JPH0458202A - 低圧水銀ランプ用ガスフィルター - Google Patents
低圧水銀ランプ用ガスフィルターInfo
- Publication number
- JPH0458202A JPH0458202A JP2168511A JP16851190A JPH0458202A JP H0458202 A JPH0458202 A JP H0458202A JP 2168511 A JP2168511 A JP 2168511A JP 16851190 A JP16851190 A JP 16851190A JP H0458202 A JPH0458202 A JP H0458202A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- mercury lamp
- low
- pressure mercury
- ozone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/38—Devices for influencing the colour or wavelength of the light
- H01J61/40—Devices for influencing the colour or wavelength of the light by light filters; by coloured coatings in or on the envelope
Landscapes
- Filtering Materials (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、低圧水銀ランプ用のフィルターに関するもの
である。
である。
低圧水銀ランプは、近年光ＣＶＤ、光アッシング用光源
などに用いられており、１８５ ｔ＋ａ＋及び２５４ｎ
ｍの波長の輝線を有している。
などに用いられており、１８５ ｔ＋ａ＋及び２５４ｎ
ｍの波長の輝線を有している。
用途に応じて、１８５ｎ［ＩＩの光のみを利用したい場
合、誘電体薄膜を反覆したフィルターを使用していた。
合、誘電体薄膜を反覆したフィルターを使用していた。
この場合フィルターは、コーティング設備の関係上、大
きさに制限があり、大型のフィルターは皆無かあるいは
人手したとじても、極端に高額なものとなる。更に、紫
外光を吸収するため劣化が早いという欠点があった。
きさに制限があり、大型のフィルターは皆無かあるいは
人手したとじても、極端に高額なものとなる。更に、紫
外光を吸収するため劣化が早いという欠点があった。
本発明は、上記の問題点を解説し、簡単な装置で、大型
化でき、しかも劣化の心配のない低圧水銀ランプ用のガ
スフィルターを提供することを目的とする。
化でき、しかも劣化の心配のない低圧水銀ランプ用のガ
スフィルターを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明では、低圧水銀ラン
プと被照射物°との間にオゾン含有ガス層を設けること
を特徴とする低圧水銀ランプ用ガスフィルターとしたも
のである。
プと被照射物°との間にオゾン含有ガス層を設けること
を特徴とする低圧水銀ランプ用ガスフィルターとしたも
のである。
すなわち、本発明は、低圧水銀ランプの光をさえぎって
、石英板などを用いて空隙を作り、ここにオゾンを導入
し、このオゾン層に光を通過させることにより、２５４
ｒ＋ｍの光を吸収し、１８５ｎｍの光のみをとりだすこ
とができるようにしたものである。
、石英板などを用いて空隙を作り、ここにオゾンを導入
し、このオゾン層に光を通過させることにより、２５４
ｒ＋ｍの光を吸収し、１８５ｎｍの光のみをとりだすこ
とができるようにしたものである。
〔作 用］
オゾン（０３）は、２００〜３００ｎｒｎの範囲の紫外
光を吸収して、次のように解離する。
光を吸収して、次のように解離する。
０３ → ０２＋０
吸収のピークは、２５ Ｓ ｎｍ付近であり、その吸収
係数は１４０ ａｔｍ−’・ｃｍ−’にも達する。
係数は１４０ ａｔｍ−’・ｃｍ−’にも達する。
従って、１０％の濃度（９０％０□）で厚さ２ｍｍの大
気圧オゾン層を２５０ｎｍの光が通過すると、その通過
光の強度は、式 ％式％ （Ｉ：通過光の強度 Ｉｏ：火照光の強度 α’’収係数（ａｔｍ−’ ・ｃｍ−’）ｐ；圧力（ａ
ｔｍ） ｉ：光路長） で表わされ、この式にα＝１４０．ｐ＝ｏ、ｌ。
気圧オゾン層を２５０ｎｍの光が通過すると、その通過
光の強度は、式 ％式％ （Ｉ：通過光の強度 Ｉｏ：火照光の強度 α’’収係数（ａｔｍ−’ ・ｃｍ−’）ｐ；圧力（ａ
ｔｍ） ｉ：光路長） で表わされ、この式にα＝１４０．ｐ＝ｏ、ｌ。
１＝０．２を代入すると、
Ｉ＝Ｉｏ Ｘ Ｏ，０６１
となる。即ち約９４％の光を吸収されることになる。
