JPH0460492B2 - - Google Patents
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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-
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Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は実質的にハロゲン化物の不純物を含ま
ぬポリシラザン類の製法に関するものである。よ
り詳細には、本発明は或る種のアミノシラン、特
にトリスジメチルシラン及び／又はビニルトリス
（ジメチルアミノ）シランがアンモニア及び／又
はモノメチルアミンと共に、ブロンステツド
（Bronsted）酸触媒の存在下でアミノ交換及び縮
合によつてポリシラザンを液相で製造する方法に
関するものである。この結果もたらされるシラザ
ン重合体は液態から樹脂状物ないし不溶性粉体に
至るまでの範囲のものである。これ等のシラザン
重合体は珪素基材のセラミツク材料、バインダ
ー、又は繊維製品の前駆体として使用することが
できる。 〔従来の技術〕 窒化珪素Si3N4は一般的に高熱安定性、化学的
安定化、超高硬度等のセラミツク的性質によつて
非常に有用且つ重要な物質である。過去において
は窒化珪素は気体窒素及び／又はアンモニアと金
属シリコンの反応を含む種々の方法により製造さ
れそして反応により結合された窒化珪素
（“RSBN”）を与えてきた。RSBNは粉末冶金の
種々の方法例えばホツトプレス、焼結、鋳造、押
し出し法により成型部品を作るのに有用である。 窒化珪素製造のその他の方法は化学蒸着法
（“CVD”）である。H4-xSiClx（但しｘ＝０，１，
２，３，４である。）とNH3の高温気相反応によ
つて高純度窒化珪素の製造がもたらされる。製品
の純度は上記ガス状反応成分の純度によつて左右
される。CVD法は電気材料や高純度窒化珪素を
必要とする器具類の製造に対する基本的手法であ
る。 Verbeek氏等に与えられた米国特許No.3853567
及びWinter氏等に与えられた米国特許No.3892583
に記述されているように最近は有機シラザン重合
物の熱分解により珪素含有セラミツク材料の製造
が発展してきた。 典型的なこれ等のシラザンポリマーはアンモニ
アとハロゲン含有シラン類との反応〔J.Am.
Ceramic.Soc.67 132（1984）〕或いはまたハロゲ
ン含有アルキルシラン類とアンモニアとの〔J.
Poly.Sci.A2 3179〜3189〕、第１級アミンとの
〔Acta.Chem.Scan.13 29〜34（1959）〕、及びジア
ミン類との〔J.Poly.Sci A2 44〜45（1964）〕反応
によつても合成される。出発反応物質がハロゲン
含有シラン又はハロゲン含有アルキルシランであ
るために、このアミノ化工程は目的とするオルガ
ノシラザンの他に副生ハロゲン化水素酸アミンの
合成をもたらす。二つの代表的反応を下に示す。 HSiCl3＋6NH3 →HSi（NH2）3＋3NH4Cl SiCl4＋8NH3 →Si（NH2）4＋3NH4Cl Cannady氏に与えられた最近の米国特許第
4535007号、同第4540803号及び同第4533344号は
シラザンポリマーを含有するR3SiNHの高温焙焼
による窒化珪素含有セラミツク材料の調製法を教
えている。Cannadyはこれ等特許の中でR3SiNH
を含有するヒドロシラザンポリマーがハロゲン含
有シラン又はハロゲン含有アルキルシランから導
かれることを明らかにしている。 この従来技術は又低沸点アミン例えば最終的に
は室温で分解してヘキサメチルジシラザン
（（CH3）2Si）2NHとなるトリメチルシリルアミン
（CH3）3SiNH2を与えるために低沸点アミン例え
ばNH3が（CH3）3SiN（CH3）2の上のジメチルア
ミノ基をアミン交換するのに使用できることを教
えている。〔Wiberg and Uhlenbrock，Chem.
Ber.104 PP.2643〜2645（1971）〕。 しかしながらこの報告はシラザンポリマーの製
造を教示しておらず、また酸性触媒の使用も示し
ていない。 従つてシランSiH4を出発反応剤として用いる
場合を除いてこの従来技術にはハロゲン化水素酸
アンモニウム含有副反応生成物を含まないシラザ
ンポリマーの製造については何等教示がない。し
かもシランの使用はSiH4とO2との爆発性反応に
起因してもともと危険である。加えてポリシラザ
ン類を造るためにハロゲン含有シランを用いる従
来技術の方法は不完全で時間のかかる濾過操作及
び／又は反応によつて造り出されるハロゲン化水
素酸アンモニウムの粘稠な副反応生成物を実質的
に除去するための焙焼段階を必要とする。この様
にこれ等の方法は困難で長時間の濾過段階及び／
又は大エネルギーを要して時間のかゝる焙焼工程
を必要とする。更にこれ等の工程段階は、液状又
は固体状のシラザン重合生成物からアミンハロゲ
ン化水素酸塩を分離しようと企てること自体の困
難性のために常に完全に満足なものではない。こ
の様にこの技術にはハロゲン化物の不純物を本質
的に含まないシラザン重合体の製造のための、よ
り安全で、より経済的な、より便利であまりエネ
ルギーを要しない方法に対する要求が存在する。 〔発明が解決しようとする問題点〕 本発明の目的の一つは、より経済的で、より安
全な、無駄の少ない、本質的にハロゲン化不純物
の無いポリシラザンの製造方法を提供することで
ある。 本発明のもう一つの目的はハロゲン化不純物を
除くために必要であつた焙焼や濾過工程を排除し
た方法を提供することである。 本発明の更にもう一つの目的は低分子量アミン
類によつてアミノ交換することができるアミノシ
ランを提供すること、従つてポリシラザンの高温
熱分解に際して窒化珪素含有セラミツクスをより
高い重量パーセント収率で生ずるようなシラザン
重合体を提供することである。 本発明の更に別な目的は、発明の或る態様とし
て、すなわち、出発アミノシランがSi−Ｈ結合を
持つ場合に、二酸化炭素の供給源である酸性触媒
を使用することができる方法を提供することであ
る。 本発明の更に他の目的は、例えばジメチルアミ
ンのようなアミノ交換反応副生成物ジメチルアミ
ノシラン製造の工程にリサイクル（再循環）でき
るようににすることである。 本発明のもう一つの目的は高温度で焙焼するこ
とにより窒化珪素及び窒化珪素含有セラミツク材
料に変えることのできる新しいシラザンポリマー
（重合体）組成物を作るための方法を提供するこ
とである。 本発明のその他の目的及び諸利点は下の記述に
より明らかになるであろう。 〔問題を解決するための手段〕 前述の目的を満足させるものとして、本発明は
窒化珪素含有セラミツク材料粉、複合体、バイン
ダー、繊維の前駆体として用い得るポリシラザン
の新規な製造方法に関するものである。この方法
は従来技術のポリシラザン製造中に見出されるハ
ロゲン化物の不純分を除去するための工程を除く
と言う点で経済的に魅力がある。より具体的に
は、本発明はハロゲン不純物の無いヒドロシラザ
ン及びシラザンポリマーを形成するために或る特
定なアミノシランをアンモニア又は他の有用なア
ミン類とアミノ交換し、縮合する方法を提供す
る。 本発明は、アンモニア又は他の有用なアミンと
アミノ交換することができ、そして全く一液相内
で且つ一つの容器中で縮合させてポリシラザン生
成物を与えることのできる出発物質として、トリ
ス（ジメチルアミノ）シラン及び或る特定の副反
応生成物及び誘導体を提供するものである。これ
等出発物質のアミノシランはハロゲンを含有しな
いので、本質的にハロゲン化水素不純物を生じな
い。この様にこれ等の不純物をシラザン重合体か
ら濾過又は焙焼して除去する困難な、そしてしば
しば不完全となる固相／固相又は液相／固相の分
離段階が排除される。 発明の詳述 本発明に従えば、種々のアミノシランとアミノ
交換用アミン化合物と、酸触媒と、及び場合によ
り溶剤とから液相反応においてポリシラザンを製
造するための新規な方法が提供される。 本発明に従う実質的にハロゲン化物不純物を含
まないポリシラザンの製造方法における一般的な
反応は下記のようなアミノ交換反応である。 アミノシラン (R)a（（CH3）2N）bHcSi アミン ＋（CH3）dNH3-d 溶 媒 ―――→ 触 媒 〔−（（CH3）2N）eSi(R)a（R′HN） fHc（NR′）g〕− シラザンポリマー単位 ＋（CH3）2NH 上記式においてＲは水素、１ないし６個の炭素
原子を有するアルキル基または２ないし12個の炭
素原子を有するアリール基を表わし、すなわち例
えばメチル、エチル、ビニル等であり、ａは０ま
たは１を、ｂは２ないし４を、ｃは０ないし２
を、ｄは０または１を、ｅは０ないし２を、ｆは
０ないし２を、そしてｇは１ないし３をそれぞれ
表わし、但しその際に各アミノシラン反応剤につ
いてａ＋ｂ＋ｃ＝４であり、そして各シラザン重
合体単位についてａ＋ｃ＋ｅ＋ｆ＋ｇ＝４であつ
て、R′は水素またはメチルを意味する。 シラザン重合体単位は実質的に縮合して当業者
によく知られているように実際の重合物を形成し
ているものである。なおシラザン重合物はすべて
３ないし30個の繰返し単位を有しており、分子量
は約300ないし約4000である。上記反応から生ず
る（CH3）2NHの副生成物は一般に出発アミノシ
ランを作るためにリサイクルすることができると
いうことが指摘されるべきである。 本発明において用いられる出発アミノシラン化
合物はHerdle及びKannerに与えられた米国特許
第4255348号公報に教示されているようなジメチ
ルアミンと金属珪素との直接反応とによつて作ら
れる。このようなハロゲンを含まないアミノシラ
ン化合物を用いることによつて本発明によればア
ミンハロゲン化水素塩不純物を本質的に含まない
ポリシラザンを提供することができる。 本発明の目的のためにはこのアミノシラン出発
反応剤は下記の二つの群に分類することができ
る： グループ１：Si−Ｈ結合を含むアミノシラン類 グループ２：Si−Ｈ結合を含まないアミノシラ
ン類 これら二つのグループに分けたのはあとで述べ
るように、上記グループ１の化合物のアミノ交換
反応及び縮合においてより広範囲の種類の触媒が
有効であるからである。 このグループ１の化合物は例えばMe（Me
2N）2SiHまたはEt（Me2N）2SiHのような如何なる
アルキルアミノシランであつても、あるいはまた
例えば（Me2N）2SiH2のようなジヒドロジアミノ
シラン類であることができる。クラス１の好まし
い化合物はトリス（ジメチルアミノ）シランであ
る。 クラス２の化合物はヒドロキシリル基の反応に
よつて（Me2N）3SiHから導かれる化合物である。
これらは例えば（Me2N）3SiCH＝CHSi（Me2N）3 CH3CHzSi（NMe2）3、（Me2N）4Si、CH2＝
CHSi（NMe2）3等のような化合物を含有する。 本発明においてアミノシランがそれとアミノ交
換すべきアミン類は例えばエチレンジアミン、プ
ロピルアミン、アルリルアミン及びアニリンのよ
うな当量重量の大きなアミン類を含有する。 これらのアミン類は繊維類、被覆剤及び種々の
複合剤の母剤等の応用分野におけるセラミツク前
駆体としてのポリシラザンに種々の有用な性質を
与える。 使用することのできる他のアミノ交換用のアミ
ン化合物はエチレンジアミン、ｎ−ブチルアミ
ン、sec−ブチルアミン、tert−ブチルアミン、
シクロヘキシルアミン及びｎ−ヘキシルアミンを
含む。 しかしながら本発明において好ましいアミン化
合物はもつとも高い重量％のセラミツク収率を得
るために、例えばアンモニア及び／又はメチルア
ミンのような低分子量アミンである。 この出願におけるもう一つの関連発明カテゴリ
ーにおいて驚くべきことに、本発明において用い
られる出発アミノシラン化合物を上述した好まし
い低分子量アミンのような低分子量のアミン等の
ブロンステツド酸触媒によつて効果的に置き換え
得るということが見出された。これらの低分子量
アミン類、中でもアンモニアやモノメチルアミン
