JPH0452622B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0452622B2 JPH0452622B2 JP7732084A JP7732084A JPH0452622B2 JP H0452622 B2 JPH0452622 B2 JP H0452622B2 JP 7732084 A JP7732084 A JP 7732084A JP 7732084 A JP7732084 A JP 7732084A JP H0452622 B2 JPH0452622 B2 JP H0452622B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shelf
- shelves
- guide rail
- stocker
- guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 25
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 14
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/12—Storage devices mechanical with separate article supports or holders movable in a closed circuit to facilitate insertion or removal of articles the articles being books, documents, forms or the like
- B65G1/127—Storage devices mechanical with separate article supports or holders movable in a closed circuit to facilitate insertion or removal of articles the articles being books, documents, forms or the like the circuit being confined in a vertical plane
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(1) 発明の属する技術分野
本発明は複数の半導体ウエハカセツトを立体的
に収納するストツカに係り、特に駆動が簡単で信
頼性が高い送り機構を有する半導体ウエハカセツ
ト用ストツカに関する。
に収納するストツカに係り、特に駆動が簡単で信
頼性が高い送り機構を有する半導体ウエハカセツ
ト用ストツカに関する。
(2) 従来技術の説明
従来、半導体ウエハの保管はウエハをカセツト
と呼ばれる箱内に並べ、このカセツトを清浄な保
管棚に収納することによつて行なわれている。こ
のような方法は、保管するカセツトの数が少ない
場合には問題がないのであるが、カセツト数が増
加するにしたがつて保管スペースの問題、保管ウ
エハのロツト管理の問題などが生じる。すなわ
ち、保管棚へ収納する作業性の点から保管棚の高
さが限られさらに多数の棚に収納されたウエハカ
セツトをロツト番号に対応して管理するためには
多くの工数が必要となる。
と呼ばれる箱内に並べ、このカセツトを清浄な保
管棚に収納することによつて行なわれている。こ
のような方法は、保管するカセツトの数が少ない
場合には問題がないのであるが、カセツト数が増
加するにしたがつて保管スペースの問題、保管ウ
エハのロツト管理の問題などが生じる。すなわ
ち、保管棚へ収納する作業性の点から保管棚の高
さが限られさらに多数の棚に収納されたウエハカ
セツトをロツト番号に対応して管理するためには
多くの工数が必要となる。
そこで、棚を立体的に配置し、これを回転可能
とすることによつて小さな底面積でかつカセツト
の出し入れを容易に行なうことが出来るストツカ
が考えられた。このストツカは、第１図、第２図
に示すように２つのスプロケツトホイール１，２
の間にチエイン５が設けられ、２つのスプロケツ
トホイール３，４の間にチエイン６が設けられ、
チエイン５，６間に複数の棚７〜１８が設けられ
ている。このような構成によれば、スプロツトホ
イールを回転させて各棚の位置を変更しても各棚
板は常に水平状態に保たれるのであるが、実際に
は棚板上にウエハカセツト１９を置いた時に棚の
重心が移動して棚が傾くためにカセツトの出し入
れが困難である。さらに、棚板横方向からのカセ
ツト出し入れが出来ないので、自動化ラインにも
適用困難である。また、チエインは駆動に際して
必ず「たるみ」を必要とするので棚の位置精度が
悪くなり、その構造上「ゴミ」が多く発生し、潤
滑に油脂類をも必要とするのでクリーンルーム内
での使用にははなはだ不都合である。
とすることによつて小さな底面積でかつカセツト
の出し入れを容易に行なうことが出来るストツカ
が考えられた。このストツカは、第１図、第２図
に示すように２つのスプロケツトホイール１，２
の間にチエイン５が設けられ、２つのスプロケツ
トホイール３，４の間にチエイン６が設けられ、
チエイン５，６間に複数の棚７〜１８が設けられ
ている。このような構成によれば、スプロツトホ
イールを回転させて各棚の位置を変更しても各棚
