JPH0456355A - 半導体集積回路装置 - Google Patents
半導体集積回路装置Info
- Publication number
- JPH0456355A JPH0456355A JP16806990A JP16806990A JPH0456355A JP H0456355 A JPH0456355 A JP H0456355A JP 16806990 A JP16806990 A JP 16806990A JP 16806990 A JP16806990 A JP 16806990A JP H0456355 A JPH0456355 A JP H0456355A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor chip
- corner
- input
- output interface
- power supply
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- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
本発明は半導体集積回路装置に関し、特にマスクスライ
ス方式、ゲルトアレ一方式、スタンダードセル方式等の
、半導体チップの外周部に複数の入出力インタフェース
セルが配列された半導体集積回路装置に関する。
ス方式、ゲルトアレ一方式、スタンダードセル方式等の
、半導体チップの外周部に複数の入出力インタフェース
セルが配列された半導体集積回路装置に関する。
[従来の技術]
マスクスライス方式の半導体集積回路装置は、多数の基
本セル及び多数の入出力インタフェースセルが規則的に
配列されたマスクスライスと呼ばれる半導体チップ上に
、所望の配線パターンが形成されて構成されている。
本セル及び多数の入出力インタフェースセルが規則的に
配列されたマスクスライスと呼ばれる半導体チップ上に
、所望の配線パターンが形成されて構成されている。
多数の基本セルは、機能ブロックを構成しており、半導
体チップ上の配線チャネルにおいて、信号線、基本セル
用電源配線等の内部配線により電気的接続が施されてい
る。また、多数のインタフェースセルは、入出力インタ
フェース回路を構成しており、半導体チップ上に形成さ
れた入出力インタフェース回路用電源配線と電気的接続
されている。
体チップ上の配線チャネルにおいて、信号線、基本セル
用電源配線等の内部配線により電気的接続が施されてい
る。また、多数のインタフェースセルは、入出力インタ
フェース回路を構成しており、半導体チップ上に形成さ
れた入出力インタフェース回路用電源配線と電気的接続
されている。
このように入出力インタフェース回路用電源配線が形成
された半導体チップの角付近の構成を第4図に示す。
された半導体チップの角付近の構成を第4図に示す。
同図において、!数の入出力インタフェースセル31は
、半導体チップ32の面33の外周部に配列されている
。人出方インタフェース回路用電源配線34a、 34
bは、このインタフェースセル31の配列に沿って面3
3及びインタフェースセル3I上に形成されており、夫
々のインタフェースセル31の所定部分に電気的接続さ
れている。
、半導体チップ32の面33の外周部に配列されている
。人出方インタフェース回路用電源配線34a、 34
bは、このインタフェースセル31の配列に沿って面3
3及びインタフェースセル3I上に形成されており、夫
々のインタフェースセル31の所定部分に電気的接続さ
れている。
電源配線34aは、例えばV4d (電源電圧)を供給
する高電位電源に接続される配線であり、電源配線34
bは、例えばGND (接地電圧)を供給する低電位電
源に接続される配線である。電源配線3b、 34bは
、図示しない配線チャネルに配置された内部配線に比べ
て、より多くの電流が流れるように幅広に構成されてい
る。
する高電位電源に接続される配線であり、電源配線34
bは、例えばGND (接地電圧)を供給する低電位電
源に接続される配線である。電源配線3b、 34bは
、図示しない配線チャネルに配置された内部配線に比べ
て、より多くの電流が流れるように幅広に構成されてい
る。
電源配線34a、 34bは、第4図に示したように、
インタフェースセル31の配列上に重ねて形成された直
線部分35a、 35bと、インタフェースセル21に
重ねて形成することができない面33の角に沿って曲が
った角部分36g、 36bとを含んでいる。
インタフェースセル31の配列上に重ねて形成された直
線部分35a、 35bと、インタフェースセル21に
重ねて形成することができない面33の角に沿って曲が
った角部分36g、 36bとを含んでいる。
[発明が解決しようとする課題]
半導体集積回路装置においては、一般に入出力インタフ
ェース回路の処理機能を高めるために、半導体チップ上
により多くの入出力インタフェースセルを形成すること
が望まれている。
ェース回路の処理機能を高めるために、半導体チップ上
により多くの入出力インタフェースセルを形成すること
が望まれている。
しかしながら、前述したように従来の半導体集積回路装