はシラザン重合体をもたらし、これらの重合体は
窒化珪素含有セラミツク組成物のための好ましい
前駆体として用いられる。 従来技術においてはむしろ逆に低分子量アミン
を高分子量アミンで置き換えることとが教示され
ている。これは高い沸点を有する高分子量アミン
の基を、沸点が低いために通常最初に蒸発してし
まう低分子量アミンで置き換えることに含まれる
困難性に基づくものゝようである。すでに逆べた
ように本発明において用いられる出発反応剤を使
用した場合には高分子量アミンを低分子量アミン
で置き換えることが容易に可能であるということ
を見出したのである。シラザン重合体中に存在す
るそれら低分子量アミンの基はそのシラザン重合
体中に全く、または僅かしか炭素原子を含まない
ために有利であり、すなわち引き続き熱分解にお
いてより大きなSi3N4の総合的重量％収率がもた
らされる。 炭素含有置換基は高温熱分解の間に失われ、そ
れに相当してその窒化珪素セラミツク物質の重量
％収率を低下させ、従つて炭素含有率低い重合物
はより高い収率をもたらす。 アミノ交換用のアミンに対する出発アミノシラ
ンの割合は本発明の実施に対して重要ではない。
しかしながら好ましい比率はアミノ交換用アミン
にたいする出発アミノシラン反応剤のモル比で
0.01：１から2.0：１の範囲である。この反応に
おいて用いられる酸性触媒はその出発アミノシラ
ンが前述のグループ１に属するかまたはグループ
２に属するかによつて左右される。もし珪素主鎖
がSi−Ｈ結合を有している場合、すなわちグルー
プ１の場合はアミン交換反応及び引き続く縮合反
応は予期しないことに２酸化炭素または２酸化炭
素の供給源によつて接触作用を受ける。論理的ま
たは機構的論議を抜きにして無水のCO2（ガス）、
式R2NH2 +R2NCO2 -のカルバメート塩類あるい
は式（R2NCO2）3-x（R2N）xSiHNのカルバマト
シラン化合物であつてｘが１または２を表すよう
な化合物等の２酸化炭素供給源がアミン交換反応
及び縮合反応の両方の反応において触媒として作
用しポリシラザン生成物を形成する。このグルー
プ１のアミノシラン化合物のアミン交換反応はま
た例えば酢酸のようなカルボン酸類等の比較的温
和な酸性試薬によつても効果的に触媒作用を受け
る。 このグループ１のアミノシラン化合物のアミン
交換反応は以下にグループ２のアミノシラン化合
物について説明するものと同じ有機または無機の
強酸触媒によつてもつとも効果的に接触作用を受
ける。 グループ２のアミノシラン化合物のアミン交換
反応は上述した温和な有機酸類または「CO2源」
型の触媒によつては比較的影響を受けない。珪素
原子に直接結合する水素原子を含まないグループ
２のアミノシラン化合物は有機または無機の強酸
を用いてより効果的にアミノ交換反応させること
ができる。これらのより効果的な強酸触媒は水に
対する相対的なpKa値が2.2以下であることによ
つて特徴付けられる。代表的な有機の強酸は例え
ばメタンスルホン酸、パラトルエンスルホン酸ま
たはトリフルオロメタンスルホン酸のようなスル
ホン酸類である。トリフルオロ酢酸は比較的強い
カルボン酸の１例である。無機の強酸の代表的な
例としては硫酸、硝酸及び燐酸があげられる。 ２酸化炭素源として考えられる触媒については
その添加量は出発アミノシランについて0.5から
30モル％まで、好ましくは１から10モル％までの
範囲である。強い有機または無機の酸と考えられ
てグループ１の化合物かまたはグループ２の化合
物かのいずれかと共に使用することのできる触媒
についてはその使用量は出発アミノシラン化合物
について0.01ないし10モル％、好ましくは0.1な
いし５モル％の範囲である。 本発明に従うアミノ交換反応は好都合には適当
な溶媒の存在において、それらの溶媒が典型的な
反応条件のもとでアミノシラン、存在するアミン
及びその反応アミノ交換触媒と実質的に反応性を
もたず且つ適当な反応速度を許容する限り実施す
ることができる。典型的な溶媒は例えばペプタ
ン、オクタン、またはデカンのようなアルカンン
類及び例えばトルエン、キシレンまたはメチレン
のようなアルキル化ベンゼンである。その反応が
液体環境において適当に進行するように充分な量
の溶媒が用いられる。しかしながら溶媒の量はそ
の反応にとつて重要ではない。出発反応剤の溶媒
に対する好ましい比率は重量比または容積比で
0.1：1.0から10：１まで、好ましくは１：１の割
合である。 反応が完了したあとで溶媒はもし得られたポリ
シラザンが溶媒に可溶性の化合物である場合には
加熱または真空蒸発によつて濾過工程なしに除去
することができ、そしてもし得られたポリシラザ
ンが溶剤に不溶性の生成物である時は濾過によつ
て除去することができる。 この濾過工程はこれが非反応性の溶媒から不溶
性生成物を単純に分離するという点で便利であ
る。これは例えばハロゲン化水素酸アンモニウム
塩のような副反応生成物除去するための濾過と
は、これが例えばその生成物を分離するために蒸
発によつて溶媒を除去するような追加的な工程段
階を必要としないという点で異つている。すなわ
ちこの工程段階はハロゲン含有シラン化合物の代
りにアミノシランを用いる場合には省略すること
ができる。本発明のもう一つの特徴は、ハロゲン
不純物を除去するために焙焼や濾過工程のような
段階を必要としないためにその全反応を、必ずし
も是非にというわけではないけれども、単一の容
器の中で一つの液相中で実施できるということで
ある。これはポリシラザン製造においてその経済
性の大きな改善をもたらす。 本発明の更に別なもう一つの特徴はシラザンの
重合度がその反応の温度にある程度まで依存する
ということである。すなわちアミノ交換反応及び
引き続いての外気温における縮合反応によつて作
り出されるポリシラザン化合物はより高い温度で
つくられたものよりもかなり低い分子量を有する
ということが見出されている。このような低い分
子量のポリシラザンはそのような低い分子量を必
要とするような種々の用途に有用である。このよ
うに反応温度はその得られるポリシラザンに対し
てその分子量に関し所望の用途に依存して有用な
諸性質を与えるために利用することができる。 アミノ交換反応及び引続く縮合反応は実質的に
非反応性の溶媒の中で20℃から200℃までの温度
範囲において有効に実施することができる。この
広い範囲内で出発反応剤と所望の生成物の全体的
形態とに基づいて種々変化するより好ましい範囲
が存在する。例えば高純度のSi3N4のための前駆
体を製造するためには（Me2N）3SiHとNH3との、
例えばH2SO4のような強酸性アミノ交換触媒の
存在のもとでの反応を好ましくは100℃から200℃
までの温度範囲において実施する。このような比
較的高い温度においては高度に架橋化された自由
流動性の粉末であるシラザン重合体が生ずる。こ
の物質は従つて高温度で焙焼することにより
Si3N4の粉末に変えるのに理想的に適している。
もう一つの具体例として予め成形された多孔質セ
ラミツク品の含浸物として使用することのできる
シラザン重合物を製造することが望まれる場合が
ある。従つてこれは非反応性溶媒中に可溶性であ
るという追加的な特徴をも有する液体状のシラザ
ン重合物を製造するのに利用することができる。
このようなシラザン重合物を製造するもう一つの
方法は例えばパラトルエンスルホン酸のような穏
和な酸性のアミン交換触媒の存在のもとでの
（Me2N）3SiHとMeNH2との反応を好ましくは20
℃から80℃までの範囲の温度において実施するこ
とである。第３の例として樹脂状であつて種々の
成形物に成形し、あるいは引き延ばして繊維にす
ることができるようなシラザン重合物を製造する
ことが望まれる。このシラザン重合物はその粘度
を上昇させるのに充分な架橋度を有することが要
求される。これは反応を強酸触媒の存在のもとで
比較的高い温度において実施することを必要とす
る。 例えば（Me2N）3SiHと（Me2N）3SiCH＝CH2
との混合物のMeNH2との反応は所望の架橋化さ
れたシラザン重合物を得るためにはトリフルオロ
メタンスルホン酸の存在のもとで好ましくは60℃
から100℃までの範囲の温度で行われる。 アミン交換反応は主としてその出発反応剤と、
アミン交換触媒と、及び所望の生成物の形態とに
よつて左右される種々の温度範囲において効果的
に実施することができ、従つて一般に何等かの特
別な温度範囲に限定できないということができ
る。 経済的な理由から、反応を大気圧のもとで実施
することも望ましいけれども、しかしながら圧力
の如何なる上昇または減少もその期待される効果
を現わす。 重合度に影響を与えるために温度や圧力をその
ように利用した場合でもアミノシラン及びアルキ
ルアミノシランのアンモニア、メチルアミン、ま
たはその他の使用可能な第１級アミンとのアミン
交換反応は溶媒、使用触媒の量、圧力、反応装置
あるいは温度に関して決定的な制限が存在するわ
けではなく、当業者によつて特別な装置を使用す
ることなく容易に実施することができる。 出発アミノシラン反応剤、アミン交換反応剤及
び触媒は一般に如加なる順序で組合せてもよいけ
れども、これらは溶媒、出発アミノシラン化合
物、触媒、そして次にアミン交換反応用アミンの
順番で組合せるのが好ましい。アミン交換及び引
続く縮重合を生じさせるためには反応は１ないし
24時間を必要とする。 〔実施例〕 以下本発明を幾つかの特別な実施例によつて説
明するが、これらは決して何等の限定をも意図す
るものではないことを指摘する。 一般的操作 すべての反応は加熱装置、電磁攪拌器または機
械的攪拌装置、温度計及び乾燥窒素雰囲気を維持
するための装置を使用して種々の寸法の漂準的実
験室用ガラス装置中で効果的なドラフト室の中で
行つた。 すべてのアミン及びアミノシランは乾燥窒素ガ
スの雰囲気のもとで貯蔵した。ガラス装置は使用
に先立つて150℃において１時間乾燥させた。加
熱分解から生ずる逸出ガスはドラフトで抜き出し
た。 実験室的加熱分解は管炉中で石英反応器の中で
1000℃までの溶剤において、そして管炉中でアル
ミナ反応器の中で1000℃から1500℃迄において大
気圧において乾燥窒素ガスパージのもとに行つ
た。セラミツク物質の収率は熱重量分析及び示差
走査熱分析データに基いて求めたセラミツク前駆
体について熱分解条件を変化させることによつて
僅かに変化した。 精製シラザン重合物の炉内における1000℃及び
1550℃の温度での窒化珪素への変化のための典型
的な温度経過を以下に示す： 1000℃での熱分解 １） 100゜から250℃まで、２時間で緩徐加熱 ２） 250℃で４時間維持 ３） 250゜から500℃まで10時間で緩徐加熱 ４） 500℃で２時間維持 ５） 500゜から1000℃まで４時間で緩徐加熱 ６） 1000℃で４時間維持 ７） 1000゜から500℃まで４時間で緩徐冷却 ８）500゜から50℃まで２時間で緩徐冷却 1550℃での熱分解 １） 100゜から750℃まで、30分間で緩徐加熱 ２） 750℃で５時間維持 ３） 750゜から1200℃まで２時間で緩徐加熱 ４） 1200℃で４時間維持 ５） 1200゜から1350℃まで４時間で緩徐加熱 ６） 1350℃で２時間維持 ７） 1350゜から1550℃まで６時間で緩徐加熱 ８） 1550゜から200℃まで６時間で緩徐冷却 （５℃までの維持温度の変動が許容される） 分析方法 以下にあげる諸例においてセラミツク物質の分
析は先ず第１にＸ線粉末回折法及びフーリエ変換
赤外スペクトロスコピーを用いて行つた。Ｘ線粉
末回折法を用いた場合にそのセラミツク前駆体を
1550℃において高温焙焼したあとでのα−及びβ
−Si3N4の両者の回折線が明らかであつた。Si、
SiO2、Si2N2OまたはSi2ON2に対応する他の結晶
相は検出されなかつた。〔Joint Committee on
Powder Diffraction Standards（1983）の粉末回
折フアイル、無機相参照〕。そのセラミツク物質
が全体として非晶質である場合にはその分析はフ
ーリエ変換赤外スペクトロスコピー（FIIR）を
用い、SiN結合に対応する吸収帯を確認すること
によつて行つた〔Mazdiyasni，K.S.：Ceram.
