JPH0460603A - 焦点検出装置及びそれを備えた観察装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は焦点検出装置及び該焦点検出装置を備えた観察
装置に関し、特に投光手段からの光束を結像光学系の一
部の＠域を介して物体へ投光し、該物体からの反射光束
のうち、該結像光学系の他の領域を通過する光束の検出
器面上の入射位置情報を検出することにより、該結像光
学系の焦点位置の検出を行った焦点検出装置及び該焦点
検出装置を備えたＲ察装置に関するものである。

（従来の技術） 従来より結像光学系の焦点位置な光電的に検出する焦点
検出装置には、種々のタイプのものか提案されている。

例えば特開昭５７−２１０３０８号公報では投光手段よ
り光束を物体側に投光し、物体からの反射光束を利用し
て焦点検出を行う所謂能動方式の焦点検出装置か提案さ
れている。又特開昭５７−７２１１１号公報や特開昭６
０−４１０１３号公報等では結像光学系により形成され
た物体像の結像状態を利用して焦点検出を行う受動方式
の焦点検出装置か提案されている。又特開昭５７−２２
２１０号公報では能動方式て、このとき光束を結像光学
系を介して物体側へ投光するようにしたＴ　Ｔ　Ｌ　（
Ｔｈｒｏｕｇｈ　ＴｈｅＬｅｎｓ）方式の焦点検出装置
か提案されている。

第９図は従来の能動方式でかつＴＴＬ方式を用いた焦点
検出装置を備えた顕微鏡の光学系の要部概略図である。

同図において１は焦点合わせ用の光源で例えばレーザー
ダイオード、ＬＥＤ　（発光ダイオード）等から成って
いる。光源１からの光束はコンデンサーレンズ２により
集光される。コンデンサーレンズ２で集光された光束の
一部は光軸に対して一方の側の部分が反射面９１ｂ、他
方の側の部分か透過面９１ａになっているナイフェツジ
ミラー９１の透過面９１ａを通過する。透過面９１ａを
通過した光束はビームスプリッタ−８により反射され光
束１８として結像光学系９に入射する。結像光学系９へ
の入射光束は、第１１図て示すようにその瞳面１１１上
で結像光学系９の光軸１１４に対して主光線が偏心した
光束であり、瞳面１１１中の斜線で示す領域１１２（１
１３の様な光束は、ナイフェツジミラー９１の透過・反
射面の形状によりつくる）内を通過する。

結像光学系９を通過した光束１８は、物体９２に投光さ
れ、その近傍に光源１の発光部のスポット像を結像する
。物体９２て反射した光束のうち、投光時とは光軸１１
４に対して略対称な光路に后って反射した光束１７は、
結像光学系９を再通過する。そしてビームスプリッタ−
８で反射し、ナイフェツジミラー９１の反射面９１ｂで
反射してコンデンサーレンズ６により集光されて焦点検
出用の光電変換素子７の受光面にスポット像を形成する
。

同図において、光源１と物体９２、物体９２と光電変換
素子７は各々互いに略共役関係となっている。

１０は顕微鏡のテレビカメラであり、結像光学系９を介
して物体９２と略共役位置にあり、物体９２を観察して
いる。

今、物体９２が第９図の位置（合焦位置）１１にあると
き充電変換素子７面上には第１０図に示すような光Ｍｌ
　０４が良好なるスポット光として結像する。このとき
、充電変換素子７からは、第１０図に示す曲線１０１の
如く急峻な強度分布か得られる。

又、物体９２か前ピン（後ピン）の位置１２（１３）に
あるときは、光電変換素子７而上には第１０図に示すよ
うな光線１０６（１０５）が入射する。このときの光線
１０６（１０５）は光線１０１に比べて拡かったスポッ
ト光となり、充電変換素子７からは同図の曲線１０３の
ように広かりかつ物体９２からの反射光束１７か光軸１
１４に対して偏心している為に、光線１０４による強度
分布に対し横方向にズした強度分布が得られる。

