JPH0452243A - 高電気抵抗と低温度係数を有する精密抵抗合金およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、精密抵抗合金に関し、さらに詳しくは高電気
抵抗と低温度係数を有するＮ１−Ｃｒ−Ｃｕ−Ａｆ系精
密抵抗合金に関するものである。

（従来の技術） 近年歪みセンサや温度センサ等の抵抗変化型機能素子の
開発がめざましいが、それらはかなり厳しい環境下で使
用される場合もある。これら機能素子の性能を十分に発
揮するためには、温度変化による出力ドリフトを極力抑
えることが重要である。その−船釣な方法としては、補
償抵抗や基準抵抗などの精密抵抗材料を回路に組み込ん
だハイブリッド化によって、高信顛性や高安定性を得て
いる。

従来これらの精密抵抗材料としては電気抵抗の温度係数
が小さいＣｕ−Ｍｎ系合金、Ｎ　ｉ　−Ｃｕ系合金、Ｎ
ｉ−Ｃｒ系合金やアモルファス合金の他にこれらの金属
箔膜抵抗等が使用されている。

（発明が解決しようとする課題） ところで、エレクトロニクスの発達した今日では各種デ
バイスは超精密、小型化および高性能化に向っており、
それに伴って精密抵抗材料もさらに優秀なものが求めら
れつつある。その要求条件として仲比電気抵抗が大きい
こと、電気抵抗の温度係数が小さいこと、細線化や薄板
化などの冷間加工が容易なこと、薄膜への成膜化が容易
なことならびに安価なこと等が挙げられる。

前述したＣｕ−Ｍｎ系合金やＮｉ−Ｃｕ系合金は、電気
抵抗の温度係数が±２０Ｘ１０−６°ｃ−１で極めて小
さく、加工性に冨みしかも安価であるが、比電気抵抗が
３５〜５０μΩ・ｃａｍで小さいだけでなく、製造工程
が複雑である等の欠点を有する。

またＮｉ−Ｃｕ系合金は比電気抵抗が１００〜１３０μ
Ω・ｃｓで大きいが、加工性がやや悪い欠点を有する。

またアモルファス合金は、比電気抵抗が１００〜１８０
μΩ・ｃａｍと極めて大きく、かつその温度係数も±２
０Ｘ１０−”℃−８の優秀な特性も得られているが、特
性の再現性が悪く、加工性が極めて困難でしかも加熱処
理によって結晶化が進み、特性が急激に悪化する欠点が
ある。

さらにまた金属箔膜抵抗は比電気抵抗およびその温度係
数に関しては上記の合金素材より優れているが、高電圧
やサージ電圧などの変動に対する対応性が悪く、しかも
大電力用のものが製造できない欠点がある。

以上述べたようにこれらの材料は一長一短があるために
、用途別に使い分けたり条件付きでの使用を余儀な（さ
れている。

（課題を解決するための手段） 上記材料のうちで、Ｎ　ｉ　−Ｃｕ系合金は比較的大き
な電気抵抗を有するだけでなく、電気的特性の安定性や
高温における耐酸化性などが優れている。この合金にＣ
ｕやＡ２等を数％添加して電気抵抗の温度係数を改善し
た合金が既に実用化されているが、反面比電気抵抗の最
高値は約１３０μΩ・ｃｍで、これ以上高い！負抵抗は
現在得られていない。

その理由としては、Ａｊ２やＣｕの多量添加によって、
加工性が著しく悪化することならびに大気中熱処理によ
って酸化が著しいためである。したがって実用材料にお
いては、Ａ２およびＣｕの最大含有量はいずれも約３％
である。

本発明の目的は、比電気抵抗およびその温度係数がそれ
ぞれ１３０μΩ・Ｃ１１以上および±５０Ｘ１０−６°
ｃｍ１の電気的特性を有するＮｉ　−Ｃｒ　−Ｃｕ−Ａ
　ｌ系合金を得ることおよび該合金の高温度における酸
化対策と良好な加工性を解決するための新規な製造法を
提供することを特徴とするものである。

