JPH04506029A - 有害物質で汚染された液体の処理方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 有害物質で汚染された液体の処理方法及び装置本発明は特許請求の範囲第１項の 上位概念に対応する種類の方法及び該方法に対応する装置に関する。

本発明は、まず第１に、酸化させることが難しい有害物質で汚染されている液体 を処理する方法に向けられている。この有害物質群に属するのは例えば塩化水素 であって、該塩化水素のうち多くは生物学的に分解されず、塩化水素のうち幾つ かは毒性をもって生物に作用する。

これらの物質は飽和の又は不飽和の、脂肪族又は芳香族炭化水素であってもよく 、該炭化水素では水素原子はハロゲンによって置換される。

低分子の物質は例えば溶剤トリクロロエチレンであり、高分子の物質はリグニン 又は腐植酸であってもよい。

低分子及び高分子の物質のうちには、最も強い酸化剤の１であるオゾンと緩慢に 反応するか、又は全熱反応しない化合物がある。

こうしたほとんど破壊できない化合物は、上記形態では地球上にある元素及び物 質の自然の生態学循環に戻されず、人工的、化学的に合成されて、例えば発泡剤 、冷却剤、溶剤、農薬及び除草剤として用いられ、あるいは上記化合物は工業的 工程で副産物として、例えば塩化リグニンは塩素漂白工程で副産物として生じる 。

上記化合物はゴミの山から漏れて、地下水及び川を汚染する。従って、こうした 物質を解毒する方法を探さねばならない。

紫外線が所定の有機分子内の原子の間の化学結合によって吸収されて、該化学結 合を弛緩するので、該化学結合がラジカルによって酸化され、すなわち破壊（ａ ｕｆｂｒｅｃｈｅｎ）されることは、周知である。

エネルギ的に励起された結合のための酸化剤はＯＨ基であってよい。ＯＨ基は過 酸化水素（Ｈ２０２’）又はオゾン（〇−３）の水溶液を紫外線照射することに より、詳しくは出発化合物ＨＯ及び０３は紫外線を吸収して、酸素原子を発生さ せ、該酸素原子は水と作用してＯＨ基を形成する。

有機化合物に対するＨ　２０２及びｏ３の基反応は水処理分野で公知であり、開 示されてもいる（Ｂ、ガーベル、Ｂ、シュタッヘル及びＷ、ティールマン、専門 報告ＨＷＷ２．３７−４２頁、１９８２年、「飲料水を殺菌し成分を酸化させる ための紫外線照射及びＨ２０２処理の組合わせの技術的応用の可能性」）。

同様に、紫外線照射及びオゾンの方法上の組合わせも開示されている（Ｄ、Ｆ、 フレッチャー、ウォーター・ワールド・ニュース、第３巻、３号、１９８７年、 「紫外線／オゾン工程は毒性を処理する」及びに、ブルックス、Ｒ，マツクジン ティ、ケミカルウィーク、マグロ−ヒル出版、「地下水処理ノウハウが実用化さ れるＪ及びＪ、　Ｄ、ゼフ、Ｅ、レイティス、Ｊ、バーリッヒ、米国カリフォル ニア、水処理中のオゾン、第１巻、第９回オゾン世界会議議事録、ニューヨーク 、１９８９年、「地下、廃棄物及び浸出水中の毒性の有機化合物の除去に関する 紫外線酸化事例研究Ｊ　７２０−７３１頁）。

上記文献に取り扱われたウルトロックス方法（ウルトロックスは、米国カリフォ ルニア州サンタナのウルトロツクス・インターナショナル社の登録商標である） は、連続的又は非連続的液流用の紫外線酸化物・接触装置を有する。紫外線照射 器は、並列されている複数の室に、垂直方向に、異なった数設置されている。こ れらの室には、水が流れるか、又は溜まっており、石英製の保護管によって保護 されたランプを囲繞している。オゾン又は他の酸化物はスチール製拡散器によっ て室に供給される。

ＡＰＯ方法（ＡＰＯはオランダのユトレヒトのアイオニゼーション・インターナ ショナル社の登録商標である）は、短い波長の紫外線光を用いてオゾンを製造し 、水相又は気相のオゾンを塩素化炭化水素に作用させる（Ｊ、　Ａ、モーザー、 理学修士、水処理におけるオゾン、ｊ１１巻、第９回オゾン世界会議議事録、ニ ューヨーク、１９８９年、７３２−７４２頁、「光化学工程による高い濃度レベ ルでの塩素化炭化水素の処理」）。