このときの光電変換素子７面上ての入射光束のズレ量と
物体９２の合焦位置１１からのデイフォーカス量とは一
定の関係にある。第９図の装置では、充電変換素子７面
上への入射光束の光量重心の所定位置からのズレ量を検
出することにより結像光学系９の焦点検出を行っている
。即ち、充電変換素子７に２分割センサーを用いて、入
射光束の強度分布か曲線１０１のとき、第１０図に示す
ように左側のセンサー７ａからの出力値をＡ、ｔｉ’［
ｌのセンサー７ｂからの出力値をＢとして出力値Ａと出
力値Ｂとの差信号Ａ−ＢかＡ−Ｂ＝０となるように設定
しておく。

第１３図は物体９２のデイフォーカス量に対する充電変
換素子７からの差信号Ａ−Ｂとの関係を示した説明図で
ある。即ち物体９２か位置１２にあるときは差信号はＡ
−Ｂ＞０、物体９２か位置１３にあるときは差信号はＡ
−Ｂ＜Ｏとなる。

第９図に示す焦点検出装置は、光電変換素子７からの出
力信号の差信号Ａ−ＢがＡ−Ｂ＝０となるように、結像
光学系９又は物体９２を光軸上に沿って移動させて、こ
れにより結像光学系９に物体９を合焦せしめている。

（発明か解決しようとする問題点） 第９図に示す焦点検出装置では、物体９２か位置１３に
あり、合焦位置１１より距離ΔＸたけデイフォーカスし
ていると、充電変換素子７付近では反射光束１７は、第
１０図に示すように、光電変換素子７から距離β２　・
２・ΔＸ程度、手前の点１０５ａに結像する。

但し、βは物体９２か結像光学系９を介して光電変換素
子７側に結像される際の近軸横倍率である。

ここで、物体９２か結像光学系９から大きく離れると、
即ちデイフォーカス量ΔＸか大きくなってくると、第１
０図における距離β２　・２・ΔＸか増大し、第１２図
に示すように物体９２からの反射光束１７かナイフェツ
ジミラー９１よりも手前の点１７ａに集光するようにな
ってくる。この結果、物体９２からの反射光束１７の全
てがナイフェツジミラー９１の透過部９１ａを通通し、
反射面９１ｂで反射されなくなり、充電変換素子７へは
入射しなくなってくる。このとき光電変換素子７からの
差信号Ａ−Ｂは、第１３図に示すようにＡ−Ｂ＝Ｏとな
る。

即ち、デイフォーカス量ΔＸかある値ΔＸ　ＭＡＸ以上
大きくなると、差信号Ａ−ＢはＡ−Ｂ＝Ｏとなり、この
結果、焦点検出が出来なくなってくるという問題点が生
してくる。

本発明は、物体が結像光学系から大きくデイフォーカス
していた場合であっても、光検出器の受光面りに常に物
体からの反射光束か入射し、光検出器からは所定の差信
号か得られるようにして結像光学系に対する物体のデイ
フォーカスを広範囲にわたり検出することかできる焦点
検出装置の提供を目的とする。

（問題点を解決するための手段） 本発明の焦点検出装置及びそれを備えた観察装置は、光
源と、対物光学系と、該光源からの光の部を遮光して該
対物光学系の光軸に対して偏心した光束を該対物光学系
に向ける光制限部材と、該対物光学系を介して照明され
た被検面がらの反射光を該対物光学系と該光制限部材と
を介して検出する光検出器とを有し、該光検出器からの
信号に基づいて該被検面の該光軸の方向に関する変位を
検出する焦点検出装置において、前記光制限部材か前記
光源からの光の一部を遮光する反射部と前記光束として
直線偏光光束を前記対物光学系に向ける偏光分割部とを
備え、舵記対物光学系が該直線偏光光束を円偏光光束に
変換すると共に航記反射光を該直線偏光光束と直交する
方向に偏光した偏光光束に変換せしめる偏光変換部材を
備え、前記偏光分割部と前記反射部で該偏光光束を前記
光検出器へ反射せしめることを特徴としている。

この他本発明では、 （イ）光源が、発光タイオードを備えており、該発光タ
イオードからの光を集光して前記光制限部材に入射せし
めるレンズ系と、前記発光ダイオードからの光の偏光方
向を前記偏光分割部の偏光方位と一致せしめるべく前記
発光ダイオードと前記光制限部材の間に設けた偏光板と
を有していることを特徴としている。

（ロ）光源か発光ダイオードを備えることを特徴として
いる。

（ハ）前記光制限部材が、一対のプリズムの貼り合わせ
面に前記反射部を成す金属膜と前記偏光分割部を成す偏
光膜とを形成したビームスプリッタ−を備えることを特
徴としている。