本発明は、これらの点に鑑みなされたものであって、多
くの実験と詳細な研究を鋭意進めた結果、クロム（Ｃｒ
　）　１０〜２６％、銅（Ｃｕ　）　２．５〜１５％、
アルミニウム（Ａ　ｆ　）　２：５〜１０％、コバルト
（Ｃｏ　）０．０１〜２０％、マンガン（Ｍｎ　）　０
．０１〜１５％、タングステン（Ｗ）　０．０１〜５％
、チタン（Ｔｉ）０．０１〜５％、シリコン（Ｓｔ）０
．０１〜５％で、しかもＣｒ、ＣｕおよびＡｆｆｉの合
計が２５〜４０％とＣｏ　。

Ｍｎ　、Ｗ、ＴｉおよびＳｉの合計が０．０１〜２０％
、および残部が実質的にニッケル（Ｎｉ　）からなる組
成において、１３０μΩ・ｃｍ以上の高い比電気抵抗と
±５０Ｘ１０−ｂ″ｃ−１の極めて低い電気抵抗の温度
係数を有するＮｉ　−Ｃｒ　−Ｃｕ−Ａ　ｌ系精密抵抗
合金が得られた。さらに該合金の加工法においてβＣｒ
Ａ１．、Ｎｉ３Ａｆ、ＡｌｚＯ＊あるいはＣｒｚＯ＝等
の化合物を極力抑える新規の製造方法を見い出した。

因に化合物βＣｒＡｆ！およびＮ　ｉ　３　Ａ　ｌはそ
れぞれ室温から約８６０°Ｃおよび約１４００°Ｃまで
安定状態にあり、極めて硬く脆いため加工は全て不可能
である。しかしできるだけ高温に加熱することによって
化合物は分解し母合金中に固溶して、加工が容易になる
性質がある。

またＡ／！、０．やＣｒｔＯ８等の化合物はＮ　ｉ　３
　Ａ　Ｑと同様に加工性を悪化させるが、高温での酸化
を防止する工夫によって加工が容易になる性質がある。

そこで本発明合金の製造工程においては、上記の問題を
解決するための手段として、合金を加工率２０％以上９
０％以下の冷間加工と３００℃以上１２００℃以下で１
分以上５０時間以下の加熱後、５０〜２０００”Ｃ／ｈ
ｒの炉冷あるいは強制冷却の熱処理とを交互に繰り返す
ことによって、βＣｒＡ　ｊ！　、　Ｎ　ｉ３Ａ　ｌ　
。

／１．０３あるいはＣｒ　ｚ　０３等の化合物生成が抑
制され、良好な加工性が達せられることを見いだした。

ここで本発明合金の加工法としては全て冷間加工を採用
したが、その理由は大気中高温加熱処理や熱間加工は合
金内部深く酸化が浸透して加工が困難になるためである
。

（作　用） 以下本発明について詳細に説明する。

本発明合金を製造するには、重量比にてクロム１０〜２
６％、銅２．５〜１５％およびアルミニウム２．５〜１
０％の合計２５〜４０％、コバルト０．０１〜２０％、
マンガン０．０１〜１５％、タングステン０．０１〜５
％、チタン０．０１〜５％およびシリコン０．０１〜５
％の内から選ばれた１種または２種以上の合計０．０１
〜２０％と残部が実質的にニッケルからなる合金を非酸
化性雰囲気中あるいは真空中において適当な溶解炉を用
いて溶解し、十分撹拌し均一な溶融合金にする。

