JPH046115B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH046115B2 JPH046115B2 JP56150503A JP15050381A JPH046115B2 JP H046115 B2 JPH046115 B2 JP H046115B2 JP 56150503 A JP56150503 A JP 56150503A JP 15050381 A JP15050381 A JP 15050381A JP H046115 B2 JPH046115 B2 JP H046115B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum
- layer
- electroplated
- manufacturing
- printed wiring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/05—Insulated conductive substrates, e.g. insulated metal substrate
- H05K1/053—Insulated conductive substrates, e.g. insulated metal substrate the metal substrate being covered by an inorganic insulating layer
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/03—Conductive materials
- H05K2201/032—Materials
- H05K2201/0323—Carbon
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/03—Metal processing
- H05K2203/0315—Oxidising metal
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/44—Manufacturing insulated metal core circuits or other insulated electrically conductive core circuits
- H05K3/445—Manufacturing insulated metal core circuits or other insulated electrically conductive core circuits having insulated holes or insulated via connections through the metal core
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Insulated Metal Substrates For Printed Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、導電材料より成りアルミニウムアル
マイト層を備えたプリント配線基板の製造方法に
関する。
マイト層を備えたプリント配線基板の製造方法に
関する。
半導体技術および電子回路に対して提供されて
いるガラス繊維強化形エポキシ樹脂プリント配線
基板、また絶縁性ワニス層もしくはプラスチツク
層を有する熱良導性金属から成るプリント配線基
板、あるいは酸化アルミニウムセラミツクプリン
ト配線基板は、しばしば、それらに課された要
求、特に機械的強さ、熱放散、あるいは難燃性に
関する要求を必ずしも満たさない。
いるガラス繊維強化形エポキシ樹脂プリント配線
基板、また絶縁性ワニス層もしくはプラスチツク
層を有する熱良導性金属から成るプリント配線基
板、あるいは酸化アルミニウムセラミツクプリン
ト配線基板は、しばしば、それらに課された要
求、特に機械的強さ、熱放散、あるいは難燃性に
関する要求を必ずしも満たさない。
冷却もしくは熱除去は、空気送風器によつて、
局部的に非常に異なつて作用する最大まず3m/