置では、半導体チップの角付近の領域において、入出力
インタフェース回路用電源配線の曲がった角部分を形成
するために、入出力インタフェースセルを設けることが
できない領域が大きくなってしまうという問題点がある
。
置では、半導体チップの角付近の領域において、入出力
インタフェース回路用電源配線の曲がった角部分を形成
するために、入出力インタフェースセルを設けることが
できない領域が大きくなってしまうという問題点がある
。
本発明はこのような従来の問題点に鑑み、半導体チップ
上により多くの入出力インタフェースセルを配列し得る
半導体集積回路装置を提供することを目的とする。
上により多くの入出力インタフェースセルを配列し得る
半導体集積回路装置を提供することを目的とする。
[課題を解決するための手段]
本発明は前述の目的を達成するために、半導体チップと
、半導体チップ上の外周部に配列された複数の入出力イ
ンタフェースセルと、入出力インタフェースセルに所定
の電圧を供給するために半導体チップ上に形成されてお
り入出力インタフェースセルの配列に重なる直線部分と
半導体チップの角に沿って曲がった角部分とを含む電源
配線とを備えており、角部分は直線部分よりも幅の狭い
多層に形成されていることを特徴とする。
、半導体チップ上の外周部に配列された複数の入出力イ
ンタフェースセルと、入出力インタフェースセルに所定
の電圧を供給するために半導体チップ上に形成されてお
り入出力インタフェースセルの配列に重なる直線部分と
半導体チップの角に沿って曲がった角部分とを含む電源
配線とを備えており、角部分は直線部分よりも幅の狭い
多層に形成されていることを特徴とする。
[作用コ
本発明の半導体集積回路装置においては、複数の入出力
インタフェースセルは、半導体チップ上の外周部に配列
されている。電源配線は、半導体チップ上に形成されて
おり、入出力インタフェースセルの配列に重なる直線部
分と半導体チップの角に沿って曲がった角部分とを含ん
でいる。角部分は直線部分よりも幅の狭い多層に形成さ
れている。例えば、直線部分を単一金属層から構成し、
角部分を多重金属層から構成することにより、このよう
に角部分を直線部分よりも幅の狭い多層に形成すること
ができる。従って、角部分の電気抵抗を直線部分と同じ
ように低く維持したまま、該角部分の半導体チップ上に
占める面積を半導体チップの角付近の領域において減少
させ得る。このため、この減少した面積の分だけ直線部
分及び入出力インタフェースセルを形成可能な半導体チ
ップ部分がこの角付近において増加する。この結果、半
導体チップの角付近の領域に、より多くの人出カインタ
フェースセルを配列することが可能となる。
インタフェースセルは、半導体チップ上の外周部に配列
されている。電源配線は、半導体チップ上に形成されて
おり、入出力インタフェースセルの配列に重なる直線部
分と半導体チップの角に沿って曲がった角部分とを含ん
でいる。角部分は直線部分よりも幅の狭い多層に形成さ
れている。例えば、直線部分を単一金属層から構成し、
角部分を多重金属層から構成することにより、このよう
に角部分を直線部分よりも幅の狭い多層に形成すること
ができる。従って、角部分の電気抵抗を直線部分と同じ
ように低く維持したまま、該角部分の半導体チップ上に
占める面積を半導体チップの角付近の領域において減少
させ得る。このため、この減少した面積の分だけ直線部
分及び入出力インタフェースセルを形成可能な半導体チ
ップ部分がこの角付近において増加する。この結果、半
導体チップの角付近の領域に、より多くの人出カインタ
フェースセルを配列することが可能となる。
次に示す本発明の実施例から、本発明のこのような作用
がより明らかにされ、更に本発明の他の作用が明らかに
されよう。
がより明らかにされ、更に本発明の他の作用が明らかに
されよう。
[実施例コ
本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図に、本発明の一実施例であるマスクスライス方式
の半導体集積回路装置1!10を示す。
の半導体集積回路装置1!10を示す。
同図において、半導体集積回路装置1oは、半導体チッ
プ12と、チップ12の面13の外周部に配列された多
数の入出力インタフェースセル11と、面13の中央部
に形成された多数の基本セル17とを備えている。
プ12と、チップ12の面13の外周部に配列された多
数の入出力インタフェースセル11と、面13の中央部
に形成された多数の基本セル17とを備えている。
規則的に配列された多数の基本セルI7は、回路装置1
0の機能ブロックを構成しており、半導体チップI2上
の配線チャネル18において、図示しない信号線、基本
セル用電源配線等の内部配線により電気的接続が施され
ている。
0の機能ブロックを構成しており、半導体チップI2上
の配線チャネル18において、図示しない信号線、基本
セル用電源配線等の内部配線により電気的接続が施され
ている。
多数のインタフェースセル11は、入出カインタフェー
ス回路を構成している。夫々のインタフェースセル11
の所定部分は、外部電源と接続される入出力インタフェ
ース回路用電源配線I4と電気的接続されている。