つぎにこれを適当な形および大きさの鋳型に注入して、
健全な鋳塊を得る。この鋳塊の表面の疵を丁寧に取り除
き、加工率２０以上９０％以下の冷間加工を施した後、
素材を容器に密封するかあるいは任意の方法により素材
の酸化を防止して、３００〜１２００°Ｃで１分以上５
０時間以下加熱する。その後５０〜３００°Ｃ／ｈｒの
炉冷、好ましくは３００〜２０００“Ｃ／ｈｒで強制冷
却する。これらの操作を繰り返して、目的の形状のもの
、例えば線材、板材や箔材等が得られる。これらの成形
品についてさらに上記と同じ温度（３００°Ｃ以上１２
００°Ｃ以下）および時間（１分以上５０時間）にて加
熱し、炉冷するかあるいは空冷する熱処理を施すことに
よって、比電気抵抗が１３０μΩ・ｃｍおよび室温付近
における電気抵抗の温度係数が＋１００　×１０−”ｃ
ｍ’乃至一１００ＸＩＯ−６℃−１以上の特性が得られ
る。

なおまた本発明は、重量比にて、クロム１０〜２６％、
銅４〜１５％およびアルミニウム２．５〜９％の合計３
０〜３５％、さらにコバルト０．０１〜２０％、マンガ
ン０．０１〜１５％、タングステン０．０１〜５％、チ
タン０．０１〜５％およびシリコン０．０１〜５％の内
から選ばれた１種あるいは２種以上の合計０．０１〜２
０％と残部が実質的にニッケルからなる合金を上述した
加工法および熱処理法によって、比電気抵抗が１３０μ
Ω・ｃｍ以上および電気抵抗の温度係数が＋５０Ｘ１０
−’°ｃ　−１乃至−５０Ｘ　１０−６°ｃ−１の極め
て優れた特性が得られる。

本発明合金の製造法において、合金に含まれる主成分の
ＣｕやＡｆの含有量が多くなると大気中高温加熱による
耐酸化性を損なうので、通常の熱間加工は不可能である
。

そこで成形加工は全て冷間加工のみとしたが、当然歪み
取り焼鈍が必要である。しかし従来のＮｉ−Ｃｒ系合金
で行なわれている一般的な熱処理法を本発明合金に採用
した場合には、合金素材が酸化したり金属間化合物が生
成して加工性を悪化させることになる。これらの諸問題
を解決する方法としては、加工性を向上するための熱処
理および成形のための冷間加工、最後に所望の特性を得
るための熱処理などの工程が必要である。つぎには各工
程の内で重要な２種類の熱処理方法について詳細に説明
する。

４Ｐパ法Ａ 本発明合金を適当な溶解炉にて溶解し、鋳造後インゴッ
ト表面の疵等を除去して、さらに表面を丁寧に研磨する
。つぎに該合金の断面積より若干大きい断面積を有する
適当な耐熱性容器に挿入して、この容器全体を電気炉を
使用して３００〜１２００°Ｃの温度で１分以上５０時
間以下加熱後、５０〜３００”Ｃ／ｈｒで炉冷するかあ
るいは３００〜ｂ強制冷却する。つぎに容器から出した
素材をスウェージングあるいは線引機等により加工率２
０％以上９０％以下の冷間加工を施し、所望の寸法に成
形する。加工方法としては、この他にも合金素材と容器
を一体として加工し、所望の寸法に成形後容器を取り除
き、最後に成形された線材や板材等を連続加熱炉中に通
し、上記の熱処理条件にて熱処理を施す。

−Ｂ 本発明合金を適当な溶解炉にて溶解し、鋳造後インゴッ
ト表面の疵等を除去して、さらに表面を丁寧に研磨する
。つぎに該合金を適当な電気炉を使用して、真空中ある
いは不活性ガス雰囲気中若しくはスポンジチタン等のガ
ス吸収材で合金を包み込み３００〜１２００°Ｃの温度
で１分以上５０時間以下加熱後、５０〜３００°Ｃ／ｈ
ｒの炉冷好ましくは３００〜ｂ ングあるいは線引機等により加工率２０％以上９０％以
下の冷間加工を施し所望の寸法に成形する。成形された
線材や板材等には、さらに真空中あるいは不活性ガス雰
囲気中若しくはスポンジチタン等のガス吸収材で成形品
を包み込み、最後に上記と同様の熱処理を施す。

