JPH0456053A - 走査型電子顕微鏡用試料台 - Google Patents
走査型電子顕微鏡用試料台Info
- Publication number
- JPH0456053A JPH0456053A JP2164525A JP16452590A JPH0456053A JP H0456053 A JPH0456053 A JP H0456053A JP 2164525 A JP2164525 A JP 2164525A JP 16452590 A JP16452590 A JP 16452590A JP H0456053 A JPH0456053 A JP H0456053A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- specimen
- sample
- vertical plane
- flat
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は走査型電子！ｇｉ徽鏡用試料台に係り、特に
試料調製を容易かつ確実にする試料台の構造に関する。
試料調製を容易かつ確実にする試料台の構造に関する。
低温走査型電子ａ徽鏡で含水試料あるいは高分子膜試料
の断面形状などを観察する場合には、これらの試料を試
料台に保持固定後、冷却剤で凍結しナイフで割断したあ
と割断面の霜を取り、必要に応じてこの割断面に導電性
付与のための金属蒸着が行われる。試料の凍結工程以降
は、装置内で行われるもので、冷却ステージ、割断ナイ
フ、ｎ取りヒータ、蒸着ユニットなどが走査電子顕微鏡
に一体に組み込まれている。
の断面形状などを観察する場合には、これらの試料を試
料台に保持固定後、冷却剤で凍結しナイフで割断したあ
と割断面の霜を取り、必要に応じてこの割断面に導電性
付与のための金属蒸着が行われる。試料の凍結工程以降
は、装置内で行われるもので、冷却ステージ、割断ナイ
フ、ｎ取りヒータ、蒸着ユニットなどが走査電子顕微鏡
に一体に組み込まれている。
第４図は従来の電子顕微鏡用調製試料を示し、第４図（
１１）は斜視図、第４図（ｂｌは中央切断面図である。
１１）は斜視図、第４図（ｂｌは中央切断面図である。
穴のあいた試料台１に試料固定剤２を満たして埋込み試
料３を試料台１の上面から一部突出させて、垂直になる
ように保持固定する。
料３を試料台１の上面から一部突出させて、垂直になる
ように保持固定する。
しかしながらこのような従来の試料台ｌでは、試料固定
剤に用いる導電ペーストが、試料割断面の霜取り工程時
の輻射熱により膨れて試料割断面を覆ってしまい、試料
を作り直さなければならないという事態が生じる場合が
ある。また、従来の試料台の穴あき構造では、高分子系
の薄膜試料を垂直に固定するのは困難であるばかりでな
く、同様な試料を複数個、短時間に観察しなければなら
ない場合には、試料調製および試料交換に多大の時間を
費やすこととなり、作業効率が悪いという問題があった
。
剤に用いる導電ペーストが、試料割断面の霜取り工程時
の輻射熱により膨れて試料割断面を覆ってしまい、試料
を作り直さなければならないという事態が生じる場合が
ある。また、従来の試料台の穴あき構造では、高分子系
の薄膜試料を垂直に固定するのは困難であるばかりでな
く、同様な試料を複数個、短時間に観察しなければなら
ない場合には、試料調製および試料交換に多大の時間を
費やすこととなり、作業効率が悪いという問題があった
。
この発明は上述の点に鑑みてなされ、その目的は試料台
の構造を改良することにより、容易かつ確実に試料調製
を行うことが可能な走査型電子顕微鏡用試料台を提供す
ることにある。
の構造を改良することにより、容易かつ確実に試料調製
を行うことが可能な走査型電子顕微鏡用試料台を提供す
ることにある。
上述の目的はこの発明によれば、
試料装着面を有し、
試料装着面４，４＾は平坦な垂直面であって、この垂直
面に平板型試料が導電ペーストを介して固定されるもの
であるとすることにより達成される。
面に平板型試料が導電ペーストを介して固定されるもの
であるとすることにより達成される。
試料は平坦な面の接着を介して固定されるので１！ペー
ストの使用量が少なくなる。また垂！面を利用するので
試料の装着が容易になる。
ストの使用量が少なくなる。また垂！面を利用するので
試料の装着が容易になる。
次にこの発明の実施例を図面に基いて説明する。
第１図はこの発明の実施例に係る試料台ｌを試料３とと
もに示し、第１図（５）は斜視図、第１図（ｂｌはＡ
−Ａ矢視図である。４は平坦な垂直面、１は試料台、３
は試料、２は導電ペーストである。導電ペースト２はカ
ーボン粉末を有機溶剤に分散させたもので接着と帯電防
止の機能を有する。薄い板状試料の装着に適する。この
ように保持し固定されたものを液体窒業などの冷却剤で
凍結し、素早く低温走査型電子顕微鏡内の試料装置に装
着したあと試料割断ナイフで試料台１の上面から突出し
ている試＃４３を割断し、割断面をヒータによって霜取
りを行い、さらに必要により金などを試料割断面に蒸着
して、断面形状などを観察または写真逼影する。
もに示し、第１図（５）は斜視図、第１図（ｂｌはＡ
−Ａ矢視図である。４は平坦な垂直面、１は試料台、３
は試料、２は導電ペーストである。導電ペースト２はカ
