JPH0451478Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0451478Y2 JPH0451478Y2 JP1988087170U JP8717088U JPH0451478Y2 JP H0451478 Y2 JPH0451478 Y2 JP H0451478Y2 JP 1988087170 U JP1988087170 U JP 1988087170U JP 8717088 U JP8717088 U JP 8717088U JP H0451478 Y2 JPH0451478 Y2 JP H0451478Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- signal
- pulse
- ball
- detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/015—Manufacture or treatment of bond wires
- H10W72/01551—Changing the shapes of bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07511—Treating the bonding area before connecting, e.g. by applying flux or cleaning
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は、ワイヤボンダのボール形成時にボー
ルが形成れない状態を検出するワイヤ切れ検出手
段の改良に関する。
ルが形成れない状態を検出するワイヤ切れ検出手
段の改良に関する。
（従来の技術）
ワイヤボンダでは、ワイヤカツト動作の不具合
によつてキヤピラリ先端からのワイヤ繰り出し長
さが所定の値にならないためにワイヤの先端とス
パークロツドがボールの形成時に所定の間隔とな
らないことがある。またワイヤの先端とスパーク
ロツドの間に電圧を印加した時に、この間の周辺
の雰囲気の変化などによつてワイヤの先端とスパ
ークロツドとの間以外に電流が流れる（以下、リ
ークと言う）こともある。このような状態では所
定のスパークがワイヤの先端とスパークロツドと
の間に飛ばないためにボールが形成されない（以
下、この状態をワイヤ切れと言う）。このような
ワイヤ切れの状態でボンデイング動作を行うと、
ICチツプがキヤピラリの先端で打たれるだけ
（以下、これを空打ちと言う）となつて不良品が
発生する。このような空打ちを防ぐためにワイヤ
ボンダにはボンデイング動作を中断させるための
ワイヤ切れ検出手段が設けられている。
によつてキヤピラリ先端からのワイヤ繰り出し長
さが所定の値にならないためにワイヤの先端とス
パークロツドがボールの形成時に所定の間隔とな
らないことがある。またワイヤの先端とスパーク
ロツドの間に電圧を印加した時に、この間の周辺
の雰囲気の変化などによつてワイヤの先端とスパ
ークロツドとの間以外に電流が流れる（以下、リ
ークと言う）こともある。このような状態では所
定のスパークがワイヤの先端とスパークロツドと
の間に飛ばないためにボールが形成されない（以
下、この状態をワイヤ切れと言う）。このような
ワイヤ切れの状態でボンデイング動作を行うと、
ICチツプがキヤピラリの先端で打たれるだけ
（以下、これを空打ちと言う）となつて不良品が
発生する。このような空打ちを防ぐためにワイヤ
ボンダにはボンデイング動作を中断させるための
ワイヤ切れ検出手段が設けられている。
このワイヤ切れ検出手段は、ボール形成用のス
パーク発生回路に電流が流れいるか否かを検出
し、流れている場合にはスパークによるボール形
成が行われていると判定し、流れていない場合に
はスパークによるボール形成が行われていないか
らワイヤ切れが生じていると判定している。
パーク発生回路に電流が流れいるか否かを検出
し、流れている場合にはスパークによるボール形
成が行われていると判定し、流れていない場合に
はスパークによるボール形成が行われていないか
らワイヤ切れが生じていると判定している。
（考案が解決しようとする課題）
しかるに上述した従来のワイヤボンダのワイヤ
切れ検出手段には次のような問題がある。
切れ検出手段には次のような問題がある。
すなわち、スパーク発生回路の電流の有無だけ
でワイヤ切れが生じているか否かを判定している
ために、スパークが発生していなくてもスパーク
発生回路に電流の流れる場合、たとえばワイヤが
スパークロツドに接触しているワイヤタツチの状
