JPH0449018B2 - - Google Patents
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- JPH0449018B2 JPH0449018B2 JP1107897A JP10789789A JPH0449018B2 JP H0449018 B2 JPH0449018 B2 JP H0449018B2 JP 1107897 A JP1107897 A JP 1107897A JP 10789789 A JP10789789 A JP 10789789A JP H0449018 B2 JPH0449018 B2 JP H0449018B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- tunnel module
- blower
- module according
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
- F24F13/24—Means for preventing or suppressing noise
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Building Environments (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は請求項１の上位概念に記載のトンネル
モジユールに関する。
モジユールに関する。
例えばマイクロエレクトロニクス、精密器械工
学、光学、又は薬学に関する特定の生産過程で
は、クリーンルーム工学装置によつてもたらされ
る清潔な埃のない環境を必要としている。
学、光学、又は薬学に関する特定の生産過程で
は、クリーンルーム工学装置によつてもたらされ
る清潔な埃のない環境を必要としている。
いわゆる層流法においては、高度に濾過された
空気が、乱流の少ない押しのけ流れとなつてクリ
ーンルーム中を通過せしめられる。
空気が、乱流の少ない押しのけ流れとなつてクリ
ーンルーム中を通過せしめられる。
［従来の技術］
欧州特許出願公開第0202110号明細書に記載さ
れた層流法のクリーンルーム装置においては、第
６図に示すように、空気は、送風機１１２によつ
て加圧されて、構築物天井１０１と高性能フイル
ター１０３で構成された中間天井１０２との間の
室１１１内に吐出される。高性能フイルター１０
３によつて浄化された空気は、クリーンルーム１
０６を下に向かつて垂直に貫流し、床板１０５に
おいて吸引され、通路１０９及び側１１０を経て
送風機１１２に戻される。この設備においては、
クリーンルームを構成する工学装置部分は不動に
設置されており、新たな生産条件に迅速に適合さ
せることができない。
れた層流法のクリーンルーム装置においては、第
６図に示すように、空気は、送風機１１２によつ
て加圧されて、構築物天井１０１と高性能フイル
ター１０３で構成された中間天井１０２との間の
室１１１内に吐出される。高性能フイルター１０
３によつて浄化された空気は、クリーンルーム１
０６を下に向かつて垂直に貫流し、床板１０５に
おいて吸引され、通路１０９及び側１１０を経て
送風機１１２に戻される。この設備においては、
クリーンルームを構成する工学装置部分は不動に
設置されており、新たな生産条件に迅速に適合さ
せることができない。
多くの分野で生産条件が急速に変化しているの
で、新たなクリーンルームの迅速な構築、古いク
リーンルームの撤去、又は現存のクリーンルーム
の拡大、縮小を可能にするところの迅速に組み立
て・解体可能なクリーンルームシステムに関心が
集まつている。
で、新たなクリーンルームの迅速な構築、古いク
リーンルームの撤去、又は現存のクリーンルーム
の拡大、縮小を可能にするところの迅速に組み立
て・解体可能なクリーンルームシステムに関心が
集まつている。
このことからモジユールシステムが開発される
に至つた。その１つは、パンフレツト
“Reinraum−Technik fuer die Elektronik”
（Babcock−BSH Reinraum−Technik、6.86）
に記載されている。ページ004に示されたクリー
ンルームトンネルシステムは、任意の個数だけ並
べることができる移送可能なモジユールに関する
ものである。
に至つた。その１つは、パンフレツト
“Reinraum−Technik fuer die Elektronik”
（Babcock−BSH Reinraum−Technik、6.86）
に記載されている。ページ004に示されたクリー
ンルームトンネルシステムは、任意の個数だけ並
べることができる移送可能なモジユールに関する
ものである。
再生された上記のシステムの１つのトンネルモ
ジユールは、第７図に示すように、１つの上部分
２０１と２重壁２０２，２０３を備える両側壁と
から成る。この上部分２０１は、２つの戻し空気
取り入れ口２０８と１つの送風機２０７と上下に
位置する３つの室２０４，２０５，２０６とを備
える室ユニツトを有する。この場合下室２０６
は、高性能機械フイルター２０９の配置によつて
下側から制限されている。側壁の２重壁２０２，
２０３の間に戻された空気は、上室２０４、送風
機２０７及び中間室２０５を通過して両側から下
室２０６に供給され、そして高性能機械フイルタ
ー２０９を経てクリーンルーム２１０に供給され
る。
ジユールは、第７図に示すように、１つの上部分
２０１と２重壁２０２，２０３を備える両側壁と
から成る。この上部分２０１は、２つの戻し空気
取り入れ口２０８と１つの送風機２０７と上下に
位置する３つの室２０４，２０５，２０６とを備
える室ユニツトを有する。この場合下室２０６
は、高性能機械フイルター２０９の配置によつて
下側から制限されている。側壁の２重壁２０２，
２０３の間に戻された空気は、上室２０４、送風
機２０７及び中間室２０５を通過して両側から下
室２０６に供給され、そして高性能機械フイルタ
ー２０９を経てクリーンルーム２１０に供給され
る。
１つの室内へ両側から空気が供給されることは
