JPH0456949B2 - - Google Patents
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- JPH0456949B2 JPH0456949B2 JP59232224A JP23222484A JPH0456949B2 JP H0456949 B2 JPH0456949 B2 JP H0456949B2 JP 59232224 A JP59232224 A JP 59232224A JP 23222484 A JP23222484 A JP 23222484A JP H0456949 B2 JPH0456949 B2 JP H0456949B2
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- JP
- Japan
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- voltage
- diode
- terminal
- sample
- resistor
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Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 12
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 10
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 5
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
- G01R27/26—Measuring inductance or capacitance; Measuring quality factor, e.g. by using the resonance method; Measuring loss factor; Measuring dielectric constants ; Measuring impedance or related variables
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、交流信号と直流信号とを重畳して試
料に供給し、前記試料の抵抗、コンダクタンス、
リアクタンス、インピーダンス等を測定する回路
定数測定器に関する。
料に供給し、前記試料の抵抗、コンダクタンス、
リアクタンス、インピーダンス等を測定する回路
定数測定器に関する。
従来から、交流信号に直流信号を重畳して試料
に供給し、前記試料の交流特性を自動測定する回
路定数測定器として第２図に示す測定器が使用さ
れている。なお、直流信号重畳の目的は、例えば
直流信号重畳時のコンダクタンス、キャパシタン
ス等の測定によりダイオード特性を求めることで
あり、この場合所望の直流電圧を重畳できかつこ
れを測定できることが必要である。
に供給し、前記試料の交流特性を自動測定する回
路定数測定器として第２図に示す測定器が使用さ
れている。なお、直流信号重畳の目的は、例えば
直流信号重畳時のコンダクタンス、キャパシタン
ス等の測定によりダイオード特性を求めることで
あり、この場合所望の直流電圧を重畳できかつこ
れを測定できることが必要である。
第２図において、交流信号源１はソース抵抗器
２を介して一方の試料接続用端子Ａ１に接続され
ている。他方の試料接続用端子Ａ２は既知の可変
レンジ抵抗器４の一方の端子、測定用端子Ａ６お
よび演算増幅器５の反転入力端子に接続されてい
る。試料接続用端子Ａ１，Ａ２には各々、測定用
端子Ａ３，Ａ４が接続されている。又、本例で
は、試料接続用端子Ａ１，Ａ２間に被測定試料と
してシヨツトキイ若しくはPNジヤンクシヨンダ
イオード３が接続されている。レンジ抵抗器４の
他方の端子は、演算増幅器５の出力端子に接続さ
れている。演算増幅器５の出力端子は測定用端子
Ａ５に接続され、その非反転入力端子および基準
端子はキャパシタ８を介して交流信号源１に接続
