JPH0459965A

JPH0459965A - 差圧シール装置

Info

Publication number: JPH0459965A
Application number: JP16826690A
Authority: JP
Inventors: Tsuneo Nagamine; 長嶺　恒夫
Original assignee: Kawasaki Steel Corp
Current assignee: JFE Steel Corp
Priority date: 1990-06-28
Filing date: 1990-06-28
Publication date: 1992-02-26

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉長尺薄帯、例えば冷延ないし熱延鋼４１！′のような長
尺材を連続的に送給しつつこれに真空茂着、イオンブレ
ーティング、スパッタリングなどのいわゆるドライブレ
ーティング法によって表面処理を施す際には複数の圧力
差のある空間領域相互によってドライブレーティング領
域に至る間に順次真空度を上げ、ついで下げていくエア
ー・トウ・エアー（Ａｉｒ−ｔｏ−Ａｉｒ）方式が用い
られる。

この発明は、この差圧室相互間の圧力差を維持しつつ長
尺薄帯の通過を誘導するのに好適な差圧シール装置に関
するものである。

〈従来の技術〉長尺薄）１シを大気中から連続的に真空槽内に導入して
処理し、再び大気中に導出するための手段として、エア
ー・トウ・エア一方式による差圧シール装置について種
々の提案がなされている。

本出願人は、単一のガイドロールに長尺薄帯を巻きかけ
案内しつつ、これを覆うように僅少な隙間を設けるシー
リングアタッチメントによる差圧装置（特開平２−５４
７６７号公報）や、ベルト方式による差圧シール装置（
特開平］　−３０１８６１号公報）を提案した。

ところで、真空差圧シール装τにおける隙間は、小さけ
れば小さいほど望ましい、いうまでもなく差圧室（装置
）間のコンダクタンスは隙間の入口形状にも左右される
が、粘性流領域では隙間の３乗、分子流頭載では隙間の
２乗に比例し、隙間の長さに反比例する。従って、隙間
は小さいほど小容星のポンプで経済的に高真空度が達成
できる。

発明者らは、前記の発明に係る実機により実験を繰り返
した結果、長尺薄帯の通る部分のガイドロールとシーリ
ングアタッチメントとの隙間は、長尺’Ｅ１４ｊＦの最
大厚さに０．１〜０．３ｍｍを加えた値、反対側の長尺
薄帯の通らない部分のガイドロールとシーリングアタッ
チメントとの隙間はＯ６１〜０．３肝程度が熱膨張差、
機械加工精度などの点から実用上の最小限界と判断して
いる。これ以下になるとガイドロールとシーリングアタ
ッチメントが接触してガイドロールが回転不可能となっ
たり、長尺薄帯の通板が不能になったり、長尺薄帯に１
９班が入ったり、薄帯の破断の原因となった。

これは第５図及び第６図に示すように、回転中心となる
ガイ１′ローｌし２とシーリングアタッチメント３が各
々独立して支持される構造、即ちガイドロール２は固定
ヘース８面に固定された軸受６で支持する一方で、シー
リングアクッヂメン１−３は軸受６とは別個にベース８
′面に固定した差圧室５の隔壁９に支持する構造であり
、かつシーリングアタッチメント３の形状が？Ｊ［ｊｆ
ｆｌであるために、ガイドロール３の軸方向全長に均一
な隙間を設定することが非常に難しかった。

また、差圧室５そのものも箱形に隔壁９を設けた構造の
ため、不要な排気空間が多くなっていた。

このため、排気装置も排気量、排気時間に余裕率の高い
大型のものとなり、設備投資面、消費電力面から決して
好ましいものではなかった。

更に、通板作業性も悪く、長尺薄（１２の破断時には差
圧室５のハンドホール（図示・Ｕず）を開け、専ら手作
業により通板を行わざるを得す多大の労力と時間を要す
るものであった０部品の交（桑等についても同様であり
、非常に生産性を阻害する要因を抱えた装置であった。