望ましくない乱流を発生させ、これは例えば、動
圧から静圧への変換を妨げる。
望ましくない乱流を発生させ、これは例えば、動
圧から静圧への変換を妨げる。
クリーンルームにおける層流の前提条件は、高
性能機械フイルター後方の均質な速度分配であ
る。この均質な速度分配は、フイルターとの均等
な衝突によつて生ぜしめられる。
性能機械フイルター後方の均質な速度分配であ
る。この均質な速度分配は、フイルターとの均等
な衝突によつて生ぜしめられる。
高性能機械フイルターは、流動速度を大幅に減
少せしめる大きな空気抵抗を有する。それゆえ、
高性能機械フイルター前方（手前側）の空気流の
静圧だけが本質的に有効である。したがつて、層
流法では、高性能機械フイルター前方の室内にお
いて、可能なかぎり高い静圧を有する可能なかぎ
り乱流の少ない空気流を必要としている。
少せしめる大きな空気抵抗を有する。それゆえ、
高性能機械フイルター前方（手前側）の空気流の
静圧だけが本質的に有効である。したがつて、層
流法では、高性能機械フイルター前方の室内にお
いて、可能なかぎり高い静圧を有する可能なかぎ
り乱流の少ない空気流を必要としている。
乱流の少ない流れは、高性能機械フイルター前
方の室への片側からの空気供給によつて助長され
る。流れの静圧は、動圧から静圧への変換によつ
て増加可能である。
方の室への片側からの空気供給によつて助長され
る。流れの静圧は、動圧から静圧への変換によつ
て増加可能である。
このような変換は、空気を複数の室を有する室
ユニツト内に通して、それによつて流通速度を減
少せしめることにより達成される。動圧から静圧
への変換は、大きなエネルギー損失と送風機の高
いエネルギー需要をもたらす。
ユニツト内に通して、それによつて流通速度を減
少せしめることにより達成される。動圧から静圧
への変換は、大きなエネルギー損失と送風機の高
いエネルギー需要をもたらす。
同種構造のトンネルモジユールが、パンフレツ
ト“ias／Clean Room Tunnels，LVT Tunnel
Series ２（CRT−５−84）”において概略的に示
されている、第８図から判るように、このトンネ
ルモジユールの上部分３０１内には、２つの鏡像
的に対称に隣接配置されかつ中間壁３０３によつ
て仕切られた室ユニツトが存在する。
ト“ias／Clean Room Tunnels，LVT Tunnel
Series ２（CRT−５−84）”において概略的に示
されている、第８図から判るように、このトンネ
ルモジユールの上部分３０１内には、２つの鏡像
的に対称に隣接配置されかつ中間壁３０３によつ
て仕切られた室ユニツトが存在する。
２つの各室ユニツトは、２つの間仕切り板３０
４，３０５によつて分割されて上下に位置してい
る３つの室３０６，３０７，３０８と、１つの送
風機３０９と、１つの戻し空気口３１０を有す
る。この送風機３０９は、上部分３０１の片側に
おける上室３０６の前方の箱３１４内に存在し、
戻し空気口３１０はこの送風機３０９の箱３１４
に位置している。前記３つの室３０６，３０７，
３０８は、間仕切り板３０４，３０５の開口３１
１，３１２を介して互いに連通しており、この場
合、上方の間仕切り板３０４の開口３１１は戻し
空気口３１０側とは反対側に位置し、下方の間仕
切り板３０５の開口３１２は、戻し空気口３１０
側に位置している。
４，３０５によつて分割されて上下に位置してい
る３つの室３０６，３０７，３０８と、１つの送
風機３０９と、１つの戻し空気口３１０を有す
る。この送風機３０９は、上部分３０１の片側に
おける上室３０６の前方の箱３１４内に存在し、
戻し空気口３１０はこの送風機３０９の箱３１４
に位置している。前記３つの室３０６，３０７，
３０８は、間仕切り板３０４，３０５の開口３１
１，３１２を介して互いに連通しており、この場
合、上方の間仕切り板３０４の開口３１１は戻し
空気口３１０側とは反対側に位置し、下方の間仕
切り板３０５の開口３１２は、戻し空気口３１０
側に位置している。
下室３０８は、高性能フイルター３１３の配置
によつて下側から制限されている。
によつて下側から制限されている。
このトンネルモジユールでは、室３０６，３０
７，３０８への空気の供給が片側から行われるこ
とによつて、成程、乱流の少ない流れがえられ、
高性能フイルター３１３の前方（手前側）におい
て総圧における静圧の割合が高くなつている。し
かし空気をそれぞれ３つの室３０６，３０７，３
０８を通して圧送しなければならない送風機３０
９のエネルギー需要は著しく高い。さらに送風機
箱３１４が流れの障害になり、付加的なエネルギ
ー損失を生じる。
７，３０８への空気の供給が片側から行われるこ
とによつて、成程、乱流の少ない流れがえられ、
高性能フイルター３１３の前方（手前側）におい
て総圧における静圧の割合が高くなつている。し
かし空気をそれぞれ３つの室３０６，３０７，３
０８を通して圧送しなければならない送風機３０
９のエネルギー需要は著しく高い。さらに送風機
箱３１４が流れの障害になり、付加的なエネルギ
ー損失を生じる。
［発明が解決しようとしている課題］
本発明の課題は、クリーンルーム内の一様な速
度配分を可能な限り小さなエネルギー需要におい
て保証するところの、層流法のクリーンルームを
組み立てるためのトンネルモジユールを解決する
ことにある。
度配分を可能な限り小さなエネルギー需要におい
て保証するところの、層流法のクリーンルームを
組み立てるためのトンネルモジユールを解決する
ことにある。
［本発明の課題を解決するための手段］
この課題は、本発明によれば請求項１に記載の
特徴事項によつて解決される。
特徴事項によつて解決される。
請求項１の特徴事項により、高性能フイルター
前方の下室内において高い静圧が付与された乱流
の少ない空気流を発生させるための送風機は、本
質的に少ないエネルギーしか必要としない。中間
室内の戻し空気口と体面する側に送風機を配置し
たために、摩擦損失は本質的に小さくなる。上室
前方の送風機箱に基づく流動上の障害は回避され
る。上室を介して戻し空気を吸引しているため
