JPH0449426Y2

JPH0449426Y2 -

Info

Publication number: JPH0449426Y2
Application number: JP1986162334U
Authority: JP
Priority date: 1986-10-24
Filing date: 1986-10-24
Publication date: 1992-11-20
Also published as: JPS6368586U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）本考案は、ポンプ等の振動発生源から配管を介
して連結された精密機器類への振動伝達を防止す
る防振構造に関するものである。

（従来の技術）半導体製造装置、レーザ装置、NC制御機器等
の精密機器類は、内外部からの振動を受けるとそ
の性能に悪影響を生じるため、防振架台上に設置
されるのが一般的である。また、最近では、地震
等に備えて精密機器類の支持台を免振構造とした
ものも普及している。

一方、上記の精密機器類は、作動時に冷却水や
洗浄水を用いるため、配管を介してポンプ等に接
続されている場合が多く、ポンプ等で生じる振動
が配管及び床を通じて精密機器類に伝達される難
点がある。

このため、従来では、配管の途中に防振継手を
介装して振動を吸収すると共に、ポンプ及び精密
機器類を振動絶縁基礎上に載置して床からの振動
を絶縁している。

（考案が解決しようとする課題）しかし、従来の防振構造では、配管を伝わる振
動を完全には遮断できない欠点があり、精密機器
類を高精度化する際のネツクになつている。

本考案は上記事情に鑑みてなされたもので、ポ
ンプ等の振動発生源から配管を介して精密機器類
に伝達される振動を確実に絶縁することができる
防振構造を提供することにある。

（課題を解決するための手段）上記目的を達成するため、本考案では振動発生
源から配管を介して連結された精密機器類の防振
構造において、上記配管途中に複数の防振継手を
直列に介装すると共に、防振継手間の配管部分を
重量物に連結し、該重量物を振動吸収層を介して
基礎に設置している。

（作用）本考案に係る防振構造では、配管途中に介装さ
れた防振継手間の配管部分に重量物の連結し、且
つ該重量物を振動吸収層を介して基礎に設置する
ことにより、防振継手の振動伝達率を低減させて
その防振作用を向上させることができ、しかも残
りの振動を精密機器類寄りの防振継手で吸収でき
る。

（実施例）第１図には本考案に係る防振構造を示してあ
る。

精密機器１０は防振ゴム１１や図示省略の免振
装置を介してコンクリートブロツク１２上に載置
されている。このコンクリートブロツク１２は基
礎１３の凹所内に発泡剤１４の層を介して埋設さ
れており、これらにより振動に対する絶縁基礎が
構成されている。

また、精密機器１０の側面には配管１５の一端
が接続されており、該配管１５の他端はポンプ１
６に接続されている。ポンプ１６は配管１５を通
じて精密機器１０に所定の流体を送り込むための
もので支持台１７により基礎１３上に載置されて
いる。

上記配管１５の途中には２か所に亘つてベロー
ズ型の防振継手１８，１９が介装されており、両
防振継手１８，１９間の配管部分はロツド２０を
介してコンクリートブロツク２１に連結されてい
る。このコンクリートブロツク２１は基礎１３の
別の凹所内に発泡剤１４の層を介して埋設されて
いおり、これらにより振動に対する絶縁基礎が構
成されている。

一般に、防振継手の振動伝達率τ（出口側の
力／入口側の力）は、加振振動数をｆ、防振継手
の固有振動数をfnとすると、 τ＝｜１／１−（ｆ／fn）²｜ ……(1) で表わされる。

また、固有振動数をfnは、防振継手のばね定数
をｋ、重力加速度をｇ、伝達側の重量をＷとする
と、で表わされる。

従つて、(2)式でＷを大きくすればfnは小さくな
り、ｆは一定の振動数であるからｆ／fnは大きく
なる。このため第３図のグラフからも分かるよう
に、振動数比ｆ／fn＞１の範囲ではfnが小さくな
ると、即ちｆ／fnが大きくなると、半径方向及び
軸方向の振動伝達率τも小さくなつて伝達される
振動が減少する。