態ではワイヤ切れが検出されず、あるいはリーク
が発生して所定のスパークがワイヤの先端とスパ
ークロツドの間に飛んでいないためにボールが形
成されていない場合にもワイヤ切れが検出されな
いという問題がある。
でワイヤ切れが生じているか否かを判定している
ために、スパークが発生していなくてもスパーク
発生回路に電流の流れる場合、たとえばワイヤが
スパークロツドに接触しているワイヤタツチの状
態ではワイヤ切れが検出されず、あるいはリーク
が発生して所定のスパークがワイヤの先端とスパ
ークロツドの間に飛んでいないためにボールが形
成されていない場合にもワイヤ切れが検出されな
いという問題がある。
本考案の目的は、ボールが形成されているか否
かをボール形成時のスパークによつて生ずる紫外
線を検出することによつて判定するようにし、こ
れによりワイヤ切れを従来の検出手段よりも直接
的に判定し、ワイヤ切れの検出が従来の検出手段
よりも確実に行え、これにより空打ちのための不
良品の発生を確実に防止することができるワイヤ
ボンダのワイヤ切れ検出装置を提供することであ
る。
かをボール形成時のスパークによつて生ずる紫外
線を検出することによつて判定するようにし、こ
れによりワイヤ切れを従来の検出手段よりも直接
的に判定し、ワイヤ切れの検出が従来の検出手段
よりも確実に行え、これにより空打ちのための不
良品の発生を確実に防止することができるワイヤ
ボンダのワイヤ切れ検出装置を提供することであ
る。
（課題を解決するための手段）
本考案のワイヤボンダのワイヤ切れ検出装置は
上記の目的を達成するために次の手段構成を有す
る。
上記の目的を達成するために次の手段構成を有す
る。
すなわち本考案のワイヤボンダのワイヤ切れ検
出装置は、ワイヤボンダのボール形成時のスパー
クによつて生じる紫外線を検出する紫外線検出管
と；該紫外線検出管にパルス電圧を印加するパル
ス駆動回路と；紫外線を受けた時に前記の紫外線
検出管に生じるパルス状の放電電流を受け、これ
に対応するパルス信号を検出するパルス信号検出
回路と；該パルス信号とボール形成開始信号とを
受け、該ボール形成開始信号を受けた時点から所
定の時間内に所定の数のパルスが検出されない場
合にワイヤ切れ信号を出力する判定回路と；を具
備することを特徴とするものである。
出装置は、ワイヤボンダのボール形成時のスパー
クによつて生じる紫外線を検出する紫外線検出管
と；該紫外線検出管にパルス電圧を印加するパル
ス駆動回路と；紫外線を受けた時に前記の紫外線
検出管に生じるパルス状の放電電流を受け、これ
に対応するパルス信号を検出するパルス信号検出
回路と；該パルス信号とボール形成開始信号とを
受け、該ボール形成開始信号を受けた時点から所
定の時間内に所定の数のパルスが検出されない場
合にワイヤ切れ信号を出力する判定回路と；を具
備することを特徴とするものである。
（作用）
以下、上記の手段構成を有する本考案のワイヤ
ボンダのワイヤ切れ検出装置の作用を説明する。
ボンダのワイヤ切れ検出装置の作用を説明する。
紫外線検出管にはパルス駆動回路からパルス電
圧が印加されており、紫外線を受けることによつ
て該パルス電圧に対応したパルス状の放電電流が
流れる。パルス信号検出回路はこの放電電流を受
け、これに対応したパルス信号を検出する。
圧が印加されており、紫外線を受けることによつ
て該パルス電圧に対応したパルス状の放電電流が
流れる。パルス信号検出回路はこの放電電流を受
け、これに対応したパルス信号を検出する。
判定回路はこのパルス信号とワイヤボンダのボ
ール形成開始信号を受け、該ボール形成開始信号
を受けた時点から所定のボール形成時間を経過す
る間を検出時間として、この検出時間内のパルス
の数を数え、この数がボールの形成に対応した所
定の数に達しない場合にワイヤ切れ信号を出力す
る。ボールを形成するためにはワイヤの材質、線
径ならびにワイヤの先端とスパークロツドとの間
隔などに対応して所定の強さのスパークを所定の
時間ワイヤの先端とスパークロツドの間に飛ばさ
ねばならないから、この所定のスパークに対応し
て所定の強さの紫外線が所定の時間放射されるこ
ととなる。したがつて、ボールが形成されている
時には、この所定の紫外線に対応した所定の数の
パルスが前記の検出時間内に検出され、所定のス
パークが飛ばないためにボールが形成されていな
い場合には、所定の紫外線が放射されていないの
で検出パルスの数が所定の数に達しない。
ール形成開始信号を受け、該ボール形成開始信号
を受けた時点から所定のボール形成時間を経過す
る間を検出時間として、この検出時間内のパルス
の数を数え、この数がボールの形成に対応した所