に、送風機への空気流は均質である。
前方の下室内において高い静圧が付与された乱流
の少ない空気流を発生させるための送風機は、本
質的に少ないエネルギーしか必要としない。中間
室内の戻し空気口と体面する側に送風機を配置し
たために、摩擦損失は本質的に小さくなる。上室
前方の送風機箱に基づく流動上の障害は回避され
る。上室を介して戻し空気を吸引しているため
に、送風機への空気流は均質である。
請求項２に記載の、上室内に突入する吸い込み
ノズルを備える送風機の配置は、送風機のエネル
ギー需要を更に低減せしめる。
ノズルを備える送風機の配置は、送風機のエネル
ギー需要を更に低減せしめる。
請求項３の特徴事項の利点は、ロータが外側に
あつてその内側にステータがある構造のモーター
と後方に曲げられた羽根とを備える送風機の構造
によつて、エネルギー需要が更に低下することに
ある。ケーシングに基づく流動上の障害は回避さ
れる。
あつてその内側にステータがある構造のモーター
と後方に曲げられた羽根とを備える送風機の構造
によつて、エネルギー需要が更に低下することに
ある。ケーシングに基づく流動上の障害は回避さ
れる。
請求項４に記載された送風機の配置は、側壁に
対して比較的大きな間隔を置いた場合、又は前壁
と後壁の間に非対称に配置した場合と比べて、送
風機の効率を最大に高める。
対して比較的大きな間隔を置いた場合、又は前壁
と後壁の間に非対称に配置した場合と比べて、送
風機の効率を最大に高める。
請求項５の特徴事項の利点は、送風機の吸い込
みノズルへの空気流の誘導にある。
みノズルへの空気流の誘導にある。
請求項６の特徴事項は、送風機上方の上室内で
の空気流の均質化をもたらす。
の空気流の均質化をもたらす。
請求項７の特徴事項の利点は、送風機への空気
流の同時的な均質化と誘導にある。
流の同時的な均質化と誘導にある。
請求項８に記載の邪魔板によつて、下方の間仕
切り板の開口を通して導かれる空気の流れがさま
たげられ、この個所において、動圧から静圧への
変換が助成される。
切り板の開口を通して導かれる空気の流れがさま
たげられ、この個所において、動圧から静圧への
変換が助成される。
請求項９の特徴事項は、クリーンルーム内の騒
音レベルの有効な減少をもたらす。
音レベルの有効な減少をもたらす。
前記騒音レベルは、請求項１０に記載の、中間
の消音部材の配置によつて更に低下する。この消
音部材は、動圧から静圧への低損失の変換をも促
進する。
の消音部材の配置によつて更に低下する。この消
音部材は、動圧から静圧への低損失の変換をも促
進する。
請求項１１の特徴事項は、高性能フイルター前
方の室内の乱流の少ない有利な流動をもたらす。
方の室内の乱流の少ない有利な流動をもたらす。
準クリーンの外部域に据え付けられたトンネル
モジユールに対しては、いわゆる開放構造の請求
項１２の特徴事項が有利である。
モジユールに対しては、いわゆる開放構造の請求
項１２の特徴事項が有利である。
請求項１３の特徴事項は、調節された空気を必
要とする場合の開放構造のトンネルモジユールに
対して有利である。
要とする場合の開放構造のトンネルモジユールに
対して有利である。
汚染された外部域のトンネルモジユールに対し
ては、いわゆる密閉構造の請求項１４の特徴事項
が有利である。
ては、いわゆる密閉構造の請求項１４の特徴事項
が有利である。
請求項１５の特徴事項の利点は、トンネルモジ
ユールの簡単な構造にある。
ユールの簡単な構造にある。
請求項１６の特徴事項を備えるトンネルモジユ
ールは、幅の広いクリーンルームの構造に特徴に
適している。
ールは、幅の広いクリーンルームの構造に特徴に
適している。
［実施例］
図面は、簡単に示された実施例に基づいて本発
明を説明するために利用される。
明を説明するために利用される。
例 １
開放構造のトンネルモジユール
トンネルモジユールは、２つのＵ形材２によつ
て支持された上部分１と、２つの側壁３，４とか
らなる。
て支持された上部分１と、２つの側壁３，４とか
らなる。
上部分１は、直方体状であつて、１つの室ユニ
ツトを有している。この室ユニツトは、上部分１
の全幅にわたつて延びている。側壁５，６並びに
図面では見ることができない図示平面に対して平
行な前壁及び後壁は、縁を曲げられた金属板で構
成されている。上部分１は、２つの間仕切り板
７，８によつて、３層状に上下に位置する３つの
平坦な室９，１０，１１に分割されている。上室
９及び中間室１０の高さは、ほぼ同じである。下
室１１の高さは、中間室９の高さのほぼ２分の１
である。各室９，１０，１１は、間仕切り板７，
８の相異なる側に配設された開口１２，１３によ
つて互いに接続されている。
ツトを有している。この室ユニツトは、上部分１
の全幅にわたつて延びている。側壁５，６並びに
図面では見ることができない図示平面に対して平
行な前壁及び後壁は、縁を曲げられた金属板で構
成されている。上部分１は、２つの間仕切り板
７，８によつて、３層状に上下に位置する３つの
平坦な室９，１０，１１に分割されている。上室
９及び中間室１０の高さは、ほぼ同じである。下
室１１の高さは、中間室９の高さのほぼ２分の１
である。各室９，１０，１１は、間仕切り板７，
８の相異なる側に配設された開口１２，１３によ
つて互いに接続されている。
上室９は、側壁６に戻し空気口１４を有してい
る。上方の間仕切り板７の開口１２は、向かい側
の側壁５の近傍に存在する。下方の間仕切り板８
の開口１３は〓間であつて、同〓間は、戻し空気
口１４を有する側壁６に完全に達していない下方
の間仕切り板８の縁部と側壁６との間に設けられ
ている。
る。上方の間仕切り板７の開口１２は、向かい側
の側壁５の近傍に存在する。下方の間仕切り板８
の開口１３は〓間であつて、同〓間は、戻し空気
口１４を有する側壁６に完全に達していない下方
の間仕切り板８の縁部と側壁６との間に設けられ
ている。
下室１１は、タイル状に並置されかつ格子状の
枠体内に掛け止めされた６個の高性能機械フイル
ター１５によつて、下方に対して境界づけられ
る。この６個の高性能機械フイルター１５はそれ
ぞれ前後に２個、横に３個並べて配置されてい