ス回路を構成している。夫々のインタフェースセル11
の所定部分は、外部電源と接続される入出力インタフェ
ース回路用電源配線I4と電気的接続されている。
電源配線14は、多数のインタフェースセル11に対し
所定の電圧を供給するために、インタフェースセル11
の配列に沿って面13及びインタフェースセル12上に
形成されている。
所定の電圧を供給するために、インタフェースセル11
の配列に沿って面13及びインタフェースセル12上に
形成されている。
第2図に、回路装置10の半導体チップ12の角付近に
おける構成を拡大して示す。
おける構成を拡大して示す。
同図において、電源配線は2つの電源配線14a114
bを含んでいる。電源配線14aは、例えばVddを供
給する高電位電源に接続される配線であり、電源配線1
4bは、例えばGNDを供給する低電位電源又は接地に
接続される配線である。電源配線14g、 14bは、
配線チャネル18に配置された図示しない内部配線に比
べて、より多くの電流が流れるように幅広に構成されて
いる。
bを含んでいる。電源配線14aは、例えばVddを供
給する高電位電源に接続される配線であり、電源配線1
4bは、例えばGNDを供給する低電位電源又は接地に
接続される配線である。電源配線14g、 14bは、
配線チャネル18に配置された図示しない内部配線に比
べて、より多くの電流が流れるように幅広に構成されて
いる。
電源配線14a、 14bは、第2図に示したように、
インタフェースセル11の配列上に重ねて形成された直
線部分151.15bと、インタフェースセル11が配
置されていない面13上に形成された半導体チップI2
の角に沿って曲がった角部分16g、 16bとを含ん
でいる。図中において、直線部分15aS15bはシン
グルハツチングで、角部分16aS16bはダブルハツ
チングで夫々示されている。直線部分15a、 15b
は夫々、単一の導電性金属層から構成されている。一方
、角部分16!、16bは夫々、複数の導電性金属層に
より多層に形成されており、直線部分15a、 15b
より厚く且つ幅が狭く形成されている。特に、角部分1
6aS16bの厚み及び幅は、その電気抵抗が、直線部
分15a、15bの電気抵抗と夫々同じになるように選
択されている。従って例えば、角部分16a、 16b
の幅をより狭くするためには、その厚みをより厚くすれ
ば良い。
インタフェースセル11の配列上に重ねて形成された直
線部分151.15bと、インタフェースセル11が配
置されていない面13上に形成された半導体チップI2
の角に沿って曲がった角部分16g、 16bとを含ん
でいる。図中において、直線部分15aS15bはシン
グルハツチングで、角部分16aS16bはダブルハツ
チングで夫々示されている。直線部分15a、 15b
は夫々、単一の導電性金属層から構成されている。一方
、角部分16!、16bは夫々、複数の導電性金属層に
より多層に形成されており、直線部分15a、 15b
より厚く且つ幅が狭く形成されている。特に、角部分1
6aS16bの厚み及び幅は、その電気抵抗が、直線部
分15a、15bの電気抵抗と夫々同じになるように選
択されている。従って例えば、角部分16a、 16b
の幅をより狭くするためには、その厚みをより厚くすれ
ば良い。
角部分16i、 16bの幅が狭いため、第2図から明
らかなように、第4図に示した従来例の如く直線部分と
角部分とを同じ幅で形成した場合と比較すると、その狭
めた幅に応じて直線部分15!、15bの長さが長くな
っていると共に該角部分16as16bの面13に占め
る面積が減少している。このため、この減少した面積に
応じてインタフェースセルを形成可能な領域が面I3の
角付近において増加しており、この増加した領域に破線
で示したインタフェースセルllaがインタフェースセ
ル11の配列に隣接して配置されている。このように、
従来例と比べて、本実施例では、面13の角付近の領域
において、インタフェースセルllaの分だけインタフ
ェースセルが多く配列されている。
らかなように、第4図に示した従来例の如く直線部分と
角部分とを同じ幅で形成した場合と比較すると、その狭
めた幅に応じて直線部分15!、15bの長さが長くな
っていると共に該角部分16as16bの面13に占め
る面積が減少している。このため、この減少した面積に
応じてインタフェースセルを形成可能な領域が面I3の
角付近において増加しており、この増加した領域に破線
で示したインタフェースセルllaがインタフェースセ
ル11の配列に隣接して配置されている。このように、
従来例と比べて、本実施例では、面13の角付近の領域
において、インタフェースセルllaの分だけインタフ
ェースセルが多く配列されている。
第3図に、本発明の他の実施例である半導体集積回路装
置の半導体チップの角付近における構成を拡大して示す
。
置の半導体チップの角付近における構成を拡大して示す
。
同図において、半導体チップ22の面23上に設けられ
た入出力インタフェース回路用電源配線は、2つの電源
配線24!、24bを含んでいる。電源配線241.2
4bは、入出力インタフェースセル21の配列上に重ね
て形成された直線部分25a、 25bと、インタフェ