定の数に達しない場合にワイヤ切れ信号を出力す
る。ボールを形成するためにはワイヤの材質、線
径ならびにワイヤの先端とスパークロツドとの間
隔などに対応して所定の強さのスパークを所定の
時間ワイヤの先端とスパークロツドの間に飛ばさ
ねばならないから、この所定のスパークに対応し
て所定の強さの紫外線が所定の時間放射されるこ
ととなる。したがつて、ボールが形成されている
時には、この所定の紫外線に対応した所定の数の
パルスが前記の検出時間内に検出され、所定のス
パークが飛ばないためにボールが形成されていな
い場合には、所定の紫外線が放射されていないの
で検出パルスの数が所定の数に達しない。
以上説明したように、本考案のワイヤボンダの
ワイヤ切れ検出装置は、ボールが形成されている
か否かをボール形成時のスパークによつて生ずる
紫外線を検出することによつて判定するようにし
たので、ワイヤ切れの判定を従来の検出手段より
も直接的に行えるようになり、したがつてワイヤ
切れの検出を従来の検出手段よりも確実に行うこ
とができて空打ちによる不良品の発生を確実に防
止することができる。
ワイヤ切れ検出装置は、ボールが形成されている
か否かをボール形成時のスパークによつて生ずる
紫外線を検出することによつて判定するようにし
たので、ワイヤ切れの判定を従来の検出手段より
も直接的に行えるようになり、したがつてワイヤ
切れの検出を従来の検出手段よりも確実に行うこ
とができて空打ちによる不良品の発生を確実に防
止することができる。
（実施例）
以下、本考案のワイヤボンダのワイヤ切れ検出
装置の実施例を図面に基づいて説明する。
装置の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本考案のワイヤボンダのワイヤ切れ検
出装置の実施例の説明図である。第１図のａは該
実施例の構成図であつて、紫外線検出管１はパル
ス駆動回路２からパルス電圧を印加されている。
ワイヤ１１の先端にボールを形成するためにワイ
ヤ１１の先端とスパークロツド１４の間にスパー
クが飛ばされると、これによつて紫外線１５が放
射される。紫外線検出管１が紫外線１５を受ける
ことによつて、前記のパルス電圧に対応したパル
ス状の放電電流ｉが流れる。パルス信号検出回路
３はたとえばフオトカプラなどを用いて構成さ
れ、放電電流ｉを受けてそのパルスを検出し電圧
パルスのパルス信号５を出力する。判定回路６は
パルス信号５とボール形成開始信号７を受け、た
とえば第１図のｂの信号波形例を示す図のよう
に、パルス信号５のパルスの数をボール形成開始
信号７の波形の各立上がり時点から所定のボール
形成時間と同じ長さの検出時間Ｔ毎に数える。
出装置の実施例の説明図である。第１図のａは該
実施例の構成図であつて、紫外線検出管１はパル
ス駆動回路２からパルス電圧を印加されている。
ワイヤ１１の先端にボールを形成するためにワイ
ヤ１１の先端とスパークロツド１４の間にスパー
クが飛ばされると、これによつて紫外線１５が放
射される。紫外線検出管１が紫外線１５を受ける
ことによつて、前記のパルス電圧に対応したパル
ス状の放電電流ｉが流れる。パルス信号検出回路
３はたとえばフオトカプラなどを用いて構成さ
れ、放電電流ｉを受けてそのパルスを検出し電圧
パルスのパルス信号５を出力する。判定回路６は
パルス信号５とボール形成開始信号７を受け、た
とえば第１図のｂの信号波形例を示す図のよう
に、パルス信号５のパルスの数をボール形成開始
信号７の波形の各立上がり時点から所定のボール
形成時間と同じ長さの検出時間Ｔ毎に数える。
第１および第３の区間のように検出パルスの数
が３に達していない場合、判定回路６は所定の紫
外線が検知されなかつたと判断し、所定のスパー
クが行われていないためにボールは形成されてい
ないと判定して、この判定をパルスで示すワイヤ
切れ信号８を出力する。
が３に達していない場合、判定回路６は所定の紫
外線が検知されなかつたと判断し、所定のスパー
クが行われていないためにボールは形成されてい
ないと判定して、この判定をパルスで示すワイヤ
切れ信号８を出力する。
このワイヤ切れ信号８を従来のワイヤ切れ検出
手段で検知されるスパーク発生回路の電源の有無
と組み合わせることにより、ワイヤ切れをワイヤ
タツチやリークによるものとスパークそのものの
飛んでいないことによるものに識別することがで
きる。また本実施例では判定回路６がボール形成
開始信号７と予め定められているボール形成時間
によつて検出時間信号を形成しているが、紫外線
検出を行う時はワイヤ１１の先端とスパークロツ
ド１４の間に電圧を印加する時と同じであるか
ら、該検出時間信号はスパークのための印加電圧
