JPH0451478Y2 - - Google Patents
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- JPH0451478Y2 JPH0451478Y2 JP1988087170U JP8717088U JPH0451478Y2 JP H0451478 Y2 JPH0451478 Y2 JP H0451478Y2 JP 1988087170 U JP1988087170 U JP 1988087170U JP 8717088 U JP8717088 U JP 8717088U JP H0451478 Y2 JPH0451478 Y2 JP H0451478Y2
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/015—Manufacture or treatment of bond wires
- H10W72/01551—Changing the shapes of bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07511—Treating the bonding area before connecting, e.g. by applying flux or cleaning
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- Wire Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は、ワイヤボンダのボール形成時にボー
ルが形成れない状態を検出するワイヤ切れ検出手
段の改良に関する。[Detailed Description of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to an improvement in wire breakage detection means for detecting a state in which a ball cannot be formed when a wire bonder is forming a ball.
（従来の技術）
ワイヤボンダでは、ワイヤカツト動作の不具合
によつてキヤピラリ先端からのワイヤ繰り出し長
さが所定の値にならないためにワイヤの先端とス
パークロツドがボールの形成時に所定の間隔とな
らないことがある。またワイヤの先端とスパーク
ロツドの間に電圧を印加した時に、この間の周辺
の雰囲気の変化などによつてワイヤの先端とスパ
ークロツドとの間以外に電流が流れる（以下、リ
ークと言う）こともある。このような状態では所
定のスパークがワイヤの先端とスパークロツドと
の間に飛ばないためにボールが形成されない（以
下、この状態をワイヤ切れと言う）。このような
ワイヤ切れの状態でボンデイング動作を行うと、
ICチツプがキヤピラリの先端で打たれるだけ
（以下、これを空打ちと言う）となつて不良品が
発生する。このような空打ちを防ぐためにワイヤ
ボンダにはボンデイング動作を中断させるための
ワイヤ切れ検出手段が設けられている。(Prior Art) In a wire bonder, due to a defect in the wire cutting operation, the length of the wire fed out from the tip of the capillary does not reach a predetermined value, so the tip of the wire and the spark rod may not be at a predetermined distance when forming a ball. Furthermore, when a voltage is applied between the tip of the wire and the spark rod, current may flow outside of the area between the tip of the wire and the spark rod (hereinafter referred to as leakage) due to changes in the surrounding atmosphere during this period. In such a state, a ball is not formed because a predetermined spark does not fly between the tip of the wire and the spark rod (hereinafter, this state is referred to as wire breakage). If you perform a bonding operation with such a broken wire,
If the IC chip is simply struck by the tip of the capillary (hereinafter referred to as blank striking), defective products occur. In order to prevent such dry bonding, the wire bonder is provided with wire breakage detection means for interrupting the bonding operation.
このワイヤ切れ検出手段は、ボール形成用のス
パーク発生回路に電流が流れいるか否かを検出
し、流れている場合にはスパークによるボール形
成が行われていると判定し、流れていない場合に
はスパークによるボール形成が行われていないか
らワイヤ切れが生じていると判定している。 This wire breakage detection means detects whether or not current is flowing in the spark generation circuit for ball formation. If current is flowing, it is determined that ball formation is being performed by sparks; if no current is flowing, it is determined that ball formation is being performed. It was determined that the wire was broken because the ball was not formed by sparks.
（考案が解決しようとする課題）
しかるに上述した従来のワイヤボンダのワイヤ
切れ検出手段には次のような問題がある。(Problems to be Solved by the Invention) However, the wire breakage detection means of the conventional wire bonder described above has the following problems.
すなわち、スパーク発生回路の電流の有無だけ
でワイヤ切れが生じているか否かを判定している
ために、スパークが発生していなくてもスパーク
発生回路に電流の流れる場合、たとえばワイヤが
スパークロツドに接触しているワイヤタツチの状
態ではワイヤ切れが検出されず、あるいはリーク
が発生して所定のスパークがワイヤの先端とスパ
ークロツドの間に飛んでいないためにボールが形
成されていない場合にもワイヤ切れが検出されな
いという問題がある。 In other words, since it is determined whether a wire is broken or not based only on the presence or absence of current in the spark generation circuit, if current flows through the spark generation circuit even if no spark is generated, for example, the wire may come into contact with the spark rod. A wire breakage is not detected when the wire is touched, or a wire breakage is detected when a ball is not formed because a leak occurs and the specified spark does not fly between the tip of the wire and the spark rod. The problem is that it is not.
