JPH04147973A - ストリップ連続真空処理装置の差圧シール装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、ストリップに連続的に真空蒸着等を施す装置
におけるロールシール装置に関するものである。

〈従来の技術〉 この種の装置では、外気の侵入又は隣接室との間で気体
の移動を極力少なくするために、境界部にシール装置が
必要であり、より優れたシール装置の開発が要望されて
いた。

特開昭６２−１３５７２号公報には、高圧室側と低圧室
側を仕切る１対のシールロールを設け、同１対のロール
間にストリップを通すようにしたものにおいて、同ロー
ルを収納したケーシング、前記ストリップの上下を空間
を置いて挟むように配設され、同ロールの周面に先端が
近接し、同先端が同ロールに沿った形状に形成されると
共に、前記ケーシングに気密に支持されたシールパー、
先端が前記ロールに沿った形状に形成されると共に、前
記シールパーの両側面部に前記ケーシング内面と小さな
隙間をもって設置されたアダプタとよりなることを特徴
とするロールシール装置が提案されている。

この装置を図面により説明する。第５図〜第７図におい
て１はストリップ、２はストリップ１を挟む１対のロー
ルを示す、なお、板幅は任意に変わるため、ストリップ
１とロール２．２を収納したケーシング５の間には隙間
がある。シール装置は３と４の部屋との間でガスの移動
を極力少なくするためにストリップ１の上下を空間を置
いて挟むように配設され、ロール２の長手方向の周面に
先端が近接したシールバー９と、シールパー９の両側面
部に配設されたアダプタ８を装備する。第５回〜第７図
の例では、シールパー９、アダプタ８は一体化しており
、シールパー９の形状は、先端９ａがロール２に沿った
形状をしている。またアダプタ８も先端８ａがロール２
に沿った形状をしており、アダプタ８の端部は、ケーシ
ング５の内面に小さな隙間１１を維持できる構造として
いる。

なお、ロール２は軸７により駆動されると共に、同軸７
を介して軸受６で支持されている。また本例では、スト
リップｌの厚み変更に対応できるように、ロールを上下
動可能にするため、ロール軸受７、ロール軸受６を一体
化したものをケーシング５とベローズ１０を介して結ん
だ構造としている。

そして、１対のロール２．２を駆動し、その間に挟まれ
たストリップ１を高圧側と低圧側の室３．４間を通す際
、シールパー９はロール２．２の長手方向の周面に近接
し、先端が同ロール２．２に沿った形状で、ケーシング
５に気密に支持されており、アダプタ８は先端がロール
２．２に沿った形状に形成されると共に、前記シールパ
ー９の両側面部に配設され、かつケーシング５内面と小
さな隙間をもって設置されているので、前記２室３．４
間でのガスの移動を極力小さくできる。従ってケーシン
グ５とロール２．２の両側端面間の隙間におけるシール
性能が向上し、同隙間からのリーク量を極力減らすこと
ができる。

上記のような非接触シールの他に、特開平１１７２５７
０号公報のようなロールと固定シールの間にストリップ
を通過せしめる固定シール方式も提案されている。

〈発明が解決しようとするｌｌ！題〉 しかし、前記の特開昭６２−１３５７２号公報のシール
方式は、通板性に優れてはいるが、反面、気流がストリ
ップと平行に流れることにより旗がハタメクような振動
、いわゆるフラッタリング現象が生じ、この振動のため
に蒸着の厚み精度や搬送速度に悪影響を及ぼしていた。

他方、特開平１−１７２５７０号公報に示すようなロー
ルと固定シールの間をストリップを通過せしめる方式で
は、ストリップの走行方向と気流の方向が平行でないた
めにストリップの振動は防止できるが、固定シールとの
狭い隙間をストリップが通遇するため、形状の悪いスト
リップでは摺り疵の発生や引っかかって破断するという
通根性の問題があった。