板は常に水平状態に保たれるのであるが、実際に
は棚板上にウエハカセツト１９を置いた時に棚の
重心が移動して棚が傾くためにカセツトの出し入
れが困難である。さらに、棚板横方向からのカセ
ツト出し入れが出来ないので、自動化ラインにも
適用困難である。また、チエインは駆動に際して
必ず「たるみ」を必要とするので棚の位置精度が
悪くなり、その構造上「ゴミ」が多く発生し、潤
滑に油脂類をも必要とするのでクリーンルーム内
での使用にははなはだ不都合である。
さらに、ウエハカセツトをとり出す棚の位置を
一個所に決めた場合にこの位置へ移動できる棚の
数に制約がある。
一個所に決めた場合にこの位置へ移動できる棚の
数に制約がある。
(3) 発明の目的
本発明はかかる従来の欠点のない高精度でかつ
ゴミの発生しない半導体ウエハカセツトのストツ
カを提供することにある。
ゴミの発生しない半導体ウエハカセツトのストツ
カを提供することにある。
(4) 発明の特徴
本発明の特徴は、複数の半導体ウエハカセツト
を載置する棚と、この棚の両端に各々設けられ棚
と嵌合した側板とを有する半導体ウエハカセツト
のストツカにおいて、これらの側板には実質的に
垂直方向へ延在するガイドレールが設けられ、ガ
イドレールに沿つてこの棚を移動せしめる駆動手
段が設けられている半導体ウエハカセツトのスト
ツカにある。
を載置する棚と、この棚の両端に各々設けられ棚
と嵌合した側板とを有する半導体ウエハカセツト
のストツカにおいて、これらの側板には実質的に
垂直方向へ延在するガイドレールが設けられ、ガ
イドレールに沿つてこの棚を移動せしめる駆動手
段が設けられている半導体ウエハカセツトのスト
ツカにある。
本発明の他の特徴は、複数の半導体ウエハカセ
ツトを載置する棚と、棚の両端に各々設けられた
側板とを有する半導体ウエハカセツトのストツカ
において、側板の各々には実質的に垂直方向へ延
在しかつ互いに平行な第１、第２、第３のガイド
レール対が設けられ、この棚を前記第１のガイド
レール対から前記第２もしくは前記第３のガイド
レール対へ移動する手段が設けられている半導体
ウエハカセツトのストツカにある。
ツトを載置する棚と、棚の両端に各々設けられた
側板とを有する半導体ウエハカセツトのストツカ
において、側板の各々には実質的に垂直方向へ延
在しかつ互いに平行な第１、第２、第３のガイド
レール対が設けられ、この棚を前記第１のガイド
レール対から前記第２もしくは前記第３のガイド
レール対へ移動する手段が設けられている半導体
ウエハカセツトのストツカにある。
(5) 発明の効果
本発明によれば、チエインを用いることなく各
棚の移動が行なわれるのでゴミの発生が無く、か
つ棚の位置精度が高い半導体ウエハカセツトのス
トツカが実現できる。
棚の移動が行なわれるのでゴミの発生が無く、か
つ棚の位置精度が高い半導体ウエハカセツトのス
トツカが実現できる。
さらに、多数の棚を同一個所へ移動してこの位
置でウエハカセツトの載置、とり出しが出来るの
で、大容量のストツカが容易に実現できる。
置でウエハカセツトの載置、とり出しが出来るの
で、大容量のストツカが容易に実現できる。
(6) 実施例
以下、本発明の一実施例について図面を用いて
説明する。
説明する。
第３図は本発明の一実施例のストツカの側面
図、第４図は正面図である。32コのウエハカセツ
ト１９は各々棚２０〜２７に載置され、これら各
棚２０〜２７は棚２４〜２６が第１のガイドレー
ル２８および第２のガイドレール（図示せず）に
よつて保持されている。各棚はガイドがガイドレ
ールに嵌合することによつてその位置が保たれ、
例えば棚２４はガイド３１，３２が第１のガイド
レールに嵌合し、反対側に同様に設けられたガイ
ド３６，３７が第２のガイドレールに嵌合するこ
とによつて保持される。なお、この例では各ガイ
ドは支持具３３，３８にとり付けられている。各
棚の上下方向の位置は各々の支持具が上下方向で
接触することによつて保たれる。棚２７のガイド
は第１、第２のガイドレールから上方向へ押し出
された状態となつているが、この時この棚２７の
ガイドはストツパ（図示せず）によつて第３図の
左方向（ストツカ前方向）へ押えられており、第
３のガイドレール２９、第４のガイドレール（図
示せず）が移動してこれらのガイドへ嵌合した後
にストツパは解除される。しかる後に第３のガイ
ドレール２９および第４のガイドレールは第３図
右方向（ストツカ後方向）へ移動し第５のガイド
レール３０および第６のガイドレール（図示せ
ず）上で停止する。第５のガイドレールおよび第
６のガイドレールは棚２０〜２２を保持している
が、棚２３がストツカ前方向へ移動した後は第２
の棚上げ下げ機構３５によつて棚２０〜２２全体
が１段分だけ下降し、その結果第５、第６のガイ
ドレールの最上部に棚１９が保持される。ストツ
カ前方向へ移動した棚２３は第１の棚上げ下げ機
構３４によつて押し上げられ、その結果棚２３の
各ガイドは第１および第２のガイドレールと嵌合
し、棚２４〜２６は上へ押し上げられて棚２６の
各ガイドが第１および第２のガイドレールから解
除される。このような動作をくり返すことによつ
て各棚は自由に移動させることが出来る。
図、第４図は正面図である。32コのウエハカセツ
ト１９は各々棚２０〜２７に載置され、これら各
棚２０〜２７は棚２４〜２６が第１のガイドレー