真空紫外域の光を発生する光源としては、現状で＾ｒＦ
エキシマレーザ光（１９３ｎｍ）があるが、エキシマレ
ーザ自身高価であり、ランニングコストについても、水
銀ランプの比ではない。
エキシマレーザ光（１９３ｎｍ）があるが、エキシマレ
ーザ自身高価であり、ランニングコストについても、水
銀ランプの比ではない。
単位面積当たりの光子量としては、エキシマレーザ光に
比して低いものであるが、エキシマレーザ光が、パルス
発光のみであるのに対して、水銀ランプでは連続照射す
ることができる。
比して低いものであるが、エキシマレーザ光が、パルス
発光のみであるのに対して、水銀ランプでは連続照射す
ることができる。
さらに、ＡｒＦの１９３ｎｍに対し、更に８ｎｍ波長が
短かいことは、大きなメリットを有する。
短かいことは、大きなメリットを有する。
例えば、酸素（口２）からオゾンを光化学反応で製造し
ようとする場合、１９３ｒ＋ｍの波長の光では、０２の
吸収係数が１０−３ａｔｍ−’ −ｃｍ−’であるのに
対して、１８５ｎｍの光ではｌ ａｔｍ−’ ・ｃｍ−
’で１０００倍の効率となる。しかも、オゾンは２５０
ｎｍ付近の光を吸収して、再び０２になってしまうため
に、従来１８５ｎｍと２５４ｎｍの波長を有する低圧水
銀ランプの光では、製造効率がほとんど期待できなかっ
たのに対して、２５４ｎｍの光が、有効にフィルトレー
ジョンされる結果、低圧水銀ランプを光源として０．か
ら０３を製造するプロセスが可能となる。
ようとする場合、１９３ｒ＋ｍの波長の光では、０２の
吸収係数が１０−３ａｔｍ−’ −ｃｍ−’であるのに
対して、１８５ｎｍの光ではｌ ａｔｍ−’ ・ｃｍ−
’で１０００倍の効率となる。しかも、オゾンは２５０
ｎｍ付近の光を吸収して、再び０２になってしまうため
に、従来１８５ｎｍと２５４ｎｍの波長を有する低圧水
銀ランプの光では、製造効率がほとんど期待できなかっ
たのに対して、２５４ｎｍの光が、有効にフィルトレー
ジョンされる結果、低圧水銀ランプを光源として０．か
ら０３を製造するプロセスが可能となる。
以下、本発明を図面により具体的に説明するが、本発明
は、これらの実施例に限定されるものではない。
は、これらの実施例に限定されるものではない。
実施例１
第１図は、本発明のガスフィルターの一例を示す横断面
図であり、また、第２図は、第１図のＡ−Ａ’線線断断
面図ある。
図であり、また、第２図は、第１図のＡ−Ａ’線線断断
面図ある。
第１図において、１は通常市販されている棒状水銀ラン
プ、３は内径がランプ外径より大きな透明石英ガラス製
容器であり、ガス人口４及び出口５を有している。２は
ランプとガラス製容器との間の空隙である。ガス人口４
より適当な濃度のオゾンを導入することにより、２の空
隙はオゾンで満たされる。水銀ランプの光は、このオゾ
ン層を通過して石英管外に放出されるが、この際に、前
述のごと＜２５４ｎｍの光は、このオゾン層により大部
分が吸収される。従って、この層に吸収されない１８５
ｎｍの光のみが石英管外に放出されることになる。
プ、３は内径がランプ外径より大きな透明石英ガラス製
容器であり、ガス人口４及び出口５を有している。２は
ランプとガラス製容器との間の空隙である。ガス人口４
より適当な濃度のオゾンを導入することにより、２の空
隙はオゾンで満たされる。水銀ランプの光は、このオゾ
ン層を通過して石英管外に放出されるが、この際に、前
述のごと＜２５４ｎｍの光は、このオゾン層により大部
分が吸収される。従って、この層に吸収されない１８５
ｎｍの光のみが石英管外に放出されることになる。
実施例２
第３図は、本発明のガスフィルターの大面積のフィルタ
ーを必要とする場合の一例を示す平面図であり、第４図
は、第３図のＡ−Ａ’’断面図である。
ーを必要とする場合の一例を示す平面図であり、第４図
は、第３図のＡ−Ａ’’断面図である。
第３図、第４ｒｌｌＪにおいて、１は水銀ランプで、３
が適当な板厚を有する透明石英板である。２枚の石英板
３の周縁部に一定の厚さを持つスペーサ６をはさみ、ス
ペーサと石英板間をシール剤などを用いてシールするこ
とにより、両石英板間に任意の厚さを有する空隙２を、
外気と遮断して設けることができる。周縁部のスペーサ
の適当な位置に、ガスの入口４、出口５を取りつけ、こ
の空隙部にオゾンを導入する。被照射物と水銀ランプの
間に、このフィルターを介在させることにより、低圧水
銀ランプの光は、このオゾン層を通過する際、２５５ｎ
ｍの光は有効に吸収され、オゾンが吸収帯をもたない１
８５ｎｍの光のみが、被照射物に到達することになる。
が適当な板厚を有する透明石英板である。２枚の石英板
３の周縁部に一定の厚さを持つスペーサ６をはさみ、ス
ペーサと石英板間をシール剤などを用いてシールするこ
とにより、両石英板間に任意の厚さを有する空隙２を、