Ｈ２０□と紫外線との組合わせ方法における問題は、該方法が、０３と紫外線と の組合わせ方法において可能である高い酸化ポテンシャルを達成しないことであ る。

既知の０３と紫外線との組合わせ方法は、例えばウルトロックスのように紫外線 浸漬照射装置を用いて行なわれる。紫外線浸漬照射装置は放射室に厚い水層を有 するので、薄い水層を用いる照射装置に比べて紫外線が透過し難い。更に、これ らの放射室では、オゾンがキャリヤガスとともに直接供給され、水に対するオゾ ンの溶解は最適の状態とならず、物理的に溶解されないガスの気泡は、紫外線照 射の効果を低下させる。

ＡＰＯ方法のような紫外線照射又は電解質の陽極酸化によってオゾンを発生させ る方法は、低い濃度のオゾンを発生するので、オゾンによる酸化能力を低下する ことになる。

本発明の課題は、組み合わされた紫外線・オゾン処理の効果を改善することであ る。

上記課題の解決方法は、特許請求の範囲第１項に記載されている。

該発明によれば、実際上気泡を含まない状態にある液体が、物理的に溶解された オゾンとともに紫外線照射の場所に送られるので、紫外線照射の効果は一層強化 される。

特許請求の範囲第２項に示すように、オゾンを含有するガスを、増圧して液体に 導入すること、及び特許請求の範囲第３項に示すように、装置の圧力全体をも高 めることによって、液体中のオゾン分圧及びオゾンの溶解度も高められて、オゾ ン処理の効果の上昇に役立つ。

本発明の重要な構造は、特許請求の範囲第４項のように、液体が循環装置内で幾 度も処理されることであり、特許請求の範囲第５項の装置によれば、循環装置を 流れる液流は、連続的に供給及び排出する液流よりも多量となる。

上記構成により、はぼ完全に近いオゾン吸収が得られるとともに、希釈効果によ ってより良い紫外線透過が行なわれる。

更に、紫外線を幾度も同一の装置に作用させることにより、液体の照射領域内で の滞在時間を延長することができる。

特許請求の範囲第６項の発明によると、オゾンを含有するガスを、処理すべき液 体の供給口又は該供給口の一部に導入することができる。

特許請求の範囲第７項に示すように、溶解されたオゾンの回収率を高めるために 、分離されかつ残留オゾンを含有するオゾンキャリヤガスを新たに液体と反応さ せることができる。

工業酸素がオゾン発生のために用いられ、オゾンキャリヤガスが酸素である場合 に、特許請求の範囲第８項に示すように、酸素は、オゾンから分離された後に、 オゾン源又はオゾン発生装置の乾燥装置を通って再度使用される。

目的に適った構造は、特許請求の範囲第１０項のように同時に又は特許請求の範 囲第１１項のように順次所定の液量に作用することができる波長の異なった紫外 線で照射する構造である。この場合、波長は離散的に選ばれてもよい。例えば、 通常用いられる波長である２５４ｎｍ及び他の適切な波長値である。しかしこれ に限らず連続的な波長帯域を単独で又は任意の組み合わせで用いることもできる 。

このように波長を相違させることによって、エネルギの供給を、有害物質との種 々な反応に適合させて行なうことができる。

特許請求の範囲第１２項の発明では、処理すべき液体のｐＨ値を調節して、反応 性を高めることができる。

特許請求の範囲第１２項に示すように、処理すべき液体を加熱して、反応速度を 高めることができる。

特許請求の範囲第１４項に基づく方法の構成によって、オゾンとのみ反応可能な 物質、例えばアゾ色素、コロイド及び不透明物質が、オゾンによる作用と紫外線 による作用が同時に液体に印加される以前に破壊又は析出されるので、液体の透 明度、従って紫外線の透過性は向上し、紫外線の作用を強化することができる。

本発明の装置は、特許請求の範囲第１５項に記された装置によって実現される。

オゾンが有害物質と反応するとともに、オゾンを含有するガスの溶解しない部分 を放出又は分離する反応・ガス抜き容器は、特許請求の範囲第１６項に示す好適 な実施例によって形成される。