と同じ波形の信号としてスパーク発生回路で容易
に形成できる。
手段で検知されるスパーク発生回路の電源の有無
と組み合わせることにより、ワイヤ切れをワイヤ
タツチやリークによるものとスパークそのものの
飛んでいないことによるものに識別することがで
きる。また本実施例では判定回路６がボール形成
開始信号７と予め定められているボール形成時間
によつて検出時間信号を形成しているが、紫外線
検出を行う時はワイヤ１１の先端とスパークロツ
ド１４の間に電圧を印加する時と同じであるか
ら、該検出時間信号はスパークのための印加電圧
と同じ波形の信号としてスパーク発生回路で容易
に形成できる。
（考案の効果）
以上説明したように、本考案のワイヤボンダの
ワイヤ切れ検出装置は、ボールが形成されている
か否かをボール形成時のスパークによつて生ずる
紫外線を検出することによつて判定するようにし
たので、ワイヤ切れの判定を従来の検出手段より
も直接的に行えるようになり、したがつてワイヤ
切れの検出を従来の検出手段よりも確実に行うこ
とができて空打ちによる不良品の発生を確実に防
止することができるという利点を有する。
ワイヤ切れ検出装置は、ボールが形成されている
か否かをボール形成時のスパークによつて生ずる
紫外線を検出することによつて判定するようにし
たので、ワイヤ切れの判定を従来の検出手段より
も直接的に行えるようになり、したがつてワイヤ
切れの検出を従来の検出手段よりも確実に行うこ
とができて空打ちによる不良品の発生を確実に防
止することができるという利点を有する。
第１図は本考案のワイヤボンダのワイヤ切れ検
出装置の実施例の説明図で、同図のａは該実施例
の構成図であり、ｂは信号波形例を示す図であ
る。 １……紫外線検出管、２……パルス駆動回路、
３……パルス信号検出回路、５……パルス信号、
６……判定回路、７……ボール形成開始信号、８
……ワイヤ切れ信号、１１……ワイヤ、１２……
キヤピラリ、１４……スパークロツド、１５……
紫外線、ｉ……放電電流、Ｔ……検出時間。
出装置の実施例の説明図で、同図のａは該実施例
の構成図であり、ｂは信号波形例を示す図であ
る。 １……紫外線検出管、２……パルス駆動回路、
３……パルス信号検出回路、５……パルス信号、
６……判定回路、７……ボール形成開始信号、８
……ワイヤ切れ信号、１１……ワイヤ、１２……
キヤピラリ、１４……スパークロツド、１５……
紫外線、ｉ……放電電流、Ｔ……検出時間。
Claims (1)
- ワイヤボンダのボール形成時のスパークによつ
て生じる紫外線を検出する紫外線検出管と；該紫
外線検出管にパルス電圧を印加するパルス駆動回
路と；紫外線を受けた時に前記の紫外線検出管に
生じるパルス状の放電電流を受け、これに対応す
るパルス信号を検出するパルス信号検出回路と；
該パルス信号とボール形成開始信号とを受け、該
ボール形成開始信号を受けた時点から所定の時間
内に所定の数のパルスが検出されない場合にワイ
ヤ切れ信号を出力する判定回路と；を具備するこ
とを特徴とするワイヤボンダのワイヤ切れ検出装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988087170U JPH0451478Y2 (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988087170U JPH0451478Y2 (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH029434U JPH029434U (ja) | 1990-01-22 |
| JPH0451478Y2 true JPH0451478Y2 (ja) | 1992-12-03 |
Family
ID=31311792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988087170U Expired JPH0451478Y2 (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0451478Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-06-30 JP JP1988087170U patent/JPH0451478Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH029434U (ja) | 1990-01-22 |
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