されている。抵抗器２と試料接続用端子Ａ１との
結合点は、抵抗器６およびモニタ端子１０を介し
て基準電位に接続されている。モニタ端子は開状
態である。また、抵抗器６とモニタ端子１０の芯
線との結合点にキャパシタ７の一方の端子が接続
されており、キャパシタ７の他方の端子は、演算
増幅器５の非反転入力端子に接続されている。キ
ャパシタ８の両端には交流信号を阻止するために
変圧器９の一次巻線Ｔ１、二次巻線Ｔ２の各一方
の端子が接続されている。一次巻線Ｔ１の他方の
端子は可変の直流電源１１を介して基準電位に接
続されており、又、二次巻線Ｔ２の他方の端子は
直接基準電位に接続されている。
２を介して一方の試料接続用端子Ａ１に接続され
ている。他方の試料接続用端子Ａ２は既知の可変
レンジ抵抗器４の一方の端子、測定用端子Ａ６お
よび演算増幅器５の反転入力端子に接続されてい
る。試料接続用端子Ａ１，Ａ２には各々、測定用
端子Ａ３，Ａ４が接続されている。又、本例で
は、試料接続用端子Ａ１，Ａ２間に被測定試料と
してシヨツトキイ若しくはPNジヤンクシヨンダ
イオード３が接続されている。レンジ抵抗器４の
他方の端子は、演算増幅器５の出力端子に接続さ
れている。演算増幅器５の出力端子は測定用端子
Ａ５に接続され、その非反転入力端子および基準
端子はキャパシタ８を介して交流信号源１に接続
されている。抵抗器２と試料接続用端子Ａ１との
結合点は、抵抗器６およびモニタ端子１０を介し
て基準電位に接続されている。モニタ端子は開状
態である。また、抵抗器６とモニタ端子１０の芯
線との結合点にキャパシタ７の一方の端子が接続
されており、キャパシタ７の他方の端子は、演算
増幅器５の非反転入力端子に接続されている。キ
ャパシタ８の両端には交流信号を阻止するために
変圧器９の一次巻線Ｔ１、二次巻線Ｔ２の各一方
の端子が接続されている。一次巻線Ｔ１の他方の
端子は可変の直流電源１１を介して基準電位に接
続されており、又、二次巻線Ｔ２の他方の端子は
直接基準電位に接続されている。
交流信号源１の出力電圧、出力周波数、レンジ
抵抗器４の切り換えは、図示しない制御回路によ
り自動制御される。以上の如く構成された回路定
数測定器の動作を説明する。
抵抗器４の切り換えは、図示しない制御回路によ
り自動制御される。以上の如く構成された回路定
数測定器の動作を説明する。
まず、直流電源１１からの直流電流は、変圧器
９の一次巻線Ｔ１、交流信号源１、ソース抵抗器
２、ダイオード３、レンジ抵抗器４、演算増幅器
５、変圧器９の二次巻線Ｔ２を介して基準電位に
流れる。ダイオード３の一方の端子に生じる直流
電圧は、モニタ端子１０に電圧計を接続すること
によつて測定される。なお、抵抗器６およびキャ
パシタ７は、ダイオード３の直流降下電圧を測定
するに際して、交流分を基準電位に落とし、直流
分のみを測定できるように設けられている。一
方、交流信号源１からの交流電流はソース抵抗器
２、ダイオード３、レンジ抵抗器４、増幅器５、
キャパシタ８を介して交流信号源１へながれる。
以下所定のバイアス電圧の下で周波数対コンダク
タンス特性を測定する場合の手順を説明する。直
流電源１１の出力電圧を所定値に設定し、ダイオ
ード３に直流電圧を供給する。次に交流信号源１
から所望周波数の交流電流を供給する。このと
き、レンジ抵抗器４は測定に最適な値に自動設定
される。測定用端子Ａ３，Ａ４間の交流電圧およ
び測定用端子Ａ５，Ａ６間の交流電圧を測定する
ことにより、所望周波数でのダイオード３のコン
ダクタンスを得ることができる（特開昭56−
126769号参照）。交流信号源１の出力信号周波数
をスイープさせることにより、種々の点でのダイ
オード３の周波数対コンダクタンス特性を測定す
ることができる。
９の一次巻線Ｔ１、交流信号源１、ソース抵抗器
２、ダイオード３、レンジ抵抗器４、演算増幅器
５、変圧器９の二次巻線Ｔ２を介して基準電位に
流れる。ダイオード３の一方の端子に生じる直流
電圧は、モニタ端子１０に電圧計を接続すること
によつて測定される。なお、抵抗器６およびキャ
パシタ７は、ダイオード３の直流降下電圧を測定
するに際して、交流分を基準電位に落とし、直流