（ニ）前記対物光学系が、前記偏光変換部材と前記被検
面の間に前記円偏光光束を所定位置に集光する対物レン
ズ系を有し、前記光検出器か該所定位置と前記被検面と
の前記光軸方向に関する相対的な変位に応じた信号を出
力することを特徴としている。

（ホ）前記光検出器か前記光制限部材からの前記反射光
を集光するレンズ系と該レンズ系からの光を光電変換し
該光の入射位置に応した信号を出力するセンサーとを有
し、前記センサーと前記所定位置とか光学的に共役とな
るよう前記対物光学系を配置したことを特徴としている
。

（へ）前記光源の発光部と前記所定位置とか光学的に共
役となるよう前記対物光学系を配置したことを特徴とし
ている。

（実施例） 第１図は本発明の第１実施例の光学系の要部概略図であ
り、焦点検出装置を備えた顕微鏡（観察装置）を示して
いる。

同図において、１は光源で、ＬＥＤから成っており、波
長λ。の単色光又は波長λ。を中心とした拡がりを有す
る光束（中心波長λ。の準惟色光）を放射している。２
はコンデンサーレンズであり、光源１からの光束を集光
している。コンデンサーレンズ２は、光源１からの光束
の有効利用を図る為に設けてあり、またレンズ２を構成
するレンズ系の構成、配置を適宜定めてやることで、物
体９２への光源１の発光部の結像倍率を変更することも
できる。

３は直線偏光子（偏光板）てあり、コンデンサーレンズ
２からの光束を紙面内で振動する直線偏光光束１４に変
換している。４は光制限部材てあり、光軸に対して偏心
した光束を形成する。

第２図に、その拡大図を示す。部材４は、第２図に示す
ように、２つの直角プリズム２１．２２を貼り合わせて
構成されている。そして、これらの貼り合わせ面には、
光軸１１４近傍より片側の領域（反射部）２３に光源１
からの波長λ。の光束を殆んど反射せしめるＡ１、Ａｕ
、Ｃｕなとの金属膜か施され、又光軸１１４近傍より他
方の側の領域２４（偏光分割部）は第３図に示すような
Ｐ、Ｓ偏光に対する透過率と反射率の特性を備える偏光
膜か施されている。この偏光膜の偏光軸は、直線偏光光
束１４の偏光方向と一致しており、従って部材４に入射
した直線偏光光束１４は光軸１１４を境にした片側の領
域２４を通過して直線偏光光束１４と同し方向に偏光し
た直線偏光光束１５となって射出する。

尚、第３図において、曲線３１．３２は光源１からの波
長λ。の光束のｐ、ｓ両偏光成分に対する透過率、曲線
３３．３４は光源１からの波長λ０の光束のｓ、ｐ両偏
光成分に対する反射率をボしている。

第１図に戻り５はλ／４板（偏光変換部材）であり、直
線偏光子３の偏光軸に対して、その主軸を４５度傾けて
配置されている。λ／４板５は入射直線偏光光束１５を
円偏光光束１６に変換して射出せしめる。８はビームス
プリッタ−であり、偏光特性はなく、λ／４板５からの
光束（円偏光）を反射し、光軸に対して（中心光線か）
偏心している光束１８として対物レンズより成る結像光
学系９の光軸１１４に対して片側の一部の領域に入射さ
せている。対物レンズは複数個のレンズを並へたアセン
ブリである。９２は物体、６はコンデンサーレンズ、７
は光電変換素子てあり、２分割センサーから成っている
。

光制限部材４のプリズム２１の光入射面２１ａとプリズ
ム２２の光射出面２２ａとは各々平面で構成されており
、これらの面２１ａ、２２ａか光軸１１４と直交するよ
うに部材４か配置しである。また、プリズム２１とプリ
ズム２２の貼り合わせ面、つまり、領域２３と領域２４
か形成されている面は、光軸１１４に対して４５０を成
すように設定しである。

１０はテレビカメラであり、結像光学系９に対して物体
９２上の被検面が合焦している時にはその撮像面は結像
光学系９を介して物体９２の被検面と略共役関係にあり
、物体９２を観察している。