る。この高性能機械フイルター１５には、乾燥ガ
スケツト及び液密ガスケツトが備えられている。
枠体内に掛け止めされた６個の高性能機械フイル
ター１５によつて、下方に対して境界づけられ
る。この６個の高性能機械フイルター１５はそれ
ぞれ前後に２個、横に３個並べて配置されてい
る。この高性能機械フイルター１５には、乾燥ガ
スケツト及び液密ガスケツトが備えられている。
中間室１０内には送風機１６が存在し、同送風
機の吸い込みノズル１７は上方の間仕切り板７の
開口１２に位置し、そして同送風機は上方の間仕
切り板７に固定されている。送風機１６は、ロー
タが外側にあつてその内側にステータがある構造
のモーター１８を備える、ケーシングのない半径
流送風機として構成され、そして後方に曲げらえ
た羽根１９を有している。送風機の軸線２０に最
も近い側壁５と同軸線との距離は、送風機１６の
直径の約0.8倍に相当する。送風機の軸線２０は
前壁と後壁の中間に位置する。
機の吸い込みノズル１７は上方の間仕切り板７の
開口１２に位置し、そして同送風機は上方の間仕
切り板７に固定されている。送風機１６は、ロー
タが外側にあつてその内側にステータがある構造
のモーター１８を備える、ケーシングのない半径
流送風機として構成され、そして後方に曲げらえ
た羽根１９を有している。送風機の軸線２０に最
も近い側壁５と同軸線との距離は、送風機１６の
直径の約0.8倍に相当する。送風機の軸線２０は
前壁と後壁の中間に位置する。
上室９において、カバー２１及び上方の間仕切
り板７は、側壁６から吸い込みノズル１７の近傍
まで延びる消音部材２２によつて覆われている。
それぞれの消音部材２２の厚さは、上室９の高さ
のほぼ３分の１であり、その結果同消音部材の間
には、その高さが同様に室の高さの３分の１であ
るところの〓間が残る。吸い込みノズル１７の上
部のカバー２１には、送風機を保守するためのキ
ヤツプによつて閉鎖された開口が存在している。
り板７は、側壁６から吸い込みノズル１７の近傍
まで延びる消音部材２２によつて覆われている。
それぞれの消音部材２２の厚さは、上室９の高さ
のほぼ３分の１であり、その結果同消音部材の間
には、その高さが同様に室の高さの３分の１であ
るところの〓間が残る。吸い込みノズル１７の上
部のカバー２１には、送風機を保守するためのキ
ヤツプによつて閉鎖された開口が存在している。
前壁及び後壁に対して平行な整流板２３が、吸
い込みノズル１７の上方を横切つている。この整
流板は、両側において吸い込みノズル１７を若干
越えて突出し、そして吸い込みノズル１７の戻し
空気口１４側において消音部材２２の直前で終了
している。
い込みノズル１７の上方を横切つている。この整
流板は、両側において吸い込みノズル１７を若干
越えて突出し、そして吸い込みノズル１７の戻し
空気口１４側において消音部材２２の直前で終了
している。
前壁と後壁の間で２つの流入板２４が延びてお
り、同流入板２４は、一端側では消音部材２２間
の〓間内に達しており、他端側では下方に向けて
曲げられて、吸い込みノズル１７に直接達してい
る。前記〓間内で、両流入板２４は中心において
互いに隣接し、そしてその後整流板２３に隣接す
る。消音部材２２間の〓間内では、流入板２４は
同〓間の高さのほぼ３分の１のところにある。吸
い込みノズル１７上の流入板２４の縁部と送風機
の軸線２０との間隔は、吸い込みノズル１７の直
径の約10％である。
り、同流入板２４は、一端側では消音部材２２間
の〓間内に達しており、他端側では下方に向けて
曲げられて、吸い込みノズル１７に直接達してい
る。前記〓間内で、両流入板２４は中心において
互いに隣接し、そしてその後整流板２３に隣接す
る。消音部材２２間の〓間内では、流入板２４は
同〓間の高さのほぼ３分の１のところにある。吸
い込みノズル１７上の流入板２４の縁部と送風機
の軸線２０との間隔は、吸い込みノズル１７の直
径の約10％である。
中間室１０を限定する２つの間仕切り板７，８
には、同中間室１０内において、消音部材２５が
取り付けられており、同消音部材は、送風機１６
から側壁６に向かつて延びて、中間室１０の中央
部まで達している。消音部材の厚さ及び同消音部
材の中間に残存する〓間の厚さは、それぞれ室の
高さの約３分の１である。
には、同中間室１０内において、消音部材２５が
取り付けられており、同消音部材は、送風機１６
から側壁６に向かつて延びて、中間室１０の中央
部まで達している。消音部材の厚さ及び同消音部
材の中間に残存する〓間の厚さは、それぞれ室の
高さの約３分の１である。
中間室１０の側壁６側の残りの半分における両
間仕切り板７，８には、同様に消音部材２６が設
けられている。この消音部材の厚さは、室の高さ
の約６分の１しかない。室の高さの約３分の１の
厚さの別の中間の消音部材２７が、前記両消音部
材２６の中間に存在する。この中間の消音部材２
７の上下には、それぞれ室の高さの約６分の１の
高さの〓間が残されている。この両〓間は、中間
室１０の送風機１６側半分における前記消音部材
２５間の〓間に続いており、その結果〓間の横断
面は音叉の形に似ている。
間仕切り板７，８には、同様に消音部材２６が設
けられている。この消音部材の厚さは、室の高さ
の約６分の１しかない。室の高さの約３分の１の
厚さの別の中間の消音部材２７が、前記両消音部
材２６の中間に存在する。この中間の消音部材２
７の上下には、それぞれ室の高さの約６分の１の
高さの〓間が残されている。この両〓間は、中間
室１０の送風機１６側半分における前記消音部材
２５間の〓間に続いており、その結果〓間の横断
面は音叉の形に似ている。
中間の消音部材２７の側壁６側端部には、消音
部材２７から下方の間仕切り板８の開口１３の中
心を通つて下室１１内に延びるとともに前壁から
後壁まで達するところのそらせ板２８が取り付け
られている。このそらせ板２８の縁部は、下室１
１のほぼ２分の１の高さにおいて下方の間仕切り
板８の下方へ水平に突き出ている。
部材２７から下方の間仕切り板８の開口１３の中
心を通つて下室１１内に延びるとともに前壁から
後壁まで達するところのそらせ板２８が取り付け