本考案の目的は、ボールが形成されているか否
かをボール形成時のスパークによつて生ずる紫外
線を検出することによつて判定するようにし、こ
れによりワイヤ切れを従来の検出手段よりも直接
的に判定し、ワイヤ切れの検出が従来の検出手段
よりも確実に行え、これにより空打ちのための不
良品の発生を確実に防止することができるワイヤ
ボンダのワイヤ切れ検出装置を提供することであ
る。 The purpose of the present invention is to determine whether or not a ball is formed by detecting ultraviolet rays generated by sparks during ball formation, thereby detecting wire breakage more directly than conventional detection means. To provide a wire breakage detection device for a wire bonder, which can detect wire breakage more reliably than conventional detection means and thereby reliably prevent the generation of defective products due to blank bonding. .
（課題を解決するための手段）
本考案のワイヤボンダのワイヤ切れ検出装置は
上記の目的を達成するために次の手段構成を有す
る。(Means for Solving the Problems) The wire breakage detection device for a wire bonder of the present invention has the following means configuration in order to achieve the above object.
すなわち本考案のワイヤボンダのワイヤ切れ検
出装置は、ワイヤボンダのボール形成時のスパー
クによつて生じる紫外線を検出する紫外線検出管
と；該紫外線検出管にパルス電圧を印加するパル
ス駆動回路と；紫外線を受けた時に前記の紫外線
検出管に生じるパルス状の放電電流を受け、これ
に対応するパルス信号を検出するパルス信号検出
回路と；該パルス信号とボール形成開始信号とを
受け、該ボール形成開始信号を受けた時点から所
定の時間内に所定の数のパルスが検出されない場
合にワイヤ切れ信号を出力する判定回路と；を具
備することを特徴とするものである。 That is, the wire breakage detection device for a wire bonder of the present invention includes: an ultraviolet detection tube that detects ultraviolet rays generated by sparks when a wire bonder ball is formed; a pulse drive circuit that applies a pulse voltage to the ultraviolet detection tube; a pulse signal detection circuit that receives a pulsed discharge current generated in the ultraviolet detection tube when the ultraviolet rays are detected and detects a corresponding pulse signal; receives the pulse signal and a ball formation start signal and detects the ball formation start signal; and a determination circuit that outputs a wire breakage signal if a predetermined number of pulses are not detected within a predetermined time from the time when the wire breakage signal is received.
（作用）
以下、上記の手段構成を有する本考案のワイヤ
ボンダのワイヤ切れ検出装置の作用を説明する。(Function) Hereinafter, the function of the wire breakage detection device for a wire bonder of the present invention having the above means configuration will be explained.
紫外線検出管にはパルス駆動回路からパルス電
圧が印加されており、紫外線を受けることによつ
て該パルス電圧に対応したパルス状の放電電流が
流れる。パルス信号検出回路はこの放電電流を受
け、これに対応したパルス信号を検出する。 A pulse voltage is applied to the ultraviolet detection tube from a pulse drive circuit, and upon receiving ultraviolet light, a pulsed discharge current corresponding to the pulse voltage flows. The pulse signal detection circuit receives this discharge current and detects a corresponding pulse signal.
判定回路はこのパルス信号とワイヤボンダのボ
ール形成開始信号を受け、該ボール形成開始信号
を受けた時点から所定のボール形成時間を経過す
る間を検出時間として、この検出時間内のパルス
の数を数え、この数がボールの形成に対応した所
定の数に達しない場合にワイヤ切れ信号を出力す
る。ボールを形成するためにはワイヤの材質、線
径ならびにワイヤの先端とスパークロツドとの間
隔などに対応して所定の強さのスパークを所定の
時間ワイヤの先端とスパークロツドの間に飛ばさ
ねばならないから、この所定のスパークに対応し
て所定の強さの紫外線が所定の時間放射されるこ
ととなる。したがつて、ボールが形成されている
時には、この所定の紫外線に対応した所定の数の
パルスが前記の検出時間内に検出され、所定のス
パークが飛ばないためにボールが形成されていな
い場合には、所定の紫外線が放射されていないの
で検出パルスの数が所定の数に達しない。 The determination circuit receives this pulse signal and the wire bonder's ball formation start signal, and counts the number of pulses within this detection time, with the period of elapsed predetermined ball formation time from the time the ball formation start signal is received as the detection time. , if this number does not reach a predetermined number corresponding to the formation of balls, a wire breakage signal is output. In order to form a ball, a spark of a predetermined intensity must be ejected between the tip of the wire and the spark rod for a predetermined period of time, depending on the wire material, wire diameter, and distance between the tip of the wire and the spark rod. Corresponding to this predetermined spark, ultraviolet rays of a predetermined intensity are emitted for a predetermined time. Therefore, when a ball is being formed, a predetermined number of pulses corresponding to this predetermined ultraviolet light are detected within the detection time, and if a ball is not being formed because the predetermined spark does not fly, In this case, the number of detection pulses does not reach the predetermined number because the predetermined ultraviolet rays are not emitted.