本実施例では、結像光学系９に対して物体９２の被検面
か合焦する時に、光源１の発光部と物体９２の被検面、
物体９２の被検面と充電変換素子７の受光面は各々互い
に略共役関係となるように装置を構成している。

本実施例では、光源１からの発散光束をコンデンサーレ
ンズ２て集光し、直線偏光子３により紙面内で振動する
直線偏光（Ｐ偏光）光束１４として光制限部材４に入射
させている。第２図に示す通り、部材４に入射した直線
偏光光束１４のうち、光軸１１４の近傍の境界線に対し
て一方の側の領域２３に入射した光束は金属膜で反射さ
れ、結像光学系９に対して遮光される。一方、光軸１１
４の近傍にある境界線に対して他方の側の領域２４に施
されている偏光膜は第３図の曲線３１に示すようにＰ偏
光を１００％近く透過させるので、直線偏光光束１４の
うち、この領域２４に入射した光束は殆んと領域２４を
通過し、λ／４板５に入射する。

＾／４板５に入射した直線偏光光束１５は、円偏光光束
１６としてλ／４板５から射出し、ど−ムスブリッタ−
８で反射せしめられて光軸１１４に対して偏心した光束
１８として結像光学系９に入射する。

このとき、第１１図で示したように、光束１８は結像光
学系９の瞳面１１１の光ｌ１ｌＩＩ１１１４より偏心し
た領域１１２を通過する。この領域１１２の形状は、光
制限部材４の領域２３と領域２４の形状と、そこに入射
する光束１４の断面形状に依存して変化する。従って、
例えば領域２４の形状を円形として、その周囲を領域２
４とすれば、結像光学系９の瞳面１１１での領域１１２
は、第１５図に示す如くなる。

結像光学系９は光束１８をテレビカメラの撮像面と略共
役な位置に集光し、例えば位置１１にある物体９２の被
検面上に光スポット（光源１１の像）を形成する。

物体９２に投光された光束１８は、物体９２の被検面て
反射せしめられて光軸１１４に関して投光時の光路とは
略対称の光路に沿って逆方向に進む光束１７となって、
結像光学系９に入射し、結像光学系９の光軸１１４に対
して光束１８か通過した領域とは対称な位置にある他の
領域を通過して、ビームスプリッタ−８に向けられビー
ムスプリッタ−８で反射され、λ／４板５に入射する。

λ／４板５に入射した光束１７は、λ／４板５により直
線偏光光束１５の偏光方向と直交した、紙面と垂直方向
に偏光した直線偏光（Ｓ偏光）光束となり、光制限部材
４に入射する。

光制限部材４に入射した直線偏光光束のうち、部材４の
領域２３に入射した光束は金属膜で反射しコンデンサー
レンズ６に入射する。又、部材４の領域２４に施されて
いる偏光膜は第３図の曲線３３に示すようにＳ偏光を１
００％近く反射させるので、この領域２４に入射する直
線偏光（Ｓ偏光）光束も、領域２４の偏光膜で反射して
コンデンサーレンズ６に入射する。コンデンサーレンズ
６は入射光束を集光して光電変換素子７の受光面上に光
スポットを形成する。光電変換素子７は入射光束を充電
変換して、物体７２の被検面の変位に応した信号Ａ、Ｂ
を出力する。

充電変換素子７からの出力信号Ａ、Ｂは、信号線を介し
て制御器１００に人力され、制御器１００は差信号Ａ−
Ｂに相当する信号を生成し、この信号に基づいて駆動装
置１０１を制御する。

駆動装置１０１は、制御器１００からの指令信号により
、物体９２の被検面上に結像光学系９からの光束かフォ
ーカスするように物体９２を結像光学系９の光軸方向に
上下動せしめる。また、制御器１０１は光源１の発光動
作の制御（ＯＮｌｏＦＦ）も行なう。

このとき、物体９２の被検面が位置１１にあれば、即ち
合焦位置にあれば、第４図に示すように、光束１７は、
主に光制限部材４の領域２３て反射し、光電変換素子７
の受光面上に、第１０図に示す光束１０４の如く入射し
、受光面上に鮮明な光スポットを形成する。

又、物体９２か位置１２（前ピン）にあれば、第５図に
示すように、光束１７は光制限部材４の領域２３て反射
し、充電変換素子７の受光面上に、第１０図に示す光束
１０６の如く入射し、受光面上に拡かった光スボ・ソト
を形成する。

