JPH0460000A - メッキ液の製造方法 - Google Patents
メッキ液の製造方法Info
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- JPH0460000A JPH0460000A JP2170062A JP17006290A JPH0460000A JP H0460000 A JPH0460000 A JP H0460000A JP 2170062 A JP2170062 A JP 2170062A JP 17006290 A JP17006290 A JP 17006290A JP H0460000 A JPH0460000 A JP H0460000A
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- Japan
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- solid particles
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は大量に製造したメッキ液を個々の容器に小分
けするメッキ液の製造方法に関するものである。
けするメッキ液の製造方法に関するものである。
〈従来の技術〉
メッキ液中には、メッキ液を構成する薬品の不純物や析
出金属粒子自体が、０．５μｍ以上の固体微粒子として
、メッキ液１ ｃｒ／当たり数千〜数万個程度存在して
いる。このメッキ液を半導体部品（特にウェハー）のメ
ッキに用いた場合、析出層表面に異常突起を発生させた
り、或いは微細パターンに固体微粒子が残ったりして、
製品不良の原因になり得る。そこで、従来は前記の如き
固体微粒子を除去するために、メッキ液を事前に精密ろ
過する方法が行われている（特開平２−５７６８７号公
報参照）。
出金属粒子自体が、０．５μｍ以上の固体微粒子として
、メッキ液１ ｃｒ／当たり数千〜数万個程度存在して
いる。このメッキ液を半導体部品（特にウェハー）のメ
ッキに用いた場合、析出層表面に異常突起を発生させた
り、或いは微細パターンに固体微粒子が残ったりして、
製品不良の原因になり得る。そこで、従来は前記の如き
固体微粒子を除去するために、メッキ液を事前に精密ろ
過する方法が行われている（特開平２−５７６８７号公
報参照）。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、上記のようにメッキ液の精密ろ過をせっ
かく行っても、ろ過したメッキ液を容器に小分けして密
封する作業を一般室内の雰囲気（クラス１００万程度）
で行ってしまえば、室内雰囲気中に存在する埃や粉塵等
の固体微粒子がメッキ液中に混入してしまうため、結果
としてメッキ液中における固体微粒子数を１０００個／
ｃｉ以下に保つことができなった。
かく行っても、ろ過したメッキ液を容器に小分けして密
封する作業を一般室内の雰囲気（クラス１００万程度）
で行ってしまえば、室内雰囲気中に存在する埃や粉塵等
の固体微粒子がメッキ液中に混入してしまうため、結果
としてメッキ液中における固体微粒子数を１０００個／
ｃｉ以下に保つことができなった。
この発明はこのような従来の技術に着目してなされたも
のであり、前記の如き不具合を解消することができるメ
ッキ液の製造方法を提供せんとするものである。
のであり、前記の如き不具合を解消することができるメ
ッキ液の製造方法を提供せんとするものである。
く課題を解決するための手段〉
この発明に係るメッキ液の製造方法は、上記の目的を達
成するために、精密ろ過したメッキ液を、少な（ともク
ラス１００００以下のクリーンルーム雰囲気中で、容器
に小分けするようにしたものである。
成するために、精密ろ過したメッキ液を、少な（ともク
ラス１００００以下のクリーンルーム雰囲気中で、容器
に小分けするようにしたものである。
ここで、精密ろ過とは、析出層表面に悪影響を与えるよ
うな固体微粒子を除去できるろ過である。
うな固体微粒子を除去できるろ過である。
く実 施 例〉
以下、この発明の好適な一実施例を第１図に基づいて説
明する。
明する。
図は、亜硫酸金ナトリウムを含んだノンシアン金メッキ
液の小分は作業場を示すものである。１は薬品調製タン
クで、クラス１００万以上の一般室内Ａに設置されてい
る。そして、この−膜室内Ａには隣接してクラス１００
００のクリーンルームＢが備えてあり、このクリーンル
ームＢ内には前記薬品調製タンク１とパイプ２にて接続
されたメッキ液調製タンク３が設置されている。また、
このメッキ液調製タンク３と薬品調製タンク１どを接続
するパイプ２の途中には、孔径が１．０μｍのフィルタ