この実施例では液体は、オゾンを含有するガスとの混合物として次のように案内 される。すなわち、上記液体はまず内側の容器に達し、物理的に溶解されないガ スは内側の容器から出て、排出管で除去されるように案内され、液体は、内側の 容器の下方領域から供給されて内側の容器の中を上昇して、外側の容器に溢れ、 外側の容器の下方領域に形成された安定ゾーンを経て導出される。

特許請求の範囲第１７項の装置では、排出液及び循環液用のため排出管が設けら れ、排出液及び循環液は戻り管を通って入口に戻される。

同じ液量で幾度も処理をすることができるこの循環装置は、本発明の本質的な構 造的特徴とするところである。

特許請求の範囲第１８項の発明では、作用を強化するために、反応・ガス抜き容 器は直列に接続されている。

特許請求の範囲第１９項に示す好ましい実施例では、処理すべき液体を照射する 手段は、両方の反応・ガス抜き容器の間に設置された照射ユニットを備えている 。

特許請求の範囲第２０項及び第２１項の発明では、最後の反応・ガス抜き容器の 排出管及び反応・ガス抜き容器の排出管から出口に通じる戻り管の少なくとも一 方に照射ユニ・ントが設置されている。

溶解されたオゾンの回収率を改善するために、特許請求の範囲第２２項に基づく 構造が設けられる。

第１の反応・ガス抜き容器で分離されたガスはなお残部のオゾンを含有し、オゾ ンは第２の反応・ガス抜き容器に計画的に送られ、ここで再びオゾン反応を行な うことができる。

オゾンは、特許請求の範囲第２３項に記され液体の入口に設置された導入手段及 び特許請求の範囲第２４項に記された戻り管に設置された導入手段の少なくとも 一方によって液体に導入される。

紫外線の作用を強化するために、特許請求の範囲第２５項の発明では、比較的低 い密度で流れる液体層を、流れと直角方向に照射する構造の紫外線照射ユニット が用いられて０る。

特許請求の範囲第２６項に示すように、高（１回収率を上番プるために、オゾン 発生器として、無声放電で作動するオゾン発生器が用いられている。

図には本発明の複数の実施例が示されている。

第１図乃至第３図は有害物質で汚染された水を処理する３つの装置の概略的な線 図を示す。

第１図で全体として符号１００を付された装置は、主として、オゾン発生器１０ と、第１の反応・ガス抜き容器２０と、第２の反応・ガス抜き容器３０と、紫外 線照射ユニット４０と、第２の紫外線照射ユニット５０を有する。

処理すべき液体である未処理水は入口管１で装置に入り、ポンプ２によって、数 バールの圧力に高められる。

この実施例ではオゾンは酸素から得られる。酸素ガスは圧力タンク３から取り出 されて、減圧弁４によってオゾン発生器１０に送られる。該オゾン発生器１０で は、約１００　ｇ／ｍ３の酸素の濃度のオゾンが発生される。０　及び０２によ り形成された酸素を含有するガスは導管５を通ってインジェクタ６に送られ、該 インジェクタ６は液体用の入口管１に設置される。従って、インジェクタ６では 、僅かに高められた圧力下にありオゾンを含有するガスは、高められた圧力下に ある液体へ吸収される。

オゾンを含有するガスは分岐管７を通ってインジェクタ８にも達し、該インジェ クタ８を設置された戻り管９はインジェクタ６の下流方向の箇所１１で入口管１ に連通している。

インジェクタ６及び８によってオゾンを含有するガスを混入された液体は導管１ ２を通９て反応・ガス抜き容器２０に達する。

反応・ガス抜き容器２０は、実施例では、円筒状の外側の容器１３と、該容器１ ３中で同心的に設置された円筒状の内側の容器１４により構成される。該内側の 容器１４は、符号１５の箇所で、外側の容器１３の底部と直接的に結合されてい る。上側の縁部１６では内側の容器１４が開放され、溢れ口を形成する。導管１ ２は内側の容器１４の下方領域１７に延び、内側の容器１４には充填材及びクロ スハツチング１８で示された邪魔板の少なくとも一方が設けられている。従って 、液体は矢印１９の方向に容器１４を通って上方に流れ、何度か乱れて方向転換 されるので、液体に導入されたオゾンは反応する機会を有し、混合されたが物理 的には溶解しないガスは、液体に溶は込まず、内側の容器１４の上方に形成され た空間２１に上昇する。次いで、液体は上側の縁部１６を越えて矢印２２の方向 に外側の容器１３に流れ落ちる。外側の容器１３の下方領域２３には安定ゾーン が形成され、該安定ゾーンではオゾン反応及びガス抜き反応の大部分が行なわれ る状態にある。下方領域２３には排出管２４及び２５が設置され、液体は排出管 ２４を通って紫外線照射ユニット４０に入るとともに、排出管２５を通って導管 ２６に入り、該導管２６には、液体を再度加圧するポンプ２７が設置されている 。液体はポンプ２７から紫外線照射ユニット５０及び戻り管９を通ってインジェ クタ８に流れ戻る。