s、その後6m/sも可能な流速で、ガラス繊維
強化形エポキシ樹脂プリント配線基板上の、補助
的な冷却体の設けられている電子モジユールの表
面を強制通風するやり方では、まつたく不十分で
あり、かつ費用がかかりすぎる。ジユール熱(損
失エネルギー)を導出するための水冷式の平形構
造モジユールも同様に、ユニツトごとに2Wまで
放出する構成要素を70℃以下に保つためには、信
頼性および安全性に関して満足なものではない。
というのは、冷却システムのほんの短時間のある
いは局部的な機能停止も、電子回路システムの機
能にとり返しのつかない損害を与えたり、あるい
はそれどころか全体の機能停止を惹き起したりす
るからである。
局部的に非常に異なつて作用する最大まず3m/
s、その後6m/sも可能な流速で、ガラス繊維
強化形エポキシ樹脂プリント配線基板上の、補助
的な冷却体の設けられている電子モジユールの表
面を強制通風するやり方では、まつたく不十分で
あり、かつ費用がかかりすぎる。ジユール熱(損
失エネルギー)を導出するための水冷式の平形構
造モジユールも同様に、ユニツトごとに2Wまで
放出する構成要素を70℃以下に保つためには、信
頼性および安全性に関して満足なものではない。
というのは、冷却システムのほんの短時間のある
いは局部的な機能停止も、電子回路システムの機
能にとり返しのつかない損害を与えたり、あるい
はそれどころか全体の機能停止を惹き起したりす
るからである。
比較的高価な酸化アルミニウムセラミツクプリ
ント配線基板はなるほど導体路基台としてほぼ25
×50mmのプリント配線基板サイズまで使用可能で
あるが、大きなサイズにおいてはその使用は特に
機械的強度が小さすぎること(壊れ易さ)および
平担性の不足のために非常に制約されている。酸
化アルミニウムセラミツクより成る大形プリント
配線基板の使用は大抵コストの点で失敗してい
る。
ント配線基板はなるほど導体路基台としてほぼ25
×50mmのプリント配線基板サイズまで使用可能で
あるが、大きなサイズにおいてはその使用は特に
機械的強度が小さすぎること(壊れ易さ)および
平担性の不足のために非常に制約されている。酸
化アルミニウムセラミツクより成る大形プリント
配線基板の使用は大抵コストの点で失敗してい
る。
絶縁性ワニス層もしくはプラスチツク層で覆わ
れた熱良導性金属より成る穴付きおよび穴無し基
板について実験したところによると、同様に多数
の欠点が示されている。すなわち、ワニス層はと
りわけ穴縁のところでは薄すぎ、小さな穴はワニ
スあるいはプラスチツクで塞がれ、そしてプラス
チツク粉末コーテイングの場合には膜が厚くなり
すぎ、しかもこの膜は穴においては矩形状の代わ
りにじようご形に陥没する。絶縁ワニスおよびプ
ラスチツクの熱伝導率が特に悪いために、厚い膜
は局部的な熱除去現象にとつて特に不利に作用す
る。最後に、ワニス表面あるいはプラスチツク表
面への導体路用金属層の大きな付着力問題が付け
加わる。
れた熱良導性金属より成る穴付きおよび穴無し基
板について実験したところによると、同様に多数
の欠点が示されている。すなわち、ワニス層はと
りわけ穴縁のところでは薄すぎ、小さな穴はワニ
スあるいはプラスチツクで塞がれ、そしてプラス
チツク粉末コーテイングの場合には膜が厚くなり
すぎ、しかもこの膜は穴においては矩形状の代わ
りにじようご形に陥没する。絶縁ワニスおよびプ
ラスチツクの熱伝導率が特に悪いために、厚い膜
は局部的な熱除去現象にとつて特に不利に作用す
る。最後に、ワニス表面あるいはプラスチツク表
面への導体路用金属層の大きな付着力問題が付け
加わる。
本発明の目的は、前述のような欠点を持たず、
熱放散が良好で動作温度が低く、したがつて機能
上の高信頼性および高寿命を保証し、かつ高い機
械的強度、良好な平坦性および表面の良好な腐食
保護が得られ、しかも確実なアースおよびシール
ド並びに良好な電気磁気的調和を有するプリント
配線基板を簡単に得ることのできる製造方法を提
供することにある。
熱放散が良好で動作温度が低く、したがつて機能
上の高信頼性および高寿命を保証し、かつ高い機
械的強度、良好な平坦性および表面の良好な腐食