られている。このそらせ板２８の縁部は、下室１
１のほぼ２分の１の高さにおいて下方の間仕切り
板８の下方へ水平に突き出ている。
側壁６には、下室１１のほぼ40％の高さにおい
て、前壁から後壁に達する細長い板状の邪魔板２
９が設けられている。この邪魔板２９は、下方の
間仕切り板８の開口１３の下方において下室１１
内に水平に突き出ている。邪魔板２９の縁部とそ
らせ板２８との間隔は、下室１１の高さの約半分
である。
て、前壁から後壁に達する細長い板状の邪魔板２
９が設けられている。この邪魔板２９は、下方の
間仕切り板８の開口１３の下方において下室１１
内に水平に突き出ている。邪魔板２９の縁部とそ
らせ板２８との間隔は、下室１１の高さの約半分
である。
予備フイルター３０と水冷式空気冷却器３１は
戻し空気口１４の前方で鉛直線に対して鋭角に傾
斜して、側壁６に固定されている。この空気冷却
器３１と予備フイルター３０はサンドイツチ状に
互いに重ねて配置されており、この場合予備フイ
ルター３０は外側にある。両者は側壁６の全幅に
わたつて延びている。
戻し空気口１４の前方で鉛直線に対して鋭角に傾
斜して、側壁６に固定されている。この空気冷却
器３１と予備フイルター３０はサンドイツチ状に
互いに重ねて配置されており、この場合予備フイ
ルター３０は外側にある。両者は側壁６の全幅に
わたつて延びている。
トンネルモジユールの側壁３，４の底部近傍に
は排気口３２，３３が存在する。
は排気口３２，３３が存在する。
空気の流通方向は、矢印によつて示されてい
る。上室９と中間室１０の自由な内部空間は、ヘ
アピン状の空気通路を構成している。中間室１０
の領域において、空気通路は中間の消音部材２７
によつて分岐されている。この分岐した通路は、
そらせ板２８により、下方の間仕切り板８の開口
１３内及び下室１１のそれに続く小領域におい
て、継続している。
る。上室９と中間室１０の自由な内部空間は、ヘ
アピン状の空気通路を構成している。中間室１０
の領域において、空気通路は中間の消音部材２７
によつて分岐されている。この分岐した通路は、
そらせ板２８により、下方の間仕切り板８の開口
１３内及び下室１１のそれに続く小領域におい
て、継続している。
第２図は、開放構造の４つのトンネルモジユー
ルの配置を示す。トンネルモジユールは、向きを
交互に変えて連続配置されている。この場合送風
機１６は、連続するトンネルモジユール内におい
て、配置の左右両側に交互に存在する。トンネル
モジユールは、Ｕ形材２において互いにボルト締
めされている。この配置は前後において前壁３４
及び後壁３５によつて限定されている。第２図に
おいて表示された矢印は、上室９の高さの空気の
流通方向を表わしている。
ルの配置を示す。トンネルモジユールは、向きを
交互に変えて連続配置されている。この場合送風
機１６は、連続するトンネルモジユール内におい
て、配置の左右両側に交互に存在する。トンネル
モジユールは、Ｕ形材２において互いにボルト締
めされている。この配置は前後において前壁３４
及び後壁３５によつて限定されている。第２図に
おいて表示された矢印は、上室９の高さの空気の
流通方向を表わしている。
運転に際して、空気は、外部域から予備フイル
ター３０、冷却器３１、戻し空気口１４そして上
室９を経て、送風機１６によつて吸い込まれ、次
いで中間室１０及び下室１１を経て高性能機械フ
イルター１５を通過してクリーンルームに送られ
る。この浄化された空気は、クリーンルームを層
状に貫流し、そして排気口３２，３３を通つてク
リーンルームを離れる。
ター３０、冷却器３１、戻し空気口１４そして上
室９を経て、送風機１６によつて吸い込まれ、次
いで中間室１０及び下室１１を経て高性能機械フ
イルター１５を通過してクリーンルームに送られ
る。この浄化された空気は、クリーンルームを層
状に貫流し、そして排気口３２，３３を通つてク
リーンルームを離れる。
例 ２
密閉構造のトンネルモジユール
第３図に示された密閉構造のトンネルモジユー
ルは、以下の点を除いて例１のトンネルモジユー
ルと一致している。
ルは、以下の点を除いて例１のトンネルモジユー
ルと一致している。
トンネルモジユールの側壁３，４の前方には２
重壁３６，３７が存在する。この２重壁は、上部
においては、両側で中間室１０及び下室１１を越
えて突出している上室９をもつて終了している。
戻し空気口１４側に存在する、側壁４と２重壁３
７間の〓間は、戻し空気口１４を介して上室９と
連通している。この〓間の幅は、上室９の消音部
材２２間に設けられた〓間の幅とほぼ同じであ
る。トンネルモジユールの側壁３，４と２重壁３
６，３７間の〓間は、底部近傍において排気口３
２，３３を介してクリーンルームと連通してい
る。送風機１６側の〓間は、上部分１の室ユニツ
トに対して閉鎖されている。
重壁３６，３７が存在する。この２重壁は、上部
においては、両側で中間室１０及び下室１１を越
えて突出している上室９をもつて終了している。
戻し空気口１４側に存在する、側壁４と２重壁３
７間の〓間は、戻し空気口１４を介して上室９と
連通している。この〓間の幅は、上室９の消音部
材２２間に設けられた〓間の幅とほぼ同じであ
る。トンネルモジユールの側壁３，４と２重壁３
６，３７間の〓間は、底部近傍において排気口３
２，３３を介してクリーンルームと連通してい
る。送風機１６側の〓間は、上部分１の室ユニツ
トに対して閉鎖されている。
下室１１は、８個の高性能機械フイルター１５
によつて下方に対して境界づけられており、この
場合それぞれ２個が前後に、そして４個が並列し
て配置されている。
によつて下方に対して境界づけられており、この
場合それぞれ２個が前後に、そして４個が並列し
て配置されている。
ここに示された例２は、層流を維持するために
4.5ｍ以上の幅を必要とする通気性の２重底を有
する。排気口３２，３３は２重底３８の下方に存
在する。
4.5ｍ以上の幅を必要とする通気性の２重底を有
する。排気口３２，３３は２重底３８の下方に存
在する。
第４図は、向きを交互に変えて連続して配置さ
れた密閉構造の３つのトンネルモジユールを示