分のみを測定できるように設けられている。一
方、交流信号源１からの交流電流はソース抵抗器
２、ダイオード３、レンジ抵抗器４、増幅器５、
キャパシタ８を介して交流信号源１へながれる。
以下所定のバイアス電圧の下で周波数対コンダク
タンス特性を測定する場合の手順を説明する。直
流電源１１の出力電圧を所定値に設定し、ダイオ
ード３に直流電圧を供給する。次に交流信号源１
から所望周波数の交流電流を供給する。このと
き、レンジ抵抗器４は測定に最適な値に自動設定
される。測定用端子Ａ３，Ａ４間の交流電圧およ
び測定用端子Ａ５，Ａ６間の交流電圧を測定する
ことにより、所望周波数でのダイオード３のコン
ダクタンスを得ることができる（特開昭56−
126769号参照）。交流信号源１の出力信号周波数
をスイープさせることにより、種々の点でのダイ
オード３の周波数対コンダクタンス特性を測定す
ることができる。
しかしながら、前記直流バイアス電圧は、ダイ
オード３の直流分両端電圧ではなく、直流電源１
１の出力電圧に等しいため、モニタ端子１０で直
流電圧を測定しない場合、以下のような問題が生
じる。第３図は第２図の測定器を用い、ダイオー
ド３に直流電圧を印加した場合の、直流電源１１
の出力電圧対ダイオードの直流両端電圧および電
流を示した特性線図である。第３図からもわかる
ように、ダイオード３に流れる電流は、直流電源
１１の出力電圧の増加に伴ない急激に増加する。
直流電源１１の出力電圧が1Vのとき、その直流
分両端電圧は0.8Vにしか満たず20％の誤差が生
じている。したがつてダイオード３の両端電圧は
直流電源１１の出力電圧に等しくなく直流印加電
圧対コンダクタンス測定値に誤差が発生する。即
ち、試料に電流が流れた場合、ソース抵抗器２に
よる電圧降下が発生し、誤差の要因となる。
オード３の直流分両端電圧ではなく、直流電源１
１の出力電圧に等しいため、モニタ端子１０で直
流電圧を測定しない場合、以下のような問題が生
じる。第３図は第２図の測定器を用い、ダイオー
ド３に直流電圧を印加した場合の、直流電源１１
の出力電圧対ダイオードの直流両端電圧および電
流を示した特性線図である。第３図からもわかる
ように、ダイオード３に流れる電流は、直流電源
１１の出力電圧の増加に伴ない急激に増加する。
直流電源１１の出力電圧が1Vのとき、その直流
分両端電圧は0.8Vにしか満たず20％の誤差が生
じている。したがつてダイオード３の両端電圧は
直流電源１１の出力電圧に等しくなく直流印加電
圧対コンダクタンス測定値に誤差が発生する。即
ち、試料に電流が流れた場合、ソース抵抗器２に
よる電圧降下が発生し、誤差の要因となる。
さらにモニタ端子１０で直流電圧を測定しても
次のような誤差が発生する。すなわち、演算増幅
器５の増幅率は無限大ではないため、その入力イ
ンピーダンス（レンジ抵抗器４の抵抗値をその増
幅率で割つた値に略等しい）は零にならず、演算
増幅器５の入力端子間に無視できない程の電圧降
下がある。さらにレンジ抵抗器４の切り換えに伴
ない、演算増幅器５の直流入力インピーダンスが
変動し、演算増幅器５の入力端子間の直流電圧が
レンジ抵抗器４の切り換えに伴い変動し、ダイオ
ード３の他方の端子Ａ２の電圧が変動する。した
がつて、モニタ端子１０で測定した電圧はダイオ
ード３の両端電圧に等しくない。前記誤差がコン
ダクタンス測定時の精度に及ぼす影響を第４図
（直流電源１１の出力電圧を0.5V、出力電流を
1μAに設定）に示す。
次のような誤差が発生する。すなわち、演算増幅
器５の増幅率は無限大ではないため、その入力イ
ンピーダンス（レンジ抵抗器４の抵抗値をその増
幅率で割つた値に略等しい）は零にならず、演算
増幅器５の入力端子間に無視できない程の電圧降
下がある。さらにレンジ抵抗器４の切り換えに伴
ない、演算増幅器５の直流入力インピーダンスが
変動し、演算増幅器５の入力端子間の直流電圧が
レンジ抵抗器４の切り換えに伴い変動し、ダイオ
ード３の他方の端子Ａ２の電圧が変動する。した
がつて、モニタ端子１０で測定した電圧はダイオ
ード３の両端電圧に等しくない。前記誤差がコン
ダクタンス測定時の精度に及ぼす影響を第４図
