JPH0459393U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0459393U JPH0459393U JP10231790U JP10231790U JPH0459393U JP H0459393 U JPH0459393 U JP H0459393U JP 10231790 U JP10231790 U JP 10231790U JP 10231790 U JP10231790 U JP 10231790U JP H0459393 U JPH0459393 U JP H0459393U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- port
- turbo
- vicinity
- pump mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す全体断面図、
第２図は従来例を示す全体断面図である。 ……排気系路、１……ケーシング、１ａ……
ケーシング内周、７……ロータ、７ｂ……ロータ
外周、８ａ……タービン、８……ポンプ機構、１
０……吸気口、１１……排気口、１３，１４……
パージ口、１５……ガス供給源。
第２図は従来例を示す全体断面図である。 ……排気系路、１……ケーシング、１ａ……
ケーシング内周、７……ロータ、７ｂ……ロータ
外周、８ａ……タービン、８……ポンプ機構、１
０……吸気口、１１……排気口、１３，１４……
パージ口、１５……ガス供給源。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ロータ外周とケーシング内周の間に少なくとも
タービンを有したポンプ機構を形成し、このポン
プ機構により吸気口から吸入したガスを排気口に
向かつて圧縮排気し得るように構成されたターボ
分子ポンプにおいて、 ポンプ機構の初段近傍から中段近傍に至るまで
の間に、内部の排気系路を外部に連通させるパー
ジ口を設け、このパージ口に、ポンプ運転中に排
気系路内に不活性ガスを導入し得るガス供給源を
接続したことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10231790U JPH0459393U (ja) | 1990-09-29 | 1990-09-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10231790U JPH0459393U (ja) | 1990-09-29 | 1990-09-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0459393U true JPH0459393U (ja) | 1992-05-21 |
Family
ID=31846457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10231790U Pending JPH0459393U (ja) | 1990-09-29 | 1990-09-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0459393U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008248754A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Tokyo Electron Ltd | ターボ分子ポンプ、基板処理装置、及びターボ分子ポンプの堆積物付着抑制方法 |
| JP2022522883A (ja) * | 2019-03-05 | 2022-04-20 | ファイファー バキユーム | ターボ分子真空ポンプおよびそのパージ方法 |
| US12392033B2 (en) | 2020-12-15 | 2025-08-19 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
-
1990
- 1990-09-29 JP JP10231790U patent/JPH0459393U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008248754A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Tokyo Electron Ltd | ターボ分子ポンプ、基板処理装置、及びターボ分子ポンプの堆積物付着抑制方法 |
| JP2022522883A (ja) * | 2019-03-05 | 2022-04-20 | ファイファー バキユーム | ターボ分子真空ポンプおよびそのパージ方法 |
| US12392033B2 (en) | 2020-12-15 | 2025-08-19 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
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