す。この３つのトンネルモジユールの配置は、前
後において前壁３９及び後壁４０によつて限定さ
れている。側壁３，４と２重壁３６，３７間の１
側において互いに隣接している〓間は、互いに連
通している。矢印は、上室９の高さにおける空気
の流通方向を表わしている。
れた密閉構造の３つのトンネルモジユールを示
す。この３つのトンネルモジユールの配置は、前
後において前壁３９及び後壁４０によつて限定さ
れている。側壁３，４と２重壁３６，３７間の１
側において互いに隣接している〓間は、互いに連
通している。矢印は、上室９の高さにおける空気
の流通方向を表わしている。
運転に際して、空気は、２重底３８を通過し、
同２重底３８の下方において両側の排気口３２，
３３へ向かつて流れ、そして排気口３２，３３を
通過して、側壁３，４と２重壁３６，３７間の前
記互いに連通している〓間内に流入する。空気
は、前記〓間から、同〓間と連通している戻し空
気口１４を経て、トンネルモジユールの室ユニツ
ト内に吸い込まれ、同室ユニツトを介して移送さ
れ浄化されて、クリーンルームに再び供給され
る。
同２重底３８の下方において両側の排気口３２，
３３へ向かつて流れ、そして排気口３２，３３を
通過して、側壁３，４と２重壁３６，３７間の前
記互いに連通している〓間内に流入する。空気
は、前記〓間から、同〓間と連通している戻し空
気口１４を経て、トンネルモジユールの室ユニツ
ト内に吸い込まれ、同室ユニツトを介して移送さ
れ浄化されて、クリーンルームに再び供給され
る。
第４図に示された３つのトンネルモジユールの
配置において、左側の〓間の空気は、中央のトン
ネルモジユールの室システム内に吸い込まれ、そ
して右側の〓間の空気は、前後のトンネルモジユ
ールの室ユニツト内に吸い込まれる。
配置において、左側の〓間の空気は、中央のトン
ネルモジユールの室システム内に吸い込まれ、そ
して右側の〓間の空気は、前後のトンネルモジユ
ールの室ユニツト内に吸い込まれる。
例 ３
２つの室ユニツトを備えたトンネルモジユール
第５図は、例３の４つの前後に位置するトンネ
ルモジユールの配置を示す。
ルモジユールの配置を示す。
例３のトンネルモジユールは、例２のトンネル
モジユールと次の点で相違している。即ち、例３
のトンネルモジユールにおいては、中央壁４１に
よつて分割された２つの室システムは、鏡像的に
並列して配置されている。トンネルモジユールの
両室ユニツトは、中央壁４１において、送風機１
６が存在する側をもつて互いに向かい合つてい
る。戻し空気口１４は、それに対応してトンネル
モジユールの両側に存在する。
モジユールと次の点で相違している。即ち、例３
のトンネルモジユールにおいては、中央壁４１に
よつて分割された２つの室システムは、鏡像的に
並列して配置されている。トンネルモジユールの
両室ユニツトは、中央壁４１において、送風機１
６が存在する側をもつて互いに向かい合つてい
る。戻し空気口１４は、それに対応してトンネル
モジユールの両側に存在する。
４つのトンネルモジユールのこの配置は、前壁
４２及び後壁４３によつて限定されている。
４２及び後壁４３によつて限定されている。
トンネルモジユールの側壁３，４と２重壁３
６，３７の間の１側において互いに隣接している
〓間は、相互に連通している。第５図の矢印は、
上室９の高さにおける空気の流通方向を表わして
いる。
６，３７の間の１側において互いに隣接している
〓間は、相互に連通している。第５図の矢印は、
上室９の高さにおける空気の流通方向を表わして
いる。
運転に際して、排気口３２，３３から流出した
空気は、トンネルモジユールの両側において、側
壁３，４と２重壁３６，３７間の〓間を通つて、
互いに分割された室ユニツト内に吸い込まれ、同
室ユニツトを介して移送され浄化されて、クリー
ンルームに再び供給される。
空気は、トンネルモジユールの両側において、側
壁３，４と２重壁３６，３７間の〓間を通つて、
互いに分割された室ユニツト内に吸い込まれ、同
室ユニツトを介して移送され浄化されて、クリー
ンルームに再び供給される。
第１図は予備フイルターと冷却器を備える開放
構造のトンネルモジユールの断面図、第２図は開
放構造のトンネルモジユールの配置を示す図、第
３図は密閉構造の例を示す図、第４図は密閉構造
の３つのトンネルモジユールの配置を示す図、第
５図は２つの室ユニツトを備える複数のトンネル
モジユールの配置を示す図、第６図、第７図及び
第８図はそれぞれ本発明の従来技術を示す図であ
る。 １……上部分、３，４……側壁、５……室ユニ
ツトの側壁、７，８……間仕切り板、９……上
室、１０……中間室、１１……下室、１２，１３
……開口、１４……戻し空気口、１５……高性能
機械フイルター、１６……送風機、１７……吸い
込みノズル、１８……モーター、１９……羽根、
２０……送風機の軸線、２２，２５，２６，２７
……消音部材、２３……整流板、２４……流入
板、２８……そらせ板、２９……邪魔板、３０…
…予備フイルター、３１……冷却器、３６，３７
……２重壁。
構造のトンネルモジユールの断面図、第２図は開
放構造のトンネルモジユールの配置を示す図、第
３図は密閉構造の例を示す図、第４図は密閉構造
の３つのトンネルモジユールの配置を示す図、第
５図は２つの室ユニツトを備える複数のトンネル
モジユールの配置を示す図、第６図、第７図及び
第８図はそれぞれ本発明の従来技術を示す図であ
る。 １……上部分、３，４……側壁、５……室ユニ
ツトの側壁、７，８……間仕切り板、９……上
室、１０……中間室、１１……下室、１２，１３
……開口、１４……戻し空気口、１５……高性能
機械フイルター、１６……送風機、１７……吸い
込みノズル、１８……モーター、１９……羽根、
２０……送風機の軸線、２２，２５，２６，２７
……消音部材、２３……整流板、２４……流入
板、２８……そらせ板、２９……邪魔板、３０…
…予備フイルター、３１……冷却器、３６，３７
……２重壁。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ２つの側壁３，４と、少なくとも１つの室ユ