以上説明したように、本考案のワイヤボンダの
ワイヤ切れ検出装置は、ボールが形成されている
か否かをボール形成時のスパークによつて生ずる
紫外線を検出することによつて判定するようにし
たので、ワイヤ切れの判定を従来の検出手段より
も直接的に行えるようになり、したがつてワイヤ
切れの検出を従来の検出手段よりも確実に行うこ
とができて空打ちによる不良品の発生を確実に防
止することができる。 As explained above, the wire breakage detection device for a wire bonder of the present invention determines whether or not a ball is formed by detecting ultraviolet rays generated by sparks during ball formation. It is now possible to determine wire breakage more directly than conventional detection means, and therefore wire breakage can be detected more reliably than conventional detection means, ensuring that defective products due to blank firing are not generated. It can be prevented.
（実施例）
以下、本考案のワイヤボンダのワイヤ切れ検出
装置の実施例を図面に基づいて説明する。(Example) Hereinafter, an example of the wire breakage detection device for a wire bonder of the present invention will be described based on the drawings.
第１図は本考案のワイヤボンダのワイヤ切れ検
出装置の実施例の説明図である。第１図のａは該
実施例の構成図であつて、紫外線検出管１はパル
ス駆動回路２からパルス電圧を印加されている。
ワイヤ１１の先端にボールを形成するためにワイ
ヤ１１の先端とスパークロツド１４の間にスパー
クが飛ばされると、これによつて紫外線１５が放
射される。紫外線検出管１が紫外線１５を受ける
ことによつて、前記のパルス電圧に対応したパル
ス状の放電電流ｉが流れる。パルス信号検出回路
３はたとえばフオトカプラなどを用いて構成さ
れ、放電電流ｉを受けてそのパルスを検出し電圧
パルスのパルス信号５を出力する。判定回路６は
パルス信号５とボール形成開始信号７を受け、た
とえば第１図のｂの信号波形例を示す図のよう
に、パルス信号５のパルスの数をボール形成開始
信号７の波形の各立上がり時点から所定のボール
形成時間と同じ長さの検出時間Ｔ毎に数える。 FIG. 1 is an explanatory diagram of an embodiment of a wire breakage detection device for a wire bonder according to the present invention. FIG. 1a is a block diagram of this embodiment, in which a pulse voltage is applied to the ultraviolet detection tube 1 from a pulse drive circuit 2.
When a spark is thrown between the tip of the wire 11 and the spark rod 14 to form a ball at the tip of the wire 11, ultraviolet light 15 is emitted. When the ultraviolet light detection tube 1 receives the ultraviolet light 15, a pulsed discharge current i corresponding to the above-mentioned pulse voltage flows. The pulse signal detection circuit 3 is constructed using, for example, a photocoupler, receives the discharge current i, detects its pulse, and outputs a pulse signal 5 of a voltage pulse. The determination circuit 6 receives the pulse signal 5 and the ball formation start signal 7, and as shown in FIG. Counting is performed every detection time T, which is the same length as a predetermined ball formation time, from the start-up time.
第１および第３の区間のように検出パルスの数
が３に達していない場合、判定回路６は所定の紫
外線が検知されなかつたと判断し、所定のスパー
クが行われていないためにボールは形成されてい
ないと判定して、この判定をパルスで示すワイヤ
切れ信号８を出力する。 If the number of detection pulses does not reach 3 as in the first and third sections, the determination circuit 6 determines that the predetermined ultraviolet rays are not detected, and the ball is not formed because the predetermined spark is not generated. It is determined that this has not been done, and outputs a wire breakage signal 8 indicating this determination in the form of a pulse.