ースセル21が配置されていない面23上に形成された
半導体チップ22の角に沿って曲がった角部分26i、
26bとを含んでいる。図中において、直線部分25g
、25bはシングルハツチングで、角部分28a、 2
6bはダブルハツチングで夫々示されている。角部分2
61.26bは夫々、複数の導電性金属層により多層に
形成されており、単一の導電性金属層から構成された直
線部分25a、 25bより、厚く且つ幅が狭く形成さ
れている。角部分26a、 26bの厚み及び幅は、そ
の電気抵抗が直線部分25!、 25bの電気抵抗と夫
々同じになるように選択されている。
た入出力インタフェース回路用電源配線は、2つの電源
配線24!、24bを含んでいる。電源配線241.2
4bは、入出力インタフェースセル21の配列上に重ね
て形成された直線部分25a、 25bと、インタフェ
ースセル21が配置されていない面23上に形成された
半導体チップ22の角に沿って曲がった角部分26i、
26bとを含んでいる。図中において、直線部分25g
、25bはシングルハツチングで、角部分28a、 2
6bはダブルハツチングで夫々示されている。角部分2
61.26bは夫々、複数の導電性金属層により多層に
形成されており、単一の導電性金属層から構成された直
線部分25a、 25bより、厚く且つ幅が狭く形成さ
れている。角部分26a、 26bの厚み及び幅は、そ
の電気抵抗が直線部分25!、 25bの電気抵抗と夫
々同じになるように選択されている。
角部分26a、 26bの幅が狭いため、第3図から明
らかなように、第4図に示した従来例の如く直線部分と
角部分とを同じ幅で形成した場合と比較すると、その狭
めた幅に応じて直線部分25bの長さが長くなっている
と共に該角部分26a、 26bの面23に占める面積
が減少している。このため、この減少した面積に応じて
インタフェースセルを形成可能な領域が面23の角付近
において増加しており、この増加した領域に破線で示し
たインタフェースセル21!が配置されている。このよ
うに本実施例では、特に電源配線24a及び電源配線2
4bの間に設けられた電源配線のない面23の領域を利
用して、インタフェースセル21aが配置されている。
らかなように、第4図に示した従来例の如く直線部分と
角部分とを同じ幅で形成した場合と比較すると、その狭
めた幅に応じて直線部分25bの長さが長くなっている
と共に該角部分26a、 26bの面23に占める面積
が減少している。このため、この減少した面積に応じて
インタフェースセルを形成可能な領域が面23の角付近
において増加しており、この増加した領域に破線で示し
たインタフェースセル21!が配置されている。このよ
うに本実施例では、特に電源配線24a及び電源配線2
4bの間に設けられた電源配線のない面23の領域を利
用して、インタフェースセル21aが配置されている。
従来例と比べて、本実施例では、面23の角付近の領域
において、インタフェースセル21aの分だけインタフ
ェースセルが多く配列されている。
において、インタフェースセル21aの分だけインタフ
ェースセルが多く配列されている。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明の半導体集積回路装置によ
れば、電源配線は半導体チップ上において入出力インタ
フェースセルの配列に重なる直線部分と半導体チップの
角に沿って曲がった角部分とを含んでおり、角部分は直
線部分よりも幅の狭い多層に形成されているので、角部
分の電気抵抗を直線部分と同じように低く維持したまま
、該角部分の半導体チップ上に占める面積を半導体チッ
プの角付近の領域において減少させ得る。このため、こ
の減少した面積の分だけ直線部分及び入出力インタフェ
ースセルを形成可能な半導体チップ部分がこの角付近に
おいて増加する。この結果、半導体チップの角付近の領
域に、より多くの入出力インタフェースセルを配列する
ことが可能となる。従って、半導体チップ上により多く
の入出力インタフェースセルを配列し得る半導体集積回
路装置を提供することができる。
れば、電源配線は半導体チップ上において入出力インタ
フェースセルの配列に重なる直線部分と半導体チップの
角に沿って曲がった角部分とを含んでおり、角部分は直
線部分よりも幅の狭い多層に形成されているので、角部
分の電気抵抗を直線部分と同じように低く維持したまま
、該角部分の半導体チップ上に占める面積を半導体チッ
プの角付近の領域において減少させ得る。このため、こ
の減少した面積の分だけ直線部分及び入出力インタフェ
ースセルを形成可能な半導体チップ部分がこの角付近に
おいて増加する。この結果、半導体チップの角付近の領
域に、より多くの入出力インタフェースセルを配列する
ことが可能となる。従って、半導体チップ上により多く
の入出力インタフェースセルを配列し得る半導体集積回
路装置を提供することができる。
第1図は本発明の一実施例である半導体集積回路の要部
構成平面図、第2図は第1図の部分拡大平面図、第3図
は本発明の他の実施例の部分拡大平面図、第4図は従来
の半導体集積回路装置の部分拡大平面図である。 lO・・・・・・半導体集積回路装置、Il、 Ila