かくして上記２種類の熱処理によって、素材は金属光沢
を有しかつ結晶粒径も極めて小さく、さらに悪性金属間
化合物がほとんど生成されず、しかも延性があり良好な
加工性を発揮した。例えば、線径０．０６ｍｍ以下の極
細線加工も容易であった。

したがって本発明の製造法は本発明合金ばかりでなく、
銅やアルミニウム等が多量に含有した合金の場合にも適
用可能であり、工業上剥するところが多大である。

上記の新規な製造法により得られた本発明合金は、比電
気抵抗が１３０μΩ・０１１１以上および室温付近にお
ける電気抵抗の温度係数が＋５０Ｘ１０−６°ｃ−１乃
至−５０Ｘ　１０−６°ｃ−１の優れた特性を示す。

第１図、第２図および第３図は、Ｎｉ−０〜３０％Ｃｒ
−０〜２０％Ｃｕ−０〜１０％Ａ１合金を工０００°Ｃ
で１時間加熱後３００°Ｃ／ｈｒで冷却した場合のそれ
ぞれＣｒ量、Ｃｕ量およびＡｆ量に対する２０°Ｃにお
ける比電気抵抗ρと０〜５０°Ｃにおける電気抵抗の平
均温度係数ＴＣＲの変化を示す。また第４図および第５
図は、Ｎｉ−２０％Ｃｒ−１０％Ｃｕ−５Ａｊ！合金に
Ｃｏ２５％以下、Ｍｎ１５％以下、Ｗ５％以下、Ｔｉ　
５％以下あるいはＳｉ　５％以下を添加した場合のそれ
ぞれＣＯ量あるいはＭｎ量およびＷ量、Ｔｉ量あるいは
Ｓｉ量に対するρおよび　ＴＣＲの変化を示す。

原料は純度９９．９％以上の電解ニッケルと電解クロム
、純度９９．９９％以上の無酸素銅と電解アルミニウム
を用いた。

試料を造るには、全重量Ｌｏｇの原料を坩堝に入れ高周
波誘導電気炉を用いて真空中で溶解した。

その後よく撹拌して均質な溶融合金とした。つぎにこれ
を内径１０＋＋＋ａ＋、高さ１２０　ａｓの鉄則に鋳込
み健全な鋳塊を得た。この鋳塊表面の疵などを旋盤によ
り丁寧に削り取り、直径約９ＩｌｌＩ１１の丸棒にした
。

この丸棒をスェージング機により直径５Ｉｌ１ｍまで冷
間加工（加工率６９％）して原試料とした。

この原試料について、加工を容易にするための熱処理（
工程Ｉ）、各種形状に成形するための冷間加工（工程■
）および要求特性を得るための熱処理（工程■）等の各
種工程を組み合わることによって所望の試料を作製した
。

ここで工程■において、本実験では冷間加工のみとした
理由は、本発明合金の場合高温で熱処理すると酸化が合
金内部に深く浸透して脆くなり、熱間加工が困難となる
からである。

つぎにこれら製造工程について説明する。

ニー捏上 ５ｍｎ＋の丸棒を、その断面積より若干大きめの乾燥し
た石英管（内径６ｍｍ）に封入して、これを電気炉（内
径３抛ｍ、長さ１ｍ）に入れる。そして予め３００〜１
２００°Ｃの各種の温度にセットした電気炉（内径３０
ｍｍ、長さ１ｍ）に入れ大気中にて２分、１時間および
１０時間加熱した後、電気炉を任意の速度５０〜３００
℃／ｈｒで冷却する炉冷方式と電気炉をファン等を使用
したりあるいは電気炉内石英管を移動して３００〜５０
００°Ｃ／ｈｒで冷却する強制冷却方式で室温まで冷却
する。以上の方法で熱処理後、丸棒を石英管から取り出
した結果、すべて金属光沢が認められた。ここで明らか
になったことは、比較的低温でしかも長時間加熱したり
、あるいは極めてゆっくり冷却すると、合金の加工性が
悪化することである。