実生産ラインにおいては、破断や摺り疵は絶対避けなけ
ればならないので、後者のような固定シール方式は採用
できない。

本発明は、特開昭６２−１３５７２号公報のシール方式
において、ストリップの振動を止めることが可能な装置
を提供することを目的とする。

＜ｔｘ、ｎを解決するための手段〉 第１の発明は、高圧室と低圧室を仕切る１対のロールを
設け、前記１対のロール間にストリップを通すようにし
、前記ロールを収納したケーシング、前記ストリップの
上下を空間を置いて挟むように配設され、前記ロールの
周面に先端が近接し、前記先端が前記ロールに沿った形
状に形成されると共に、前記ケーシングに気密に支持さ
れたシールバー、先端が前記ロールに沿った形状に形成
されると共に、前記シールバーの両側面部に前記ケーシ
ング内面と小さな隙間をもって設置されたアダプタとよ
りなる差圧シール装置において、前記シールバーと前記
アダプタの内側に、前記ストリップを空間を置いて囲繞
するようにシール筒を配設し、前記シール筒の先端を前
記ロールの周面に近接させ、前記先端を前記ロールに沿
った形状に形成すると共に、前記シール筒の低圧室側の
長さを前記シールバーの低圧室側先端より長くしたこと
を特徴とするストリップ連続真空処理装置の差圧シール
装置である。

また第２の発明は、高圧室と低圧室を仕切る１対のロー
ルを設け、前記１対のロール間にストリップを通すよう
にし、前記ロールを収納したケーシング、前記ストリッ
プの上下を空間を置いて挟むように配設され、前記ロー
ルの周面に先端が近接し、前記先端が前記ロールに沿っ
た形状に形成されると共に、前記ケーシングに気密に支
持されたシールバー、先端が前記ロールに沿った形状に
形成されると共に、前記シールバーの両側面部に前記ケ
ーシング内面と小さな隙間をもって設置されたアダプタ
とよりなる差圧シール装置において、前記シールバーを
アウターシールバーとなして該アウターシールバーの内
側に、前記ストリップの上下を空間を置いて挟むように
配設され、前記ロールの周面に先端が近接し、前記先端
が前記ロールに沿った形状に形成されたインナーシール
バーを設け、前記インナーシールバーの低圧室側の長さ
を前記アウターシールバーの低圧室側先端より長くした
ことを特徴とするストリップ連続真空処理装置の差圧シ
ール装置である。

〈作　用〉 本発明者らは、ストリップに沿って流れる平行流がスト
リップに自動的振動を惹起せしめたことを突き止め、そ
の防止手段を鋭意検討し、本発明を完成した。

第４図は、本発明の装置における気流の状態を示したも
のである。高圧室３の圧力Ｐ１は低圧室４の圧力Ｐ、よ
り大であるから、矢印の方向に気流が流れ込む、クリア
ランス１６と１７は狭い隙間であり、この部分を気流が
高速で通過する時に圧力降下が生じる。アウタークリア
ランス１８を流れる気流は、クリアランス１６のみを通
過して流れるが、インナークリアランス１９を流れる気
流は、さらにクリアランス１７を通過するため、２倍の
抵抗を受ける。その結果としてインナークリアランス１
９を流れる気流は流れにくくなり、大半の気流はアウタ
ークリアランス１８を通って流れることとなり、ストリ
ップ１にフラッタリングを生ずることがなくなる。

アウタークリアランス１８を流れた気流は低圧室４内へ
流れ出る時に、流束が拡大することにより速度を失うが
、流束を拡大させる時にストリップｌと反対方向に拡大
させることが重要である。そのため、シール筒１３又は
インナーシールバー１５をシールバー１２又はアウター
シールバー１４より長くし、図のようにストリップ１か
ら遠い方向に拡大させるようにした。

これらの改良により、良好な通根性と振動のない差圧室
が可能となった。

〈実施例〉 本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は、第１及び第２の発明の一実施例の断面図であ
り、（）内は第２の発明の部番を示す。

第２図は第１の発明の要部斜視図、第３図は第２の発明
の要部斜視図である。

先ず、第１の発明の詳細な説明する。

第１．２図において、ケーシング５内に高圧室３側と低
圧室４側を仕切る１対のロール２．２が設けられており
、この１対のロール２．２間にストリップ１を通すよう
にしである。

１２は、ストリップ１の上下を空間を置いて挟むように
配設され、ロール２．２の周面に先端１２ａが近接し、
先端１２ａがロール２．２に沿った形状に形成されると
共に、ケーシング５に気密に支持されたシールバーであ
る。

８は、先端８ａがロール２．２に沿った形状に形成され
ると共に、シールバー１２の両側面部にケーシング５内
面と小さな隙間（第５図の部番１１）をもって設置され
たアダプタである。

１３は、シールバー１２とアダプタ８の内側にストリッ
プ１を空間を置いて囲繞するように配設したシール筒で
ある。シール筒１３の先端１３ａ、１３ｂはロール２．
２の周面に近接させ、ロール２．２に沿った形状に形成
しである。またシール筒１３の低圧室４側の長さをシー
ルバー１２の低圧室４側の先端より長くしである。

