JPH0453052U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は、いずれもこの考案の蒸発
源るつぼの一実施例を示す概略縦断面図である。
第３図及び第４図は、いずれも従来の蒸発源るつ
ぼの概略縦断面図であり、そのうち第４図はクヌ
ーセンセル型の蒸発源るつぼの概略縦断面図であ
る。 １０……仕切り壁、２０……蒸発室、３０……
溶融室、４０……湯（溶融した蒸着材）、５０…
…導通用孔、６０……導通用細管、７０……加圧
ガス導入用孔。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 蒸着材を溶融、蒸発させるための凹部を有
   している蒸発源るつぼにおいて、凹部が仕切り壁
   により上部の蒸発室と下部の溶融室とに分けられ
   ており、蒸発室は底面に導通用孔を有しており、
   溶融室は側面に加圧ガス導入用孔を有しており、
   蒸発室と溶融室とは、蒸発室の底面の導通用孔か
   ら溶融室の底面付近まで設けられている導通用細
   管により導通していることを特徴とする蒸発源る
   つぼ。 (2) 蒸発室とそれに連なる導通用細管とからな
   る部品と、溶融室部品との、二つの部品の組合わ
   せからなる請求項１記載の蒸発源るつぼ。 (3) 蒸発室部品と、導通用細管部品と、溶融室
   部品との、三つの部品の組合わせからなる請求項
   １記載の蒸発源るつぼ。 (4) 蒸発室の底面の導通用孔に、溶融した蒸着
   材の整流用キヤツプが載置されている請求項１〜
   ３のいずれか１項に記載の蒸発源るつぼ。