方、物体９２か位置１３（後ピン）にあり、このときデ
イフォーカス量ΔＸか大きく、即ち第１０図に示すよう
に光電変換素子７から光束１７の結像位置１０５ａか大
きくすれてβ２２・ΔＸか大きくなってくると、第６図
に示すように光束１７は光制限部材４の手前の点１７ｂ
に結像した後、領域２３に殆と入射せす、領域２４に入
射するようになる。

このときの、光束１７は、前述したようにＳ偏光となっ
ているので、偏光膜で施されている領域２４て反射し、
第１０図に示すように、光束１０５として光電変換素子
７の受光面上に入射し、受光面上で拡かった光スポット
を形成する。

このように本実施例では、物体９２か前ピン方向、後ピ
ン方向で大きくデイフォーカスしていても、光束１７を
光電変換素子７上に入射させることがてきるようにして
いる。

この結果、充電変換素子７として第９図で示した従来と
同様の２分割センサーを用いた場合、デイフォーカス量
に対するセンサーＡからの出力信号ＡとセンサーＢから
の出力信号Ｂとの差信号Ａ−Ｂを、第１４図に示すよう
に、物体９２か従来の検出可能の最大デイフォーカス量
ΔＸ　ＭＡＸよりも更にデイフォーカスしていても検出
することかできる。

このように本実施例によれば、物体９２か広い範囲にわ
たってデイフォーカスしていても、高鯖度に焦点位置を
検出することかできる。

上記実施例では光源１としてＬＥＤを使用していたが、
光源１としてレーザーダイオード（半導体レーザ）を使
用してもいい。この場合、レーザーダイオードから射出
するレーザ光の偏光方向か光制限部材の偏光膜の偏光軸
と一致するように、レーザータイオードと光制限部材と
を配置することにより、偏光子３を取りはずすこともて
きる。

また、光源１からの光束の強度が大きい場合には、コン
デンサーレンズ２をとりはずすこともできるが、この時
にも、光源１の発光部の像か物体９２の近傍に形成され
るようにする必要はある。

また、場合によってはコンデンサーレンズ６をとりはず
した形で装置を構成することもてきる。

上記実施例では光源変換素子７として２分割センサーを
使用していたが、光源変換素子７として１次元ＣＣＤ、
２次元ＣＣＤ、或いはＰＳＤ（Ｐｏｓｉｔｉｏｎ　５ｅ
ｎｓｉｔｉｖｅ　Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）　　などが使用で
きる。

また、光制限部材４の構造も、上記実施例の如くブロッ
クのような部材に限定されない、例えば、透明平行平板
上に金属膜と偏光膜を互いに隣接せしめて形成したもの
でもいい。

また、結像光学系９に対して物体９２の被検面を合焦さ
せる場合、物体９２を上下動させる代りに、顕微鏡全体
また、光学系の一部（例えば光学系９）を動かすような
方式も採用される。

また、本発明の焦点検出装置を、顕微鏡なと観察装置に
搭載する場合には、上記実施例の如く人／４板５を部材
４とビームスプリッタ−８の間に配置するのが好ましい
が、他の光学機器に搭載する場合には、部材４と被検面
の間の任意の位置に設けることかできる。

上記実施例において、光制限部材４の一方の直角プリズ
ム２２の形状を変えて、例えば第７図に示すような底面
７３ａか光軸１１４に対して傾いた３角形状のプリズム
７３より構成しても良い。

このようにプリズム７３の底面７３ａか光電変換素子７
への光軸に対して直交しないように設定することにより
、領域２３の金属膜で反射せしめられた光束１４を領域
２４から離れる方向へ反対側に射出させている。これに
より領域２３て反射せしめられた光束がプリズム７３の
底面７３ａで反射して再び領域２３．２４に入射するの
を防止し、これらの光束が充電変換素子７にフレアーや
ゴースト光として入射するのを効果的に防止できる。

この他、上記実施例においては、第８図に示すように、
光制限部材４に直線偏光子３と人／４板５とを貼り合わ
せて、部材３，４．５を一体化して構成しても良い。こ
れによれば組立機構の簡素化を図ることができるので好
ましい。