ーＦ１と０．４５μｍのフィルターＦ２、ならびに送液
ポンプＰ１か介在せしめである。
液の小分は作業場を示すものである。１は薬品調製タン
クで、クラス１００万以上の一般室内Ａに設置されてい
る。そして、この−膜室内Ａには隣接してクラス１００
００のクリーンルームＢが備えてあり、このクリーンル
ームＢ内には前記薬品調製タンク１とパイプ２にて接続
されたメッキ液調製タンク３が設置されている。また、
このメッキ液調製タンク３と薬品調製タンク１どを接続
するパイプ２の途中には、孔径が１．０μｍのフィルタ
ーＦ１と０．４５μｍのフィルターＦ２、ならびに送液
ポンプＰ１か介在せしめである。
そして、クリーンルームＢ内にはクリーンルームＢより
も更にクリーンな雰囲気（クラス１００）のクリーンベ
ンチＣが設けである。このクリーンベンチＣ内には、前
記メッキ液調製タンク３からパイプ４が延設されており
、このパイプ４の出口から容器５内にメッキ液を所定量
投入して密封できるようになっている。そして、このク
リーンルームＢ内におけるパイプ４にも、孔径が０．４
５μｍのフィルターＦ３と０．２μｍのフィルターＦ４
、ならびに送液ポンプＰ２が介在せしめである。
も更にクリーンな雰囲気（クラス１００）のクリーンベ
ンチＣが設けである。このクリーンベンチＣ内には、前
記メッキ液調製タンク３からパイプ４が延設されており
、このパイプ４の出口から容器５内にメッキ液を所定量
投入して密封できるようになっている。そして、このク
リーンルームＢ内におけるパイプ４にも、孔径が０．４
５μｍのフィルターＦ３と０．２μｍのフィルターＦ４
、ならびに送液ポンプＰ２が介在せしめである。
次に、作業工程を説明する。まず、亜硫酸金ナトリウム
以外の薬品の混合溶解を一般室内Ａの薬品調製タンク１
で行う。そして、その液をパイプ２を通してクリーンル
ームＢ内のメッキ液調製タンク３へ移送する。この際、
１．０μｍ、０．４５μｍの各フィルターＦ、 、Ｆ２
にて精密ろ過が行われ、薬品中に含まれている不純物と
しての固体微粒子を除去する。
以外の薬品の混合溶解を一般室内Ａの薬品調製タンク１
で行う。そして、その液をパイプ２を通してクリーンル
ームＢ内のメッキ液調製タンク３へ移送する。この際、
１．０μｍ、０．４５μｍの各フィルターＦ、 、Ｆ２
にて精密ろ過が行われ、薬品中に含まれている不純物と
しての固体微粒子を除去する。
そして、メッキ液調製タンク３内の液に亜硫酸金ナトリ
ウムを所定量投入・溶解して完全な金メッキ液とする。
ウムを所定量投入・溶解して完全な金メッキ液とする。
ここで、金メッキ液の品質検査のため、メッキ液調製タ
ンク３から金メッキ液をサンプリングしてメッキ試験を
行う。そして、メッキ試験の結果が合格であれば、今度
はメッキ液調製タンク３内の金メッキ液をパイプ４を通
してクリーンベンチＣの容器５へ所定量づつ送液して小
分は密封を行う。この際も、０．４５μｍ、０．２μｍ
の各フィルターＦ、 、Ｆ、にて金メッキ液の精密ろ過
が行われるため、金メッキ液中の固体微粒子が除去され
ると共に、クラス１００というクリーンな雰囲気中で小
分は作業が行われるため容器５内へ不純な固体微粒子が
混入することもない。
ンク３から金メッキ液をサンプリングしてメッキ試験を
行う。そして、メッキ試験の結果が合格であれば、今度
はメッキ液調製タンク３内の金メッキ液をパイプ４を通
してクリーンベンチＣの容器５へ所定量づつ送液して小
分は密封を行う。この際も、０．４５μｍ、０．２μｍ
の各フィルターＦ、 、Ｆ、にて金メッキ液の精密ろ過
が行われるため、金メッキ液中の固体微粒子が除去され
ると共に、クラス１００というクリーンな雰囲気中で小
分は作業が行われるため容器５内へ不純な固体微粒子が
混入することもない。
以上のような方法で小分けした金メッキ液を検査したと
ころ、金メッキ液中の固体微粒子の数は１５〜２５個／
ｃｒｌであった。尚、従来の一般室内Ａにて小分けさ
れていたメッキ液の場合は、０．５μｍ以上の固体微粒
子が１７０００個／ｄあった。
ころ、金メッキ液中の固体微粒子の数は１５〜２５個／
ｃｒｌであった。尚、従来の一般室内Ａにて小分けさ
れていたメッキ液の場合は、０．５μｍ以上の固体微粒
子が１７０００個／ｄあった。
〈発明の効果〉
この発明に係るメッキ液の製造方法は、以上説明してき
た如き内容のものであって、メッキの析出層表面に悪影
響を与えるような固体微粒子を殆ど除去できるので、こ
の製造方法により得られた析出層の表面が平坦になり、
各種半導体製品等への精密メッキに最適である。
た如き内容のものであって、メッキの析出層表面に悪影
響を与えるような固体微粒子を殆ど除去できるので、こ