このワイヤ切れ信号８を従来のワイヤ切れ検出
手段で検知されるスパーク発生回路の電源の有無
と組み合わせることにより、ワイヤ切れをワイヤ
タツチやリークによるものとスパークそのものの
飛んでいないことによるものに識別することがで
きる。また本実施例では判定回路６がボール形成
開始信号７と予め定められているボール形成時間
によつて検出時間信号を形成しているが、紫外線
検出を行う時はワイヤ１１の先端とスパークロツ
ド１４の間に電圧を印加する時と同じであるか
ら、該検出時間信号はスパークのための印加電圧
と同じ波形の信号としてスパーク発生回路で容易
に形成できる。 By combining this wire breakage signal 8 with the presence or absence of power to the spark generating circuit, which is detected by a conventional wire breakage detection means, it is possible to distinguish between wire breaks caused by touching the wire or a leak, and those caused by the spark itself not flying. I can do it. Furthermore, in this embodiment, the determination circuit 6 forms a detection time signal based on the ball formation start signal 7 and a predetermined ball formation time. Since this is the same as when a voltage is applied between them, the detection time signal can be easily formed by the spark generation circuit as a signal having the same waveform as the applied voltage for sparking.
（考案の効果）
以上説明したように、本考案のワイヤボンダの
ワイヤ切れ検出装置は、ボールが形成されている
か否かをボール形成時のスパークによつて生ずる
紫外線を検出することによつて判定するようにし
たので、ワイヤ切れの判定を従来の検出手段より
も直接的に行えるようになり、したがつてワイヤ
切れの検出を従来の検出手段よりも確実に行うこ
とができて空打ちによる不良品の発生を確実に防
止することができるという利点を有する。(Effects of the invention) As explained above, the wire breakage detection device for a wire bonder of the invention determines whether a ball is formed by detecting ultraviolet rays generated by sparks during ball formation. As a result, wire breakage can be determined more directly than conventional detection means. Therefore, wire breakage can be detected more reliably than conventional detection means, and defective products due to blank firing can be detected. This has the advantage of being able to reliably prevent the occurrence of
第１図は本考案のワイヤボンダのワイヤ切れ検
出装置の実施例の説明図で、同図のａは該実施例
の構成図であり、ｂは信号波形例を示す図であ
る。
１……紫外線検出管、２……パルス駆動回路、
３……パルス信号検出回路、５……パルス信号、
６……判定回路、７……ボール形成開始信号、８
……ワイヤ切れ信号、１１……ワイヤ、１２……
キヤピラリ、１４……スパークロツド、１５……
紫外線、ｉ……放電電流、Ｔ……検出時間。
FIG. 1 is an explanatory diagram of an embodiment of a wire breakage detection device for a wire bonder according to the present invention, in which a is a block diagram of the embodiment, and b is a diagram showing an example of a signal waveform. 1... Ultraviolet detection tube, 2... Pulse drive circuit,
3...Pulse signal detection circuit, 5...Pulse signal,
6... Judgment circuit, 7... Ball formation start signal, 8
...Wire break signal, 11...Wire, 12...
Capillary, 14...Spark rod, 15...
Ultraviolet light, i...discharge current, T...detection time.
Claims (1)
て生じる紫外線を検出する紫外線検出管と；該紫
外線検出管にパルス電圧を印加するパルス駆動回
路と；紫外線を受けた時に前記の紫外線検出管に
生じるパルス状の放電電流を受け、これに対応す
るパルス信号を検出するパルス信号検出回路と；
該パルス信号とボール形成開始信号とを受け、該
ボール形成開始信号を受けた時点から所定の時間
内に所定の数のパルスが検出されない場合にワイ
ヤ切れ信号を出力する判定回路と；を具備するこ
とを特徴とするワイヤボンダのワイヤ切れ検出装
置。 an ultraviolet detection tube that detects ultraviolet rays generated by sparks during ball formation of a wire bonder; a pulse drive circuit that applies a pulse voltage to the ultraviolet detection tube; a pulse signal detection circuit that receives a discharge current and detects a corresponding pulse signal;
a determination circuit that receives the pulse signal and the ball formation start signal and outputs a wire breakage signal if a predetermined number of pulses are not detected within a predetermined time from the time when the ball formation start signal is received; A wire breakage detection device for a wire bonder, characterized by the following.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988087170U JPH0451478Y2 (en) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988087170U JPH0451478Y2 (en) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH029434U JPH029434U (en) | 1990-01-22 |
| JPH0451478Y2 true JPH0451478Y2 (en) | 1992-12-03 |
Family
ID=31311792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988087170U Expired JPH0451478Y2 (en) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0451478Y2 (en) |
-
1988
- 1988-06-30 JP JP1988087170U patent/JPH0451478Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH029434U (en) | 1990-01-22 |
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