保護が得られ、しかも確実なアースおよびシール
ド並びに良好な電気磁気的調和を有するプリント
配線基板を簡単に得ることのできる製造方法を提
供することにある。
上述の目的を達成するため、本発明の製造方法
においては、導電材料からなり1〜5mmの厚さの
心板上に電気めつきアルミニウム層を設け、この
電気めつきアルミニウム層の陽極酸化により10〜
80μmの厚さのアルミニウム電気めつきアルマイ
ト層を生成するものである。
においては、導電材料からなり1〜5mmの厚さの
心板上に電気めつきアルミニウム層を設け、この
電気めつきアルミニウム層の陽極酸化により10〜
80μmの厚さのアルミニウム電気めつきアルマイ
ト層を生成するものである。
心板上に銅または銀のような導電性材料よりな
り、厚さ0.1〜2μm程度の中間層を設けることも
できる。
り、厚さ0.1〜2μm程度の中間層を設けることも
できる。
心板として穴を有するものを使用することがで
き、また心板の材料としては、鉄、アルミニウム
又は非鉄金属、導電性炭素又はグラフアイトなど
を用いることができる。
き、また心板の材料としては、鉄、アルミニウム
又は非鉄金属、導電性炭素又はグラフアイトなど
を用いることができる。
アルミニウム電気めつきアルマイト層にアデイ
テイブ法又はサブトラクテイブ法によつて導体路
パターンを形成することができる。
テイブ法又はサブトラクテイブ法によつて導体路
パターンを形成することができる。
本発明により得られるプリント配線基板は熱良
導性であり、それゆえ損失エネルギーによつて生
じる電子モジユールのジユール熱を迅速に排出す
ることが可能である。熱除去が迅速に行なわれる
ことにより、半導体技術および産業用電子回路に
おいて使用されている電気および電子部品は低い
動作温度で働くことができるようになり、このこ
とによつてその機能上の信頼性が高められるばか
りでなく、その寿命も高められる。電気伝導性心
により、本発明により得られるプリント配線基板
は確実なアースおよびシールドも可能であり、こ
れらはアルミニウム電気めつきアルマイトコーテ
イングの非磁気特性の使用のもとに非常に良好な
電気磁気的調和(EMV特性)を生じる。本発明
により得られるプリント配線基板は良好な平坦性
と結び付いた高い機械的強さを有する。その平坦
性は、とりわけ測定・制御および調節技術におい
て必要であるような、たとえば340×360mmのよう
な大形プリント配線基板サイズにおいても十分得
られる。さらに、アルミニウム電気めつきアルマ
イトの独特な表面性質、すなわち電気絶縁性、絶
縁ワニスおよび接着剤ならびに金属コーテイング
および非金属コーテイングに対する優れた付着
地、任意の着色性および捺染性、高い表面硬さお
よび耐摩耗性、良好な熱伝導率ならびに大気中諸
成分に対する優れた腐食保護特性のような、独特
の表面性質は非常に有利である。本発明により得
られるプリント配線基板はさらに不燃性である。
導性であり、それゆえ損失エネルギーによつて生
じる電子モジユールのジユール熱を迅速に排出す
ることが可能である。熱除去が迅速に行なわれる
ことにより、半導体技術および産業用電子回路に
おいて使用されている電気および電子部品は低い
動作温度で働くことができるようになり、このこ
とによつてその機能上の信頼性が高められるばか
りでなく、その寿命も高められる。電気伝導性心
により、本発明により得られるプリント配線基板
は確実なアースおよびシールドも可能であり、こ
れらはアルミニウム電気めつきアルマイトコーテ
イングの非磁気特性の使用のもとに非常に良好な
電気磁気的調和(EMV特性)を生じる。本発明
により得られるプリント配線基板は良好な平坦性
と結び付いた高い機械的強さを有する。その平坦
性は、とりわけ測定・制御および調節技術におい
て必要であるような、たとえば340×360mmのよう
な大形プリント配線基板サイズにおいても十分得
られる。さらに、アルミニウム電気めつきアルマ
イトの独特な表面性質、すなわち電気絶縁性、絶
縁ワニスおよび接着剤ならびに金属コーテイング
および非金属コーテイングに対する優れた付着
地、任意の着色性および捺染性、高い表面硬さお