（直流電源１１の出力電圧を0.5V、出力電流を
1μAに設定）に示す。
第４図において、実線が第２図の測定器を用い
て測定した結果である。図から分るように、レン
ジ抵抗器４の切り換えにより（試料に流れる交流
電流の大きさにより変えられる）、コンダクタン
スの測定値が大きく変動し、誤差が生じているこ
とが分る。ダイオード３のドーピング特性を得る
場合、ダイオード３の周波数対コンダクタンス特
性、バイアス電圧対キャパシタ特性等に基づいて
得るわけであるが、その場合、極めて高い精度の
測定結果が必要となる。前記測定器では誤差が極
めて大きいため、使用に耐えないものであつた。
このようにダイオード３の端子電圧は、一端しか
モニタしていないため、正確にダイオード３の両
端電圧を測定制御することはできない。従つて、
正確な周波数対コンダクタンス特性、バイアス電
圧対キャパシタンス特性等を測定することは不可
能であつた。又、ダイオード３の両端で直流電圧
をモニタするようにモニタ用電圧計の接続を変更
したとしても、レンジ抵抗器４の切り換えのたび
に、直流電源１の出力電圧を設定し直さねばなら
ず、極めて繁雑であるという欠点があつた。
て測定した結果である。図から分るように、レン
ジ抵抗器４の切り換えにより（試料に流れる交流
電流の大きさにより変えられる）、コンダクタン
スの測定値が大きく変動し、誤差が生じているこ
とが分る。ダイオード３のドーピング特性を得る
場合、ダイオード３の周波数対コンダクタンス特
性、バイアス電圧対キャパシタ特性等に基づいて
得るわけであるが、その場合、極めて高い精度の
測定結果が必要となる。前記測定器では誤差が極
めて大きいため、使用に耐えないものであつた。
このようにダイオード３の端子電圧は、一端しか
モニタしていないため、正確にダイオード３の両
端電圧を測定制御することはできない。従つて、
正確な周波数対コンダクタンス特性、バイアス電
圧対キャパシタンス特性等を測定することは不可
能であつた。又、ダイオード３の両端で直流電圧
をモニタするようにモニタ用電圧計の接続を変更
したとしても、レンジ抵抗器４の切り換えのたび
に、直流電源１の出力電圧を設定し直さねばなら
ず、極めて繁雑であるという欠点があつた。
本発明は、試料に電流が流れても、変化して
も、また回路の抵抗が変化して試料の電圧降下を
変化させるような条件（例えばレンジ抵抗器の切
り換え）の下でも試料の直流分両端電圧を所定値
に維持するようにして、所定値の直流バイアス電
圧の下で、試料の交流特性を測定する回路定数測
定器を提供することを目的とする。
も、また回路の抵抗が変化して試料の電圧降下を
変化させるような条件（例えばレンジ抵抗器の切
り換え）の下でも試料の直流分両端電圧を所定値
に維持するようにして、所定値の直流バイアス電
圧の下で、試料の交流特性を測定する回路定数測
定器を提供することを目的とする。
本発明の回路定数測定器は、試料に直流バイア
ス電圧を印加するための直流電源と、前記直流バ
イアス電圧に重畳して交流信号を印加するための
交流信号源と、前記試料の直流分両端電圧を検出
し、前記直流分両端電圧を前記直流電源の出力電
圧に関連する所定電圧値に維持するための制御回
路と、前記試料の交流特性を測定する測定部とか
ら成つている。
ス電圧を印加するための直流電源と、前記直流バ
イアス電圧に重畳して交流信号を印加するための
交流信号源と、前記試料の直流分両端電圧を検出
し、前記直流分両端電圧を前記直流電源の出力電
圧に関連する所定電圧値に維持するための制御回
路と、前記試料の交流特性を測定する測定部とか
ら成つている。
第１図は本発明の回路定数測定器のブロツク図
である。
である。
第２図と同一部分には同一符号を付している。
交流信号の流路は第２図と同一であるため、その
説明は省略し、直流電流路およびダイオード３の
直流分両端電圧を所定値に保持するための制御部
について以下説明する。第１図において、増幅率
１の増幅器１８の非反転入力端子は抵抗器６を介
して試料接続用端子Ａ１に接続され、反転入力端
子は抵抗器１９を介して試料接続用端子Ａ２に接
続されており、又、出力端子は演算増幅器１４の