ニー程↓ 工程■の熱処理を施した丸棒をミゾロール、スェ−ジン
グ機あるいは伸線機等により、冷間加工を施して線径２
■の線材を得る。この場合の加工率は８４％である。つ
ぎに工程■と同様の熱処理と本工程とを繰り返して、最
終的には線径０．５　ｍ＋１１の細線を得る。この間の
加工率は２０％、５０％、７５％、８０％および９３％
の５種類であった。しかし本発明合金の製造法において
、加工率９３％での加工は加工硬化が極端に進行して困
難であった。したがって加工率の限界値は約９０％であ
ることが分かった。

ニー程ｌ 工程■で得られた線径０．５１の細線から長さ１００　
ａｍに切断して、直線状とした後内径１ｍｍ以下の石英
管に入れ真空封入して上記の製造工程Ｉと同様の加熱温
度および時間にて種々の熱処理を施した後、種々の速度
で冷却する。また８００°Ｃ以下における熱処理の場合
では、試料全体をスポンジチタン等で包み込み、さらに
ガスを排気することによって超真空の場合と同様に酸化
がみられず、極めて有効であることがわかった。以上の
工程により所望の細線試料が得られる。

上述した方法により得られた種々の試料について、２０
℃における比電気抵抗ρ、０〜５０°Ｃにおける電気抵
抗の平均温度係数ＴＣＲ（−ΔＲ／Ｒ，／ΔＴ）および
組織等について評価を行った。ここでΔＲ＝Ｒ３゜−Ｒ
ｏおよびΔＴ＝５０である。

第６図および第７図は、ρとＴＣＰのそれぞれ加熱温度
および加熱時間に対する変化を示す、第８図は、冷却速
度および加熱温度に対する加工性あるいは電気的特性の
評価を示す、第１図かられかるようにρは加熱時間が２
分の場合では１２００℃以上また１時間の場合では３０
０℃以上でそれぞれ１３０μΩ・ｃａｔ以上の高い値が
得られるが、比較合金Ａ（点線）の場合は６００℃で極
大値１２８μΩ・ｃｍを示す、またＴＣＲはいずれの加
熱時間の場合においても±５０ＸＩＱ−”℃−１以下の
低い値が得られ、特に８００°Ｃ以上においては極めて
低いことがわかる。したがって３００°Ｃ以上の温度で
加熱することによッテ、１３０μΩ・ａｍ以上のρと＋
５０Ｘ１０−”ｃｍ’以下のＴＣＲを得ることができる
。

なお試料の熱処理条件に対応した特性は第１表の通りで
ある。

第１表 実】ｌ辻１ 原料は実施例１と同じ純度のものを用た。試料の製造方
法は全重量１０ｇを高純度アルミナ坩堝（ＳＳＡ−Ｈ，
Ｔ−２）に入れ、酸化を防ぐために金属表面に高純度ア
ルゴンガスを吹きつけながらタンマン炉によって溶かし
、よく撹拌して均質な溶融合金とした。つぎにこれを内
径３．６　ａｍの石英管に吸い上げて、均質化処理のた
めに試料の直径より若干太い内径を有する一端封止の石
英管に挿入して１０００°Ｃ温度で１０分加熱後炉外に
取り出して空冷する。つぎに種々の加工率になるように
上記の熱処理を施して線径０．５　＋ａｍの細線を得る
。最後にこの細線に３００°Ｃ以上１２００°Ｃ以下の
種々の温度で１分以上５０時間以下の加熱後、種々の冷
却速度で冷却して試料を作製する。実験方法は実施例１
と同様であった。試料の熱処理条件とそれに対応した特
性は第２表の通りである。