よび耐摩耗性、良好な熱伝導率ならびに大気中諸
成分に対する優れた腐食保護特性のような、独特
の表面性質は非常に有利である。本発明により得
られるプリント配線基板はさらに不燃性である。
ガラス繊維強化形エポキシ樹脂基板およびセラ
ミツク基板に比較して穴明け工具を僅かに消耗さ
せるだけである金属板の製作容易性および機械的
な加工性は、寸法安定性および老化現象のないこ
とと同じく、本発明により得られるプリント配線
基板に役に立つている。
ミツク基板に比較して穴明け工具を僅かに消耗さ
せるだけである金属板の製作容易性および機械的
な加工性は、寸法安定性および老化現象のないこ
とと同じく、本発明により得られるプリント配線
基板に役に立つている。
穴付き又は穴無しで特に厚さ1〜2mmの本発明
による良熱放散性のプリント配線基板の金属心
は、機械的に強い熱良導性金属、たとえば銅、ア
ルミニウム、鉄、チタンおよび非鉄金属から成
り、特別な場合には、銀、あるいは同様に熱およ
び電気伝導性グラフアイトあるいは炭素から成
る。
による良熱放散性のプリント配線基板の金属心
は、機械的に強い熱良導性金属、たとえば銅、ア
ルミニウム、鉄、チタンおよび非鉄金属から成
り、特別な場合には、銀、あるいは同様に熱およ
び電気伝導性グラフアイトあるいは炭素から成
る。
次に本発明を図面について説明する。
第1図は穴あけされたプリント配線基板1の鉄
製心板2を示し、この鉄製心板2は50μmの厚さ
のアルミニウム電気めつきアルマイト層3と5μm
の厚さのポリイミド層4とによつて覆われてい
る。
製心板2を示し、この鉄製心板2は50μmの厚さ
のアルミニウム電気めつきアルマイト層3と5μm
の厚さのポリイミド層4とによつて覆われてい
る。
第2図によれば、鉄製心板2は0.5μmの厚さの
銅中間層5によつて覆われており、この銅中間層
5上にはアルミニウム電気めつきアルマイト層3
と絶縁ワニス層4とが形成されている。導体路パ
ターンは符号7で示されている。
銅中間層5によつて覆われており、この銅中間層
5上にはアルミニウム電気めつきアルマイト層3
と絶縁ワニス層4とが形成されている。導体路パ
ターンは符号7で示されている。
本発明による熱放散形プリント配線基板は、た
とえば0.8〜12mmの直径の穴が設けられて平面研
摩された、(DIN電気めつき規格に基づく)表面
品質等級04および05の1〜5mmの厚さの鉄製心板
から切取られ、チタンフレームに点接触で固定さ
れるかあるいは引張フツクを介して掛けられそし
て接触形成され、その後表面処理され、そして次
のアルミニウム電気めつきコーテイングが設けら
れる。その方法は例えばドイツ連邦共和国第
1496993号、第2122610号、第2260191号、第
2537256号、第2716805号、第2166843号明細書、
およびドイツ連邦共和国特許出願公開第2453830
号、第2453829号明細書に記述されている。
とえば0.8〜12mmの直径の穴が設けられて平面研
摩された、(DIN電気めつき規格に基づく)表面
品質等級04および05の1〜5mmの厚さの鉄製心板
から切取られ、チタンフレームに点接触で固定さ
れるかあるいは引張フツクを介して掛けられそし
て接触形成され、その後表面処理され、そして次
のアルミニウム電気めつきコーテイングが設けら
れる。その方法は例えばドイツ連邦共和国第
1496993号、第2122610号、第2260191号、第
2537256号、第2716805号、第2166843号明細書、
およびドイツ連邦共和国特許出願公開第2453830
号、第2453829号明細書に記述されている。
アルミニウム電気めつきコーテイングの特に利
点とするところは、非プロント性のアルミニウム
浴の良好な超均一電着性のために、十分に一様な
コーテイングが表面ならびに穴壁内に得られるこ
とである。このことは、絶縁性のアルミニウム電
気めつきアルマイトになるアルミニウム電気めつ
きを続いて陽極酸化するための基本的な前提であ
る。
点とするところは、非プロント性のアルミニウム
浴の良好な超均一電着性のために、十分に一様な
コーテイングが表面ならびに穴壁内に得られるこ