紫外線照射ユニット４０を通過した液体部分は、導管２８を通って第１の反応・ ガス抜き容器２０と同様に形成されている第２の反応・ガス抜き容器３０の下方 領域２９に達する。

液体は反応・ガス抜き容器３０の内側の容器１４内で上昇し、その際、溶かされ たオゾンとの残余の反応が行なわれる。処理済みの液体は内側の容器１４の上側 の縁部から溢れた後、処理済みの液体が出口３１に達する。しかし、矢印２２の 方向に溢れた液体の他方の部分は、排出管３５を通って排出され、導管２６に達 し、新たにインジェクタ８を通過して送出される。

反応・ガス抜き容器２０でのガス抜きの際に分離され残留オゾンを含有するオゾ ンキャリヤガスは、閉鎖型の外側の容器１３の上方領域２１に溜まり、そこから 排出管３２を通って排出される。このガスは導管３３を通って排気されるか、あ るいは導管３４を通って第２の反応・ガス抜き容器３０の下方領域２９に導入さ れ、ガスは該下方領域２９から内側の容器１４内にある液体中を上昇するので、 残留オゾン部分は新たに反応に参加することができる。

上方領域３６に溜まり、実施例に於て酸素から成るオゾンキャリヤガスは、導管 ３７及びガス乾燥器３８を通ってオゾン発生器１０に戻される。酸素の代わりに 、他のガス、例えば空気、窒素あるいはアルゴンも、オゾンキャリヤガスとして 用いられる。

第２図及び第３図に基づく装置２００及び３００の実施例では、機能的に第１図 に対応する構成部分である限り、符号は同一である。

第２図に基づく装置２００の実施例では入口管１で供給され、ポンプ２によって 加圧され、装置の内部圧力を上昇させる未処理水は、ポンプ２の上流側で分配さ れる。上記未処理水の導管３９に分割された支流は加圧ポンプ４１によって加圧 され、導管４２を通って反応・ガス抜き容器６０に送られる。該反応・ガス抜き 容器６０の構造及び作動法は反応・ガス抜き容器２０にほぼ対応している。反応 ・ガス抜き容器６０の外側の容器１３の下方領域から上昇する液体は、導管４３ を通って再度導管４４中の主流に混入される。導管４４は第２の反応・ガス抜き 容器７０に通じる導管を形成し、該導管は同様に反応・ガス抜き容器２０に対応 した構造と機能を有する。液体はオゾンとの反応の後に、外側の容器１３の下方 領域２３から出口３］、に達し、その際、出口３１に通じる導管４５に設けられ た紫外線照射ユニット８０は液体を最後の紫外線照射に晒す。

他の導管４７は下方領域２３からポンプ４８及び導管５９を通って他の紫外線照 射ユニット９０に延び、液体は該紫外線照射ユニット９０から導管４４中の主流 に戻る。オゾンが溶けた液体は、溶けたオゾンとともにポンプによって幾度も導 管４７及び４４を通って循環され、その際、紫外線照射ユニット９０で繰返し紫 外線照射に晒される。

領域４９及び５１中の液体の上方に溜まったオゾンキャリヤガスは、導管６２． ６４及び５３を通り、残留オゾン変換器５４を通過した後、外部に放出される。

第３図に基づく装置３００の実施例では、廃水の形態を取る被処理液体は、導管 １を通って装置３００に入り、ポンプ２によって加圧される。液体は反応容器８ ５次いで紫外線照射ユニット４０を貫流する。続いて、液体は他のポンプ５２に よって再度加圧され、インジェクタ５６を通過する。インジェクタ５６では、導 管５７を通って導かれかつオゾンを含有するガスが液体に混入される。オゾンと 混合された液体は、次に、ガス抜き容器６０に達し、そこでは、液体に溶かされ ずかつ残留オゾンを含有するガス部分は分割され、該ガス部分は導管５３を通っ て排出される。溶解されたオゾンを含有する液体は導管５６を通って点５８に送 られ、そこで、液体は導入されたオゾンと混入される。オゾン反応は反応容器８ ５で行なわれる。該反応容器８５は、イオン反応の高い成分が個々の未処理水の 処理に対して必要があるときに設けられる。