外気と遮断して設けることができる。周縁部のスペーサ
の適当な位置に、ガスの入口４、出口５を取りつけ、こ
の空隙部にオゾンを導入する。被照射物と水銀ランプの
間に、このフィルターを介在させることにより、低圧水
銀ランプの光は、このオゾン層を通過する際、２５５ｎ
ｍの光は有効に吸収され、オゾンが吸収帯をもたない１
８５ｎｍの光のみが、被照射物に到達することになる。
実施例３
第５図は、実施例２に示した大面積ガスフィルターを、
オゾン製造に使用した例を示す平面図であり、第６図は
、第５図のＡ−Ａ線断面図である。
オゾン製造に使用した例を示す平面図であり、第６図は
、第５図のＡ−Ａ線断面図である。
第５図、第６図において、■は水銀ランプで３は適当な
板厚を有する透明石英板である。２枚の石英板３の周縁
部に一定の厚さを持つスペーサー６をはさみ、スペーサ
ーと石英板間をシール剤などを用いてシールすることに
より、両石英板間に任意の厚さを有する空隙２を、外気
と遮断して設けることができる。周縁部のスペーサの適
当な位置に、ガスの入口４、出口５を取り付け、この空
隙部にオゾンを導入する。
板厚を有する透明石英板である。２枚の石英板３の周縁
部に一定の厚さを持つスペーサー６をはさみ、スペーサ
ーと石英板間をシール剤などを用いてシールすることに
より、両石英板間に任意の厚さを有する空隙２を、外気
と遮断して設けることができる。周縁部のスペーサの適
当な位置に、ガスの入口４、出口５を取り付け、この空
隙部にオゾンを導入する。
９は、合成樹脂など適当な材質で作られた箱型の容器で
、前述の二枚の石英板のうち、水銀ランプから遠い側の
石英板の外側に設置し、この箱型容器の周縁部と石英板
間を、シール剤などを用いてシールすることにより、空
隙１０を外気と遮断して設けることができる。この容器
の適当な箇所に、原料ガスの入ロア、及び反応ガスの出
口８を取り付け、この空隙に酸素あるいは空気を導入す
る。
、前述の二枚の石英板のうち、水銀ランプから遠い側の
石英板の外側に設置し、この箱型容器の周縁部と石英板
間を、シール剤などを用いてシールすることにより、空
隙１０を外気と遮断して設けることができる。この容器
の適当な箇所に、原料ガスの入ロア、及び反応ガスの出
口８を取り付け、この空隙に酸素あるいは空気を導入す
る。
低圧水銀ランプの光は、オゾンフィルターを通過してく
るため、酸素或いは空気からオゾンを生成するのに有用
な１８５ｎｍの光のみが、空隙１０に照射される。こう
して生成されるオゾンは、従来のオゾン製造器のように
放電現象などを伴わないため、ダストなどの無いクリー
ンなものとなり、このようなダストの飛来を嫌う、例え
ば半導体製造工程に用いるのに好適である。
るため、酸素或いは空気からオゾンを生成するのに有用
な１８５ｎｍの光のみが、空隙１０に照射される。こう
して生成されるオゾンは、従来のオゾン製造器のように
放電現象などを伴わないため、ダストなどの無いクリー
ンなものとなり、このようなダストの飛来を嫌う、例え
ば半導体製造工程に用いるのに好適である。
本発明は、オゾンが２５０ ｎｍ付近の紫外光を効率良
く吸収することに着眼し、低圧水銀ランプの前面又は周
囲に、薄いオゾン層を設けて、２５４ｎｍの波長の光を
吸収させるフィルターとするもので、これまでは、高価
で大型のものが不可能であった光学フィルターに替える
ことができ、低圧水銀ランプの１８５ｎｍという短波長
、真空紫外域の光のみを有効に取出すことが可能となっ
た。
く吸収することに着眼し、低圧水銀ランプの前面又は周
囲に、薄いオゾン層を設けて、２５４ｎｍの波長の光を
吸収させるフィルターとするもので、これまでは、高価
で大型のものが不可能であった光学フィルターに替える
ことができ、低圧水銀ランプの１８５ｎｍという短波長
、真空紫外域の光のみを有効に取出すことが可能となっ
た。
＾ｒＦエキシマレーザ光（１９３ｎｍ）よりも更に短波
長の単色光が得られたことで、光ＣＶＤ。
長の単色光が得られたことで、光ＣＶＤ。
光化学合成、光エッチングなどの分野において種々の応
用が期待される。
用が期待される。
第１図は、本発明のガスフィルターの一例を示す横断面
図、第２図は、第１図のＡ−Ａ’線線断断面図第３図は
本発明のガスフィルターのもう一つの例を示す平面図、
第４図は、第３図のＡ−Ａ’’断面図、第５図は、第３
図のガスフィルターをオゾン製造に使用した例を示す平
面図、第６図は、第５のＡ−Ａ’’断面図である。
図、第２図は、第１図のＡ−Ａ’線線断断面図第３図は
本発明のガスフィルターのもう一つの例を示す平面図、
第４図は、第３図のＡ−Ａ’’断面図、第５図は、第３
図のガスフィルターをオゾン製造に使用した例を示す平
面図、第６図は、第５のＡ−Ａ’’断面図である。
Claims (1)
- １、低圧水銀ランプと被照射物との間にオゾン含有ガス