ル２８および第２のガイドレール（図示せず）に
よつて保持されている。各棚はガイドがガイドレ
ールに嵌合することによつてその位置が保たれ、
例えば棚２４はガイド３１，３２が第１のガイド
レールに嵌合し、反対側に同様に設けられたガイ
ド３６，３７が第２のガイドレールに嵌合するこ
とによつて保持される。なお、この例では各ガイ
ドは支持具３３，３８にとり付けられている。各
棚の上下方向の位置は各々の支持具が上下方向で
接触することによつて保たれる。棚２７のガイド
は第１、第２のガイドレールから上方向へ押し出
された状態となつているが、この時この棚２７の
ガイドはストツパ（図示せず）によつて第３図の
左方向（ストツカ前方向）へ押えられており、第
３のガイドレール２９、第４のガイドレール（図
示せず）が移動してこれらのガイドへ嵌合した後
にストツパは解除される。しかる後に第３のガイ
ドレール２９および第４のガイドレールは第３図
右方向（ストツカ後方向）へ移動し第５のガイド
レール３０および第６のガイドレール（図示せ
ず）上で停止する。第５のガイドレールおよび第
６のガイドレールは棚２０〜２２を保持している
が、棚２３がストツカ前方向へ移動した後は第２
の棚上げ下げ機構３５によつて棚２０〜２２全体
が１段分だけ下降し、その結果第５、第６のガイ
ドレールの最上部に棚１９が保持される。ストツ
カ前方向へ移動した棚２３は第１の棚上げ下げ機
構３４によつて押し上げられ、その結果棚２３の
各ガイドは第１および第２のガイドレールと嵌合
し、棚２４〜２６は上へ押し上げられて棚２６の
各ガイドが第１および第２のガイドレールから解
除される。このような動作をくり返すことによつ
て各棚は自由に移動させることが出来る。
なお、第１の棚上げ下げ機構３５、第２の棚上
げ下げ機構３６および第３、第４のガイドレール
の動作を逆転することによつて各棚の移動方向を
逆転することが出来る。
げ下げ機構３６および第３、第４のガイドレール
の動作を逆転することによつて各棚の移動方向を
逆転することが出来る。
本発明実施例によれば、各棚の位置が極めて正
確に設定出来、またチエインを用いないので各リ
ンケージからのゴミの発生が少ない。さらに、駆
動機構が棚の段数と独立しているので第１、第
２、第５、第６の各ガイドレールの長さを変更す
るのみで任意の段数のストツカが容易に実現でき
る。そして、駆動機構に無関係に各棚のとり外し
が可能なので、その保守も極めて簡単である。
確に設定出来、またチエインを用いないので各リ
ンケージからのゴミの発生が少ない。さらに、駆
動機構が棚の段数と独立しているので第１、第
２、第５、第６の各ガイドレールの長さを変更す
るのみで任意の段数のストツカが容易に実現でき
る。そして、駆動機構に無関係に各棚のとり外し
が可能なので、その保守も極めて簡単である。
第５図は本発明の他の実施例のストツカの側面
図である。正面図は第４図と基本的に同様である
ので省略する。
図である。正面図は第４図と基本的に同様である
ので省略する。
本実施例では、棚を３例にしてストツカの高さ
を変えることなくその収容力を1.5倍にしている。
48コのウエハカセツト１９は各々棚４０〜５１に
載置され、これらの各棚４０〜５１は棚４８〜５
１が第11（第12）ガイドレール５２（第12のガイ
ドレールは図の裏面側となるので図示されない。
以下第14、第16のガイドレールも同様）棚４４〜
４７が第13（第14）ガイドレール５３、棚４０〜
４３が第15（第16）ガイドレール５４によつて保
持されている。各棚は各々に設けられたガイドに
よつてガイドレールと嵌合している。例えば、棚
５１は支持具５６にガイド５７，５８（図示され
ない反対側にも同様のガイドがとり付けられてい
る）がとり付けられこれによつてガイドレールと
嵌合している。各棚の支持および移動は第一の実
施例と同様であるが、各棚を水平方向へ移動する
ガイドレール５５が予め決められたプログラムに
従つて第11、第13、第15のガイドレールの内の任
意の位置まで棚を移動させ、この位置で停止する
点が異なつている。
を変えることなくその収容力を1.5倍にしている。
48コのウエハカセツト１９は各々棚４０〜５１に
載置され、これらの各棚４０〜５１は棚４８〜５
１が第11（第12）ガイドレール５２（第12のガイ
ドレールは図の裏面側となるので図示されない。
以下第14、第16のガイドレールも同様）棚４４〜
４７が第13（第14）ガイドレール５３、棚４０〜
４３が第15（第16）ガイドレール５４によつて保
持されている。各棚は各々に設けられたガイドに
よつてガイドレールと嵌合している。例えば、棚
５１は支持具５６にガイド５７，５８（図示され
ない反対側にも同様のガイドがとり付けられてい
る）がとり付けられこれによつてガイドレールと
嵌合している。各棚の支持および移動は第一の実
施例と同様であるが、各棚を水平方向へ移動する
ガイドレール５５が予め決められたプログラムに
従つて第11、第13、第15のガイドレールの内の任
意の位置まで棚を移動させ、この位置で停止する
点が異なつている。
このような動作を行なうことによつて、多数の
棚をストツカの高さを増すことなく実装すること
が出来る。
棚をストツカの高さを増すことなく実装すること
が出来る。
なお、この実施例では棚が３列の場合を開示し