しかし、場合によっては、反応容器８５を省略して、液体を点５８から一点鎖線 で示された導管６４を通って反応容器８５の後方の点６５に送り、そこから直接 紫外線照射ユニ・ット４０に送ることもできる。インジェクタ５６でのオゾンの 混合後に、ガス抜きがガス抜き容器６０で行なわれる。溶かされた形態でのみオ ゾンを含有しかつガス抜きされた液体は、導管５６及び６４を通って再度紫外線 照射ユニ・ント４０に送られる。従って、オゾンを含有する液体部分は、ガス抜 きされた形態でのみ再度紫外線照射ユニット４０を通過し、これにより、照射の 効率が高められる。

オゾンは酸素により形成され、該酸素は圧力タンク３内に貯蔵され、フィルタを 通してオゾン発生器１０に達する。オゾン発生器１０の生成物はキャリヤガスと して残った０２及び数％の０３の混合物である。該混合物は導管５７を通ってイ ンジェクタ５６に送られる。

ガス抜き容器６０から導管５３を通って取り出され、溶解されない残留オゾンを 含有するガスは、残留オゾン変換器５４で処理される。該残留オゾン変換器５４ では、残ったオゾンは０２に戻され、フィルタ６６及び全体として符号３８を付 されたガス乾燥器を経、導管５５を通ってフィルタ５１の手前の箇所６７に戻さ れ、オゾン発生器１０内で新たにオゾン化処理を受ける。

装置３００にある液体の量は液位調整器５９によって一定に保たれ、該液位調整 器５９はガス抜き容器６０に設けられた液位センサ６２と協働し、制御配線６３ を介して弁６１を制御し、該弁６１は、ガス抜き容器６０内の液位が上昇すると 、液体を排出する。

紫外線照射ユニット４０，５０，８０．９０は、比較的薄い層の液体が貫流しか つ液体層を横方向に貫通する紫外線光の減衰が少ない構造をなしている。

装置はオゾンと紫外線照射の特別の組合わせによって、下記の効果を得ることを 目的として形成されている。その効果とは、 水圧上昇用のポンプ及びインジェクタによって圧力を加えて高い濃度のオゾンガ スを液体に溶解できること、高いオゾン濃度及び高い装置水圧を得るようにオゾ ン分圧を高めることによるばかりでなく、更に、ガス抜き・反応タンクに設けら れ未処理水を多数回循環させる水循環案内通路及び該通路に配置された邪魔板を 通過して未処理水を流すことにより、オゾンを溶解させるための水量を実質的に 増加させ、ガス溶解度を高めることができること、オゾンを溶解していてしかも 気泡のない水に対して、最初に挙げた２点を通して紫外線照射が行なわれている こと、濃縮されて細い流れとなった未処理水の流れを多数回還流させることによ り、照射する紫外線を透過性のよい細い光線をなすことができること、 照射が幾何学的見地から好ましいものでありかつ液体層が薄いので、流れに用い る紫外線照射装置による、液体成分及び溶解されたオゾンへの紫外線光の影響が 良好であること、液体循環案内路を用いたことによって、紫外線を何回も照射す ることができ、かつそのために未処理水が照射領域で滞在する時間が実質的に長 くなること、 及びガス抜き容器の手前にオゾンを供給すること、更に詳述すれば該オゾンがオ ゾンと紫外線が同時的に作用する箇所に至る流路の途中で、オゾン反応のみが可 能な物質、例えば染料乃至顔料及び不透明物質に作用する前の段階でオゾンを供 給することにより、液体の透明度従って紫外線の透過度が上昇しオゾンと紫外線 との組み合わされた作用が強化されるという効果である。

一般的には、オゾンと紫外線の組合わせによって、分解が困難で部分的に毒性さ え有する物質は、要求された境界値が達成されるか、あるいは物質が更に生物学 的に分解される限りは、酸化される。又は、十分に高い用量が適用されるときは 、鉱化作用も行なわれる。

