JPH0459471U - - Google Patents

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JPH0459471U
JPH0459471U JP1990101411U JP10141190U JPH0459471U JP H0459471 U JPH0459471 U JP H0459471U JP 1990101411 U JP1990101411 U JP 1990101411U JP 10141190 U JP10141190 U JP 10141190U JP H0459471 U JPH0459471 U JP H0459471U
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semiconductor chip
cantilevers
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axes
semiconductor
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JP1990101411U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の第１の実施例の構造を示す図
、第２図は第１の実施例の加速度検出動作を説明
するための図、第３図ａ，ｂ，ｃは第１図のＢ−
Ｂ線に沿う断面構造（梁ウの断面構造）が形成さ
れるプロセスを示す図、第４図は本考案の第２の
実施例の構造を示す図、第５図および第６図は第
２の実施例の動作を説明するための図、第７図ａ
，ｂ，ｃは第４図のｃ−ｃ線に沿う断面構造が形
成されるプロセスを示す図、第８図および第９図
は従来例の構成を説明するための図である。 １，２，３……質量部、４……ダイアフラム（
たわみ部）、６……固定（センサ取付け）面、７
……出力アンプ、ア〜ケ……梁、Ｒ１〜Ｒ４……
ピエゾ抵抗。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚの３軸の方向の
    加速度をそれぞれ検出する第１、第２、第３のカ
    ンチレバーを一つの半導体チツプに有し、該半導
    体チツプの取付け面に平行な上記２軸の方向のカ
    ンチレバーの構造が線対称となつていることを特
    徴とする半導体加速度センサ。 (2) 互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚの３軸の方向の
    加速度をそれぞれ検出する第１、第２、第３のカ
    ンチレバーを一つの半導体チツプに有し、該３つ
    のカンチレバーのうちの２つの構造が、半導体チ
    ツプの中心点に関して点対称の関係にあることを
    特徴とする半導体加速度センサ。
JP1990101411U 1990-09-27 1990-09-27 半導体加速度センサ Expired - Lifetime JPH0712932Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1990101411U JPH0712932Y2 (ja) 1990-09-27 1990-09-27 半導体加速度センサ

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1990101411U JPH0712932Y2 (ja) 1990-09-27 1990-09-27 半導体加速度センサ

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Publication Number Publication Date
JPH0459471U true JPH0459471U (ja) 1992-05-21
JPH0712932Y2 JPH0712932Y2 (ja) 1995-03-29

Family

ID=31844832

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JP (1) JPH0712932Y2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04186676A (ja) * 1990-11-16 1992-07-03 Fuji Electric Co Ltd 半導体式加速度センサ及びその製造方法
JPH07325104A (ja) * 1994-06-01 1995-12-12 Zexel Corp 加速度センサ
JP2010014406A (ja) * 2008-06-30 2010-01-21 Toshiba Corp 慣性センサ及び慣性検出装置
JP2011116201A (ja) * 2009-12-02 2011-06-16 Stanley Electric Co Ltd ヘッドランプの光軸調整装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH07325104A (ja) * 1994-06-01 1995-12-12 Zexel Corp 加速度センサ
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JP2011116201A (ja) * 2009-12-02 2011-06-16 Stanley Electric Co Ltd ヘッドランプの光軸調整装置

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JPH0712932Y2 (ja) 1995-03-29

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