Int.８（1982）54参照〕。 典型的には、可溶性のセラミツク前駆体はフー
リエ変換赤外スペクトロスコピー及び1H、13C及
び29SiのNMRのような通常の分析技術によつて
特徴付けられた。不溶性のセラミツク前駆体はフ
ーリエ変換赤外スペクトロスコピーによつて確認
された（Smith，A.L.：1974年Wiley社から出版
された刊行本Analysis of Silicones参照）。 例 １ （Me2NH2）+（CO2NMe2）-の存在のもとでの
HSi（NMe2）3と過剰のNH3との反応 標準テーパジヨイントを備えた１内容の三つ
口丸底フラスコにフリードリツヒコンデンサ、温
度計、加熱装置、電磁攪拌器及びガス吹き込み管
並びにバブリング圧力レリーザと組合せた乾燥窒
素ガス雰囲気維持の用バルブを取付けた。金属ナ
トリウムを加えて窒素ガス雰囲気中で蒸溜した乾
燥トルエン200mlを加えた後にアミノシラン（200
ｇ、1.24モル）を注射器で添加した。この混合物
を通して15分間アンモニアを吹き込み次いで
（Me2NH2）+（CO2NMe2）-のカルバメート塩
（16.6ｇ、1.24モル）を加えた。NH3を吹き込ん
で攪拌しながらその反応混合物を115℃の還流温
度に８時間加熱し、その間反応をガス／液体クロ
マトグラフイーによつて出発アミノシランすなわ
ちHSi（NMe2）3損失について監視した。フラスコ
内の物質は反応の全期間にわたつて無色の液体の
状態であつた。８時間後に反応は完了したことが
認められ、そしてフラスコを冷却して再び二つの
止栓を取付け、真空蒸発（0.1mmHg）及び80〜
100℃への加熱によつて白色のガラス様固体が得
られた。このガラス様固体100mlのペンタンで洗
滌し、そしてこのペンタン洗液は捨てた。この白
色物質をN2ガスのもとで500mlの内容の丸底フラ
スコに移し、そして真空（0.01mmHg）のもとで
６時間更に乾燥した。白色の粉体流動性を示すガ
ラス状物質の収量は92.9ｇであつた。この白色固
体はN2ガスパージのもとに大気圧で1000℃にお
いて熱分解してSi3N4の組成を与えたが、その収
率は装入物質のグラム数（5.03ｇ）に対する得ら
れた物質のグラム数（3.29ｇ）に基いて65.4％で
あつた。該可溶性白色固体のNMRによる分析の
結果、単位［SiH（NMe2）NH］と主鎖のケイ素
原子及び窒素原子において枝分かれが生じている
単位との存在が確認された。該白色固体の分子量
の範囲はガスクロマトグラフイー（GC）／
NMR分析に基づき400ないし2000と概算された。 例 ２ （Me2NH2）+（CO2NMe2）-の存在のもとでトル
エン中でのHSi（NMe2）3と過剰のMeNH2との
反応 例１に記述した装置の中で、但し２容量のフ
ラスコを用いてこれにトルエン（375ml）及び
HSi（NMe2）3（369.9ｇ、2.2932モル）を注入器に
より装入した。この混合物にMeNH2を15分間吹
き込んで次にこれに（Me2NH2）+（CO2NMe2）-の
カルバメート塩（30.73ｇ、2.2932モル）を加え
た。反応混合物をMeNH2の吹き込み及び攪拌を
継続しながら115℃の還流温度に９時間加熱し、
その間その反応をガス／液体クロマトグラフイに
よつてその反応の全期間にわたり出発アミノシラ
ン化合物の損失について監視した。９時間後に反
応は完了したことが認められ、そしてフラスコを
冷却して２個の止栓及び止めコツク付き真空アダ
プタを取付けた。溶媒のトルエンと過剰のメチル
アミンとを真空蒸発によつて除去して灰色がかつ
た白色の粘稠な樹脂様物質が得られた。この樹脂
様物質を200mlのペンタンで洗滌し、そしてこの
ペンタン洗液は捨てた。この樹脂様生成物は40℃
以下において固化して白色の不透明な固体物質と
なつた。この白色の樹脂の試料を大気圧における
N2ガスのパージのもとに1000℃に加熱分解して
Si3N4の組成を得られ、このものの収率は装入物
（24.37ｇ）に対する得られた物質（13.27ｇ）に
基いて54.5％であつた。炉の加熱プログラムを変
えることによつて収率は58.5％に上昇した。該白
色物質のNMRによる分析の結果、単位［SiH
（NMe2）NMe］とケイ素原子において枝分かれ
が生じている単位との存在が確認された。該白色
生成物の分子量の範囲はGC／NMR分析に基づ
き460ないし2300と概算された。 例 ３ CF3SO3Hの存在のもとでのトルエン中におけ
るHSi（NMe2）3と過剰のNH3との反応 500ml容量の丸底三つ口フラスコに還流コンデ
ンサ、電磁攪拌器、ガス吹き込み管及びバブリン
グ圧力レリーザのついた窒素ガス導入アダプタを
取付けた。このフラスコにトルエン（150ml）及
びHSi（NMe2）3（98.6ｇ、0.611モル）を注射器で
注入し、そしてその無色透明の溶液にNH3を15
分間吹き込んだ。注射器でCF3SO3H（0.54ml）を
加えた後にその溶液は白濁した。室温において
NH3を１時間吹き込んだあとでフラスコの内容
物は白色スラリーに変化していた。この反応混合
物を50℃において２時間加熱した後、溶媒な温和
な加熱と共に真空蒸発（0.1mmHg）によつて除去
して白色固体が得られた。この物質をペンタン
（200ml）で洗滌し、そして真空濾過によつて分離
した。真空のもとで（0.01mmHg）乾燥した後、
易流動性を示す白色粉末33.6ｇが得られた。この
白色物質の１試料を大気圧においてN2パージの
もとにプログラムされた加熱スケジユールに従つ
て1000℃に加熱分解し、Si3N4の組成が得られ、
このセラミツク物質の収率は装入物（3.99ｇ）に
対する回収物（3.28ｇ）の比率に基いて82.2％で
あつた。該不溶性白色粉末のFIIR分析により該
物質は主として［Si（NH2）］であることが示さ
れた。分子量は測定できなかつた。 例 ４ CF3SO3Hの存在のもとでのトルエン中におけ
るHSi（NMe2）3と過剰のCH3NH3との反応 500ml容量の丸底三つ口フラスコに還流コンデ
ンサ、電磁攪拌器、ガス吹き込み管及びバブリン
グ圧力レリーザ付の窒素ガス用アダプタを取付け
た。この装置にトルエン（100ｍ）及びHSi
（NMe2）3（95.5ｇ、0.592モル）を注射器によつて
注入し、そしてその無色透明の液体にCH3NH2
を15分間吹き込んだ。注射器によつてCF3SO3H
（0.52ml、0.0059モル）を添加した後、その無色
透明な溶液にCH3NH2を更に追加的に一時間吹
き込み、その間反応混合物の温度を20℃に保つ
た。その反応は２時間の後に終了したことが認め
られた。溶媒な温和な加熱と共に真空蒸発（0.1
mmHg）によつて除去し、それにより灰色がかつ
た白色の粘稠な物質が得られた。ペンタン（200
ml）を加えてそのフラスコを還流温度まで緩やか
に加熱した後その灰色がかつた白色の樹脂用物質
は溶解した。この溶液を放冷し、次いで濾過して
透明な濾液を得た。溶媒を除去して白色の不透明
な粘稠液体46.8ｇが得られた。この白色物質の１
試料を大気圧においてN2パージのもとにプログ
ラムされた加熱スケジユールに従つて1000℃に加
熱分解し、Si3N4の組成が得られたがそのセラミ
ツク物質の収率は装入物（6.42ｇ）に対する回収
物（4.48ｇ）の比に基いて69.8％であつた。該白
色物質のNMR分析により実施例２の生成物の構
造に類似するけれど、主鎖のケイ素原子及び窒素
原子において枝分かれしている単位のより高い含
量を有する構造が示された。該可溶性白色物質の
分子量の範囲はGC／NMR分析に基づき460ない
し3000と概算された。 例 ５ （Me2NCO2）（NMe2）2SiHの存在のもとでの
HSi（NMe2）3と過剰のNH3との反応 250ml容量の標準テーパジヨイントの設けられ
た丸底三つ口フラスコにコイルコンデンサ、電磁
攪拌器、加熱装置、電磁攪拌機及びガス吹き込み
用管を取付け、これに更にバブリング圧力レリー
ザを設けたバルブ並びに配管を乾燥窒素雰囲気の
維持のために設けた。乾燥トルエン（50ml）を添
加した後HSi（NMe2）3のアミノシラン（41.4ｇ、
0.255モル）を注射器によつてそのフラスコ中に
注入した。その溶液を通して炭酸ガスを５分間吹
き込み、それによつて米国特許第4400526号公報
（本文において参照文献として採用する）におい
てHopper及びKannerによつていくつかの実施例
に記述されているように（Me2NCO2）（Me
2N）2SiHがその場で生じた。２酸化炭素吹き込み
を停止して次にアンモニア吹込みに切り換えた。
室温で一時間の後に出発アミノシランであるHSi
（NMe2）3は消費された。透明な無色の液体を外
気温において攪拌し、２時間の後にその反応混合
物はゲル化した。反応フラスコを真空の維持のた
めに止栓で閉じ、そして溶媒を真空蒸発（４mm
Hg）によつて８時間にわたり除去しそれによつ
てガラス様白色固形物（20.62ｇ）が得られた。
この物質を磨り潰して易流動性を示す白色粉末に
し、そして再び真空のもとで（0.1mmHg）更に８
時間、実質的な重量損失を示さなくなるまで乾燥
した。該不溶性生成物のFIIRによる分析の結果、
該生成物は実施例６の生成物に類似し、NMe2基
の存在することが示された。（分子量は測定でき
なかつた。） 例 ６ CH3C6H4SO3H・H2Oの存在のもとでのHSi
（NMe2）3と過剰のMeNH2との反応 例５におけると同じ反応装置に乾燥トルエン
（60ml）及びHSi（NMe2）3のアミノシラン（49.3
ｇ、0.306モル）を装入した。アミノ変換反応触
媒としてCH3C6H4SO3H・H2O（0.582ｇ、3.06m
モル）を固体として加えた。この触媒の結晶水と
HSi（NMe2）3との反応に基いて直ちにガス発生が
観測された。この反応混合物に室温においてMe
NH2を吹き込んだ。1.5時間の後に上記アミノシ
ランは消費されつくした。その反応フラスコに再
び止栓をして溶媒を50℃に温和に加熱しながら真
空蒸発（0.1mmHg）によつて除去した。溶剤を完
全に除去したあとで灰色がかつた白色の白濁した
半粘稠な液体が得られた（24.0ｇ）。 ガスクロマトグラフイ／マススペクトル分析に
よつて下記 （但しｘ＝３、４又は５） のような低分子量生成物が確認された。GC／
NMR分析により分子量は264から2000までの範
囲と概算された。
ぬポリシラザン類の製法に関するものである。よ
り詳細には、本発明は或る種のアミノシラン、特
にトリスジメチルシラン及び／又はビニルトリス
（ジメチルアミノ）シランがアンモニア及び／又
はモノメチルアミンと共に、ブロンステツド
（Bronsted）酸触媒の存在下でアミノ交換及び縮
合によつてポリシラザンを液相で製造する方法に
関するものである。この結果もたらされるシラザ
ン重合体は液態から樹脂状物ないし不溶性粉体に
至るまでの範囲のものである。これ等のシラザン
重合体は珪素基材のセラミツク材料、バインダ
ー、又は繊維製品の前駆体として使用することが
できる。 〔従来の技術〕 窒化珪素Si3N4は一般的に高熱安定性、化学的
安定化、超高硬度等のセラミツク的性質によつて
非常に有用且つ重要な物質である。過去において
は窒化珪素は気体窒素及び／又はアンモニアと金
属シリコンの反応を含む種々の方法により製造さ
れそして反応により結合された窒化珪素
（“RSBN”）を与えてきた。RSBNは粉末冶金の
種々の方法例えばホツトプレス、焼結、鋳造、押
し出し法により成型部品を作るのに有用である。 窒化珪素製造のその他の方法は化学蒸着法
（“CVD”）である。H4-xSiClx（但しｘ＝０，１，
２，３，４である。）とNH3の高温気相反応によ
つて高純度窒化珪素の製造がもたらされる。製品
の純度は上記ガス状反応成分の純度によつて左右
される。CVD法は電気材料や高純度窒化珪素を
必要とする器具類の製造に対する基本的手法であ
る。 Verbeek氏等に与えられた米国特許No.3853567
及びWinter氏等に与えられた米国特許No.3892583
に記述されているように最近は有機シラザン重合
物の熱分解により珪素含有セラミツク材料の製造
が発展してきた。 典型的なこれ等のシラザンポリマーはアンモニ
アとハロゲン含有シラン類との反応〔J.Am.
