JPH0455827B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は、上定盤と下定盤との間にキヤリヤに
嵌入保持された被加工物を挿入して相対的に回転
させるとともにインタナール歯車と太陽歯車とで
キヤリアを自転及び公転させながら、ポリシング
するポリシング装置、さらに詳しくはインターナ
ル歯車と太陽歯車とを個々に独立させて昇降可能
にしてキヤリヤとの噛み合い位置の調整を自由に
したポリシング装置に関する。

［発明の技術的背景とその問題点］ この種のポリシング装置は、互いに反対方向へ
回転する上定盤と下定盤の相対向する面の一方、
または両方に研磨布を貼着し、これらの定盤間に
ウエハなどの被加工物をキヤリアに保持させて置
き、かつこのキヤリアをインターナル歯車及び太
陽歯車に噛合させて自転及び公転させることによ
り、前記研磨布を貼着した定盤と被加工物とを相
対的に回転ないし移動させて被加工物表面をポリ
シングするもので、通常第１図に示すような構成
となつている。

すなわち、第１図に示すように、１は上定盤、
２は下定盤で、これらの相対向する表面には研磨
布３，４が貼着されているとともに、下定盤２は
ベアリング押え５、中空軸６、ベアリング７，７
及び軸受金８を介しベース９に回転可能に支持さ
れ、かつ中空軸６に取付けたギヤ１０により図示
しない駆動減から回転が付与されるようになつつ
ている一方、上定盤１は、フレーム１１に固定さ
れたメインシリンダ１２のピストンロツド１３に
カツプリング１６を介して上下動可能に懸垂され
ている。

そして、前記中空軸６内には、ベアリング１
７，１７、後述する中空軸１８並びにベアリング
１９，１９を介して軸２０が回転可能に挿入さ
れ、この軸２０はその下端に取付けらたギヤ２１
を介して図示しない駆動源から前記中空軸６とは
逆方向の回転を与え得るようになつているととも
に、その上端にはスプライン軸２０ａが取付けら
れ、このスプライン軸２０ａは、前記上定盤１を
懸垂するカツプリング１６のスプライン穴１６ａ
に着脱可能に係合するようになつている。

また、前記上下両定盤１，２間には、第２図及
び第３図に詳細するように、保持孔２２ａ内に被
加工物Ａを嵌入保持して位置規制するきキヤリヤ
２２が複数個介在されている、このキヤリヤ２２
の外周部には歯車部２２ｂが形成され、この歯車
部２２ｂを前記中空軸１８の上端に設けた太陽歯
車２３及び軸受金８にベアリング２４，２４を介
して回転可能に取付けたインターナル歯車２５に
噛合させるとともに、これら太陽歯車車２３及び
インターナル歯車２５を図示しない駆動源からギ
ヤ２６，２７によつて回転させることにより、キ
ヤリヤ２２を自動及び公転させるようになつてい
る。

すなわち、上記したポリシング装置は、上定盤
１を上動させて開状態にする一方、下定盤２上に
複数の被加工物Ａ……をキヤリヤ２２の保持孔２
２ａに嵌入させて載置し、次いでメインシリンダ
１２の作動により前記上記盤１を所定と下降位置
に下降させることにより被加工物Ａ……に挟圧
力、つまり所定の値に設定された加工圧力を付与
して被加工物Ａ……を上下の研磨布３，４間で挟
圧し、図示しない駆動源によりギヤ１０，２１，
２６，２７を介して上下両定盤１，２及び太陽歯
車２３、インターナル歯車２５をそれぞれ回転さ
せて被加工物Ａ……のポリシング加工を行なうよ
うになつているものである。

ところが、このようなポリシング装置におい
て、長期使用によるインターナル歯車２５あるい
は太陽歯車２３の摩耗によりキヤリヤ２２との噛
み合い位置を変えたり、または加工後に被加工物
Ａを容易に取出させるようにするために、太陽歯
車２３とインタナール歯車２５を昇降させ得るよ
うになつているものであるが、従来の昇降機構
は、第４図に詳細するように、ベース９上に固定
したスクリユージヤツキ２８の出力軸２８ａに連
結された昇降アーム２９をインターナル歯車２５
に取り付ける一方、この昇降アーム２９に、上端
に太陽歯車２３を設けた中空軸１８を連結部材３
０，３１を介して連結し、前記スクリユージヤツ
キ２８の駆動により、両方歯車２３，２５を同時
に昇降させるような構成を有することから、機構
自体が複雑となり、コスト高になるばかりでな
く、太陽歯車２３とインターナル歯車２５との
個々独立した昇降が不可能なため、キヤリヤによ
る両歯車の摩耗の程度が異なるにもかかわらず、
それぞれ独立してキヤリヤとの噛み合い位置を調
整することができないなどの欠点があつた。

