JPH0275536U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0275536U JPH0275536U JP15530288U JP15530288U JPH0275536U JP H0275536 U JPH0275536 U JP H0275536U JP 15530288 U JP15530288 U JP 15530288U JP 15530288 U JP15530288 U JP 15530288U JP H0275536 U JPH0275536 U JP H0275536U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- strain
- electrodes
- outer periphery
- sensing part
- trimming resistor
- Prior art date
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- Granted
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000009966 trimming Methods 0.000 claims description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案にかかる金属ダイアフラムの一
実施例を示す平面図、第２図は第１図実施例の組
込まれた圧力センサ装置を示す断面図、第３図は
従来例を示す平面図である。 １０……金属ダイアフラム、１１……金属ダイ
アフラム本体、１２……絶縁膜、１３Ａ，〜，１
３Ｄ……歪ゲージ、１３ａ１，１３ａ２，１３ｂ
１，１３ｂ２，１３ｃ１，１３ｃ２，１３ｄ１，
１３ｄ２……電極、１４Ａ，１４Ｂ……トリミン
グ抵抗、１５Ａ，１５Ｂ……補助電極、１６ａ，
〜，１６ｆ……金ワイヤ、１７ａ，〜，１７ｄ…
…リード線、２０……圧力センサ装置、２１……
ホルダ本体、２１Ａ……貫通孔、２１ａ……一端
面、２１ｂ……他端面、２１ｃ……ネジ部、２２
……ホルダ蓋体、２２Ａ……貫通孔、２２ａ……
ネジ部、２３ａ，〜，２３ｄ……外部電極、２４
……Ｏリング。
実施例を示す平面図、第２図は第１図実施例の組
込まれた圧力センサ装置を示す断面図、第３図は
従来例を示す平面図である。 １０……金属ダイアフラム、１１……金属ダイ
アフラム本体、１２……絶縁膜、１３Ａ，〜，１
３Ｄ……歪ゲージ、１３ａ１，１３ａ２，１３ｂ
１，１３ｂ２，１３ｃ１，１３ｃ２，１３ｄ１，
１３ｄ２……電極、１４Ａ，１４Ｂ……トリミン
グ抵抗、１５Ａ，１５Ｂ……補助電極、１６ａ，
〜，１６ｆ……金ワイヤ、１７ａ，〜，１７ｄ…
…リード線、２０……圧力センサ装置、２１……
ホルダ本体、２１Ａ……貫通孔、２１ａ……一端
面、２１ｂ……他端面、２１ｃ……ネジ部、２２
……ホルダ蓋体、２２Ａ……貫通孔、２２ａ……
ネジ部、２３ａ，〜，２３ｄ……外部電極、２４
……Ｏリング。
Claims (1)
- 圧力センサ装置のホルダ本体とホルダ蓋体との
間に配設されており金属ダイアフラム本体の表面
に形成された絶縁層の感歪部に複数の歪ゲージを
複数のトリミング抵抗を介して金ワイヤによりブ
リツジ状に接続してなる金属ダイアフラムにおい
て、感歪部の外周部にそつて歪ゲージとトリミン
グ抵抗とを配設し、トリミング抵抗の外周に対し
補助電極を弧状に配設し、かつトリミング抵抗に
よつて包囲されるごとく感歪部の中央部に配設し
た他の歪ゲージの電極を感歪部の外周部まで延長
してなることにより、歪ゲージの電極および補助
電極の間と補助電極およびトリミング抵抗の電極
の間とトリミング抵抗の電極および他の歪ゲージ
の電極の間とをそれぞれ接続する金ワイヤを全て
感歪部の外周部に配設してなることを特徴とする
金属ダイヤフラム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15530288U JPH064302Y2 (ja) | 1988-11-28 | 1988-11-28 | 金属ダイアフラム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15530288U JPH064302Y2 (ja) | 1988-11-28 | 1988-11-28 | 金属ダイアフラム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0275536U true JPH0275536U (ja) | 1990-06-08 |
| JPH064302Y2 JPH064302Y2 (ja) | 1994-02-02 |
Family
ID=31432811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15530288U Expired - Lifetime JPH064302Y2 (ja) | 1988-11-28 | 1988-11-28 | 金属ダイアフラム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH064302Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002195901A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-10 | Minebea Co Ltd | 高精度維持サニタリー用圧力変換器 |
-
1988
- 1988-11-28 JP JP15530288U patent/JPH064302Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002195901A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-10 | Minebea Co Ltd | 高精度維持サニタリー用圧力変換器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH064302Y2 (ja) | 1994-02-02 |