Ceramic.Soc.67 132（1984）〕或いはまたハロゲ
ン含有アルキルシラン類とアンモニアとの〔J.
Poly.Sci.A2 3179〜3189〕、第１級アミンとの
〔Acta.Chem.Scan.13 29〜34（1959）〕、及びジア
ミン類との〔J.Poly.Sci A2 44〜45（1964）〕反応
によつても合成される。出発反応物質がハロゲン
含有シラン又はハロゲン含有アルキルシランであ
るために、このアミノ化工程は目的とするオルガ
ノシラザンの他に副生ハロゲン化水素酸アミンの
合成をもたらす。二つの代表的反応を下に示す。 HSiCl3＋6NH3 →HSi（NH2）3＋3NH4Cl SiCl4＋8NH3 →Si（NH2）4＋3NH4Cl Cannady氏に与えられた最近の米国特許第
4535007号、同第4540803号及び同第4533344号は
シラザンポリマーを含有するR3SiNHの高温焙焼
による窒化珪素含有セラミツク材料の調製法を教
えている。Cannadyはこれ等特許の中でR3SiNH
を含有するヒドロシラザンポリマーがハロゲン含
有シラン又はハロゲン含有アルキルシランから導
かれることを明らかにしている。 この従来技術は又低沸点アミン例えば最終的に
は室温で分解してヘキサメチルジシラザン
（（CH3）2Si）2NHとなるトリメチルシリルアミン
（CH3）3SiNH2を与えるために低沸点アミン例え
ばNH3が（CH3）3SiN（CH3）2の上のジメチルア
ミノ基をアミン交換するのに使用できることを教
えている。〔Wiberg and Uhlenbrock，Chem.
Ber.104 PP.2643〜2645（1971）〕。 しかしながらこの報告はシラザンポリマーの製
造を教示しておらず、また酸性触媒の使用も示し
ていない。 従つてシランSiH4を出発反応剤として用いる
場合を除いてこの従来技術にはハロゲン化水素酸
アンモニウム含有副反応生成物を含まないシラザ
ンポリマーの製造については何等教示がない。し
かもシランの使用はSiH4とO2との爆発性反応に
起因してもともと危険である。加えてポリシラザ
ン類を造るためにハロゲン含有シランを用いる従
来技術の方法は不完全で時間のかかる濾過操作及
び／又は反応によつて造り出されるハロゲン化水
素酸アンモニウムの粘稠な副反応生成物を実質的
に除去するための焙焼段階を必要とする。この様
にこれ等の方法は困難で長時間の濾過段階及び／
又は大エネルギーを要して時間のかゝる焙焼工程
を必要とする。更にこれ等の工程段階は、液状又
は固体状のシラザン重合生成物からアミンハロゲ
ン化水素酸塩を分離しようと企てること自体の困
難性のために常に完全に満足なものではない。こ
の様にこの技術にはハロゲン化物の不純物を本質
的に含まないシラザン重合体の製造のための、よ
り安全で、より経済的な、より便利であまりエネ
ルギーを要しない方法に対する要求が存在する。 〔発明が解決しようとする問題点〕 本発明の目的の一つは、より経済的で、より安
全な、無駄の少ない、本質的にハロゲン化不純物
の無いポリシラザンの製造方法を提供することで
ある。 本発明のもう一つの目的はハロゲン化不純物を
除くために必要であつた焙焼や濾過工程を排除し
た方法を提供することである。 本発明の更にもう一つの目的は低分子量アミン
類によつてアミノ交換することができるアミノシ
ランを提供すること、従つてポリシラザンの高温
熱分解に際して窒化珪素含有セラミツクスをより
高い重量パーセント収率で生ずるようなシラザン
重合体を提供することである。 本発明の更に別な目的は、発明の或る態様とし
て、すなわち、出発アミノシランがSi−Ｈ結合を
持つ場合に、二酸化炭素の供給源である酸性触媒
を使用することができる方法を提供することであ
る。 本発明の更に他の目的は、例えばジメチルアミ
ンのようなアミノ交換反応副生成物ジメチルアミ
ノシラン製造の工程にリサイクル（再循環）でき
るようににすることである。 本発明のもう一つの目的は高温度で焙焼するこ
とにより窒化珪素及び窒化珪素含有セラミツク材
料に変えることのできる新しいシラザンポリマー
（重合体）組成物を作るための方法を提供するこ
とである。 本発明のその他の目的及び諸利点は下の記述に
より明らかになるであろう。 〔問題を解決するための手段〕 前述の目的を満足させるものとして、本発明は
窒化珪素含有セラミツク材料粉、複合体、バイン
ダー、繊維の前駆体として用い得るポリシラザン
の新規な製造方法に関するものである。この方法
は従来技術のポリシラザン製造中に見出されるハ
ロゲン化物の不純分を除去するための工程を除く
と言う点で経済的に魅力がある。より具体的に
は、本発明はハロゲン不純物の無いヒドロシラザ
ン及びシラザンポリマーを形成するために或る特
定なアミノシランをアンモニア又は他の有用なア
ミン類とアミノ交換し、縮合する方法を提供す
る。 本発明は、アンモニア又は他の有用なアミンと
アミノ交換することができ、そして全く一液相内
で且つ一つの容器中で縮合させてポリシラザン生
成物を与えることのできる出発物質として、トリ
ス（ジメチルアミノ）シラン及び或る特定の副反
応生成物及び誘導体を提供するものである。これ
等出発物質のアミノシランはハロゲンを含有しな
いので、本質的にハロゲン化水素不純物を生じな
い。この様にこれ等の不純物をシラザン重合体か
ら濾過又は焙焼して除去する困難な、そしてしば
しば不完全となる固相／固相又は液相／固相の分
離段階が排除される。 発明の詳述 本発明に従えば、種々のアミノシランとアミノ
交換用アミン化合物と、酸触媒と、及び場合によ
り溶剤とから液相反応においてポリシラザンを製
造するための新規な方法が提供される。 本発明に従う実質的にハロゲン化物不純物を含
まないポリシラザンの製造方法における一般的な
反応は下記のようなアミノ交換反応である。 アミノシラン (R)a（（CH3）2N）bHcSi アミン ＋（CH3）dNH3-d 溶 媒 ―――→ 触 媒 〔−（（CH3）2N）eSi(R)a（R′HN） fHc（NR′）g〕− シラザンポリマー単位 ＋（CH3）2NH 上記式においてＲは水素、１ないし６個の炭素
原子を有するアルキル基または２ないし12個の炭
素原子を有するアリール基を表わし、すなわち例
えばメチル、エチル、ビニル等であり、ａは０ま
たは１を、ｂは２ないし４を、ｃは０ないし２
を、ｄは０または１を、ｅは０ないし２を、ｆは
０ないし２を、そしてｇは１ないし３をそれぞれ
表わし、但しその際に各アミノシラン反応剤につ
いてａ＋ｂ＋ｃ＝４であり、そして各シラザン重
合体単位についてａ＋ｃ＋ｅ＋ｆ＋ｇ＝４であつ
て、R′は水素またはメチルを意味する。 シラザン重合体単位は実質的に縮合して当業者
によく知られているように実際の重合物を形成し
ているものである。なおシラザン重合物はすべて
３ないし30個の繰返し単位を有しており、分子量
は約300ないし約4000である。上記反応から生ず
る（CH3）2NHの副生成物は一般に出発アミノシ
ランを作るためにリサイクルすることができると
いうことが指摘されるべきである。 本発明において用いられる出発アミノシラン化
合物はHerdle及びKannerに与えられた米国特許
第4255348号公報に教示されているようなジメチ
ルアミンと金属珪素との直接反応とによつて作ら
れる。このようなハロゲンを含まないアミノシラ
ン化合物を用いることによつて本発明によればア
ミンハロゲン化水素塩不純物を本質的に含まない
ポリシラザンを提供することができる。 本発明の目的のためにはこのアミノシラン出発
反応剤は下記の二つの群に分類することができ
る： グループ１：Si−Ｈ結合を含むアミノシラン類 グループ２：Si−Ｈ結合を含まないアミノシラ
ン類 これら二つのグループに分けたのはあとで述べ
るように、上記グループ１の化合物のアミノ交換
反応及び縮合においてより広範囲の種類の触媒が
有効であるからである。 このグループ１の化合物は例えばMe（Me
2N）2SiHまたはEt（Me2N）2SiHのような如何なる
アルキルアミノシランであつても、あるいはまた
例えば（Me2N）2SiH2のようなジヒドロジアミノ
シラン類であることができる。クラス１の好まし
い化合物はトリス（ジメチルアミノ）シランであ
る。 クラス２の化合物はヒドロキシリル基の反応に
よつて（Me2N）3SiHから導かれる化合物である。
これらは例えば（Me2N）3SiCH＝CHSi（Me2N）3 CH3CHzSi（NMe2）3、（Me2N）4Si、CH2＝
CHSi（NMe2）3等のような化合物を含有する。 本発明においてアミノシランがそれとアミノ交
換すべきアミン類は例えばエチレンジアミン、プ
ロピルアミン、アルリルアミン及びアニリンのよ
うな当量重量の大きなアミン類を含有する。 これらのアミン類は繊維類、被覆剤及び種々の
複合剤の母剤等の応用分野におけるセラミツク前
駆体としてのポリシラザンに種々の有用な性質を
与える。 使用することのできる他のアミノ交換用のアミ
ン化合物はエチレンジアミン、ｎ−ブチルアミ
ン、sec−ブチルアミン、tert−ブチルアミン、
シクロヘキシルアミン及びｎ−ヘキシルアミンを
含む。 しかしながら本発明において好ましいアミン化
合物はもつとも高い重量％のセラミツク収率を得
るために、例えばアンモニア及び／又はメチルア
ミンのような低分子量アミンである。 この出願におけるもう一つの関連発明カテゴリ
ーにおいて驚くべきことに、本発明において用い
られる出発アミノシラン化合物を上述した好まし
い低分子量アミンのような低分子量のアミン等の
ブロンステツド酸触媒によつて効果的に置き換え
得るということが見出された。これらの低分子量
アミン類、中でもアンモニアやモノメチルアミン
はシラザン重合体をもたらし、これらの重合体は
窒化珪素含有セラミツク組成物のための好ましい
前駆体として用いられる。 従来技術においてはむしろ逆に低分子量アミン
を高分子量アミンで置き換えることとが教示され
ている。これは高い沸点を有する高分子量アミン
の基を、沸点が低いために通常最初に蒸発してし
まう低分子量アミンで置き換えることに含まれる
困難性に基づくものゝようである。すでに逆べた
ように本発明において用いられる出発反応剤を使
用した場合には高分子量アミンを低分子量アミン
で置き換えることが容易に可能であるということ
を見出したのである。シラザン重合体中に存在す
るそれら低分子量アミンの基はそのシラザン重合
体中に全く、または僅かしか炭素原子を含まない
ために有利であり、すなわち引き続き熱分解にお
いてより大きなSi3N4の総合的重量％収率がもた
らされる。 炭素含有置換基は高温熱分解の間に失われ、そ
れに相当してその窒化珪素セラミツク物質の重量
％収率を低下させ、従つて炭素含有率低い重合物
はより高い収率をもたらす。 アミノ交換用のアミンに対する出発アミノシラ
ンの割合は本発明の実施に対して重要ではない。
しかしながら好ましい比率はアミノ交換用アミン
