JPH0447859U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0447859U JPH0447859U JP9067290U JP9067290U JPH0447859U JP H0447859 U JPH0447859 U JP H0447859U JP 9067290 U JP9067290 U JP 9067290U JP 9067290 U JP9067290 U JP 9067290U JP H0447859 U JPH0447859 U JP H0447859U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- furnace body
- section
- furnace
- evaporating
- Prior art date
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- Granted
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- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims description 2
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- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 1
- 150000001639 boron compounds Chemical class 0.000 description 1
Landscapes
- Tunnel Furnaces (AREA)
Description
第１図は本考案によるろう付け炉の一実施例を
示す断面図、第２図は第１図の部分的拡大図、第
３図は第２図−線に沿う断面図である。 １……炉本体、１ａ……加熱部、１ｂ，１ｂ…
…冷却部、２……処理ボツクス、２ａ……本体、
２ｂ……蓋体、２ｃ……吹き出しノズル、３……
、導管、４……ほう素含有雰囲気ガス生成装置、
６……ほう素化合物溶液。
示す断面図、第２図は第１図の部分的拡大図、第
３図は第２図−線に沿う断面図である。 １……炉本体、１ａ……加熱部、１ｂ，１ｂ…
…冷却部、２……処理ボツクス、２ａ……本体、
２ｂ……蓋体、２ｃ……吹き出しノズル、３……
、導管、４……ほう素含有雰囲気ガス生成装置、
６……ほう素化合物溶液。
Claims (1)
- 加熱部の前後に冷却筒を連設した炉本体と、被
処理物を収容し下部に排気穴を有し内部にガス吹
き出し部を有する移動自在な処理ボツクスと、炉
本体の外部にあつてほう素化合物溶液を蒸発して
ほう素含有ウエツトガスを生成供給する装置と、
前記ガス生成供給装置とガス吹き出し部を結ぶ導
管を備えたことを特徴とするろう付け炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9067290U JPH077020Y2 (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 | ろう付け炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9067290U JPH077020Y2 (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 | ろう付け炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0447859U true JPH0447859U (ja) | 1992-04-23 |
| JPH077020Y2 JPH077020Y2 (ja) | 1995-02-22 |
Family
ID=31825620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9067290U Expired - Lifetime JPH077020Y2 (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 | ろう付け炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH077020Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007077757A1 (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | 半田付け用の容器及び半導体装置の製造方法 |
-
1990
- 1990-08-31 JP JP9067290U patent/JPH077020Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007077757A1 (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | 半田付け用の容器及び半導体装置の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH077020Y2 (ja) | 1995-02-22 |