JPH0453533U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案による圧力センサの一実施例
を示す平面図、第２図はフレキシブルサーキツト
を断面として示す一実施例の側面図、第３図は第
１図の部拡大図、第４図は一実施例におけるゲ
ージ抵抗の拡大平面図、第５図は圧力センサの従
来例を示す平面図、第６図は第２図に対応した従
来例の側面図である。 １，１１……圧力センサ、２，１２……ダイア
フラム、２ａ，１２ａ……圧力応動部、３，４，
１５，１６……中継電極、５，１３……フレキシ
ブルサーキツト、５ａ，１３ａ……環状部、５ｂ
，１３ｂ……延出部、Ｐ_１，Ｐ_２，Ｐ_３，Ｐ_４，
Ｐ_５，Ｐ_６，Ｐ_１１，Ｐ_１２，Ｒ_１４，Ｐ_１５，
Ｐ_１６……電極、Ｒ_１，Ｒ_２，Ｒ_３，Ｒ_４，Ｒ_１
１，Ｒ_１２，Ｒ_１３，Ｒ_１４……ゲージ抵抗、Ｒ
_５，Ｒ_６，Ｒ_７，Ｒ_８，Ｒ_１５，Ｒ_１６，Ｒ_１７
，Ｒ_１８……トリミング抵抗、Ｄ_１，Ｄ_２……給
電用外部引出電極、Ｄ_３，Ｄ_４……電圧検出用外
部引出電極、Ｄ_１１，Ｄ_１２，Ｄ_１３，Ｄ_１４…
…外部引出電極、Ｗ_１，Ｗ_２，Ｗ_３，Ｗ_４，Ｗ_５
，Ｗ_６，Ｗ_７，Ｗ_１１，Ｗ_１２，Ｗ_１３，Ｗ_１４
，Ｗ_１７，Ｗ_１８，Ｗ_１９，Ｗ_２０，Ｗ_２１……
ワイヤ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ダイアフラム２上にブリツジ回路を形成する各
   ゲージ抵抗Ｒ_１，Ｒ_２，Ｒ_３，Ｒ_４と各電極Ｐ_１
   ，Ｐ_２，Ｐ_３，Ｐ_４，Ｐ_５，Ｐ_６とが２組に分離
   して形成され、かつ、前記各ゲージ抵抗Ｒ_１，Ｒ
   _２，Ｒ_３，Ｒ_４に対応した円弧状のトリミング抵
   抗Ｒ_５，Ｒ_６，Ｒ_７，Ｒ_８が円周上に配置して形
   成されるとともに、前記各電極の近傍に臨んでこ
   れらを取囲むフレキシブルサーキツト５上に一対
   の給電用外部引出電極Ｄ_１，Ｄ_２および一対の電
   圧検出用外部引出電極Ｄ_３，Ｄ_４が配設される圧
   力センサ１において、上記一対の給電用外部引出
   電極Ｄ_１，Ｄ_２を、それぞれ対応する各１個の電
   極Ｐ_１，Ｐ_４の近傍に配置し、また前記一対の電
   圧検出用外部引出電極Ｄ_３，Ｄ_４を、それぞれ対
   応する２組に分離配置された各２組の電極Ｐ_３，
   Ｐ_５，Ｐ_２，Ｐ_６の近傍に臨むよう円弧状に形成
   し、各給電用外部引出電極Ｄ_１，Ｄ_２および電圧
   検出用外部引出電極Ｄ_３，Ｄ_４をそれぞれ対応す
   る電極Ｐ_１，Ｐ_４，Ｐ_３，Ｐ_５，Ｐ_２，Ｐ_６に接
   続してブリツジ回路を形成する各ワイヤＷ_１，Ｗ
   _２，Ｗ_３，Ｗ_４，Ｗ_５，Ｗ_６，Ｗ_７の長さを短縮
   化したことを特徴とする圧力センサ。