にたいする出発アミノシラン反応剤のモル比で
0.01：１から2.0：１の範囲である。この反応に
おいて用いられる酸性触媒はその出発アミノシラ
ンが前述のグループ１に属するかまたはグループ
２に属するかによつて左右される。もし珪素主鎖
がSi−Ｈ結合を有している場合、すなわちグルー
プ１の場合はアミン交換反応及び引き続く縮合反
応は予期しないことに２酸化炭素または２酸化炭
素の供給源によつて接触作用を受ける。論理的ま
たは機構的論議を抜きにして無水のCO2（ガス）、
式R2NH2 +R2NCO2 -のカルバメート塩類あるい
は式（R2NCO2）3-x（R2N）xSiHNのカルバマト
シラン化合物であつてｘが１または２を表すよう
な化合物等の２酸化炭素供給源がアミン交換反応
及び縮合反応の両方の反応において触媒として作
用しポリシラザン生成物を形成する。このグルー
プ１のアミノシラン化合物のアミン交換反応はま
た例えば酢酸のようなカルボン酸類等の比較的温
和な酸性試薬によつても効果的に触媒作用を受け
る。 このグループ１のアミノシラン化合物のアミン
交換反応は以下にグループ２のアミノシラン化合
物について説明するものと同じ有機または無機の
強酸触媒によつてもつとも効果的に接触作用を受
ける。 グループ２のアミノシラン化合物のアミン交換
反応は上述した温和な有機酸類または「CO2源」
型の触媒によつては比較的影響を受けない。珪素
原子に直接結合する水素原子を含まないグループ
２のアミノシラン化合物は有機または無機の強酸
を用いてより効果的にアミノ交換反応させること
ができる。これらのより効果的な強酸触媒は水に
対する相対的なpKa値が2.2以下であることによ
つて特徴付けられる。代表的な有機の強酸は例え
ばメタンスルホン酸、パラトルエンスルホン酸ま
たはトリフルオロメタンスルホン酸のようなスル
ホン酸類である。トリフルオロ酢酸は比較的強い
カルボン酸の１例である。無機の強酸の代表的な
例としては硫酸、硝酸及び燐酸があげられる。 ２酸化炭素源として考えられる触媒については
その添加量は出発アミノシランについて0.5から
30モル％まで、好ましくは１から10モル％までの
範囲である。強い有機または無機の酸と考えられ
てグループ１の化合物かまたはグループ２の化合
物かのいずれかと共に使用することのできる触媒
についてはその使用量は出発アミノシラン化合物
について0.01ないし10モル％、好ましくは0.1な
いし５モル％の範囲である。 本発明に従うアミノ交換反応は好都合には適当
な溶媒の存在において、それらの溶媒が典型的な
反応条件のもとでアミノシラン、存在するアミン
及びその反応アミノ交換触媒と実質的に反応性を
もたず且つ適当な反応速度を許容する限り実施す
ることができる。典型的な溶媒は例えばペプタ
ン、オクタン、またはデカンのようなアルカンン
類及び例えばトルエン、キシレンまたはメチレン
のようなアルキル化ベンゼンである。その反応が
液体環境において適当に進行するように充分な量
の溶媒が用いられる。しかしながら溶媒の量はそ
の反応にとつて重要ではない。出発反応剤の溶媒
に対する好ましい比率は重量比または容積比で
0.1：1.0から10：１まで、好ましくは１：１の割
合である。 反応が完了したあとで溶媒はもし得られたポリ
シラザンが溶媒に可溶性の化合物である場合には
加熱または真空蒸発によつて濾過工程なしに除去
することができ、そしてもし得られたポリシラザ
ンが溶剤に不溶性の生成物である時は濾過によつ
て除去することができる。 この濾過工程はこれが非反応性の溶媒から不溶
性生成物を単純に分離するという点で便利であ
る。これは例えばハロゲン化水素酸アンモニウム
塩のような副反応生成物除去するための濾過と
は、これが例えばその生成物を分離するために蒸
発によつて溶媒を除去するような追加的な工程段
階を必要としないという点で異つている。すなわ
ちこの工程段階はハロゲン含有シラン化合物の代
りにアミノシランを用いる場合には省略すること
ができる。本発明のもう一つの特徴は、ハロゲン
不純物を除去するために焙焼や濾過工程のような
段階を必要としないためにその全反応を、必ずし
も是非にというわけではないけれども、単一の容
器の中で一つの液相中で実施できるということで
ある。これはポリシラザン製造においてその経済
性の大きな改善をもたらす。 本発明の更に別なもう一つの特徴はシラザンの
重合度がその反応の温度にある程度まで依存する
ということである。すなわちアミノ交換反応及び
引き続いての外気温における縮合反応によつて作
り出されるポリシラザン化合物はより高い温度で
つくられたものよりもかなり低い分子量を有する
ということが見出されている。このような低い分
子量のポリシラザンはそのような低い分子量を必
要とするような種々の用途に有用である。このよ
うに反応温度はその得られるポリシラザンに対し
てその分子量に関し所望の用途に依存して有用な
諸性質を与えるために利用することができる。 アミノ交換反応及び引続く縮合反応は実質的に
非反応性の溶媒の中で20℃から200℃までの温度
範囲において有効に実施することができる。この
広い範囲内で出発反応剤と所望の生成物の全体的
形態とに基づいて種々変化するより好ましい範囲
が存在する。例えば高純度のSi3N4のための前駆
体を製造するためには（Me2N）3SiHとNH3との、
例えばH2SO4のような強酸性アミノ交換触媒の
存在のもとでの反応を好ましくは100℃から200℃
までの温度範囲において実施する。このような比
較的高い温度においては高度に架橋化された自由
流動性の粉末であるシラザン重合体が生ずる。こ
の物質は従つて高温度で焙焼することにより
Si3N4の粉末に変えるのに理想的に適している。
もう一つの具体例として予め成形された多孔質セ
ラミツク品の含浸物として使用することのできる
シラザン重合物を製造することが望まれる場合が
ある。従つてこれは非反応性溶媒中に可溶性であ
るという追加的な特徴をも有する液体状のシラザ
ン重合物を製造するのに利用することができる。
このようなシラザン重合物を製造するもう一つの
方法は例えばパラトルエンスルホン酸のような穏
和な酸性のアミン交換触媒の存在のもとでの
（Me2N）3SiHとMeNH2との反応を好ましくは20
℃から80℃までの範囲の温度において実施するこ
とである。第３の例として樹脂状であつて種々の
成形物に成形し、あるいは引き延ばして繊維にす
ることができるようなシラザン重合物を製造する
ことが望まれる。このシラザン重合物はその粘度
を上昇させるのに充分な架橋度を有することが要
求される。これは反応を強酸触媒の存在のもとで
比較的高い温度において実施することを必要とす
る。 例えば（Me2N）3SiHと（Me2N）3SiCH＝CH2
との混合物のMeNH2との反応は所望の架橋化さ
れたシラザン重合物を得るためにはトリフルオロ
メタンスルホン酸の存在のもとで好ましくは60℃
から100℃までの範囲の温度で行われる。 アミン交換反応は主としてその出発反応剤と、
アミン交換触媒と、及び所望の生成物の形態とに
よつて左右される種々の温度範囲において効果的
に実施することができ、従つて一般に何等かの特
別な温度範囲に限定できないということができ
る。 経済的な理由から、反応を大気圧のもとで実施
することも望ましいけれども、しかしながら圧力
の如何なる上昇または減少もその期待される効果
を現わす。 重合度に影響を与えるために温度や圧力をその
ように利用した場合でもアミノシラン及びアルキ
ルアミノシランのアンモニア、メチルアミン、ま
たはその他の使用可能な第１級アミンとのアミン
交換反応は溶媒、使用触媒の量、圧力、反応装置
あるいは温度に関して決定的な制限が存在するわ
けではなく、当業者によつて特別な装置を使用す
ることなく容易に実施することができる。 出発アミノシラン反応剤、アミン交換反応剤及
び触媒は一般に如加なる順序で組合せてもよいけ
れども、これらは溶媒、出発アミノシラン化合
物、触媒、そして次にアミン交換反応用アミンの
順番で組合せるのが好ましい。アミン交換及び引
続く縮重合を生じさせるためには反応は１ないし
24時間を必要とする。 〔実施例〕 以下本発明を幾つかの特別な実施例によつて説
明するが、これらは決して何等の限定をも意図す
るものではないことを指摘する。 一般的操作 すべての反応は加熱装置、電磁攪拌器または機
械的攪拌装置、温度計及び乾燥窒素雰囲気を維持
するための装置を使用して種々の寸法の漂準的実
験室用ガラス装置中で効果的なドラフト室の中で
行つた。 すべてのアミン及びアミノシランは乾燥窒素ガ
スの雰囲気のもとで貯蔵した。ガラス装置は使用
に先立つて150℃において１時間乾燥させた。加
熱分解から生ずる逸出ガスはドラフトで抜き出し
た。 実験室的加熱分解は管炉中で石英反応器の中で
1000℃までの溶剤において、そして管炉中でアル
ミナ反応器の中で1000℃から1500℃迄において大
気圧において乾燥窒素ガスパージのもとに行つ
た。セラミツク物質の収率は熱重量分析及び示差
走査熱分析データに基いて求めたセラミツク前駆
体について熱分解条件を変化させることによつて
僅かに変化した。 精製シラザン重合物の炉内における1000℃及び
1550℃の温度での窒化珪素への変化のための典型
的な温度経過を以下に示す： 1000℃での熱分解 １） 100゜から250℃まで、２時間で緩徐加熱 ２） 250℃で４時間維持 ３） 250゜から500℃まで10時間で緩徐加熱 ４） 500℃で２時間維持 ５） 500゜から1000℃まで４時間で緩徐加熱 ６） 1000℃で４時間維持 ７） 1000゜から500℃まで４時間で緩徐冷却 ８）500゜から50℃まで２時間で緩徐冷却 1550℃での熱分解 １） 100゜から750℃まで、30分間で緩徐加熱 ２） 750℃で５時間維持 ３） 750゜から1200℃まで２時間で緩徐加熱 ４） 1200℃で４時間維持 ５） 1200゜から1350℃まで４時間で緩徐加熱 ６） 1350℃で２時間維持 ７） 1350゜から1550℃まで６時間で緩徐加熱 ８） 1550゜から200℃まで６時間で緩徐冷却 （５℃までの維持温度の変動が許容される） 分析方法 以下にあげる諸例においてセラミツク物質の分
析は先ず第１にＸ線粉末回折法及びフーリエ変換
赤外スペクトロスコピーを用いて行つた。Ｘ線粉
末回折法を用いた場合にそのセラミツク前駆体を
1550℃において高温焙焼したあとでのα−及びβ
−Si3N4の両者の回折線が明らかであつた。Si、
SiO2、Si2N2OまたはSi2ON2に対応する他の結晶
相は検出されなかつた。〔Joint Committee on
Powder Diffraction Standards（1983）の粉末回
折フアイル、無機相参照〕。そのセラミツク物質
が全体として非晶質である場合にはその分析はフ
ーリエ変換赤外スペクトロスコピー（FIIR）を
用い、SiN結合に対応する吸収帯を確認すること
によつて行つた〔Mazdiyasni，K.S.：Ceram.
