JPH0448262U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0448262U JPH0448262U JP9134590U JP9134590U JPH0448262U JP H0448262 U JPH0448262 U JP H0448262U JP 9134590 U JP9134590 U JP 9134590U JP 9134590 U JP9134590 U JP 9134590U JP H0448262 U JPH0448262 U JP H0448262U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- holder
- holding
- hole
- holding hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 27
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 8
- 229910001285 shape-memory alloy Inorganic materials 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案の第１実施例を示し
、第１図は第２図の−線拡大断面図、第２図
は基板ホルダの要部を示す正面図である。第３図
は第２実施例を示す第２図相当図である。第４図
は第３実施例を示す要部拡大断面図である。第５
図〜第７図は第４実施例を示し、第５図は基板ホ
ルダの正面図、第６図は第５図の−線拡大断
面図、第７図は同−線拡大断面図である。 Ａ，Ａ′……基板ホルダ、１，１′……ホルダ
本体、２，２′……基板保持孔、３……リング嵌
合溝、４……保持リング、４ａ……切除部、５…
…保持溝、１０……リブ、１１……基板受部（基
板受け手段）、１３……基板保持手段、１４……
保持クリツプ、１４ａ……係止部。
、第１図は第２図の−線拡大断面図、第２図
は基板ホルダの要部を示す正面図である。第３図
は第２実施例を示す第２図相当図である。第４図
は第３実施例を示す要部拡大断面図である。第５
図〜第７図は第４実施例を示し、第５図は基板ホ
ルダの正面図、第６図は第５図の−線拡大断
面図、第７図は同−線拡大断面図である。 Ａ，Ａ′……基板ホルダ、１，１′……ホルダ
本体、２，２′……基板保持孔、３……リング嵌
合溝、４……保持リング、４ａ……切除部、５…
…保持溝、１０……リブ、１１……基板受部（基
板受け手段）、１３……基板保持手段、１４……
保持クリツプ、１４ａ……係止部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 円形の貫通孔からなる基板保持孔が形成さ
れた板状のホルダ本体を備え、該ホルダ本体の基
板保持孔に円板状基板を固定保持して成膜するよ
うにした成膜装置の基板ホルダであつて、 上記ホルダ本体の基板保持孔の周囲面にはリン
グ嵌合溝が形成され、該リング嵌合溝には、一部
分が切除された略Ｃ字状の保持リングの外周部が
ホルダ本体に沿つて保持孔の半径方向に摺動可能
に嵌合され、該保持リングの内周面には基板を外
周から嵌合保持する保持溝が形成されており、 上記保持リングは温度上昇により基板を外周か
ら挟持するように変形する形状記憶合金で構成さ
れていることを特徴とする成膜装置の基板ホルダ
。 (2) 貫通孔からなる基板保持孔が形成された板
状のホルダ本体を備え、該ホルダ本体の基板保持
孔に基板を固定保持して成膜するようにした成膜
装置の基板ホルダであつて、 上記ホルダ本体の基板保持孔の周囲面には、保
持孔の中央に向かつて突出して基板の一側面の外
周縁に当接するリブと、基板の周縁部を受ける基
板受け手段と、該基板受け手段により支持された
基板が傾倒しないよう周縁部を保持する基板保持
手段とが設けられ、 上記基板保持手段は、基板保持孔の周囲縁部に
固定支持された少なくとも１つの保持クリツプか
らなり、 上記保持クリツプには、上記リブと所定間隔を
あけて対向するように基板保持孔の中央部に向か
つて突出しかつ基板の他側面の外周縁を上記リブ
に押圧して保持する係止部が設けられており、 上記保持クリツプは、温度上昇により係止部が
基板外周縁をリブに向かつて押圧するように変形
する形状記憶合金で構成されていることを特徴と
する成膜装置の基板ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9134590U JPH0448262U (ja) | 1990-08-30 | 1990-08-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9134590U JPH0448262U (ja) | 1990-08-30 | 1990-08-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0448262U true JPH0448262U (ja) | 1992-04-23 |
Family
ID=31826876
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9134590U Pending JPH0448262U (ja) | 1990-08-30 | 1990-08-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0448262U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007213730A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Tdk Corp | 基板保持装置及び磁気記録媒体の製造方法 |
-
1990
- 1990-08-30 JP JP9134590U patent/JPH0448262U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007213730A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Tdk Corp | 基板保持装置及び磁気記録媒体の製造方法 |
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