層を設けることを特徴とする低圧水銀ランプ用ガスフィ
ルター。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2168511A JPH0458202A (ja) | 1990-06-28 | 1990-06-28 | 低圧水銀ランプ用ガスフィルター |
| KR1019910010271A KR920001615A (ko) | 1990-06-28 | 1991-06-21 | 저압수은 증기램프용 필터 |
| EP19910110745 EP0464703A3 (en) | 1990-06-28 | 1991-06-28 | Filter for a low-pressure mercury vapor lamp |
| US07/970,583 US5262902A (en) | 1990-06-28 | 1992-10-26 | Filter for a low-pressure mercury vapor lamp |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2168511A JPH0458202A (ja) | 1990-06-28 | 1990-06-28 | 低圧水銀ランプ用ガスフィルター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0458202A true JPH0458202A (ja) | 1992-02-25 |
Family
ID=15869404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2168511A Pending JPH0458202A (ja) | 1990-06-28 | 1990-06-28 | 低圧水銀ランプ用ガスフィルター |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0464703A3 (ja) |
| JP (1) | JPH0458202A (ja) |
| KR (1) | KR920001615A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001095900A (ja) * | 1999-07-13 | 2001-04-10 | Johnson & Johnson Vision Care Inc | 放射線を選択的に減衰するための材料を有するｕｖ放射線システム |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR792615A (fr) * | 1934-08-28 | 1936-01-07 | Philips Nv | Dispositif comportant une source de lumière ultra-violette et un filtre |
| US4054812A (en) * | 1976-05-19 | 1977-10-18 | Baxter Travenol Laboratories, Inc. | Integrally focused low ozone illuminator |
| US4049987A (en) * | 1976-06-04 | 1977-09-20 | The Perkin-Elmer Corporation | Ozone absorbance controller |
-
1990
- 1990-06-28 JP JP2168511A patent/JPH0458202A/ja active Pending
-
1991
- 1991-06-21 KR KR1019910010271A patent/KR920001615A/ko not_active Ceased
- 1991-06-28 EP EP19910110745 patent/EP0464703A3/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001095900A (ja) * | 1999-07-13 | 2001-04-10 | Johnson & Johnson Vision Care Inc | 放射線を選択的に減衰するための材料を有するｕｖ放射線システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR920001615A (ko) | 1992-01-30 |
| EP0464703A2 (en) | 1992-01-08 |
| EP0464703A3 (en) | 1992-10-28 |
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