Int.８（1982）54参照〕。 典型的には、可溶性のセラミツク前駆体はフー
リエ変換赤外スペクトロスコピー及び1H、13C及
び29SiのNMRのような通常の分析技術によつて
特徴付けられた。不溶性のセラミツク前駆体はフ
ーリエ変換赤外スペクトロスコピーによつて確認
された（Smith，A.L.：1974年Wiley社から出版
された刊行本Analysis of Silicones参照）。 例 １ （Me2NH2）+（CO2NMe2）-の存在のもとでの
HSi（NMe2）3と過剰のNH3との反応 標準テーパジヨイントを備えた１内容の三つ
口丸底フラスコにフリードリツヒコンデンサ、温
度計、加熱装置、電磁攪拌器及びガス吹き込み管
並びにバブリング圧力レリーザと組合せた乾燥窒
素ガス雰囲気維持の用バルブを取付けた。金属ナ
トリウムを加えて窒素ガス雰囲気中で蒸溜した乾
燥トルエン200mlを加えた後にアミノシラン（200
ｇ、1.24モル）を注射器で添加した。この混合物
を通して15分間アンモニアを吹き込み次いで
（Me2NH2）+（CO2NMe2）-のカルバメート塩
（16.6ｇ、1.24モル）を加えた。NH3を吹き込ん
で攪拌しながらその反応混合物を115℃の還流温
度に８時間加熱し、その間反応をガス／液体クロ
マトグラフイーによつて出発アミノシランすなわ
ちHSi（NMe2）3損失について監視した。フラスコ
内の物質は反応の全期間にわたつて無色の液体の
状態であつた。８時間後に反応は完了したことが
認められ、そしてフラスコを冷却して再び二つの
止栓を取付け、真空蒸発（0.1mmHg）及び80〜
100℃への加熱によつて白色のガラス様固体が得
られた。このガラス様固体100mlのペンタンで洗
滌し、そしてこのペンタン洗液は捨てた。この白
色物質をN2ガスのもとで500mlの内容の丸底フラ
スコに移し、そして真空（0.01mmHg）のもとで
６時間更に乾燥した。白色の粉体流動性を示すガ
ラス状物質の収量は92.9ｇであつた。この白色固
体はN2ガスパージのもとに大気圧で1000℃にお
いて熱分解してSi3N4の組成を与えたが、その収
率は装入物質のグラム数（5.03ｇ）に対する得ら
れた物質のグラム数（3.29ｇ）に基いて65.4％で
あつた。該可溶性白色固体のNMRによる分析の
結果、単位［SiH（NMe2）NH］と主鎖のケイ素
原子及び窒素原子において枝分かれが生じている
単位との存在が確認された。該白色固体の分子量
の範囲はガスクロマトグラフイー（GC）／
NMR分析に基づき400ないし2000と概算された。 例 ２ （Me2NH2）+（CO2NMe2）-の存在のもとでトル
エン中でのHSi（NMe2）3と過剰のMeNH2との
反応 例１に記述した装置の中で、但し２容量のフ
ラスコを用いてこれにトルエン（375ml）及び
HSi（NMe2）3（369.9ｇ、2.2932モル）を注入器に
より装入した。この混合物にMeNH2を15分間吹
き込んで次にこれに（Me2NH2）+（CO2NMe2）-の
カルバメート塩（30.73ｇ、2.2932モル）を加え
た。反応混合物をMeNH2の吹き込み及び攪拌を
継続しながら115℃の還流温度に９時間加熱し、
その間その反応をガス／液体クロマトグラフイに
よつてその反応の全期間にわたり出発アミノシラ
ン化合物の損失について監視した。９時間後に反
応は完了したことが認められ、そしてフラスコを
冷却して２個の止栓及び止めコツク付き真空アダ
プタを取付けた。溶媒のトルエンと過剰のメチル
アミンとを真空蒸発によつて除去して灰色がかつ
た白色の粘稠な樹脂様物質が得られた。この樹脂
様物質を200mlのペンタンで洗滌し、そしてこの
ペンタン洗液は捨てた。この樹脂様生成物は40℃
以下において固化して白色の不透明な固体物質と
なつた。この白色の樹脂の試料を大気圧における
N2ガスのパージのもとに1000℃に加熱分解して
Si3N4の組成を得られ、このものの収率は装入物
（24.37ｇ）に対する得られた物質（13.27ｇ）に
基いて54.5％であつた。炉の加熱プログラムを変
えることによつて収率は58.5％に上昇した。該白
色物質のNMRによる分析の結果、単位［SiH
（NMe2）NMe］とケイ素原子において枝分かれ
が生じている単位との存在が確認された。該白色
生成物の分子量の範囲はGC／NMR分析に基づ
き460ないし2300と概算された。 例 ３ CF3SO3Hの存在のもとでのトルエン中におけ
るHSi（NMe2）3と過剰のNH3との反応 500ml容量の丸底三つ口フラスコに還流コンデ
ンサ、電磁攪拌器、ガス吹き込み管及びバブリン
グ圧力レリーザのついた窒素ガス導入アダプタを
取付けた。このフラスコにトルエン（150ml）及
びHSi（NMe2）3（98.6ｇ、0.611モル）を注射器で
注入し、そしてその無色透明の溶液にNH3を15
分間吹き込んだ。注射器でCF3SO3H（0.54ml）を
加えた後にその溶液は白濁した。室温において
NH3を１時間吹き込んだあとでフラスコの内容
物は白色スラリーに変化していた。この反応混合
物を50℃において２時間加熱した後、溶媒な温和
な加熱と共に真空蒸発（0.1mmHg）によつて除去
して白色固体が得られた。この物質をペンタン
（200ml）で洗滌し、そして真空濾過によつて分離
した。真空のもとで（0.01mmHg）乾燥した後、
易流動性を示す白色粉末33.6ｇが得られた。この
白色物質の１試料を大気圧においてN2パージの
もとにプログラムされた加熱スケジユールに従つ
て1000℃に加熱分解し、Si3N4の組成が得られ、
このセラミツク物質の収率は装入物（3.99ｇ）に
対する回収物（3.28ｇ）の比率に基いて82.2％で
あつた。該不溶性白色粉末のFIIR分析により該
物質は主として［Si（NH2）］であることが示さ
れた。分子量は測定できなかつた。 例 ４ CF3SO3Hの存在のもとでのトルエン中におけ
るHSi（NMe2）3と過剰のCH3NH3との反応 500ml容量の丸底三つ口フラスコに還流コンデ
ンサ、電磁攪拌器、ガス吹き込み管及びバブリン
グ圧力レリーザ付の窒素ガス用アダプタを取付け
た。この装置にトルエン（100ｍ）及びHSi
（NMe2）3（95.5ｇ、0.592モル）を注射器によつて
注入し、そしてその無色透明の液体にCH3NH2
を15分間吹き込んだ。注射器によつてCF3SO3H
（0.52ml、0.0059モル）を添加した後、その無色
透明な溶液にCH3NH2を更に追加的に一時間吹
き込み、その間反応混合物の温度を20℃に保つ
た。その反応は２時間の後に終了したことが認め
られた。溶媒な温和な加熱と共に真空蒸発（0.1
mmHg）によつて除去し、それにより灰色がかつ
た白色の粘稠な物質が得られた。ペンタン（200
ml）を加えてそのフラスコを還流温度まで緩やか
に加熱した後その灰色がかつた白色の樹脂用物質
は溶解した。この溶液を放冷し、次いで濾過して
透明な濾液を得た。溶媒を除去して白色の不透明
な粘稠液体46.8ｇが得られた。この白色物質の１
試料を大気圧においてN2パージのもとにプログ
ラムされた加熱スケジユールに従つて1000℃に加
熱分解し、Si3N4の組成が得られたがそのセラミ
ツク物質の収率は装入物（6.42ｇ）に対する回収
物（4.48ｇ）の比に基いて69.8％であつた。該白
色物質のNMR分析により実施例２の生成物の構
造に類似するけれど、主鎖のケイ素原子及び窒素
原子において枝分かれしている単位のより高い含
量を有する構造が示された。該可溶性白色物質の
分子量の範囲はGC／NMR分析に基づき460ない
し3000と概算された。 例 ５ （Me2NCO2）（NMe2）2SiHの存在のもとでの
HSi（NMe2）3と過剰のNH3との反応 250ml容量の標準テーパジヨイントの設けられ
た丸底三つ口フラスコにコイルコンデンサ、電磁
攪拌器、加熱装置、電磁攪拌機及びガス吹き込み
用管を取付け、これに更にバブリング圧力レリー
ザを設けたバルブ並びに配管を乾燥窒素雰囲気の
維持のために設けた。乾燥トルエン（50ml）を添
加した後HSi（NMe2）3のアミノシラン（41.4ｇ、
0.255モル）を注射器によつてそのフラスコ中に
注入した。その溶液を通して炭酸ガスを５分間吹
き込み、それによつて米国特許第4400526号公報
（本文において参照文献として採用する）におい
てHopper及びKannerによつていくつかの実施例
に記述されているように（Me2NCO2）（Me
2N）2SiHがその場で生じた。２酸化炭素吹き込み
を停止して次にアンモニア吹込みに切り換えた。
室温で一時間の後に出発アミノシランであるHSi
（NMe2）3は消費された。透明な無色の液体を外
気温において攪拌し、２時間の後にその反応混合
物はゲル化した。反応フラスコを真空の維持のた
めに止栓で閉じ、そして溶媒を真空蒸発（４mm
Hg）によつて８時間にわたり除去しそれによつ
てガラス様白色固形物（20.62ｇ）が得られた。
この物質を磨り潰して易流動性を示す白色粉末に
し、そして再び真空のもとで（0.1mmHg）更に８
時間、実質的な重量損失を示さなくなるまで乾燥
した。該不溶性生成物のFIIRによる分析の結果、
該生成物は実施例６の生成物に類似し、NMe2基
の存在することが示された。（分子量は測定でき
なかつた。） 例 ６ CH3C6H4SO3H・H2Oの存在のもとでのHSi
（NMe2）3と過剰のMeNH2との反応 例５におけると同じ反応装置に乾燥トルエン
（60ml）及びHSi（NMe2）3のアミノシラン（49.3
ｇ、0.306モル）を装入した。アミノ変換反応触
媒としてCH3C6H4SO3H・H2O（0.582ｇ、3.06m
モル）を固体として加えた。この触媒の結晶水と
HSi（NMe2）3との反応に基いて直ちにガス発生が
観測された。この反応混合物に室温においてMe
NH2を吹き込んだ。1.5時間の後に上記アミノシ
ランは消費されつくした。その反応フラスコに再
び止栓をして溶媒を50℃に温和に加熱しながら真
空蒸発（0.1mmHg）によつて除去した。溶剤を完
全に除去したあとで灰色がかつた白色の白濁した
半粘稠な液体が得られた（24.0ｇ）。 ガスクロマトグラフイ／マススペクトル分析に
よつて下記 （但しｘ＝３、４又は５） のような低分子量生成物が確認された。GC／
NMR分析により分子量は264から2000までの範
囲と概算された。
【表】
上にあげた第表はSi−Ｈのアミノシラン結合
を有する化合物が触媒として２酸化炭素源を用い
ることにより（例１、２及び５）または有機の強
酸類を用いることにより（例３、４及び６）本発
明に従う方法により効果的に接触作用を受けると
いうことを示すためのものである。 例 ７ CF3SO3Hの存在のもとでのトルエン中におけ
るCH2＝CHSi（NMe2）3と過剰のNH3との反応 １容量の丸底三つ口フラスコに還流コンデン
サ、電磁攪拌器、ガス吹込み管及びバブリング圧
力レリーザを備えた窒素ガス用アダプタを取り付
けた。このフラスコにトルエン（90ml）及びCH2
＝CHSi（NMe2）3（88.2ｇ、0.471モル）を注射器
で装入し、そしてその無色透明な溶液にNH3を
15分間にわたつて吹込んだ。注射器から
CF3SO3H（0.706ｇ、0.0047モル）を加えた後この
溶液を４時間還流温度（110℃）に加熱した。反
応が完了したことを確認し、そして溶媒な温和に
加熱しながら真空蒸発（0.1mmHg）によつて除去
して灰色がかつた白色の物質（30.4ｇ）を得た。
このベージユ色の物質の１試料を大気圧において
N2パージのもとに1000℃に加熱分解してSi3N4の
組成が得られ、そのセラミツク物質の収率は装入
物（5.33ｇ）に対する回収物（3.97ｇ）の比に基
いて74.5％であつた。該ベージユ色の物質の
NMRによる分析の結果、単位［SiCH＝CH2
（NMe2）NH］と主鎖のケイ素原子及び窒素原子
において枝分かれが生じている単位とが確認され
た。該物質の分子量の範囲はGC／NMR分析に
基づき500ないし1900と概算された。 例 ８ CF3SO3Hの存在のもとでのトルエン中におけ
るCH2＝CHSi（NMe2）3と過剰のCH3NH2との
反応 例５に記述した装置にトルエン（75ml）及び
CH2＝CHSi（NMe2）3（74.2ｇ、0.396モル）を注射
器で装入し、そしてその無色透明な溶液に
CH3NH2を15分間にわたつて吹き込んだ。注射
器からCF3SO3H（0.59ｇ、0.00396モル）を加えた
後その反応混合物を還流温度（110℃）に４時間
加熱した。ガス／液体クロマトグラフイにより反
応の完結したことを確かめ、そしてトルエンを温
和な加熱（60℃）と共に真空蒸発（0.1mmHg）に
よつて除去し、それによつて灰色がかつた白色の
ワツクス様固形物（43.5ｇ）が得られた。この白
色ワツクス様固形物の１試料を大気圧において