とである。このことは、絶縁性のアルミニウム電
気めつきアルマイトになるアルミニウム電気めつ
きを続いて陽極酸化するための基本的な前提であ
る。
陽極酸化のためには、それ自身公知の陽極酸化
浴、たとえばGS,GSX,GX陽極酸化浴あるい
は硬質陽極酸化浴を使用することができる。それ
により、心板の電気絶縁性でかつ同時に熱良導性
の被層が得られ、この被層は4000N/mm2HV以上
の特に高い硬さ、耐摩耗性、および大気中諸成分
に対する高い抵抗性といつた点で優れている。こ
のようにして作られたアルミニウム電気めつきア
ルマイト層は、沸騰された脱イオン化水または蒸
留水中、もしくは過熱水蒸気中で30〜60分間濃縮
され、それにより特に耐腐食性にされるかあるい
は薄い絶縁ワニス膜によつて覆われる。
浴、たとえばGS,GSX,GX陽極酸化浴あるい
は硬質陽極酸化浴を使用することができる。それ
により、心板の電気絶縁性でかつ同時に熱良導性
の被層が得られ、この被層は4000N/mm2HV以上
の特に高い硬さ、耐摩耗性、および大気中諸成分
に対する高い抵抗性といつた点で優れている。こ
のようにして作られたアルミニウム電気めつきア
ルマイト層は、沸騰された脱イオン化水または蒸
留水中、もしくは過熱水蒸気中で30〜60分間濃縮
され、それにより特に耐腐食性にされるかあるい
は薄い絶縁ワニス膜によつて覆われる。
濃縮させる前に、ガラスのように透き通つた透
明なアルミニウム電気めつきアルマイト層は、そ
の独特な微細構造によつて、着色により任意に特
徴付けることができるかあるいは捺染により輪郭
をはつきりつけることができ、そしてそのように
して特色付けることができ、又多色性にもなる。
たとえば、珪酸、Cr2O3,TiO2,Al2O3等の非導
電性かつ絶縁性の材料を埋込むことによつても、
その絶縁値を改善することができる。
明なアルミニウム電気めつきアルマイト層は、そ
の独特な微細構造によつて、着色により任意に特
徴付けることができるかあるいは捺染により輪郭
をはつきりつけることができ、そしてそのように
して特色付けることができ、又多色性にもなる。
たとえば、珪酸、Cr2O3,TiO2,Al2O3等の非導
電性かつ絶縁性の材料を埋込むことによつても、
その絶縁値を改善することができる。
本発明により得られる熱放散形プリント配線基
板は、構成素子を高い実装密度を有するユニツト
に有利に使用することができる。本発明により得
られるプリント配線基板は、1つの基板ユニツト
上で弱電流用構成素子と大電流構成素子とを組合
わせることが必要な産業用エレクトロニクスに使
用するのに特に適している。
板は、構成素子を高い実装密度を有するユニツト
に有利に使用することができる。本発明により得
られるプリント配線基板は、1つの基板ユニツト
上で弱電流用構成素子と大電流構成素子とを組合
わせることが必要な産業用エレクトロニクスに使
用するのに特に適している。
次に本発明の具体例を詳細に説明する。
例 1
a) アルミニウム電気めつきアルマイトコーテ
イングの製作 直径1.2mmの穴を有する厚さ2mmの鉄板
(UST1203)がチタンフレーム(物品台)に狭
い方の縁によつて4個所のチタン点接触で固定
され、かつ同時に接触形成される。鉄板の寸法
は340×340mmの大きさである。表面処理するた
めに、板はフレームともども酸性エツチング浴
(ベルリン市のSchering社の商品名TRINORM
“Fe” )中でエツチングされ、流水中で洗浄
され、そしてプレ銅めつき材を有する脱脂浴中
で全面に0.4μmの銅層が被層される。水洗後、
プレ銅めつきされた鉄板はテトラクロルエチレ
ン蒸気浴中で脱水されそして乾燥され、トルエ
ン中で洗浄され、さらにトルエンで湿らされさ
れたままでアルミニウム電気めつき浴中に沈め
られる。
イングの製作 直径1.2mmの穴を有する厚さ2mmの鉄板
(UST1203)がチタンフレーム(物品台)に狭
い方の縁によつて4個所のチタン点接触で固定
され、かつ同時に接触形成される。鉄板の寸法
は340×340mmの大きさである。表面処理するた
めに、板はフレームともども酸性エツチング浴
(ベルリン市のSchering社の商品名TRINORM
