JPH0452196Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0452196Y2 JPH0452196Y2 JP1986125397U JP12539786U JPH0452196Y2 JP H0452196 Y2 JPH0452196 Y2 JP H0452196Y2 JP 1986125397 U JP1986125397 U JP 1986125397U JP 12539786 U JP12539786 U JP 12539786U JP H0452196 Y2 JPH0452196 Y2 JP H0452196Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- green sheet
- hard
- head
- suction
- head body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案はセラミツク基板の製造工程において、
所定形状に打抜かれた未焼成のセラミツクシート
であるグリーンシートを移送するために用いられ
るグリーンシート吸着用ヘツドの改良に関するも
のである。
所定形状に打抜かれた未焼成のセラミツクシート
であるグリーンシートを移送するために用いられ
るグリーンシート吸着用ヘツドの改良に関するも
のである。
（従来の技術）
上記のようなグリーンシートをコンベアからコ
ンベアへ移送するような場合には、グリーンシー
トの４隅を小型のバキユームヘツドによつて吸着
する装置が用いられているが、未焼成の状態にあ
るグリーンシートは吸着された部分が変形するの
で焼成後に平滑度を測定すると吸着部分に20〜
40μmのくぼみが生じており、その部分は不良品
として除去しなければならないことがあるうえ、
グリーンシートのサイズが変わるごとにバキユー
ムヘツドを変換しなければならないという問題が
あつた。
ンベアへ移送するような場合には、グリーンシー
トの４隅を小型のバキユームヘツドによつて吸着
する装置が用いられているが、未焼成の状態にあ
るグリーンシートは吸着された部分が変形するの
で焼成後に平滑度を測定すると吸着部分に20〜
40μmのくぼみが生じており、その部分は不良品
として除去しなければならないことがあるうえ、
グリーンシートのサイズが変わるごとにバキユー
ムヘツドを変換しなければならないという問題が
あつた。
（考案が解決しようとする問題点）
本考案はこのような従来の問題点を解決して、
グリーンシートを変形させることなく吸着するこ
とができ、またそのサイズが変化してもその都度
ヘツド交換を行う必要のないグリーンシート吸着
用ヘツドを目的として完成されたものである。
グリーンシートを変形させることなく吸着するこ
とができ、またそのサイズが変化してもその都度
ヘツド交換を行う必要のないグリーンシート吸着
用ヘツドを目的として完成されたものである。
（問題点を解決するための手段）
本考案は真空源に接続される空気吸引口を上部
に備えた中空のヘツド本体の下面に多数の吸着孔
を透設した平板を設けるとともに、該平板の下面
には気孔径の異なる複数枚の硬質多孔板を気孔径
の小さいものを下側として順次積層したことを特
徴とするものである。
に備えた中空のヘツド本体の下面に多数の吸着孔
を透設した平板を設けるとともに、該平板の下面
には気孔径の異なる複数枚の硬質多孔板を気孔径
の小さいものを下側として順次積層したことを特
徴とするものである。
（実施例）
次に本考案を図示の実施例によつて更に詳細に
説明すると、１は直径250mmのアルミニウム製の
ヘツド本体であり、その上部には三方電磁弁２を
介して図示を略した真空源に接続される空気吸引
口３が設けられている。真空源としては500mmAq
のブロアの吸引口が用いられるが、実施例では空
気吸込口４を介して圧縮空気を三方電磁弁２に供
給することもできるようになつている。この圧縮
空気は単に空気吸引を停止しただけではグリーン
シートが離れない場合に、空気を噴出させてグリ
ーンシートの落下を確実に行わせるために用いら
れるもので、ヘツド本体１に真空を作用させるか
圧縮空気を作用させるかは三方電磁弁２の切換え
によつて選択することができる。
説明すると、１は直径250mmのアルミニウム製の
ヘツド本体であり、その上部には三方電磁弁２を
介して図示を略した真空源に接続される空気吸引
口３が設けられている。真空源としては500mmAq
のブロアの吸引口が用いられるが、実施例では空
気吸込口４を介して圧縮空気を三方電磁弁２に供
給することもできるようになつている。この圧縮
空気は単に空気吸引を停止しただけではグリーン
シートが離れない場合に、空気を噴出させてグリ
ーンシートの落下を確実に行わせるために用いら
れるもので、ヘツド本体１に真空を作用させるか
圧縮空気を作用させるかは三方電磁弁２の切換え
によつて選択することができる。
このヘツド本体１の下面には孔径2.0mmの吸引
孔９を15mmピツチで多数透設したアルミニウム製
の平板５が設けられており、この平板５の下面に