の製造方法により得られた析出層の表面が平坦になり、
各種半導体製品等への精密メッキに最適である。
第１図はメッキ液の小分は作業場を示す説明図である。
２．４
５ ・
Ｆｌ 〜Ｆ４ ・・
Ｐ、 、Ｆ２ ・
Ａ −・−・
Ｂ ・・
Ｃ−・・
薬品調製タンク
パイプ
メッキ液調製タンク
容器
フィルター
ポンプ
一般室内
クリーンルーム
クリーンベンチ
Claims (1)
- 精密ろ過したメッキ液を、少なくともクラス１０００
０以下のクリーンルーム雰囲気中で、容器に小分けする
ことを特徴とするメッキ液の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2170062A JP2530048B2 (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | メッキ液の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2170062A JP2530048B2 (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | メッキ液の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0460000A true JPH0460000A (ja) | 1992-02-26 |
| JP2530048B2 JP2530048B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=15897926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2170062A Expired - Fee Related JP2530048B2 (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | メッキ液の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2530048B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011184734A (ja) * | 2010-03-08 | 2011-09-22 | Electroplating Eng Of Japan Co | 亜硫酸金めっき液を用いた金めっき方法 |
| CN109112606A (zh) * | 2018-10-24 | 2019-01-01 | 北京硕泰汇丰科技有限公司 | 一种用于电镀镀液多次逐级正反过滤的方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0257687A (ja) * | 1988-08-20 | 1990-02-27 | Fujitsu Ltd | 金メッキ方法 |
| JPH0261097A (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-01 | Electroplating Eng Of Japan Co | 管理槽 |
-
1990
- 1990-06-29 JP JP2170062A patent/JP2530048B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0257687A (ja) * | 1988-08-20 | 1990-02-27 | Fujitsu Ltd | 金メッキ方法 |
| JPH0261097A (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-01 | Electroplating Eng Of Japan Co | 管理槽 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011184734A (ja) * | 2010-03-08 | 2011-09-22 | Electroplating Eng Of Japan Co | 亜硫酸金めっき液を用いた金めっき方法 |
| CN109112606A (zh) * | 2018-10-24 | 2019-01-01 | 北京硕泰汇丰科技有限公司 | 一种用于电镀镀液多次逐级正反过滤的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2530048B2 (ja) | 1996-09-04 |
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