［発明の目的］ 本発明は、上記した事情のもとになされたもの
で、その目的とするところは、インターナル歯車
とは独立させて太陽歯車を簡単な構造で昇降させ
ることのできるポリシング装置を提供することに
ある。

［発明の概要］ 上記の目的を達成させるために、本発明は、互
いに相対方向に回転駆動する上下両定盤間に被加
工物を嵌入保持するキヤリヤを配置し、このキヤ
リヤをインターナル歯車と太陽歯車とに噛合させ
て自転及び公転させてなるとともに、前記インタ
ーナル歯車を昇降機構により昇降可能にしたポリ
シング装置のおいて、前記太陽歯車を駆動用中空
軸の軸方向に摺動自在に設け、かつこの中空軸に
前記太陽歯車に設けた螺合部に螺合する操作部材
を軸方向の動きを規制して回転可能に嵌合させ、
この操作部材の回転操作により前記太陽歯車をイ
ンターナル歯車とは独立して昇降させてなる構成
を有することを特徴とするものである。

［発明の実施例］ 以下、本発明を第５図に示す一実施例を参照し
ながら説明する。なお、本発明に係る図示の実施
例において、上述した従来例と構成が重複する部
分は同一符号を用いてその説明を省略する。

すなわち、本発明は第５図に示すように、イン
ターナル歯車２５はベース９上に設置したスクリ
ユージヤツキ２８の出力軸２８ａにに連結した昇
降アーム２９を介して昇降させるように構成する
一方、駆動用中空軸１８の上端に取付けられる太
陽歯車２３は、中空軸１８に滑りキー３２を介し
て軸方向にのみ摺動自在に設け、かつこの中空軸
１８の上端部に押え板３３、止め輪３４を介して
軸方向の動きを規制した内ねじが切設された操作
部材となる送りナツト３５を回転可能に嵌合する
とともに、この送りナツト３５を前記太陽歯車２
３に形成した螺合部２３ａに螺合させてなる構成
を有するので、前記送りナツト３５と回転操作に
よる軸方向の往復動力によつて前記太陽歯車２３
をインターナル歯車２５とは独立させて昇降させ
るようになつている。

なお、上記した本発明の一実施例において、中
空軸に太陽歯車を軸方向に摺動させる手段として
滑りキーを用いたが、これには限定されず、滑り
キーに代わるものとしてスプライン係合による手
段を用いてもよい。

その他、本発明は、本発明の要旨を変えない範
囲で種々変形実施可能なことは勿論である。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明は太陽歯車部に簡
単な昇降機構を設けてインターナル歯車とは独立
して太陽歯車を昇降させるようにしたことから、
両歯車に噛合するキヤリアの噛み合い位置を独立
して調整することができるなど、実用性にすぐれ
た効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図はポリシング装置の概略的断面図、第２
図は要部の平面図、第３図は同じく縦断面図、第
４図は従来のインタナール歯車と太陽歯車の昇降
機構を示す概略的要部拡大断面図、第５図は本発
明に係るポリシング装置のインターナル歯車と太
陽歯車の昇降機構の一実施例を示す概略的要部断
面図である。 １８……中空軸、２２……キヤリヤ、２３……
太陽歯車、２３ａ……螺合部、２５……インター
ナル歯車、２８……スクリユージヤツキ、３２…
…滑りキー、３３……押え板、３４……止め輪、
３５……送りナツト（操作部材）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 互いに相対方向に回転駆動する上下定盤間に
   被加工物を嵌入保持するキヤリヤを配置し、この
   キヤリヤをインターナル歯車と太陽歯車とに噛合
   させて自転及び公転させてなるとともに、前記イ
   ンターナル歯車を昇降機構により昇降可能にした
   ポリシング装置において、前記太陽歯車を駆動用
   中空軸の軸方向に摺動自在に設け、かつこの中空
   軸に前記太陽歯車に設けた螺合部に螺合する操作
   部材を軸方向の動きを規制して回転可能に嵌合さ
   せ、この操作部材の回転操作により前記太陽歯車
   をインターナル歯車とは独立して昇降可能にして
   なる構成を有することを特徴とするポリシング装
   置。