第２表 第３表 原料は実施例２と同じ純度のものを用いたが、シリコン
は純度９９．９９％以上であった。試料の製造法および
実験方法は実施例２と同様であった。

試料の熱処理条件とそれに対応した特性は第３表の通り
である。

なお本発明合金領域に属する代表的な合金と比較合金Ａ
、　Ｂ、　ＣおよびＤについて１０００”Ｃで１時間加
熱後、３００°Ｃ／ｈｒで炉冷した場合の特性値を示す
と第４表および第５表の通りである。

以上本発明は、第１図乃至第８図、実施例１乃至実施例
３、第４表および第５表からもわかるようにＣｒ１０〜
２６％、Ｃｕ　２．５〜１５％およびＡｌ２２．５〜１
０％の合計２５〜４０％、Ｃｏ　Ｏ，０１〜２０％、Ｍ
ｎ　Ｏ，０１〜１５％、Ｗ　０．０１〜５％、Ｔｉ　０
．０１〜５％およびＳｉ　０．０１〜５％から選ばれた
１種あるいは２種以上の合計０．０１〜２０％および残
部が実質的にＮｉからなる合金である。

また本発明は、上記合金を適当な雰囲気遮断法または雰
囲気処理法にて３００°Ｃ以上１２００℃以下で１分以
上５０時間以下加熱後、５０〜３００°Ｃ／ｈｒの炉冷
、好ましくは３００〜２０００°Ｃ／ｈｒの強制冷却を
施し、さらに加工率２０％以上９０％以下の冷間加工に
より所望の寸法に成形する製造法を提供するものである
。

さらにまた本発明は、上記製造法により得られた合金を
３００°Ｃ以上１２００°Ｃ以下で１分以上５０時間以
下加熱後、炉冷するかあるいは空冷する熱処理を施すこ
とによって、比電気抵抗が１３０μΩ・ｃｍ以上および
室温付近における電気抵抗の温度係数が＋１００　×１
０−１乃至−１乃至−１００×１０−６°ｃ−’、若し
くは＋５０Ｘ１０−”ｃｍ’乃至一５０ＸｌＯ−６°ｃ
−’ノ優レタ特長を有する。

つぎに本発明合金の組成、熱処理および加工率等の数値
を限定した理由について述べる。まず合金組成をＣｒ　
１０〜２４％、Ｃｕ　２．５〜１５％、Ａ１２．５〜１
０およびＣｒ、ＣｕとＡＮの合計２５〜４０％。

Ｃｏ　０．０１〜２０％、　Ｍｎ　０．０１〜１５％、
　Ｗ　０．０１〜５％、　Ｔｉ　０．０１〜５％および
Ｓｉ０．０１〜５％から選ばれた１種あるいは２種以上
の合計０．０１〜２０％および残部Ｎｉ　と限定した理
由は、第１図乃至第３図、各実施例および第４表からも
明らかなように、それらの組成範囲からはずれると比電
気抵抗ρが１３０μΩ・ＣＩＩ＋以下になり、電気抵抗
の温度係数ＴＣＲが＋１００　×１０−’°ｃ−１乃至
−１００×１０−”ｃｍ’の範囲からはずれ、加工性が
悪化する他結晶粒が粗大成長するなど所期の要求条件を
満足できないので、精密抵抗合金としては不適当となる
からである。なお第６表および第７表に組成と緒特性と
の関係を示す。

第６表 第７表 ◎：良化 ○：やや良化 △：やや悪化 ×：悪化 ◎：良化　Ｏ：やや良化　Δ：やや悪化　×：悪化　−
：変化なしまた本発明合金の製造法において、加熱温度
を３００°Ｃ以上工２００°Ｃ以下、加熱時間を１分以
上５０時間以下、冷却速度を５０〜３００°Ｃ／ｈｒの
炉冷、若しくは３００〜２０００°Ｃ／ｈｒの強制冷却
および加工率を２０％以上９０％以下と限定した理由は
、上記の各々の範囲からはずれると、第６図乃至第８図
および各実施例からも明らかなようにそれぞれ耐酸化性
、加工性や電気的特性の他にも製造コストに大きな問題
が生じるので、精密抵抗合金の製造法としては不適当と
なるからである。