N2パージのもとに1000℃に加熱分解し、Si3N4の
組成のものが装入物（6.26ｇ）に対する回収物
（2.17ｇ）の比に基いて34.7％のセラミツク物質
の収率で得られた。該ワツクス様固形物のNMR
による分析の結果、単位［SiCH＝CH2（NMe2）
NMe］とケイ素原子において枝分かれが生じて
いる単位との存在が確認された。GC／NMR分
析による分子量の範囲は750〜2400と概算された。 例 ９ CF3SO3Hの存在のもとでのSi（NMe2）4と過剰
のNH3との反応 50ml容量の丸底三つ口フラスコにコイルコンデ
ンサ、電磁攪拌器と攪拌棒、ガス吹き込み管、温
度計及び乾燥窒素ガス雰囲気を維持するための装
置を取り付けた。このフラスコにSi（NMe2）4のア
ミノシラン（32.8ｇ、160.78ミリモル）、溶媒と
してのトルエン（35ml）及び触媒としての
CF3SO3H（0.24ｇ、1.61ミリモル）を注射器で装
入した。この溶液に室温においてNH3を２時間
にわたつて吹き込み次いで還流温度に約７時間加
熱した。真空蒸発によつて溶媒を除去することに
より白色の粉末状固体（18.0ｇ）が得られた。こ
の白色固体物質（4.50ｇ）を窒素雰囲気中で1000
℃に焼くことにより暗灰色の粉末状固体物質
（1.80g）が得られ、これは装入重量に対する回収
重量の比に基いて40.0％のセラミツク物質の収率
に相当する。該不溶性の白色固体物質のFIIRに
よる分析の結果、実施例５の生成物に類似するけ
れどNMe2基の更に高含量を有することが示され
た。（分子量の測定はできなかつた。） 例 10 CF3SO3Hの存在のもとでのSi（NMe2）4と過剰
のCH3NH2との反応 例９に記述したと同様な反応装置にトルエン
（35ml）、Si（NMe2）4（27.3ｇ、132.82ミリモル）及
びCF3SO3H（0.20ｇ、1.338ミリモル）を注射器で
装入した。その無色透明の溶液にCH3NH2を室
温において２時間吹き込み、次にこれを還流温度
で７時間加熱した。溶剤を真空蒸発によつて除去
することにより白色結晶状固体物質（14.20ｇ）
が得られた。この結晶状の粘着性固体物質（4.70
ｇ）をN2ガスのもとで1000℃に焼くことにより
黒色クラスト状固体物質（2.85ｇ）が得られ、こ
れは装入物質の重量に対する回収物質の重量の比
に基いて60.6％のセラミツク材料の収率に相当す
る。該白色固体物質のNMR分析の結果、単位
［SiNMe（NMe2）NMe］と主鎖のケイ素原子及
び窒素原子において追加の枝分かれを有する単位
との存在が確認された。該物質の分子量の範囲は
GC／NMR分析に基づき500ないし2400と概算さ
れた。 例 11 CF3SO3Hの存在のもとでのCH2＝CHSi（NMe
２）3と過剰のCH3NH2との反応及び引続くHSi
（NMe2）3の添加並びにCH3NH2吹込みの継続 500ml容量の丸底三つ口フラスコにフリードリ
ツヒコンデンサ、電磁攪拌器並びに攪拌棒、ガス
吹き込み管、温度計及び乾燥N2雰囲気を維持す
るための装置を取り付けた。このフラスコにトル
エン（100ml）、CH2＝CHSi（NMe2）3（48.2ｇ、
0.257モル）及びCF3SO3H（0.39ｇ、2.57ミリモ
ル）を注射器によつて装入した。この溶液に
CH3NH2を室温において２時間にわたり吹込ん
だ。次にこのフラスコにHSi（NMe2）3（41.5ｇ、
0.257モル）を装入してCH3NH2の吹込みを更に
１時間継続した。一晩攪拌した後に出発アミノシ
ラン化合物は両方とも消費しつくされていた。こ
の反応混合物を110℃に２時間加熱した。次いで
溶媒を真空蒸発によつて除去し、それにより灰色
がかつた白色の不透明な粘着性樹脂様固体物質
（45.5ｇ）が得られた。この物質はペンタンに可
溶性であつた。これはまた50−60℃において溶融
して注流可能な物質を生じ、このものは引延ばし
て糸及び長繊維にすることができた。この灰色が
かつた白色の樹脂状物質の一部（2.66ｇ）を溶融
して石英るつぼの中に流し込み、次にこれをN2
雰囲気のもとで1000℃に焼いた。石英るつぼの形
に型どられた硬い光輝性の黒色固体片が回収され
（1.86ｇ）、これはその装入物重量部に対する回収
物重量の比に基いてセラミツク材料の収率69.9％
に相当した。該樹脂状物質のNMRによる分析の
結果、単位［SiCH＝CH2（NMe2）NMe］及び
［SiH（NMe2）NMe］と主鎖のケイ素原子におい
て枝分かれが生じている単位との存在が確認され
た。該物質の分子量の範囲はGC／NMR分析に
基づき400ないし2200と概算された。
を有する化合物が触媒として２酸化炭素源を用い
ることにより（例１、２及び５）または有機の強
酸類を用いることにより（例３、４及び６）本発
明に従う方法により効果的に接触作用を受けると
いうことを示すためのものである。 例 ７ CF3SO3Hの存在のもとでのトルエン中におけ
るCH2＝CHSi（NMe2）3と過剰のNH3との反応 １容量の丸底三つ口フラスコに還流コンデン
サ、電磁攪拌器、ガス吹込み管及びバブリング圧
力レリーザを備えた窒素ガス用アダプタを取り付
けた。このフラスコにトルエン（90ml）及びCH2
＝CHSi（NMe2）3（88.2ｇ、0.471モル）を注射器
で装入し、そしてその無色透明な溶液にNH3を
15分間にわたつて吹込んだ。注射器から
CF3SO3H（0.706ｇ、0.0047モル）を加えた後この
溶液を４時間還流温度（110℃）に加熱した。反
応が完了したことを確認し、そして溶媒な温和に
加熱しながら真空蒸発（0.1mmHg）によつて除去
して灰色がかつた白色の物質（30.4ｇ）を得た。
このベージユ色の物質の１試料を大気圧において
N2パージのもとに1000℃に加熱分解してSi3N4の
組成が得られ、そのセラミツク物質の収率は装入
物（5.33ｇ）に対する回収物（3.97ｇ）の比に基
いて74.5％であつた。該ベージユ色の物質の
NMRによる分析の結果、単位［SiCH＝CH2
（NMe2）NH］と主鎖のケイ素原子及び窒素原子
において枝分かれが生じている単位とが確認され
た。該物質の分子量の範囲はGC／NMR分析に
基づき500ないし1900と概算された。 例 ８ CF3SO3Hの存在のもとでのトルエン中におけ
るCH2＝CHSi（NMe2）3と過剰のCH3NH2との
反応 例５に記述した装置にトルエン（75ml）及び
CH2＝CHSi（NMe2）3（74.2ｇ、0.396モル）を注射
器で装入し、そしてその無色透明な溶液に
CH3NH2を15分間にわたつて吹き込んだ。注射
器からCF3SO3H（0.59ｇ、0.00396モル）を加えた
後その反応混合物を還流温度（110℃）に４時間
加熱した。ガス／液体クロマトグラフイにより反
応の完結したことを確かめ、そしてトルエンを温
和な加熱（60℃）と共に真空蒸発（0.1mmHg）に
よつて除去し、それによつて灰色がかつた白色の
ワツクス様固形物（43.5ｇ）が得られた。この白
色ワツクス様固形物の１試料を大気圧において
N2パージのもとに1000℃に加熱分解し、Si3N4の
組成のものが装入物（6.26ｇ）に対する回収物
（2.17ｇ）の比に基いて34.7％のセラミツク物質
の収率で得られた。該ワツクス様固形物のNMR
による分析の結果、単位［SiCH＝CH2（NMe2）
NMe］とケイ素原子において枝分かれが生じて
いる単位との存在が確認された。GC／NMR分
析による分子量の範囲は750〜2400と概算された。 例 ９ CF3SO3Hの存在のもとでのSi（NMe2）4と過剰
のNH3との反応 50ml容量の丸底三つ口フラスコにコイルコンデ
ンサ、電磁攪拌器と攪拌棒、ガス吹き込み管、温
度計及び乾燥窒素ガス雰囲気を維持するための装
置を取り付けた。このフラスコにSi（NMe2）4のア
ミノシラン（32.8ｇ、160.78ミリモル）、溶媒と
してのトルエン（35ml）及び触媒としての
CF3SO3H（0.24ｇ、1.61ミリモル）を注射器で装
入した。この溶液に室温においてNH3を２時間
にわたつて吹き込み次いで還流温度に約７時間加
熱した。真空蒸発によつて溶媒を除去することに
より白色の粉末状固体（18.0ｇ）が得られた。こ
の白色固体物質（4.50ｇ）を窒素雰囲気中で1000
℃に焼くことにより暗灰色の粉末状固体物質
（1.80g）が得られ、これは装入重量に対する回収
重量の比に基いて40.0％のセラミツク物質の収率
に相当する。該不溶性の白色固体物質のFIIRに
よる分析の結果、実施例５の生成物に類似するけ
れどNMe2基の更に高含量を有することが示され
た。（分子量の測定はできなかつた。） 例 10 CF3SO3Hの存在のもとでのSi（NMe2）4と過剰
のCH3NH2との反応 例９に記述したと同様な反応装置にトルエン
（35ml）、Si（NMe2）4（27.3ｇ、132.82ミリモル）及
びCF3SO3H（0.20ｇ、1.338ミリモル）を注射器で
装入した。その無色透明の溶液にCH3NH2を室
温において２時間吹き込み、次にこれを還流温度
で７時間加熱した。溶剤を真空蒸発によつて除去
することにより白色結晶状固体物質（14.20ｇ）
が得られた。この結晶状の粘着性固体物質（4.70
ｇ）をN2ガスのもとで1000℃に焼くことにより
黒色クラスト状固体物質（2.85ｇ）が得られ、こ
れは装入物質の重量に対する回収物質の重量の比
に基いて60.6％のセラミツク材料の収率に相当す
る。該白色固体物質のNMR分析の結果、単位
［SiNMe（NMe2）NMe］と主鎖のケイ素原子及
び窒素原子において追加の枝分かれを有する単位
との存在が確認された。該物質の分子量の範囲は
GC／NMR分析に基づき500ないし2400と概算さ
れた。 例 11 CF3SO3Hの存在のもとでのCH2＝CHSi（NMe
２）3と過剰のCH3NH2との反応及び引続くHSi
（NMe2）3の添加並びにCH3NH2吹込みの継続 500ml容量の丸底三つ口フラスコにフリードリ
ツヒコンデンサ、電磁攪拌器並びに攪拌棒、ガス
吹き込み管、温度計及び乾燥N2雰囲気を維持す
るための装置を取り付けた。このフラスコにトル
エン（100ml）、CH2＝CHSi（NMe2）3（48.2ｇ、
0.257モル）及びCF3SO3H（0.39ｇ、2.57ミリモ
ル）を注射器によつて装入した。この溶液に
CH3NH2を室温において２時間にわたり吹込ん
だ。次にこのフラスコにHSi（NMe2）3（41.5ｇ、
0.257モル）を装入してCH3NH2の吹込みを更に
１時間継続した。一晩攪拌した後に出発アミノシ
ラン化合物は両方とも消費しつくされていた。こ
の反応混合物を110℃に２時間加熱した。次いで
溶媒を真空蒸発によつて除去し、それにより灰色
がかつた白色の不透明な粘着性樹脂様固体物質
（45.5ｇ）が得られた。この物質はペンタンに可
溶性であつた。これはまた50−60℃において溶融
して注流可能な物質を生じ、このものは引延ばし
て糸及び長繊維にすることができた。この灰色が
かつた白色の樹脂状物質の一部（2.66ｇ）を溶融
して石英るつぼの中に流し込み、次にこれをN2
雰囲気のもとで1000℃に焼いた。石英るつぼの形
に型どられた硬い光輝性の黒色固体片が回収され
（1.86ｇ）、これはその装入物重量部に対する回収
物重量の比に基いてセラミツク材料の収率69.9％
に相当した。該樹脂状物質のNMRによる分析の
結果、単位［SiCH＝CH2（NMe2）NMe］及び
［SiH（NMe2）NMe］と主鎖のケイ素原子におい
て枝分かれが生じている単位との存在が確認され
た。該物質の分子量の範囲はGC／NMR分析に
基づき400ないし2200と概算された。
【表】
上記第表からわかるように、グループ２のア
ミノシラン化合物は温和な有機酸類またはグルー
プ１の化合物に影響を及ぼしたCO2型の触媒によ
つては比率的影響を受けず、そしてむしろ有機ま
たは無機の強酸を用いてより効果的にアミノ交換
反応を受ける。
ミノシラン化合物は温和な有機酸類またはグルー
プ１の化合物に影響を及ぼしたCO2型の触媒によ
つては比率的影響を受けず、そしてむしろ有機ま
たは無機の強酸を用いてより効果的にアミノ交換
反応を受ける。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 一般式 〔−｛（CH3）2N｝eSi(R)a（R′HN） fHc（NR′）g〕− （但し、上式においてＲは水素、１〜６個の炭素
原子を有するアルキル基又は６〜12個の炭素原子
を有するアリール基を意味し、ａは０又は１、ｃ
は０ないし２、ｅは０ないし２、ｆは０ないし
２、そしてｇは１ないし３であつて、各重合体単
位についてａ＋ｃ＋ｅ＋ｆ＋ｇ＝４であり、
R′は水素又はメチル基を表わす） で表され、繰返し単位数が３ないし30である、実
質的にハロゲン化物不純物を含まないシラザン重