ーボン粉末を有機溶剤に分散させたもので接着と帯電防
止の機能を有する。薄い板状試料の装着に適する。この
ように保持し固定されたものを液体窒業などの冷却剤で
凍結し、素早く低温走査型電子顕微鏡内の試料装置に装
着したあと試料割断ナイフで試料台１の上面から突出し
ている試＃４３を割断し、割断面をヒータによって霜取
りを行い、さらに必要により金などを試料割断面に蒸着
して、断面形状などを観察または写真逼影する。
第２図はこの発明の異なる実施例に係る試料台を試料と
ともに示す斜視図で厚い板状試料の装着に適する。第３
図はこの発明のさらに異なる実施例に係る試料台を試料
とともに示す斜視図である。
ともに示す斜視図で厚い板状試料の装着に適する。第３
図はこの発明のさらに異なる実施例に係る試料台を試料
とともに示す斜視図である。
この発明によれば
試料装着面を有し、
試料装着面は平坦な垂直面であって、この垂直面に平板
型試料が導電ペーストを介して固定されるものであるの
で、試料の装着は面接着であり、導電ペーストの使用量
が従来の埋込みに比し少なくなり、導電ペーストが膨脂
して試料をおおうことがなくなり試料調製の確実性が増
す、また従来の埋込みに比し試料の垂直装着が容易であ
るため、１個のＬＫ料台に複数の試料を同時装着するこ
とも可能となり、全体として試料の調製が従来に比し容
５かつ確実となる。
型試料が導電ペーストを介して固定されるものであるの
で、試料の装着は面接着であり、導電ペーストの使用量
が従来の埋込みに比し少なくなり、導電ペーストが膨脂
して試料をおおうことがなくなり試料調製の確実性が増
す、また従来の埋込みに比し試料の垂直装着が容易であ
るため、１個のＬＫ料台に複数の試料を同時装着するこ
とも可能となり、全体として試料の調製が従来に比し容
５かつ確実となる。
第１図はこの発明の実施例に係る試料台を試料とともに
示し、第１図（ａｌは斜視図、第１図（ｂｌは第１図（
ａ）のＡ−Ａ矢視断面図、第２図はこの発明の異なる実
施例に係る試料台を試料とともに示す斜視図、第３図は
この発明のさらに異なる実施例に係る試料台を試料とと
もに示す斜視図、第４図は従来の試料台を試料とともに
示し、第４図（ａｌは斜視図、第４図（ｂｌは断面図で
ある。 １；試料台、２；導電ペースト、３：試料、Ａ、Ｊ ｒｂ） 第１図 第２図 第３図
示し、第１図（ａｌは斜視図、第１図（ｂｌは第１図（
ａ）のＡ−Ａ矢視断面図、第２図はこの発明の異なる実
施例に係る試料台を試料とともに示す斜視図、第３図は
この発明のさらに異なる実施例に係る試料台を試料とと
もに示す斜視図、第４図は従来の試料台を試料とともに
示し、第４図（ａｌは斜視図、第４図（ｂｌは断面図で
ある。 １；試料台、２；導電ペースト、３：試料、Ａ、Ｊ ｒｂ） 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）試料装着口を有し、 試料装着面は平坦な垂直面であって、この垂直面に平板
型試料が導電ペーストを介して固定されるものであるこ
とを特徴とする走査型電子顕微鏡用試料台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2164525A JPH0456053A (ja) | 1990-06-22 | 1990-06-22 | 走査型電子顕微鏡用試料台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2164525A JPH0456053A (ja) | 1990-06-22 | 1990-06-22 | 走査型電子顕微鏡用試料台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0456053A true JPH0456053A (ja) | 1992-02-24 |
Family
ID=15794826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2164525A Pending JPH0456053A (ja) | 1990-06-22 | 1990-06-22 | 走査型電子顕微鏡用試料台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0456053A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6875509B2 (en) | 2003-06-18 | 2005-04-05 | Asahi Fiber Glass Company, Limited | Fiber for reinforcing rubber products |
-
1990
- 1990-06-22 JP JP2164525A patent/JPH0456053A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6875509B2 (en) | 2003-06-18 | 2005-04-05 | Asahi Fiber Glass Company, Limited | Fiber for reinforcing rubber products |
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