JPH0195595U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0195595U JPH0195595U JP19118587U JP19118587U JPH0195595U JP H0195595 U JPH0195595 U JP H0195595U JP 19118587 U JP19118587 U JP 19118587U JP 19118587 U JP19118587 U JP 19118587U JP H0195595 U JPH0195595 U JP H0195595U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- molecular pump
- turbo
- vacuum chamber
- vacuum
- sectional
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図、第２図は本考案によるターボ分子ポン
プの第１実施例を示す図であり、第１図はターボ
分子ポンプの断面図、第２図はメツキ層の断面図
、第３図は本考案の第２実施例を示すメツキ層の
断面図、第４図は他の実施例を示すメツキ層の断
面図、第５図は従来のメツキ層の断面図である。 １……ターボ分子ポンプ、２……ハウジング、
３……ステータ翼、５……ロータ、６……ロータ
翼、８……固定筒、１０……ロータ軸、１１……
構成材料、１１ａ……材料表面、１２……モータ
、１３……ピンホール、１４……半径方向電磁石
、１５……軸方向電磁石、１７……アーマチヤー
デイスク、１８，１８′……永久磁石、２０……
メツキ層（無電解ニツケルメツキ）、２１，２２
……保護用ドライベアリング。
プの第１実施例を示す図であり、第１図はターボ
分子ポンプの断面図、第２図はメツキ層の断面図
、第３図は本考案の第２実施例を示すメツキ層の
断面図、第４図は他の実施例を示すメツキ層の断
面図、第５図は従来のメツキ層の断面図である。 １……ターボ分子ポンプ、２……ハウジング、
３……ステータ翼、５……ロータ、６……ロータ
翼、８……固定筒、１０……ロータ軸、１１……
構成材料、１１ａ……材料表面、１２……モータ
、１３……ピンホール、１４……半径方向電磁石
、１５……軸方向電磁石、１７……アーマチヤー
デイスク、１８，１８′……永久磁石、２０……
メツキ層（無電解ニツケルメツキ）、２１，２２
……保護用ドライベアリング。
Claims (1)
- 真空チヤンバの真空度を高めるために用いられ
るターボ分子ポンプにおいて、内部を通過する前
記真空チヤンバ内のガスが接触する構成材料の表
面に無電解ニツケルメツキを厚さ２０〜２５μｍ
以上に被覆させることを特徴とするターボ分子ポ
ンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19118587U JPH0195595U (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19118587U JPH0195595U (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0195595U true JPH0195595U (ja) | 1989-06-23 |
Family
ID=31482110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19118587U Pending JPH0195595U (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0195595U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007224924A (ja) * | 2007-05-11 | 2007-09-06 | Boc Edwards Kk | 真空ポンプ |
| KR100880504B1 (ko) * | 2001-11-16 | 2009-01-28 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프 |
-
1987
- 1987-12-16 JP JP19118587U patent/JPH0195595U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100880504B1 (ko) * | 2001-11-16 | 2009-01-28 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프 |
| JP2007224924A (ja) * | 2007-05-11 | 2007-09-06 | Boc Edwards Kk | 真空ポンプ |