JPH0451137U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る半導体ウエハ用カツター
を示す斜視図、第２図ａ，ｂは本考案に係る半導
体ウエハ用カツターを使用して半導体ウエハから
電子顕微鏡用断面観察試料を得る手順を示す図で
、同図ａは罫書き線が描かれた半導体ウエハの平
面図、同図ｂは半導体ウエハにおける電子顕微鏡
用断面観察試料切断部を拡大して示す平面図であ
る。第３図は本考案の半導体ウエハ用カツターの
突部と凹部の向きを変えた他の実施例を示す斜視
図、第４図は本考案の半導体ウエハ用カツターを
テーブル上に載置される構造とした他の実施例を
示す側面図、第５図ａ〜ｃは従来の劈開法によつ
てウエハを割つている状態を示す断面図で、同図
ａは切断部の両側に押さえ板を装着して割る場合
、同図ｂはテーブルにウエハの一端を保持させ、
他端を押さえ板によつて押圧して割る場合、同図
ｃはテーブルにウエハの一端を保持させ、他端を
人手等によつて押圧して割る場合を示す。 １……ウエハ、１１，１２，３３……アーム、
１３……支点、１５……突部、１６……凹部、３
２……基台。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 枢軸を介して互いに回動自在に連結された２本
   の支持体を備え、一方の支持体の回動端部に回動
   方向へ突出する突部を、他方の支持体の回動端部
   に、前記突部と対向し突部と共に半導体ウエハを
   挾圧する凹部をそれぞれ設けてなり、前記突部は
   、稜線が両支持体の回動方向と直交する方向へ指
   向された楔状の形成され、前記凹部は、前記突部
   の稜線と同一平面上に位置づけられる谷線を有す
   る断面く字状に形成されていることを特徴とする
   半導体ウエハ用カツター。