なお、図中、■は長尺薄帯、７は真空ベローである。

〈発明が解決しようとする課題〉このように差圧シール装置においては、■ガイドロール
とシーリングアタッチメントとの隙間を小さく均一に保
つことにより空気の侵入を極力防ぎ、効率良く（少容量
のポンプで）差圧を発生させ、所定の真空度を達成する
と同時に、■長尺薄（ＩＦを用傷することなく自動で真
空槽内に導入導出すること、■また保全性にも優れたも
のであることが課題であり、木発１９１は、これらの課
題を解決して、経済的で通板作業性もよく、また保全性
にも優れた差圧シール装置を提供することを目的とする
。

＜Ｂ題を解決するための手段〉本発明は、圧力差のある空間領域相互間にわたり、該圧
力差を維持しつつ長尺ｆｊｌ［（ｆＦの連続的な通過を
誘導する差圧シールにおいて、前記空間領域相互間の境
界にて、長尺薄帯の巻きがけ案内を司る、単一のガイド
ロールと、葭記長尺薄（ｊＦの周囲を囲むように配設さ
れ、その対向する一方の面の側の一部が前記単一のガイ
ドロール上の薄帯面に近接し、かつ、該薄イＩＰ面に沿
った形状に形成され、対向する他方の側の一部が前記ガ
イドロール外周面に近接し、かつ、先端が前記ガイドロ
ール外周面に沿った形状に形成されるとともに、前記ガ
イ］′ロール外面に沿った形状に形成され、かつ、先端
部が前記ロール外面に近接し、前記対向する両部分をほ
ぼ気密に保つように接続した側面構造を有するシーリン
グアタッチメントと、前記シーリングアタッチメン！・
の薄帯導入側にあって、薄帯を前記ガイドロール面に押
し付ける押えロールと、前記押えロールを前記ガイドロ
ール面に接近・離間可能に支持するアクチュエータと、
隣合う前記シーリングアタッチメントの薄帯出口と薄帯
導入口との間を連結する、薄帯を囲む長矩形断面の接続
ダクトと、前記接続ダクトの途中に設けられた排気管と
からなり、前記ガイドロールが前記シーリングアタッチ
メントの幅方向両端部に保持された軸受によって支持さ
れてなる差圧シール装置である。

く作　用〉本発明は、前記課題を解決するために、長尺薄帯を巻き
がけ案内するガイドロールの軸受をシーリングアタッチ
メン］・と一体化した。これにより、ガイドロールとシ
ーリングアタッチメントの隙間がＮＤｉ的に一定に保た
れるため、所定の隙間が精度良く得られる。即ち、安定
した差圧シールが得易く、ガイドロールの回転不能、長
尺薄帯の破断やスリ疵の発生を防止できる。

また、シーリングアタッチメン）・には、アクチュエー
タによりガイドロールに押付けられる押えロールを設け
、各差圧室間１２は接続ダクトを設り、長尺薄帯の進行
方向を制限する通板ガイドにすることにより、自動通板
を可能とし、差圧室内の余分な空間をなくし、真空到達
所要時間の短縮を可能にした。

更に、構造が簡単になったため、トラブル時の対応、保
全性も格段に向上した。

〈実施例〉本発明の一実施例を第１〜３図に基づいて説明する。

第１図は、本発明の差圧シール装置の使用状況を示す図
である。複数のガイドロール１２を上下千鳥状に配設し
、これに長尺薄帯１１を巻きがける。

この時各ガイドロール１２は、上、下シーリングアタッ
チメン目３．１４ないし１３’　、１４’に収納されて
おり、これらのシーリングアタッチメント間は長矩形断
面の接続ダクト２１．２１′で接続されている。この接
続ダクトには排気管２２が設けてあり、図示せぬ真空ポ
ンプに接続されている。１５．１５′は架台である。

第２図は差圧シール装置の分解組立図である。

ガイドロール１２の両端に軸受１７．１７’を嵌合し、
側面ハウジング１６．１６′で覆う、ガイドロール１２
の駆動軸の貫通ずる側面ハウジング１６に対しては、駆
動軸の外面との間に気密シール装置１８を嵌合する。こ
の状態の組立体を下シーリングアタッチメント１４に′
Ｒ置する。これに上シーリングアタッチメン目３を載せ
ると差圧シール室は組み上がる。