次に、第２の発明の詳細な説明する。

第３図において、１４はストリップｌの上下を空間を置
いて挟むように配設され、ロール２．２の周面に先端１
４ａが近接し、先端１４ａがロール２．２に沿った形状
に形成されると共に、ケーシング５に気密に支持された
アウターシールバーである。

８は、先端８ａがロール２．２に沿った形状に形成され
ると共に、アウターシールバー１４の両側面部にケーシ
ング５内面と小さな隙間（第５図の部番１１）をもって
設置されたアダプタである。

１５は、アウターシールパー１４の内側に、ストリップ
１の上下を空間を置いて挟むように配設され、ロール２
．２の長手方向の周面に先端１５ａが近接し、先＄　１
５　ａがロール２．２に沿った形状に形成されたインナ
ーシールバーである。インナーシールバー１５の低圧室
４例の長さをアウターシールパー１４の低圧室４側先端
より長くしである（第１図参照）。

〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明の装置により、差圧室内で
発生するストリップの振動を問題のないレベルまで低減
することが可能となり、これにより、蒸着の厚み精度及
び通板性を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は第１及び第２の発明の装置の一実施例を示す断
面図、第２図は第１の発明の一実施例の要部斜視図、第
３図は第２の発明の一実施例の要部斜視図、第４図は第
１及び第２の発明の装置における気流の状態を示した説
明図、第５図は従来装置におけるロール端部の側断面図
、第６図は第５図の１−１線断面図、第７図はシールロ
ールとシールバー及びアダプタとの関係の概略を示す斜
視図である。 ・・・ストリップ、 ・・・ロール、 ・・・高圧室、 ・・・低圧室、 ・・・ケーシング、 ・・・軸　受、 ・・・ロール軸、 ・・・アダプタ、 ・・・アダプタの先端・ ・・・　シールレノイー ・・・シールバーの先端、 ・・・ベローズ、 ・・・隙　間、 ・・・　シールレノく− ・・・シールバーの先端、 ・・・シール筒、 １３ｂ・・・シール筒の先端、 ・・・アウターシールバー ・・・アウターシールバーの先端、 ・・・インナーシールバー １５ａ １６．１７ ・・・インナーシールバーの先端、 ・・・クリアランス、 ・・・アウタークリアランス、 ・・・インナークリアランス。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）高圧室と低圧室を仕切る１対のロールを設け、前
   記１対のロール間にストリップを通すようにし、前記ロ
   ールを収納したケーシング、前記ストリップの上下を空
   間を置いて挟むように配設され、前記ロールの周面に先
   端が近接し、前記先端が前記ロールに沿った形状に形成
   されると共に、前記ケーシングに気密に支持されたシー
   ルバー、先端が前記ロールに沿った形状に形成されると
   共に、前記シールバーの両側面部に前記ケーシング内面
   と小さな隙間をもって設置されたアダプタとよりなる差
   圧シール装置において、前記シールバーと前記アダプタ
   の内側に、前記ストリップを空間を置いて囲繞するよう
   にシール筒を配設し、前記シール筒の先端を前記ロール
   の周面に近接させ、前記先端を前記ロールに沿った形状
   に形成すると共に、前記シール筒の低圧室側の長さを前
   記シールバーの低圧室側先端より長くしたことを特徴と
   するストリップ連続真空処理装置の差圧シール装置。
2. （２）高圧室と低圧室を仕切る１対のロールを設け、前
   記１対のロール間にストリップを通すようにし、前記ロ
   ールを収納したケーシング、前記ストリップの上下を空
   間を置いて挟むように配設され、前記ロールの周面に先
   端が近接し、前記先端が前記ロールに沿った形状に形成
   されると共に、前記ケーシングに気密に支持されたシー
   ルバー、先端が前記ロールに沿った形状に形成されると
   共に、前記シールバーの両側面部に前記ケーシング内面
   と小さな隙間をもって設置されたアダプタとよりなる差
   圧シール装置において、前記シールバーをアウターシー
   ルバーとなして該アウターシールバーの内側に、前記ス
   トリップの上下を空間を置いて挟むように配設され、前
   記ロールの周面に先端が近接し、前記先端が前記ロール
   に沿った形状に形成されたインナーシールバーを設け、
   前記インナーシールバーの低圧室側の長さを前記アウタ
   ーシールバーの低圧室側先端より長くしたことを特徴と
   するストリップ連続真空処理装置の差圧シール装置。