JPH0459816U - - Google Patents

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JPH0459816U
JPH0459816U JP10190990U JP10190990U JPH0459816U JP H0459816 U JPH0459816 U JP H0459816U JP 10190990 U JP10190990 U JP 10190990U JP 10190990 U JP10190990 U JP 10190990U JP H0459816 U JPH0459816 U JP H0459816U
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JP
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disk
sample
laser
pinhole
pinholes
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JP10190990U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例のレーザ顕微鏡用光
ビームスキヤナの構成を示す構成図、第２図は第
１図に示した実施例のレーザ顕微鏡用光ビームス
キヤナのデイスクの構成を示す構成図、第３図は
第２図に示したデイスクを説明するための説明図
、第４図は第３図に示したデイスクを更に詳しく
説明するための説明図、第５図は従来のレーザ顕
微鏡用光ビームスキヤナを説明する説明図である
。 １１……レーザ光源、１２……ビームスプリツ
タ、１３……シリンドリカルレンズ、１４……ミ
ラー、１５……デイスク、１６……モータ、１７
，１８……レンズ、１９……試料、２０……レン
ズ、２１……検出器、２２……ミラー駆動部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 スパイラス状に配置された多数のピンホールを
    備えたデイスクを回転させ、ピンホールを通過し
    たレーザ光を試料に照射する走査型のレーザ顕微
    鏡において、 デイスク上の試料測定域に対応する部分であつ
    て１個のピンホールが横切る領域にレーザ光を集
    束させるためのシリンドリカルレンズと、 シリンドリカルレンズを通過したレーザ光をデ
    イスクに導入させる際に、デイスク上の試料測定
    域に対応する部分を通過中のピンホールの回転半
    径の変化に同期して、デイスクの半径方向に照射
    位置を移動させる移動手段とを備えたことを特徴
    とするレーザ顕微鏡用光ビームスキヤナ。
JP10190990U 1990-09-28 1990-09-28 Pending JPH0459816U (ja)

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JP10190990U JPH0459816U (ja) 1990-09-28 1990-09-28

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JPH0459816U true JPH0459816U (ja) 1992-05-22

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ID=31845732

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