合体と、（CH3）2NHの副生成物とを製造する方
法において、 一般式 (R)a〔（CH3）2N〕bHcSi （但し、Ｒ、ａ及びｃは上記と同じ意味を有
し、ｂは２ないし４であり、ａ＋ｂ＋ｃ＝４であ
る） で表わされるアミノシランを、一般式 （CH3）dNH3-d （但しｄは０又は１である） で表される分子量45以下のアミンと、酸触媒又は
この酸のアンモニウム塩の存在のもとに、アミン
交換させ、次いで縮合して上記重合体を形成させ
ることより成る、上記シラザン重合体の製造方
法。 ２ ｃが１または２である、特許請求の範囲第１
項記載の方法。 ３ ａ＝０、ｂ＝３、ｃ＝１及びｄ＝０である、
特許請求の範囲第１項記載の方法。 ４ ａ＝０、ｂ＝３、ｃ＝１及びｄ＝１である、
特許請求の範囲第１項記載の方法。 ５ Ｒが−CH＝CH2であり、ａ＝１、ｂ＝３、
ｃ＝０及びｄ＝０である特許請求の範囲第１項記
載の方法。 ６ Ｒが−CH＝CH2であり、ａ＝１、ｂ＝３、
ｃ＝０及びｄ＝１である、特許請求の範囲第１項
記載の方法。 ７ Ｒがメチルまたはエチルであり、ａ＝１、ｂ
＝３、ｃ＝０及びｄ＝１である特許請求の範囲第
１項記載の方法。 ８ 触媒がpKaが2.2よりも小さな有機または無
機の強酸またはこの酸のアンモニウム塩である、
特許請求の範囲第１項記載の方法。 ９ 有機または無機の強酸がトリフルオロメチル
スルホン酸、パラトルエンスルホン酸、メチルス
ルホン酸、硫酸、硝酸、燐酸、及びトリフルオロ
酢酸よりなる群から選ばれる特許請求の範囲第８
項記載の方法。 １０ 触媒が二酸化炭素源である、特許請求の範
囲第２項記載の方法。 １１ 触媒が二酸化炭素、アンモニウムカルバメ
ートの塩類及びカルバマトシランよりなる群から
選ばれる、特許請求の範囲第１０項記載の方法。 １２ アミノ交換反応が20゜ないし200℃の温度に
おいて実施される、特許請求の範囲第１項記載の
方法。 １３ 高純度の窒化珪素を製造するに当り、アミ
ノ交換反応が強酸触媒の存在のもとで100℃ない
し200℃の温度において行われる、特許請求の範
囲第１２項記載の方法。 １４ 強酸触媒がH2SO4である、特許請求の範
囲第１３項記載の方法。 １５ 予め成形された多孔質のセラミツク体中の
含浸体として用いられるシラザン重合体の製造に
おいて、そのアミノ交換反応が温和な酸性触媒の
存在のもとに、20゜〜80℃の温度において行われ
る、特許請求の範囲第１２項記載の方法。 １６ アミノ交換反応がその反応条件のもとで大
部分反応性を有しない溶剤の中で実施される、特
許請求の範囲第１項記載の方法。 １７ 溶剤が６ないし20個の炭素原子を有するア
ルカン類及びアルキル化ベンゼン類であつて、そ
の中に反応生成物が不溶性であるような化合物よ
りなる群から選ばれる特許請求の範囲第１６項記
載の方法。 １８ 溶剤が６ないし10個の炭素原子を有するア
ルカン類及びアルキル化ベンゼン類であつて、そ
れらの中に反応生成物が溶解するような化合物よ
りなる群から選ばれる、特許請求の範囲第１６項
記載の方法。 １９ 溶剤がトルエンまたはキシレンである、特
許請求の範囲第１６項記載の方法。 ２０ アミノシラン出発反応成分がNH3とアミ
ノ交換されたトリス（ジメチルアミノ）シラン
と、ビニル−トリス（ジメチルアミノ）シランと
の混合物である、特許請求の範囲第１項記載の方
法。 ２１ アミノシラン出発反応成分がCH3NH2で
アミノ交換されたトリス（ジメチルアミノ）シラ
ンとビニル−トリス（ジメチルアミノ）シランと
の混合物である、特許請求の範囲第１項記載の方
法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/841,545 US4675424A (en) | 1986-03-19 | 1986-03-19 | Method for making polysilazanes |
| US841545 | 1986-03-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62225534A JPS62225534A (ja) | 1987-10-03 |
| JPH0460492B2 true JPH0460492B2 (ja) | 1992-09-28 |
Family
ID=25285149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62061420A Granted JPS62225534A (ja) | 1986-03-19 | 1987-03-18 | ポリシラザン類の製造方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4675424A (ja) |
| EP (1) | EP0238078B1 (ja) |
| JP (1) | JPS62225534A (ja) |
| AT (1) | ATE87640T1 (ja) |
| CA (1) | CA1256632A (ja) |
| DE (1) | DE3785065T2 (ja) |
Families Citing this family (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5008422A (en) * | 1985-04-26 | 1991-04-16 | Sri International | Polysilazanes and related compositions, processes and uses |
| FR2590580B1 (fr) * | 1985-11-28 | 1988-05-13 | Rhone Poulenc Spec Chim | Procede de traitement catalytique d'un polysilazane comportant en moyenne au moins deux groupes hydrocarbone a insaturation aliphatique par molecule |
| US5120686A (en) * | 1985-12-20 | 1992-06-09 | The Dexter Corporation | Method of preparing a polysilazane |
| US5166104A (en) * | 1986-02-12 | 1992-11-24 | Toa Nenryo Kogyo Kabushiki Kaisha | Polysiloxazanes, silicon oxynitride fibers and processes for producing same |
| JPH0618885B2 (ja) * | 1986-02-12 | 1994-03-16 | 東燃株式会社 | ポリシロキサザンおよびその製法 |
| JPS62290730A (ja) * | 1986-06-10 | 1987-12-17 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 有機シラザン重合体の製造方法 |
| US4916200A (en) * | 1987-06-08 | 1990-04-10 | Dow Corning Corporation | Silane modified polysilacyclobutasilazanes |
| US4861569A (en) * | 1987-08-13 | 1989-08-29 | Petroleum Energy Center | Reformed, inorganic polysilazane and method of producing same |
| US4895889A (en) * | 1988-05-12 | 1990-01-23 | Ethyl Corporation | Preceramic compositions |
| DE3832933A1 (de) * | 1988-09-28 | 1990-03-29 | Wacker Chemie Gmbh | Verfahren zur herstellung von polysilazanen |
| US4929742A (en) * | 1988-11-28 | 1990-05-29 | Dow Corning Corporation | Silane modified polysilacyclobutasilazanes |
| US5189132A (en) * | 1988-12-03 | 1993-02-23 | Hoechst Aktiengesellschaft | Polymeric hydridochlorosilazanes, process for their preparation, ceramic materials containing silicon nitride which can be manufactured therefrom, and their manufacture |
| US5097364A (en) * | 1988-12-12 | 1992-03-17 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Magnetic recording and reproducing apparatus and method of recording and reproducing |
| US4929704A (en) * | 1988-12-20 | 1990-05-29 | Hercules Incorporated | Isocyanate- and isothiocyanate-modified polysilazane ceramic precursors |
| FR2642431A1 (fr) * | 1989-01-30 | 1990-08-03 | Rhone Poulenc Chimie | Procede de reticulation de polysilazanes |
| US5198519A (en) * | 1991-04-25 | 1993-03-30 | The Standard Oil Company | Silazane polymers and method of making same |
| US5612414A (en) * | 1993-11-05 | 1997-03-18 | Lanxide Technology Company, Lp | Organic/inorganic polymers |
| US5616650A (en) * | 1993-11-05 | 1997-04-01 | Lanxide Technology Company, Lp | Metal-nitrogen polymer compositions comprising organic electrophiles |
| KR102326396B1 (ko) | 2013-09-27 | 2021-11-12 | 레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드 | 아민 치환된 트리실릴아민 및 트리디실릴아민 화합물 |
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| US9593210B1 (en) * | 2015-06-03 | 2017-03-14 | General Electric Company | Methods of preparing polysilazane resin with low halogen content |
| US11111256B2 (en) * | 2015-12-18 | 2021-09-07 | Jiangsu Nata Opto-Electronic Materials Co. Ltd. | High purity trisilylamine, methods of making, and use |
| US10192734B2 (en) | 2016-12-11 | 2019-01-29 | L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploration des Procédés Georges Claude | Short inorganic trisilylamine-based polysilazanes for thin film deposition |
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|---|---|---|---|---|
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