反転入力端子に接続されている。演算増幅器１４
非反転入力端子は直流電源１１に接続され、反転
入力端子と出力端子の間には、抵抗器１５、抵抗
器１６、キャパシタ１７が接続されている。演算
増幅器１４、抵抗器１５，１６およびキャパシタ
１７は増幅器１３を形成している。又、演算増幅
器１４の出力端子は電流計１２を介して変圧器９
の一次巻線Ｔ１に接続されている。
交流信号の流路は第２図と同一であるため、その
説明は省略し、直流電流路およびダイオード３の
直流分両端電圧を所定値に保持するための制御部
について以下説明する。第１図において、増幅率
１の増幅器１８の非反転入力端子は抵抗器６を介
して試料接続用端子Ａ１に接続され、反転入力端
子は抵抗器１９を介して試料接続用端子Ａ２に接
続されており、又、出力端子は演算増幅器１４の
反転入力端子に接続されている。演算増幅器１４
非反転入力端子は直流電源１１に接続され、反転
入力端子と出力端子の間には、抵抗器１５、抵抗
器１６、キャパシタ１７が接続されている。演算
増幅器１４、抵抗器１５，１６およびキャパシタ
１７は増幅器１３を形成している。又、演算増幅
器１４の出力端子は電流計１２を介して変圧器９
の一次巻線Ｔ１に接続されている。
以下、その動作を説明する。
直流電源１１の出力電圧と増幅器１８の出力電
圧との差電圧は、増幅器１３で増幅された後、電
流計１２、一次巻線Ｔ１、交流信号源１、抵抗器
２、ダイオード３、レンジ抵抗器４、演算増幅器
５、二次巻線Ｔ２を介して基準電位に流れる。
圧との差電圧は、増幅器１３で増幅された後、電
流計１２、一次巻線Ｔ１、交流信号源１、抵抗器
２、ダイオード３、レンジ抵抗器４、演算増幅器
５、二次巻線Ｔ２を介して基準電位に流れる。
一方、増幅器１８の入力インピーダンスは極め
て大きいので、抵抗器６，１９に電流は流れず、
増幅器１８の両入力端子にはダイオード３の両端
子に生じる直流降下電圧が入力される。増幅器１
８の増幅率は１なので、演算増幅器１４の反転入
力端子にはダイオード３の直流分両端電圧が入力
されることになる。前記直流分両端電圧と直流電
源１１の出力電圧との差電圧は増幅器１３で増幅
される。増幅器１３、電流計１２、一次巻線Ｔ
１、交流信号源１、抵抗器２、ダイオード３、抵
抗器６，１９および増幅器１８によつてループが
形成される。前記ループは、直流電源１１の出力
電圧と増幅器１８の出力電圧とが等しくなつたと
き安定する。即ち、安定した状態では、ダイオー
ド３の直流分両端電圧は直流電源１１の出力電圧
に等しくなる。したがつて、直流電源１１の出力
電圧を変えることによつて、ダイオード３の直流
分両端電圧すなわち真の直流バイアス電圧を種々
の値に設定できる。直流電源１１の出力電圧を所
望値に設定した後、第２図に関して説明したのと
同様にしてダイオード３の交流特性を測定する。
本発明の装置を用いてダイオード３の周波数対コ
ンダクタンス特性を測定した結果は、第４図の破
線のグラフとなり、極めて測定精度が向上した。
尚、本実施例では、増幅器１８の増幅率を１とし
たが、他の値でもよいことは明らかである。
て大きいので、抵抗器６，１９に電流は流れず、
増幅器１８の両入力端子にはダイオード３の両端
子に生じる直流降下電圧が入力される。増幅器１
８の増幅率は１なので、演算増幅器１４の反転入
力端子にはダイオード３の直流分両端電圧が入力
されることになる。前記直流分両端電圧と直流電
源１１の出力電圧との差電圧は増幅器１３で増幅
される。増幅器１３、電流計１２、一次巻線Ｔ
１、交流信号源１、抵抗器２、ダイオード３、抵
抗器６，１９および増幅器１８によつてループが
形成される。前記ループは、直流電源１１の出力
電圧と増幅器１８の出力電圧とが等しくなつたと
き安定する。即ち、安定した状態では、ダイオー
ド３の直流分両端電圧は直流電源１１の出力電圧
に等しくなる。したがつて、直流電源１１の出力
電圧を変えることによつて、ダイオード３の直流
分両端電圧すなわち真の直流バイアス電圧を種々
の値に設定できる。直流電源１１の出力電圧を所
望値に設定した後、第２図に関して説明したのと
同様にしてダイオード３の交流特性を測定する。
