JPH0452996U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0452996U JPH0452996U JP9703890U JP9703890U JPH0452996U JP H0452996 U JPH0452996 U JP H0452996U JP 9703890 U JP9703890 U JP 9703890U JP 9703890 U JP9703890 U JP 9703890U JP H0452996 U JPH0452996 U JP H0452996U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic member
- casing
- turbo
- molecular pump
- rotating shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案に係るターボ分子ポンプの全体
を示す断面図、第２図は同じく本考案におけるタ
ーボ分子ポンプの要部を示す断面図、第３図は従
来のターボ分子ポンプを示す断面図である。 １…ポンプケーシング、４…静翼、７…球面ス
パイラル溝軸受、１３…回転体、１４…動翼、２
１…回転軸、２２…第１のマグネツト、２３…第
１の円板状ホルダー、２４…第２の円板状ホルダ
ー、２５…第２のマグネツト。
を示す断面図、第２図は同じく本考案におけるタ
ーボ分子ポンプの要部を示す断面図、第３図は従
来のターボ分子ポンプを示す断面図である。 １…ポンプケーシング、４…静翼、７…球面ス
パイラル溝軸受、１３…回転体、１４…動翼、２
１…回転軸、２２…第１のマグネツト、２３…第
１の円板状ホルダー、２４…第２の円板状ホルダ
ー、２５…第２のマグネツト。
補正 平１．９．４
実用新案登録請求の範囲を次のように補正する
。
。
【実用新案登録請求の範囲】
軸線方向に多段に設けられた静翼をその内部に
有するケーシングと、このケーシング内に回転自
在に設けられグリース潤滑の球面スパイラル溝軸
受によつて下端部が軸支された回転軸と、この回
転軸上に固定され前記静翼の一部がその内側に臨
む動翼を有する回転体とを備え、前記回転軸の上
端部に磁極面が下方に露呈する第１の磁性部材を
設け、この磁性部材に対向する第２の磁性部材を
前記ケーシング内に固定し、この磁性部材と前記
第１の磁性部材との間に磁気空隙を形成したこと
を特徴とするターボ分子ポンプ。
有するケーシングと、このケーシング内に回転自
在に設けられグリース潤滑の球面スパイラル溝軸
受によつて下端部が軸支された回転軸と、この回
転軸上に固定され前記静翼の一部がその内側に臨
む動翼を有する回転体とを備え、前記回転軸の上
端部に磁極面が下方に露呈する第１の磁性部材を
設け、この磁性部材に対向する第２の磁性部材を
前記ケーシング内に固定し、この磁性部材と前記
第１の磁性部材との間に磁気空隙を形成したこと
を特徴とするターボ分子ポンプ。
Claims (1)
- 軸線方向に多段に設けられた静翼をその内部に
有するケーシングと、このケーシング内に回転自
在に設けられ球面スパイラル溝軸受によつて下端
部が軸支された回転軸と、この回転軸上に固定さ
れ前記静翼の一部がその内側に臨む動翼を有する
回転体とを備えたターボ分子ポンプにおいて、前
記回転軸の上端部に第１の磁性部材を設け、この
磁性部材に対向する第２の磁性部材を前記ケーシ
ング内に固定し、この磁性部材と前記第１の磁性
部材との間に磁気空隙を形成したことを特徴とす
るターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9703890U JPH0452996U (ja) | 1990-09-13 | 1990-09-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9703890U JPH0452996U (ja) | 1990-09-13 | 1990-09-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0452996U true JPH0452996U (ja) | 1992-05-06 |
Family
ID=31837078
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9703890U Pending JPH0452996U (ja) | 1990-09-13 | 1990-09-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0452996U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4995389A (ja) * | 1973-01-19 | 1974-09-10 |
-
1990
- 1990-09-13 JP JP9703890U patent/JPH0452996U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4995389A (ja) * | 1973-01-19 | 1974-09-10 |