ニツトを備える上部分１とから成る層流方式のク
リーンルームを構成するためのトンネルモジユー
ルであつて、 前記室ユニツトは、２つの間仕切り板７，８に
よつて分割されかつ互いに上下に位置している３
つの室９，１０，１１と、１つの送風機１６と、
１つの戻し空気口１４とを有しており、 この場合前記３つの室９，１０，１１は、前記
間仕切り板７，８の、相異なる側に配置された開
口１２，１３を介して互いに連通しており、 前記上方の間仕切り板７の前記開口１２と前記
戻し空気口１４は、前記室ユニツトの相対してい
る両側部に存在しており、 前記下室１１は、高性能フイルター１５によつ
て下方に対して限定されている、トンネルモジユ
ールにおいて、 前記送風機１６は、前記中間室１０内におい
て、前記上方の間仕切り板７の開口１２の下方に
配置されていることを特徴とするトンネルモジユ
ール。 ２ 前記送風機１６の吸い込みノズル１７は、前
記上方の間仕切り板７の前記開口１２を通過して
前記上室９内に突入していることを特徴とする請
求項１記載のトンネルモジユール。 ３ 前記送風機１６は、ロータが外側にあつてそ
の内側にステータがある構造のモーター１８と後
方に曲げられた羽根１９とを備えるケーシングの
ない半径流送風機であることを特徴とする請求項
１又は２記載のトンネルモジユール。 ４ 前記送風機１６の軸線２０は、該送風機の直
径の0.75〜0.85倍だけ前記室ユニツトに一方の側
壁５から離れた、該室ユニツトの前壁と後壁間の
中心にあることを特徴とする請求項１から３まで
のいずれか１項記載のトンネルモジユール。 ５ 前記吸い込みノズル１７の上方の前記上室９
内に、前記戻し空気口１４に向かう側に、前記室
ユニツトの前記前壁及び前記後壁に対して垂直
に、少なくとも１つの流入板２４が、前記上室９
の高さの25〜45％の高さにおいて存在しており、 この場合前記流入板２４は、前記送風機１６の
前記軸線２０の近傍において下向きに丸められる
とともに、前記吸い込みノズル１７付近まで接近
することを特徴とする請求項２から４までのいず
れか１項記載のトンネルモジユール。 ６ 前記上室９内において、前記吸い込みノズル
１７の上を横切つて、前記室ユニツトの前記前壁
及び前記後壁に対して平行に整流板２３が取り付
けられていることを特徴とする請求項２から５ま
でのいずれか１項記載のトンネルモジユール。 ７ ２つの流入板２４が存在しており、この場合
一方の流入板は、前記整流板２３と前記室ユニツ
トの前記前壁との間で延びており、他方の流入板
は、前記整流板２３と前記室ユニツトの前記後壁
との間で延びていることを特徴とする請求項６記
載のトンネルモジユール。 ８ 前記下方の間仕切り板８の前記開口１３の下
方の、前記高性能フイルター１５の上方におい
て、邪魔板２９が前記下室１１内に突入している
ことを特徴とする請求項１から７までのいずれか
１項記載のトンネルモジユール。 ９ 前記上室９内においてはカバー２１と前記上
方の間仕切り板７が、そして前記中間室１０内に
おいては前記両方の間仕切り板７，８が消音部材
２２，２５，２６によつて覆われていることを特
徴とする請求項１から８までのいずれか１項記載
のトンネルモジユール。 １０ 前記中間室１０の、前記送風機１６と反対
側の半分領域において、前記消音部材２６の間に
中間の消音部材２７が取り付けられており、この
場合前記半分領域の前記消音部材２６の厚さは、
前記送風機１６に面した半分領域の前記消音部材
の厚さの約半分であり、前記中間の消音部材２７
は、前記下方の間仕切り板８の前記開口１３上に
半分突き出ていることを特徴とする請求項９記載
のトンネルモジユール。 １１ 前記中間の消音部材２７の端部に、そらせ
板２８が取り付けられており、該そらせ板は、前
記下方の間仕切り板８の前記開口１３を通して前
記下室１１内に突入することを特徴とする請求項
１０記載のトンネルモジユール。 １２ 前記各戻し空気口１４の前方に予備フイル
ター３０が取り付けられていることを特徴とする
請求項１から１１までのいずれか１項記載のトン
ネルモジユール。 １３ 前記戻し空気口１４の前方かつ前記予備フ
イルター３０の後方に、水冷式の空気冷却器３１
が取り付けられていることを特徴とする請求項１
２記載のトンネルモジユール。 １４ トンネルモジユールの前記側壁３，４の前
方に、２重壁３６，３７が取り付けられているこ
とを特徴とする請求項１から１１までのいずれか
１項記載のトンネルモジユール。 １５ １つの室ユニツトが、前記上部分１の全幅
にわたつて延びていることを特徴とする請求項１
から１４までのいずれか１項記載のトンネルモジ
ユール。 １６ 前記上部分１内には、２つの室ユニツトが
相並んで配置されていることを特徴とする請求項
１から１４までのいずれか１項記載のトンネルモ
ジユール。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE8805774.7 | 1988-04-30 | ||
| DE8805774U DE8805774U1 (de) | 1988-04-30 | 1988-04-30 | Tunnelmodul zum Aufbau eines Reinraumes in Laminar-Flow-Technik |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0229529A JPH0229529A (ja) | 1990-01-31 |
| JPH0449018B2 true JPH0449018B2 (ja) | 1992-08-10 |
Family
ID=6823584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1107897A Granted JPH0229529A (ja) | 1988-04-30 | 1989-04-28 | 層流方式のクリーンルームを構成するためのトンネルモジユール |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0340433B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0229529A (ja) |