、 21.21a・・・・・・入出力インタフェースセ
ル、12.22・・・・・・半導体チップ、13.23
・−・−面、14.14a 14b 24a 24b
−・・・電源配線、15a、 15b、 25a、 2
5b、−・−直線部分、16a1.6b、 26a、
26b・・・・・・角部分、17・・・・・・基本セル
、18・・・・・・配線チャネル。 第1図 第3図 第2図 5b 4b 第4図
構成平面図、第2図は第1図の部分拡大平面図、第3図
は本発明の他の実施例の部分拡大平面図、第4図は従来
の半導体集積回路装置の部分拡大平面図である。 lO・・・・・・半導体集積回路装置、Il、 Ila
、 21.21a・・・・・・入出力インタフェースセ
ル、12.22・・・・・・半導体チップ、13.23
・−・−面、14.14a 14b 24a 24b
−・・・電源配線、15a、 15b、 25a、 2
5b、−・−直線部分、16a1.6b、 26a、
26b・・・・・・角部分、17・・・・・・基本セル
、18・・・・・・配線チャネル。 第1図 第3図 第2図 5b 4b 第4図
Claims (1)
- 半導体チップと、該半導体チップ上の外周部に配列さ
れた複数の入出力インタフェースセルと、該入出力イン
タフェースセルに所定の電圧を供給するために前記半導
体チップ上に形成されており前記入出力インタフェース
セルの配列に重なる直線部分と前記半導体チップの角に
沿って曲がった角部分とを含む電源配線とを備えており
、前記角部分は前記直線部分よりも幅の狭い多層に形成
されていることを特徴とする半導体集積回路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2168069A JP2551499B2 (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | 半導体集積回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2168069A JP2551499B2 (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | 半導体集積回路装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0456355A true JPH0456355A (ja) | 1992-02-24 |
| JP2551499B2 JP2551499B2 (ja) | 1996-11-06 |
Family
ID=15861264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2168069A Expired - Fee Related JP2551499B2 (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | 半導体集積回路装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2551499B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5641978A (en) * | 1995-07-07 | 1997-06-24 | Intel Corporation | Input/output buffer layout having overlapping buffers for reducing die area of pad-limited integrated circuit |
| US7123084B2 (en) | 2004-06-24 | 2006-10-17 | Fujitsu Limited | Semiconductor integrated circuit and designing method for same |
-
1990
- 1990-06-26 JP JP2168069A patent/JP2551499B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5641978A (en) * | 1995-07-07 | 1997-06-24 | Intel Corporation | Input/output buffer layout having overlapping buffers for reducing die area of pad-limited integrated circuit |
| US7123084B2 (en) | 2004-06-24 | 2006-10-17 | Fujitsu Limited | Semiconductor integrated circuit and designing method for same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2551499B2 (ja) | 1996-11-06 |
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