たが、任意の列に構成出来ることは当然である。
たが、任意の列に構成出来ることは当然である。
さらに、ガイドレール対毎にユニツト化して、
棚の列数を任意に組み合わせることも可能であ
る。
棚の列数を任意に組み合わせることも可能であ
る。
第１図および第２図は各々従来の半導体ウエハ
カセツト用ストツカの側面図および正面図、第３
図は本発明の第１の実施例の半導体ウエハカセツ
ト用ストツカの側面図、第４図はその正面図、第
５図は第２の実施例の半導体ウエハカセツト用ス
トツカの側面図である。 なお図において、１〜４……スプロケツトホイ
ール、５，６……チエイン、７〜１８……棚、１
９……ウエハカセツト、２０〜２７，４０〜５１
……棚、２８……第１のガイドレール、２９……
第３のガイドレール、３０……第５のガイドレー
ル、３１，３２，３６，３７，５７，５８……ガ
イド、３３，３８，５６……支持具、３４……第
１の棚上げ下げ機構、３５……第２の棚上げ下げ
機構、５２……第11のガイドレール、５３……第
13のガイドレール、５４……第15のガイドレー
ル、５５……水平移動用ガイドレールである。
カセツト用ストツカの側面図および正面図、第３
図は本発明の第１の実施例の半導体ウエハカセツ
ト用ストツカの側面図、第４図はその正面図、第
５図は第２の実施例の半導体ウエハカセツト用ス
トツカの側面図である。 なお図において、１〜４……スプロケツトホイ
ール、５，６……チエイン、７〜１８……棚、１
９……ウエハカセツト、２０〜２７，４０〜５１
……棚、２８……第１のガイドレール、２９……
第３のガイドレール、３０……第５のガイドレー
ル、３１，３２，３６，３７，５７，５８……ガ
イド、３３，３８，５６……支持具、３４……第
１の棚上げ下げ機構、３５……第２の棚上げ下げ
機構、５２……第11のガイドレール、５３……第
13のガイドレール、５４……第15のガイドレー
ル、５５……水平移動用ガイドレールである。
Claims (1)
- １ 複数のウエハが収容されたカセツトを複数載
置することができる複数のカセツトの保存棚と、
このカセツト保存棚の両端に各々少なくとも２つ
設けられたガイドを案内することにより、カセツ
ト載置面を水平に保つて上記カセツト保存棚を鉛
直方向に案内するガイド手段と、このガイド手段
と同様の構成からなりこのガイド手段に対して並
設された少なくとも２つの他のガイド手段と、上
記複数のガイド手段の上部および下部端部間で上
記カセツト保存棚をそれぞれ水平方向に移送する
２個の移送手段と、上記複数のガイド手段に対応
して設けられ、上記複数のガイド手段に案内され
た上記複数のカセツト保存棚を昇降する昇降手段
とから構成されたことを特徴とする半導体ウエハ
カセツトのストツカ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7732084A JPS60220924A (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 半導体ウエハカセツトのストツカ |
| US06/650,886 US4615430A (en) | 1983-10-06 | 1984-09-17 | Precision pallet stacking type storage system for use in clean environment or the like |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7732084A JPS60220924A (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 半導体ウエハカセツトのストツカ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60220924A JPS60220924A (ja) | 1985-11-05 |
| JPH0452622B2 true JPH0452622B2 (ja) | 1992-08-24 |
Family
ID=13630638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7732084A Granted JPS60220924A (ja) | 1983-10-06 | 1984-04-17 | 半導体ウエハカセツトのストツカ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60220924A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4986715A (en) * | 1988-07-13 | 1991-01-22 | Tokyo Electron Limited | Stock unit for storing carriers |
-
1984
- 1984-04-17 JP JP7732084A patent/JPS60220924A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60220924A (ja) | 1985-11-05 |
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