| AT (1) | ATE83307T1 (ja) |
| DE (2) | DE8805774U1 (ja) |
| ES (1) | ES2036732T3 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3836147C2 (de) * | 1988-10-23 | 1996-03-21 | Ltg Lufttechnische Gmbh | Reinraumdecke |
| DE4122582C2 (de) * | 1991-07-08 | 1994-12-15 | Babcock Bsh Ag | Modul zum Aufbau einer Reinraumdecke |
| DE4124808A1 (de) * | 1991-07-26 | 1993-01-28 | Prettl Rolf | Druckmodul zum erzeugen einer stroemung in einem arbeitsraum |
| DK183691A (da) * | 1991-11-08 | 1993-05-09 | Novenco As | Ventilations- og filtermodul til renrumsventilation |
| DE4238595C2 (de) * | 1992-11-16 | 1996-04-11 | Kessler & Luch Gmbh | Modulare Lüftungseinheit mit integriertem Ventilator und angeschlossenem Filterrahmen, insbesondere für reinraumtechnische Zwecke |
| FR2700203A1 (fr) * | 1993-01-04 | 1994-07-08 | Cherrier Gerard | Unité autonome de diffusion d'air propre à flux laminaire destinée aux chambres dites "stériles" et aux volumes propres. |
| DE4320162C2 (de) * | 1993-06-18 | 1995-11-16 | Krantz Tkt Gmbh | Modul für eine Reinraumdecke |
| DE19538040C2 (de) * | 1995-10-13 | 1998-08-13 | Jenoptik Jena Gmbh | Einrichtung zur Erzeugung eines gereinigten, turbulenzarmen Luftstromes zur Versorgung lokaler Reinräume |
| DE19545252A1 (de) * | 1995-11-24 | 1997-05-28 | Helmut Kaeufer | Aggregatkapsel als Verfahrensbaustein |
| DE29916321U1 (de) * | 1999-09-16 | 1999-12-23 | M + W Zander Facility Engineering GmbH + Co. KG, 70499 Stuttgart | Reinstlufteinrichtung für den Pharmazie-, Lebensmittel- und biotechnischen Bereich |
| DE202010000030U1 (de) | 2010-01-13 | 2010-03-25 | Hürner-Funken GmbH | Ventilator-Filter-Einheit |
| DE102010001319A1 (de) * | 2010-01-28 | 2011-08-18 | YIT Germany GmbH, 80992 | Luftdurchlass mit einem Gehäuse sowie ein Deckensegel mit Luftdurchlass |
| DE102011106512A1 (de) * | 2011-06-15 | 2013-01-03 | Steinbeis GmbH & Co. für Technologietransfer vertreten durch STZ EURO Steinbeis-Transferzentrum Energie- Umwelt-Reinraumtechnik | Filtervorrichtung |
| CN103075765A (zh) * | 2013-01-18 | 2013-05-01 | 吴定汉 | 空气净化器 |
| FI20165583A7 (fi) * | 2016-07-13 | 2018-01-14 | Framery Oy | Ilmastointijärjestelmä ja -menetelmä |
| CN110594884B (zh) * | 2018-05-24 | 2024-07-12 | 湖南匡为科技有限公司 | 静音空气净化装置 |
| FI128691B (en) * | 2018-06-07 | 2020-10-15 | Framery Oy | Air conditioning system and method |
| EE05856B1 (et) * | 2019-01-18 | 2023-06-15 | Silen Oü | Ventilatsioonisüsteemiga mobiilne kabiin ja meetod selle ventileerimiseks |
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|---|---|---|---|---|
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