組立状態を第３．４図に示す。なお、これら部品の割り
面には真空パツキンが用いられるのは当然である。

第３．４図において、上シーリングアタッチメント１３
の長尺薄帯１１の入側に、抑えロール１９をアクチュエ
ータ２０により昇降可能に設ける。この抑えロール１９
は、駆動されるガイドロール１２に押し付けると回転す
るため、これらのロールに挾まれる長尺薄帯１１の先端
は自動的に通板される。なお、抑えロール１９の長さは
、ガイドロール１２の全長にある必要はなく、ガイドロ
ール１２の中央部分をカバーする長さで良い。

〈発明の効果〉以上説明したように、本発明の装置は次の効果を存する
。

■　長尺薄帯を巻きかけ案内するガイドロールとこれを
覆うように設けたシーリングアタッチメントを軸受を介
して一体構造としたために、ガイドロールとシーリング
アタッチメントの隙間が均一で僅少にでき、差圧発生が
容易になり、真空ポンプの容量が小さくなった。また、
シーリングアタッチメントとガイドロールの接触による
回転不能やロール疵、長尺薄帯の破断がない。

■　長尺薄帯の形状に合わせた接続ダクトとシーリング
アタッチメントに設けた抑えロールにより長尺薄帯の自
動通板が行なえる。

■　構造が簡単なため、製作が容易であり、トラブル時
の対応が容易であり、また保全性にも優れている。

■　余分な空間を作らないことにより、所要真空度への
到達時間が短い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の差圧シール装置の使用状況を示す図で
ある。第２図（ａ）は本発明の差圧シール装置の分解組
立図、第２図（ｂ）は第２図（ａ）のＡ−Ａ矢視図、第
２図（Ｃ）は第２図（ａ）のＢ−Ｂ矢視図である。第３図は本発明の差圧シール装置のガイドロール軸に直
角な断面図、第４図は同じくガイドロール軸に平行な断
面図である。第５図は従来の差圧シール装置の使用状況
を示す図、第６図は従来の差圧シール装置の断面図であ
る。ｌ・・・長尺薄帯、２・・・ガイドロール、４・・・ガイドロール、５・・・差圧室、６・・・軸受、７・・・真空ベロー８．８′・・・固定ベース、９・・・隔壁、１１・・・長尺薄帯、１２・・・ガイドロール、１３．１３′・・・上シーリングアタッチメント、１４
．１４′　・・・下シーリングアタッチメント、１５．
１５′　・・・架台、１６．１６′・・・側面ハウジング、１７．１７′・・・軸受、１８・・・気密シール装置、１９・・・押えロール、２０・・・アクチュエータ、２１．２１’・・・接続ダクト、２２・・・排気管。３・・・シーリングアクッヂメント、

Claims

【特許請求の範囲】

圧力差のある空間領域相互間にわたり、該圧力差を維持
しつつ長尺薄帯の連続的な通過を誘導する差圧シールに
おいて、前記空間領域相互間の境界にて、長尺薄帯の巻
きがけ案内を司る、単一のガイドロールと、前記長尺薄
帯の周囲を囲むように配設され、その対向する一方の面
の側の一部が前記単一のガイドロール上の薄帯面に近接
し、かつ、該薄帯面に沿った形状に形成され、対向する
他方の側の一部が前記ガイドロール外周面に近接し、か
つ、先端が前記ガイドロール外周面に沿った形状に形成
されるとともに、前記ガイドロール外面に沿った形状に
形成され、かつ、先端部が前記ロール外面に近接し、前
記対向する両部分をほぼ気密に保つように接続した側面
構造を有するシーリングアタッチメントと、前記シーリ
ングアタッチメントの薄帯導入側にあって、薄帯を前記
ガイドロール面に押し付ける押えロールと、前記押えロ
ールを前記ガイドロール面に接近・離間可能に支持する
アクチュエータと、隣合う前記シーリングアタッチメン
トの薄帯出口と薄帯導入口との間を連結する、薄帯を囲
む長矩形断面の接続ダクトと、前記接続ダクトの途中に
設けられた排気管とからなり、前記ガイドロールが前記
シーリングアタッチメントの幅方向両端部に保持された
軸受によって支持されてなる差圧シール装置。