（発明の効果） 本発明によれば、Ｎｉ−１０〜２６％Ｃｒ−２，５〜１
５％Ｃｕ−２，５〜１０％Ａ　ｆ　−０，０１〜２０％
Ｃｏ−０，０１〜１５％Ｍｎ−０，０１〜５％Ｗ−０，
０１〜５％Ｔｉ−０，０１〜５％Ｓｉ合金は、比電気抵
抗が１３０μΩ・Ｃ１１以上で高く、しかも室温付近に
おける電気抵抗の温度係数が±５０Ｘ１０−６℃−１で
極めて小さい特性を有するので、本発明合金を使用した
エレクトロニクス関連の各デバイスは一層小型化が進み
、しかも高安定、高性能化に貢献することは明らかであ
る。

すなわち本発明合金を使用することによって、厳しい温
度環境下においてデバイスの温度ドリフトと発熱を極力
抑制する効果があるだけでなく、大きな電圧変動に対し
ても素子の破壊を防止する効果がある。

さらに本発明合金の製造法によれば、Ｃｏ　。

Ｍｎ　、Ｗ、ＴｉおよびＳｉの添加によって電気的特性
が向上するだけでなく、再結晶の粗大化を抑えさらに新
規な熱処理法において悪性化合物がほとんど生成されず
、しかも酸化が内部に浸透しないので、加工性が向上す
る効果もある。