しかし、類似の方法に対する本発明の方法上の利点は以下の通りである。

一幾重もの強制ガス案内による毒性の物質を十分に除去すること、 一複数の溶解段階によってオゾン溶解度係数が良好であること、 一紫外線照射のために気泡を有せずオゾンを含有する液体を提供すること、 一液体を何度も循環させることによって照射装置を用いて紫外線の用量が多量に 入ること、 一希釈及びオゾンと染料とのあり得る反応によって供給用液体の紫外線透過度を 高めること、 −ｐＨ値を高めるための可能性及び温度を上げてオゾンによって綿状にするため の可能性を組み合わせること、−最適の照射を有機物質の最適の吸収を適合させ ることができる種々の照射源によって紫外線スペクトルを変化させることができ ること、である。

既に試験で証明されたように、該方法を生物学的な段階と組み合わせることによ って、１ｍ３の廃水につき５００μｇ／ｆＩＡＯＸという行政規則の、目下論議 の的になっている制限値を２桁の％（Ｘ！ｈｎｔｒｐｒｏｒｅｎｔ）だけ下回ら せることができるので、技術の新しい基準が立てられる。

補正書の翻訳文提出書（特許法第１８４条の８）平成３年１２月１９日

Claims (26)

【特許請求の範囲】
1. １．分解しにくい有害物質で汚染された液体を、オゾンを含有するガス及び紫外 線照射を用いた湿式酸化によって処理する方法において、 オゾンを含有するガスを、紫外線照射に晒されない装置の一部で、液体中に導入 し、その中で溶かすこと、溶けないオゾンキャリヤガスを紫外線照射の前に分離 すること、及び次いでほぼ気泡を有さず、吸収された形態でのオゾンを含有する 液体を、同時に基を発生させかつ貫流中に該基で酸化させるために、紫外線発生 装置によって照射すること、を特徴とする方法。
2. ２．前記オゾンを含有するガスを、圧力を高めつつ前記液体中に導入すること、 を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の方法。
3. ３．前記オゾンを含有するガスの導入及び前記溶かされないオゾンキャリヤガス の分離の際に、前記液体を高圧状態に保つこと、を特徴とする特許請求の範囲第 １項乃至第２項のいずれか１に記載の方法。
4. ４．前記液体を循環装置内で幾度も処理すること、を特徴とする特許請求の範囲 第１項乃至第３項のいずれか１に記載の方法。
5. ５．前記循環装置内で案内される液流は、連続的に出入りする液体よりも多いこ と、を特徴とする特許請求の範囲第４項に記載の方法。
6. ６．前記オゾンを含有するガスを、処理すべき液体の供給口又は該供給口の一部 に導入すること、を特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第５項のいずれか１に 記載の方法。
7. ７．分離されかつ残留オゾンを含有するオゾンキャリヤガスを、残留オゾン反応 を得るために、新たに前記液体と反応させること、を特徴とする特許請求の範囲 第１項乃至第６項のいずれか１に記載の方法。
8. ８．オゾンを発生させるため工業用酸素を用い、残留オゾンを含有する酸素ガス を、液体から分離した後に乾場し、オゾンを発生させるため再度用いること、を 特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第７項のいずれか１に記載の方法。
9. ９．波長の異なった紫外線で紫外線照射を行なうこと、を特徴とする特許請求の 範囲第１項乃至第８項のいずれか１に記載の方法。
10. １０．処理する液体の量に応じて異なった波長で同時に照射すること、を特徴と する特許請求の範囲第９項に記載の方法。
11. １１．処理する液体の量に応じて異なった波長で順次に照射すること、を特徴と する特許請求の範囲第９項に記載の方法。
12. １２．前記処理すべき液体のｐＨ値を調節して、該液体の反応性を高めること、 を特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第１１項のいずれか１に記載の方法。
13. １３．前記処理すべき液体を加熱して、反応速度を高めること、を特徴とする特 許請求の範囲第１項乃至第１２項のいずれか１に記載の方法。
