用されているターンテーブルの構造を例示したも
のである。
のターンテーブルの略示縦断面図であり、特に回
転塗布に供される基板の設定位置と溝状空間部分
の相対関係を示したものであり、第２図は従来使
用されているターンテーブルの構造を例示したも
のである。
第１図においてr1，r2，r3，d1及びd2は、各々
の部分の寸法を示したもので、溝状空間部分３を 3000≦π×（r1 2−r2 2）×d1 3000≦π×（r1 2−r3 2）×d2 （式中、r1，r2，r3，d1，d2の単位はmmである）
の式を満足するように製作することによつて、液
体の３立方センチメートル以上を保持することが
できる。
の部分の寸法を示したもので、溝状空間部分３を 3000≦π×（r1 2−r2 2）×d1 3000≦π×（r1 2−r3 2）×d2 （式中、r1，r2，r3，d1，d2の単位はmmである）
の式を満足するように製作することによつて、液
体の３立方センチメートル以上を保持することが
できる。
第１図及び第２図においては、ターンテーブル
上に固定保持された基板１を示してあるが、その
保持のための吸着溝等は省略してある。
上に固定保持された基板１を示してあるが、その
保持のための吸着溝等は省略してある。
以下に本考案のターンテーブルの具体的使用例
を述べる。光記録用デイスクを製造するために、
直径120mm、厚さ1.2mmのポリカーボネート製デイ
スク基板に真空蒸着法によつてアルミニウム層を
設け、この上に色素及び硝化綿をブチルセロソル
ブ等の適当な溶媒に溶解した溶液をスピンコート
する。
を述べる。光記録用デイスクを製造するために、
直径120mm、厚さ1.2mmのポリカーボネート製デイ
スク基板に真空蒸着法によつてアルミニウム層を
設け、この上に色素及び硝化綿をブチルセロソル
ブ等の適当な溶媒に溶解した溶液をスピンコート
する。
本考案のターンテーブルの使用時、基板の外周
辺縁から離脱する溶液乃至は分散液は、ターンテ
ーブルの外周部の溝状空間部分３にたまり、ター
ンテーブルの回転数に応じて溝状空間部分の底面
４から側面５へと上昇し、側面５に液膜を形成す
る。このため、液滴状或いは飛沫状となつた溶液
等は、側面５に形成された液膜に衝突し、その表
面張力によつて側面５に形成された液膜に合一
し、二次的な飛沫の発生を抑制し、基板上の塗布
膜に回帰する微細なミストによる問題を解決する
ことができた。また塗布に使用した溶液等はター
ンテーブルの溝状部分にたまるので、これを吸引
によつて回収することも簡便に行なえるようにな
つた。
辺縁から離脱する溶液乃至は分散液は、ターンテ
ーブルの外周部の溝状空間部分３にたまり、ター
ンテーブルの回転数に応じて溝状空間部分の底面
４から側面５へと上昇し、側面５に液膜を形成す
る。このため、液滴状或いは飛沫状となつた溶液
等は、側面５に形成された液膜に衝突し、その表
面張力によつて側面５に形成された液膜に合一
し、二次的な飛沫の発生を抑制し、基板上の塗布
膜に回帰する微細なミストによる問題を解決する
ことができた。また塗布に使用した溶液等はター
ンテーブルの溝状部分にたまるので、これを吸引
によつて回収することも簡便に行なえるようにな
つた。
第１図及び第２図は各々本考案及び従来のター
ンテーブルの略示縦断面図を表し、併せて基板の
設定位置をも示している。 １……固定保持された基板、２……回転モータ
ーのスピンドルとの結合部、３……溝状空間部、
４……溝状空間部の底面、５……溝状空間部の側
面、６……底面部、７……立ち上がり部、８……
折込み部。
ンテーブルの略示縦断面図を表し、併せて基板の
設定位置をも示している。 １……固定保持された基板、２……回転モータ
ーのスピンドルとの結合部、３……溝状空間部、
４……溝状空間部の底面、５……溝状空間部の側
面、６……底面部、７……立ち上がり部、８……
折込み部。
Claims (1)
- 円板状構造を有するターンテーブルにおいて、
その外周部に、底面部６と立ち上がり部７及び立
ち上がり部先端から円板の中心に向かつて折り込
まれた折込み部８から形成される、円板の中心に
向かつて開口した溝状の空間部分３を設け、折込
み部８の下面は基板１の位置よりも高く形成さ
れ、該溝状空間部分３を、静止している時及び円
板状構造の中心点に立てた垂線を軸に回転してい
る時に、流動性を持つた液体の３立方センチメー
トル以上を保持し得るようにしてなるターンテー
ブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985201323U JPH0446859Y2 (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985201323U JPH0446859Y2 (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62109778U JPS62109778U (ja) | 1987-07-13 |
| JPH0446859Y2 true JPH0446859Y2 (ja) | 1992-11-05 |
Family
ID=31164665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985201323U Expired JPH0446859Y2 (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0446859Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57169474U (ja) * | 1981-04-17 | 1982-10-25 |
-
1985
- 1985-12-27 JP JP1985201323U patent/JPH0446859Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62109778U (ja) | 1987-07-13 |
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