本発明製造法は本発明合金だけでなく、Ｃｒ。

Ｃｕ９Ａ／！等の高含有合金にも十分適用できるので、
工業玉料するところか多大である。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図および第３図は、１０００°Ｃで１時間
加熱後３００°Ｃ／ｈｒで冷却したＮｉ−０〜３０％Ｃ
ｒ−０〜２０％Ｃｕ−０〜１０％Ａ！合金のそれぞれＣ
ｒ量、Ｃｕ量およびＡｌ量に対する２０°Ｃにおける比
電気抵抗ρと０〜５０°Ｃにおける電気抵抗の平均温度
係数ＴＣＲの変化を示す特性図、第４図および第５図は
、Ｎｉ−２０％Ｃｒ−１０％Ｃｕ−５％Ａ１合金にＣｏ
　、Ｍｎ　、Ｗ、ＴｉあるいはＳｔを添加した場合のそ
れぞれＣｏ量あるいはＭｎ量、およびＷ量、Ｔｉ量ある
いはＳｉ量に対するρおよびＴＣＲの変化を示す特性図
、第６図は、１時間で加熱した比較合金Ａおよび合金番
号１４の本発明合金のρおよびＴＣＰについて、２分、
１時間あるいは１０時間で加熱した場合の加熱温度に対
する変化を示す特性図、第７図は、合金番号１４のρお
よびＴＣＲについて、６００℃、８００℃あるいは１０
００°Ｃで加熱した場合の加熱時間に対する変化を示す
特性図、および第８図は、合金番号１４の加工性および
特性と加熱温度あるいは冷却速度との関係を示す特性図
である。 第１図 （：ｒｙ”Ａ へ 第２図 第４図 品又ｔｔ　Ｍｎ　／’１ 第３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、重量比にて、クロム１０〜２６％、銅２．５〜１５
   ％およびアルミニウム２．５〜１０％の合計２５〜４０
   ％、コバルト０．０１〜２０％、マンガン０．０１〜１
   ５％、タングステン０．０１〜５％、チタン０．０１〜
   ５％およびシリコン０．０１〜５％から選ばれた１種あ
   るいは２種以上の合計０．０１〜２０％およびニッケル
   残余からなり、比電気抵抗が １３０μΩ・ｃｍ以上および室温付近における電気抵抗
   の温度係数が＋１００×１０＾−＾６℃＾−＾１乃至−
   １００×１０＾−＾６℃＾−＾１を有することを特徴と
   する精密抵抗合金。 ２、重量比にて、クロム１０〜２６％、銅４〜１５％お
   よびアルミニウム２．５〜９％の合計３０〜３５％、コ
   バルト０．０１〜２０％、マンガン０．０１〜１５％、
   タングステン０．０１〜５％、チタン０．０１〜５％お
   よびシリコン０．０１〜５％の内から選ばれた１種ある
   いは２種以上の合計０．０１〜２０％およびニッケル残
   余からなり、比電気抵抗が１３０μΩ・ｃｍ以上および
   室温付近における電気抵抗の温度係数が＋５０×１０＾
   −＾６℃＾−＾１乃至−５０×１０＾−＾６℃＾−＾１
   を有することを特徴とする精密抵抗合金。 ３、重量比にて、クロム１０〜２６％、銅３．５〜１５
   ％およびアルミニウム２．５〜１０％の合計２５〜４０
   ％、コバルト０．０１〜２０％、マンガン０．０１〜１
   ５％、タングステン０．０１〜５％、チタン０．０１〜
   ５％およびシリコン０．０１〜５％の内から選ばれた１
   種あるいは２種以上の合計０．０１〜２０％からなる合
   金を、溶解鋳造し、合金の断面積より若干大きい内面を
   有する耐熱性容器に挿入し、３００℃以上１２００℃以
   下で１分以上５０時間以下加熱後、５０〜３００℃／ｈ
   ｒの炉冷、好ましくは３００〜２０００℃／ｈｒの強制
   冷却を施し、素材と容器一体で加工率２０％以上９０％
   以下の冷間加工により所望の寸法に成形し、適当な寸法
   により該容器を取り除き、その後３００℃以上１２００
   ℃以下の温度および１分以上５０時間加熱し、炉冷する
   かあるいは空冷する熱処理を施すことによって、比電気
   抵抗が１３０″Ω・ｃｍ以上および室温付近における電
   気抵抗の温度係数が＋１００×１０＾−＾５℃＾−＾１
   乃至−１００×１０＾−＾６℃＾−＾１若しくは＋５０
   ×１０＾−＾６℃＾−＾１乃至−５０×１０＾−＾６℃
   ＾−＾１を得ることを特徴とする精密抵抗合金の製造方
   法。 ４、重量比にて、クロム１０〜２６％、銅２．５〜１５
   ％およびアルミニウム２．５〜１０％の合計２５〜４０
   ％、コバルト０．０１〜２０％、マンガン０．０１〜１
   ５％、タングステン０．０１〜５％、チタン０．０１〜
   ５％およびシリコン０．０１〜５％の内から選ばれた１
   種あるいは２種以上の合計０．０１〜２０％およびニッ
   ケル残余からなる合金を、溶解鋳造し、真空中、あるい
   は不活性ガス雰囲気中若しくはスポンジチタンやニッケ
   ル板等で成形品を包み込み３００℃以上１２００℃以下
   で１分以上５０時間以下加熱後、５０〜３００℃／ｈｒ
   の炉冷、又は３００〜２０００℃／ｈｒの強制冷却を行
   なった後、加工率２０％以上９０％以下の冷間加工を施
   し所望の寸法に成形し、さらにこの成形品を３００℃以
   上１２００℃以下の温度および１分以上５０時間にて加
   熱し、炉冷するかあるいは空冷する熱処理を施すことに
   よって、比電気抵抗が１３０μΩ・ｃｍ以上および室温
   付近における電気抵抗の温度係数が＋１００×１０＾−
   ＾６℃＾−＾１乃至−１００×１０＾−＾６℃＾−＾１
   若しくは＋５０×１０＾−＾６℃＾−＾１乃至−５０×
   １０＾−＾６℃＾−＾１を得ることを特徴とする精密抵
   抗合金の製造方法。