は複数枚の硬質多孔板６，７，８がその周縁部分
を接着剤により接着されて積層されている。これ
らの硬質多孔板６，７，８はその気孔径が異なる
もので、下側ほど気孔径が小さくなるように積層
するものとする。実施例では上側の硬質多孔板６
は平均孔径130μm、気孔率85％のものであり、中
央の硬質多孔板７は平均孔径60μm、気孔率88％、
下側の硬質多孔板８は平均孔径30μm、気孔率91
％のものを使用している。硬質多孔板６，７，８
は樹脂製あるいはセラミツク製の連続気孔を持つ
ものを用いるものとし、スポンジのような軟質の
ものは吸着面が撓んでグリーンシートを変形させ
てしまうおそれがあるので好ましくない。硬質多
孔板６，７，８は実施例では３層としたが、必要
とされる吸着力に応じて層数や厚みを自由に変え
ることができる。
孔９を15mmピツチで多数透設したアルミニウム製
の平板５が設けられており、この平板５の下面に
は複数枚の硬質多孔板６，７，８がその周縁部分
を接着剤により接着されて積層されている。これ
らの硬質多孔板６，７，８はその気孔径が異なる
もので、下側ほど気孔径が小さくなるように積層
するものとする。実施例では上側の硬質多孔板６
は平均孔径130μm、気孔率85％のものであり、中
央の硬質多孔板７は平均孔径60μm、気孔率88％、
下側の硬質多孔板８は平均孔径30μm、気孔率91
％のものを使用している。硬質多孔板６，７，８
は樹脂製あるいはセラミツク製の連続気孔を持つ
ものを用いるものとし、スポンジのような軟質の
ものは吸着面が撓んでグリーンシートを変形させ
てしまうおそれがあるので好ましくない。硬質多
孔板６，７，８は実施例では３層としたが、必要
とされる吸着力に応じて層数や厚みを自由に変え
ることができる。
（作用）
このように構成されたものは、図示のとおり空
気吸引口３を真空源に接続して中空のヘツド本体
１の内部を減圧し、その下面に積層された硬質多
孔板８の下面をグリーンシート１０の上面に密着
させれば、硬質多孔板６，７，８の気孔を通じて
グリーンシート１０と最も下側の硬質多孔板８と
の間の空気が吸引されて減圧され、これによりグ
リーンシート１０を１枚ずつ吸着することができ
るものである。このとき、ヘツド本体１内の圧力
は複数枚の硬質多孔板６，７，８を介してその全
面に均等に分散されるうえに、グリーンシート１
０と接触するのは硬質材料からなる平板状の硬質
多孔板８であるので、吸着力によるグリーンシー
ト１０の変形はほとんど生じない。特に本考案に
おいては気孔径の異なる複数枚の硬質多孔板８を
気孔径の小さいものを下側として順次積層したの
で、グリーンシート１０と直接接触する硬質多孔
板８の気孔径は比較的小さいものとなつて吸着力
によるグリーンシート１０の変形をほとんど生じ
させることがない。具体的には、前記実施例に示
した本考案のヘツドにより厚さ0.9mmのアルミナ
質のグリーンシートの吸着を行い、これを焼成後
に表面粗さ計によつて吸着部分の平面状態を測定
したところくぼみの大きさは最大でも2.75μmで
あり、従来のヘツドを用いた場合のくぼみが20〜
40μmであつたのに対して極めて優れた結果が得
られた。更に本考案においては上側及び中側等に
は気孔径が比較的大きい硬質多孔板６，７を用い
たので吸着力の減衰が少なく、また真空源の圧力
や流量の制御によつては吸着力の調節は行いにく
いものであるが、本考案においては硬質多孔板
６，７，８の厚さや気孔径を適当に調節すること
によつてグリーンシート１０に対する吸着力を最
適に制御することができる。このように本考案の
ヘツドは下面に硬質多孔板６，７，８を積層して
吸着力を全面に分散させたものであるから、グリ
ーンシート１０のサイズが変化しても共通に用い
ることができ、その都度ヘツドの交換を行う必要
もないものである。
気吸引口３を真空源に接続して中空のヘツド本体
１の内部を減圧し、その下面に積層された硬質多
孔板８の下面をグリーンシート１０の上面に密着
させれば、硬質多孔板６，７，８の気孔を通じて
グリーンシート１０と最も下側の硬質多孔板８と
の間の空気が吸引されて減圧され、これによりグ
リーンシート１０を１枚ずつ吸着することができ
るものである。このとき、ヘツド本体１内の圧力
は複数枚の硬質多孔板６，７，８を介してその全
面に均等に分散されるうえに、グリーンシート１
０と接触するのは硬質材料からなる平板状の硬質
多孔板８であるので、吸着力によるグリーンシー
ト１０の変形はほとんど生じない。特に本考案に
おいては気孔径の異なる複数枚の硬質多孔板８を
気孔径の小さいものを下側として順次積層したの
で、グリーンシート１０と直接接触する硬質多孔
板８の気孔径は比較的小さいものとなつて吸着力
によるグリーンシート１０の変形をほとんど生じ
させることがない。具体的には、前記実施例に示
した本考案のヘツドにより厚さ0.9mmのアルミナ
質のグリーンシートの吸着を行い、これを焼成後
に表面粗さ計によつて吸着部分の平面状態を測定
したところくぼみの大きさは最大でも2.75μmで
あり、従来のヘツドを用いた場合のくぼみが20〜
40μmであつたのに対して極めて優れた結果が得
