JPH0455746U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0455746U JPH0455746U JP9953090U JP9953090U JPH0455746U JP H0455746 U JPH0455746 U JP H0455746U JP 9953090 U JP9953090 U JP 9953090U JP 9953090 U JP9953090 U JP 9953090U JP H0455746 U JPH0455746 U JP H0455746U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oven
- steam
- ion source
- plasma generation
- generation vessel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るイオン源
を示す断面図である。第２図は、第１図中のシヤ
ツター等を拡大して示す斜視図である。第３図は
、従来のイオン源の一例を示す断面図である。 ２……プラズマ生成容器、６……ガス導入口、
１２……イオンビーム、１４……オーブン、２０
……試料、２２……蒸気、３４……蒸気の通路、
３６……シヤツター。
を示す断面図である。第２図は、第１図中のシヤ
ツター等を拡大して示す斜視図である。第３図は
、従来のイオン源の一例を示す断面図である。 ２……プラズマ生成容器、６……ガス導入口、
１２……イオンビーム、１４……オーブン、２０
……試料、２２……蒸気、３４……蒸気の通路、
３６……シヤツター。
Claims (1)
- 試料を加熱して蒸気を発生させるオーブンと、
イオン種としてガスおよび前記オーブンからの蒸
気のいずれかを導入してプラズマを作るプラズマ
生成容器とを備えるイオン源において、前記オー
ブンとプラズマ生成容器との間の蒸気の通路を断
続するシヤツターを設けたことを特徴とするイオ
ン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9953090U JPH0455746U (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9953090U JPH0455746U (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0455746U true JPH0455746U (ja) | 1992-05-13 |
Family
ID=31841525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9953090U Pending JPH0455746U (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0455746U (ja) |
-
1990
- 1990-09-20 JP JP9953090U patent/JPH0455746U/ja active Pending
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