ここで、Ｗは防振継手１８の下流側の重量、即
ち配管１５の重量と固定点の重量との和になるか
ら、第１図のように重量のあるコンクリートブロ
ツク２１を配管１５に連結すれば、固有振動数fn
及び振動伝達率τが小さくなつて零に近づくこと
になる。

また、防振継手１９を配管の下流側に接続する
と、防振継手１８の振動伝達率をτ1、防振継手１
９振動伝達率をτ2とすると、全体の振動伝達率τ
は、 τ＝τ1＋τ2 で表わされる。

τ1は上記のように固定点を設けたことにより極
めて小さく、この小さい振動はさらに防振継手１
９で吸収されるから、精密機器１０には振動が殆
ど伝わらない。

一方、ポンプ１６の振動の一部は、支持台１７
を通じて基礎１３へと伝達され、精密機器１０側
へと向かう。しかし、この振動は、伝達経路途中
にある発泡剤１４の層と防振ゴム１１によつてほ
ぼ完全に吸収される。

図２には耐震作用をも兼備した防振構造を示し
てある。尚、本実施例では図１に示した実施例と
構成を同じくする部分に同一符号を用いてある。

この防振構造では、精密機器１０を床２２に載
置して、該床２２とコンクリートブロツク１２と
の間に縦長の防振ゴム１１を介装し、該防振ゴム
１１を貫通するアンカー２３で床２２とコンクリ
ートブロツク１２を連結してある。この場合、免
振装置をコンクリートブロツク１２と床２２の間
に挿入するようにしてもよい。

また、配管１５の下流側に防振継手１９に代え
て長尺のフレキシブル継手１９Ａを接続して、精
密機器１０の振動変位に追従できる構成にしてい
る。

一方、ポンプ１６の支持台１７に下面にも縦長
の防振ゴム２４を取り付けて、全体をボルト２５
により基礎１３上に支持させ、支持台１７の外側
に断面Ｌ字形のストツパ２６を設置してある。こ
のストツパ２６は支持台１７の上面及び側面と所
定の間隔をおいて配置され、その下部はアンカー
２７により基礎１３に固定されている。

尚、床２２や支持台１７の耐震構造自体は公知
の手段で十分である。

上述の防振構造では、ポンプ１６から配管１５
へ伝わつた振動を、防振継手１８と固定点のコン
クリートブロツク２１で絶縁することができ、ま
た地震に対しては長尺のフレキシブル継手１９Ａ
と防振ゴム１１，２４で十分に対応することがで
きる。また、ストツパ２６によりポンプ１６の支
持台１７の上下及び左右方向の変位を規制するこ
とができる。さらに、フレキシブル継手１９Ａも
ベローズ形であることから、変位の吸収のみなら
ず、ある程度の防振作用を発揮させて振動伝達を
抑制することができる。

（考案の効果）以上詳述したように、本考案によれば、防振継
手の振動伝達率を低減させてその防振作用を向上
させることができ、しかも残りの振動を精密機器
類寄りの防振継手で吸収できるので、振動発生源
から配管を介して精密機器類に伝達される振動を
ほぼ完全に遮断することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は防振構造を示す簡略側面図、第２図は
耐震作用をも兼備した防振構造を示す簡略側面
図、第３図は加振振動数と振動伝達率の関係を示
すグラフである。図中、１０……精密機器、１３……基礎、１４
……発泡剤、１５……配管、１６……ポンプ、１
８，１９……防振継手、１９Ａ……フレキシブル
継手、２０……ロツド、２１……コンクリートブ
ロツク。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】振動発生源から配管を介して連結された精密機
器類の防振構造において、上記配管途中に複数の防振継手を直列に介装す
ると共に、防振継手間の配管部分を重量物に連結し、該重量物を振動吸収層を介して基礎に設置し
た、ことを特徴とする防振構造。