（発明の効果） 本発明によれば結像光学系の焦点位置を検出する際に結
像光学系に偏心した光束を入射させる手段として前述し
たように直線偏光子、光学素子モして人／４板等の各要
素を適切に設定することにより、デイフォーカス量か大
きい広いデイフォーカス範囲にわたって高精度に焦点位
置の検出か出来る焦点検出装置を達成することかできる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例の光学系の要部概略図、第
２．第４．第５．第６図は第１図の光学素子に入射する
光束の説明図、第３図は第２図の光学素子の領域２４の
光学特性の説明図、第７゜第８図は各々本発明に係る光
学素子の他の一実施例の要部概略図、第９図は従来の焦
点検出装置の光学系の要部概略図、第１０図は第９図の
検出器に入射する光束の説明図、第１１図、第１５図は
第９図の結像光学系の瞳面上の光束の説明図、第１２図
は第９図の一部分の説明図、第１３゜第１４図はデイフ
ォーカス量と差信号との関係を示す説明図である。 図中、１は光源、２．６はコンデンサーレンズ、３は直
線偏光子、４は光学素子、５は人／４板、７は光電変換
素子、８はど一ムスブリ・ツタ−１９は結像光学系、１
０はテレビカメラ、９２は物体、１１１は結像光学系の
瞳面、１１４は光軸、１４．１５は直線偏光、１６は円
偏光、１７．１８は光束、１００は制御器、１０１は駆
動装置である。

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. （１）光源と、対物光学系と、該光源からの光の一部を
   遮光して該対物光学系の光軸に対して偏心した光束を該
   対物光学系に向ける光制限部材と、該対物光学系を介し
   て照明された被検面からの反射光を該対物光学系と該光
   制限部材とを介して検出する光検出器とを有し、該光検
   出器からの信号に基づいて該被検面の該光軸の方向に関
   する変位を検出する焦点検出装置において、前記光制限
   部材が前記光源からの光の一部を遮光する反射部と前記
   光束として直線偏光光束を前記対物光学系に向ける偏光
   分割部とを備え、前記対物光学系が該直線偏光光束を円
   偏光光束に変換すると共に前記反射光を該直線偏光光束
   と直交する方向に偏光した偏光光束に変換せしめる偏光
   変換部材を備え、前記偏光分割部と前記反射部で該偏光
   光束を前記光検出器へ反射せしめることを特徴とする焦
   点検出装置。
2. （２）前記光源が発光ダイオードを備えることを特徴と
   する請求項１記載の焦点検出装置。
3. （３）前記光源が、前記発光ダイオードからの光を集光
   して前記光制限部材に入射せしめるレンズ系と、前記発
   光ダイオードからの光の偏光方向を前記偏光分割部の偏
   光方位と一致せしめるべく前記発光ダイオードと前記光
   制限部材の間に設けた偏光板とを有することを特徴とす
   る請求項２記載の焦点検出装置。
4. （４）前記光源がレーザーダイオードを備えることを特
   徴とする請求項１記載の焦点検出装置。
5. （５）前記光制限部材が、一対のプリズムの貼り合わせ
   面に前記反射部を成す金属膜と前記偏光分割部を成す偏
   光膜とを形成したビームスプリッターを備えることを特
   徴とする請求項１記載の焦点検出装置。
6. （６）前記対物光学系が、前記偏光変換部材と前記被検
   面の間に前記円偏光光束を所定位置に集光する対物レン
   ズ系を有し、前記光検出器が該所定位置と前記被検面と
   の前記光軸方向に関する相対的な変位に応じた信号を出
   力することを特徴とする請求項１記載の焦点検出装置。
7. （７）前記光検出器が前記光制限部材からの前記反射光
   を集光するレンズ系と該レンズ系からの光を光電変換し
   該光の入射位置に応じた信号を出力するセンサーとを有
   することを特徴とする請求項６記載の焦点検出装置。
8. （８）前記センサーと前記所定位置とが光学的に共役と
   なるよう前記対物光学系を配置したことを特徴とする請
   求項７記載の焦点検出装置。
9. （９）前記光源の発光部と前記所定位置とが光学的に共
   役となるよう前記対物光学系を配置したことを特徴とす
   る請求項８記載の焦点検出装置。
10. （１０）請求項１〜９のいずれか１項に記載の焦点検出
    装置を備えた観察装置。