14. １４．前記オゾンを含有するガスの導入後及びオゾンと紫外線との結合作用の前 に、前記液体に綿状濾過又は綿状沈降を受けさせること、を特徴とする特許請求 の範囲第１項乃至第１３項のいずれか１に記載の方法。
15. １５．オゾンを含有するガスの源と、処理すべき液体に前記オゾンを含有するガ スを導入する手段と、前記処理すべき液体を紫外線で照射する手段とを具備する 、特許請求の範囲第１項乃至第１４項に記載の方法を実施する装置において、前 記照射手段（４０，５０；８０，９０）は、前記オゾンを含有するガスを導入す る手段（６，８；４６，５６）に後置され、両者の間には反応・ガス抜き容器装 置（２０，３０；６０，７０，８５）が設置されていること、を特徴とする装置 。
16. １６．前記反応・ガス抜き容器装置は反応・ガス抜き容器（２０，３０；６０， ７０）を有し、該反応・ガス抜き容器（２０，３０；６０，７０）は２個の対向 する容器（１３，１４）を備えた二重容器として形成され、前記両容器のうち、 外側の容器（１３）は、上方領域（２１，３６，４９，５１）に連通し、分離し たオゾンキャリヤガスのために用いられる排出管（３２，３４，６２，６４，５ ３）を除いて閉じられているが、内側の前記容器（１４）は上方が開放されて、 溢れ口（１６）を形成しており、前記処理すべき液体用の導管（１２，４２，４ ４）は上方から前記内側の容器（１４）の下方領域（１７）へ延びており、排出 管（２４，２５，３５，４３，４５，４７）は前記外側の容器（１３）の下方領 域（２３，７９）から延びていること、を特徴とする特許請求の範囲第１５項に 記載の装置。
17. １７．前記外側の容器（１３）の前記下方領域（２３）には、排出用液体及び戻 り管（２６，４７）を通して入口に戻される循環用液体を通す排出管（２４，３ １又は２５，３５，４７）が設置されていること、を特徴とする特許請求の範囲 第１５項乃至第１６項のいずれか１に記載の装置。
18. １８．第１の前記反応・ガス抜き容器（２０，６０）には、少なくとも１個の他 の反応・ガス抜き容器（３０，７０）が後置され、核反応・ガス抜き容器（３０ ，７０）の導管（２８，４４）は前記第１の前記反応・ガス抜き容器（２０，６ ０）の前記排出管（２４，４３）と接続されていること、を特徴とする特許請求 の範囲第１５項乃至第１７項のいずれか１に記載の装置。
19. １９．前記処理すべき液体を照射する手段は、両方の反応・ガス抜き容器（２０ ，３０）の間に設置された照射ユニット（４０）を有すること、を特徴とする特 許請求の範囲第１８項に記載の装置。
20. ２０．前記処理すべき液体を照射する前記手段は、最後の反応・ガス抜き容器（ ７０）の排出管（４５）に設置された照射ユニット（８０）を有すること、を特 徴とする特許請求の範囲第１５項乃至第１９項のいずれか１に記載の装置。
21. ２１．前記処理すべき液体を照射する前記手段は、前記排出管（２５，３５；４ ７）から前記入口に戻る戻り管（９，５９）に設置された照射ユニットを有する こと、を特徴とする特許請求の範囲第１５項乃至第２０項のいずれか１に記載の 装置。
22. ２２．接続導管（５５）は、前記第１の反応・ガス抜き容器（２０）の、分離さ れかつオゾンを含有するオゾンキャリアガス用の排出管（３２）から次の前記反 応・ガス抜き容器（３０）の前記下方領域（２９）に延びていること、を特徴と する特許請求の範囲第１８項乃至第２１項のいずれか１に記載の装置。
23. ２３．前記オゾンを含有するガスを前記処理すべき液体に導入する手段は、前記 液体の入口（１）に設置された導入手段（６）を有すること、を特徴とする特許 請求の範囲第１５項乃至第２２項のいずれか１に記載の装置。
24. ２４．前記オゾンを含有するガスを前記処理すべき液体に導入する前記手段は、 前記反応・ガス抜き容器（２０，３０）の前記排出管（２５，３５）から前記入 口（１）に戻る戻り管（９）に設置された導入手段（８）を有すること、を特徴 とする特許請求の範囲第１５項乃至第２３項のいずれか１に記載の装置。
25. ２５．前記照射ユニット（４０，５０，８０，９０）は薄い液体層を横方向に照 射すること、を特徴とする特許請求の範囲第１９項乃至第２４項のいずれか１に 記載の装置。
26. ２６．前記オゾンは前記オゾン発生器（１０）内で無声放電によって酸素を含有 するガスから発生されること、を特徴とする特許請求の範囲第１５項乃至第２５ 項のいずれか１に記載の装置。