JPH0453059U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の回転式多槽真空蒸着装置の
平面図で、第２図は第１図における−線の断
面図で、第３図は従来の横型真空蒸着装置の模式
図で、第４図は従来の開門型真空蒸着装置の模式
図で、第５図は従来の連続式真空蒸着装置の模式
図である。 ４……真空排気装置、５……真空槽、６……組
立台、７……回転台、５１……係着部、６１……
組立台の車輪、６２……軌道、７０……回転軸、
７５……連結具、８０……蒸着槽、８０１……蒸
着槽のフランジ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ それぞれ真空槽５と密閉結合して、真空排気
   装置４によつてその内部の真空度をコントロール
   される単一若しくは複数の蒸着槽８０に、２台若
   しくは２台以上の台車を配備し、これら台車に蒸
   着材料及び工作物を取付ける中間作業と、交互に
   蒸着槽８０に送り込んで真空蒸着処理による蒸着
   作業が行われる多槽真空蒸着装置において、 該真空槽５と適当な距離を隔てて、該真空槽５
   との間を移動できる組立台６と、該組立台６中央
   上面において回転軸７０の作動によりその軸周を
   回転できる回転台７と、該回転台７周縁部上面に
   配設されそれぞれ内部に蒸着フレームと所要部品
   を装備した複数の蒸着槽８０から構成されてなる
   回転式多槽真空蒸着装置。 ２ 上記真空槽５周壁の適宜な箇所に係着部５１
   を設け、それぞれ蒸着槽８０のフランジ８０１周
   壁と係着できるようにしてなる請求項１記載の回
   転式多槽真空蒸着装置。 ３ 上記組立台６が底面に車輪６１を装着し、上
   記真空槽５との間に敷設された軌道６２の上で移
   動できるようにされてなる請求項１記載の回転式
   多槽真空蒸着装置。 ４ 上記回転軸７０と、上記回転台７上面に装設
   される複数の蒸着槽８０が、連結具７５によつて
   それぞれ対応する箇所を連結されてなる請求項１
   記載の回転式多槽真空蒸着装置。