られた。更に本考案においては上側及び中側等に
は気孔径が比較的大きい硬質多孔板６，７を用い
たので吸着力の減衰が少なく、また真空源の圧力
や流量の制御によつては吸着力の調節は行いにく
いものであるが、本考案においては硬質多孔板
６，７，８の厚さや気孔径を適当に調節すること
によつてグリーンシート１０に対する吸着力を最
適に制御することができる。このように本考案の
ヘツドは下面に硬質多孔板６，７，８を積層して
吸着力を全面に分散させたものであるから、グリ
ーンシート１０のサイズが変化しても共通に用い
ることができ、その都度ヘツドの交換を行う必要
もないものである。
（考案の効果）
本考案は以上の説明からも明らかなように、軟
質で変形し易いグリーンシートをほとんど変形さ
せることなく吸着することができるものであり、
またグリーンシートのサイズが変形しても共通の
ヘツドが使用でき、その都度ヘツドを変換する必
要がないうえに吸着力の調節を硬質多孔板の種類
を変えることによつて最適に制御することができ
るものである。よつて本考案は従来のこの種のグ
リーンシート吸着用ヘツドの問題点を解決したも
のとして、その実用的価値は極めて大きいもので
ある。
質で変形し易いグリーンシートをほとんど変形さ
せることなく吸着することができるものであり、
またグリーンシートのサイズが変形しても共通の
ヘツドが使用でき、その都度ヘツドを変換する必
要がないうえに吸着力の調節を硬質多孔板の種類
を変えることによつて最適に制御することができ
るものである。よつて本考案は従来のこの種のグ
リーンシート吸着用ヘツドの問題点を解決したも
のとして、その実用的価値は極めて大きいもので
ある。
第１図は本考案の実施例を示す一部切欠正面図
である。 １……ヘツド本体、３……空気吸引口、６，
７，８……硬質多孔板。
である。 １……ヘツド本体、３……空気吸引口、６，
７，８……硬質多孔板。
Claims (1)
- 真空源に接続される空気吸引口３を上部に備え
た中空のヘツド本体１の下面に多数の吸着孔９を
透設した平板５を設けるとともに、該平板５の下
面には気孔径の異なる複数枚の硬質多孔板６，
７，８を気孔径の小さいものを下側として順次積
層したことを特徴とするグリーンシート吸着用ヘ
ツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986125397U JPH0452196Y2 (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986125397U JPH0452196Y2 (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6332849U JPS6332849U (ja) | 1988-03-03 |
| JPH0452196Y2 true JPH0452196Y2 (ja) | 1992-12-08 |
Family
ID=31018266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986125397U Expired JPH0452196Y2 (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0452196Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI439351B (zh) * | 2008-09-29 | 2014-06-01 | 日東電工股份有限公司 | Adsorption tablets |
| JP6563277B2 (ja) * | 2015-08-26 | 2019-08-21 | 株式会社カテックス | 吸着装置及び搬送方法 |
| US20190084778A1 (en) * | 2016-03-08 | 2019-03-21 | Nano Tem Co., Ltd. | Conveying pad, conveying apparatus using the conveying pad, and conveying method |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51101474U (ja) * | 1975-02-10 | 1976-08-14 | ||
| JPS5313045A (en) * | 1976-07-22 | 1978-02-06 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Air bearing and vacuum adsorption device |
-
1986
- 1986-08-15 JP JP1986125397U patent/JPH0452196Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6332849U (ja) | 1988-03-03 |
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