本発明の装置を用いてダイオード３の周波数対コ
ンダクタンス特性を測定した結果は、第４図の破
線のグラフとなり、極めて測定精度が向上した。
尚、本実施例では、増幅器１８の増幅率を１とし
たが、他の値でもよいことは明らかである。
本発明の回路定数測定器によれば、試料の直流
分両端電圧を基準電圧と比較し、制御しているの
で、試料の両端電圧を正確に且つ容易に所望の電
圧に設定できる。
分両端電圧を基準電圧と比較し、制御しているの
で、試料の両端電圧を正確に且つ容易に所望の電
圧に設定できる。
又、レンジ抵抗器等の切り換えや他の変動の影
響を受けず、測定精度の向上を図り得る。
響を受けず、測定精度の向上を図り得る。
さらに、ループ内に電流計を測定した場合に
も、誤差が生じない等の効果を有する。
も、誤差が生じない等の効果を有する。
第１図は本発明の回路定数測定器のブロツク
図。第２図は従来の回路定数測定器のブロツク
図。第３図は従来の回路定数測定器のバイアス電
圧の変動を示す図。第４図は従来および本発明の
回路定数測定器を用いて測定したダイオードの周
波数対コンダクタンス特性を示す図。 １：交流信号源、４：レンジ抵抗器、９：変圧
器、１０：モニタ端子、１１：直流電源、１２：
電流計、１３：増幅器。
図。第２図は従来の回路定数測定器のブロツク
図。第３図は従来の回路定数測定器のバイアス電
圧の変動を示す図。第４図は従来および本発明の
回路定数測定器を用いて測定したダイオードの周
波数対コンダクタンス特性を示す図。 １：交流信号源、４：レンジ抵抗器、９：変圧
器、１０：モニタ端子、１１：直流電源、１２：
電流計、１３：増幅器。
Claims (1)
- １ 試料に交流電源からの交流信号と直流信号源
からの直流信号とを重畳して供給し、前記試料の
交流特性を測定する回路定数測定器において、前
記試料の直流分両端電圧を検出して所定電圧と比
較し、該直流分両端電圧が所定値をとるように前
記直流信号源を制御する制御手段を具備すること
を特徴とする回路定数測定器。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59232224A JPS61110064A (ja) | 1984-11-02 | 1984-11-02 | 回路定数測定器 |
| US06/792,939 US4733173A (en) | 1984-11-02 | 1985-10-30 | Electronic component measurement apparatus |
| EP85113911A EP0183996B1 (en) | 1984-11-02 | 1985-10-31 | Apparatus for measuring an ac electrical parameter of a device |
| DE8585113911T DE3580836D1 (de) | 1984-11-02 | 1985-10-31 | Apparatur zum messen eines wechselstromparameters einer anordnung. |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP59232224A JPS61110064A (ja) | 1984-11-02 | 1984-11-02 | 回路定数測定器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61110064A JPS61110064A (ja) | 1986-05-28 |
| JPH0456949B2 true JPH0456949B2 (ja) | 1992-09-10 |
Family
ID=16935922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59232224A Granted JPS61110064A (ja) | 1984-11-02 | 1984-11-02 | 回路定数測定器 |
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