“Fe” )中でエツチングされ、流水中で洗浄
され、そしてプレ銅めつき材を有する脱脂浴中
で全面に0.4μmの銅層が被層される。水洗後、
プレ銅めつきされた鉄板はテトラクロルエチレ
ン蒸気浴中で脱水されそして乾燥され、トルエ
ン中で洗浄され、さらにトルエンで湿らされさ
れたままでアルミニウム電気めつき浴中に沈め
られる。
非プロトン性で、無酸素かつ無水の、アルミ
ニウム有機の錯塩電解液溶媒中におけるアルミ
ニウム電気めつきコーテイングのために、裸の
金属板の備えられた陰極台が、トルエン又はキ
シロールで湿らされて、アルミニウム電気めつ
き装置の不活性ガス(N2またはAr)で満たさ
れた堰を介して、トルエンで希釈された電解液
中に沈められ、そして、陰極および電解液を運
動させながら、80〜100℃に加熱された浴中で
アルミニウム電気めつきコーテイングを開始す
る。基板金属および後で必要なアルミニウム電
気めつきアルマイト層の厚さに応じて、50μm
の厚さのアルミニウム電気めつきが全面(但し
所望の場合には、あるいは充分である場合には
片面)に均等に析出される。続いて異論のない
陽極酸化を可能にするために、アルミニウム電
気めつき電解液の良好な微分散性のおかげで穴
内壁も同様に十分良くかつ厚くアルミニウム電
気めつきによつてコーテイングされることがプ
リント配接基板において非常に重要なことであ
る。このため陰極の運動および電解液攪拌によ
つて、穴通路への良好な通流が惹き起こされな
ければならない。時間当り10〜20μmあるいは
それ以上のアルミニウムの析出率を保証するた
めに、電解液の運動は適用可能な陰極電流密度
のためにも決定的である。所望の厚さの電気め
つきアルミニウム層が析出した後、陰極フレー
ムは電気めつきでアルミニウムを被せられた金
属板と共に前述のアルミニウム電気めつき装置
の堰内に上げられ、そこで不活性ガスの下でト
ルエンによる噴射洗浄が行なわれ、その後備付
けられた陰極台が堰から取出される。エツチン
グ用腐食液浴、たとえば商品名TRINORM
“Al” 内に短時間浸漬することにより、残留
電解液および加水分解生成物は溶解され、そし
て流水中での洗浄後、銀のように輝きつやのな
くてまぶしくないアルミニウム電気めつきコー
テイングが得られる。
ニウム有機の錯塩電解液溶媒中におけるアルミ
ニウム電気めつきコーテイングのために、裸の
金属板の備えられた陰極台が、トルエン又はキ
シロールで湿らされて、アルミニウム電気めつ
き装置の不活性ガス(N2またはAr)で満たさ
れた堰を介して、トルエンで希釈された電解液
中に沈められ、そして、陰極および電解液を運
動させながら、80〜100℃に加熱された浴中で
アルミニウム電気めつきコーテイングを開始す
る。基板金属および後で必要なアルミニウム電
気めつきアルマイト層の厚さに応じて、50μm
の厚さのアルミニウム電気めつきが全面(但し
所望の場合には、あるいは充分である場合には
片面)に均等に析出される。続いて異論のない
陽極酸化を可能にするために、アルミニウム電
気めつき電解液の良好な微分散性のおかげで穴
内壁も同様に十分良くかつ厚くアルミニウム電
気めつきによつてコーテイングされることがプ
リント配接基板において非常に重要なことであ
る。このため陰極の運動および電解液攪拌によ
つて、穴通路への良好な通流が惹き起こされな
ければならない。時間当り10〜20μmあるいは
それ以上のアルミニウムの析出率を保証するた
めに、電解液の運動は適用可能な陰極電流密度
のためにも決定的である。所望の厚さの電気め
つきアルミニウム層が析出した後、陰極フレー
ムは電気めつきでアルミニウムを被せられた金
属板と共に前述のアルミニウム電気めつき装置
の堰内に上げられ、そこで不活性ガスの下でト
ルエンによる噴射洗浄が行なわれ、その後備付
けられた陰極台が堰から取出される。エツチン
グ用腐食液浴、たとえば商品名TRINORM
“Al” 内に短時間浸漬することにより、残留
電解液および加水分解生成物は溶解され、そし
て流水中での洗浄後、銀のように輝きつやのな
くてまぶしくないアルミニウム電気めつきコー
テイングが得られる。
アルミニウム電気めつきアルマイトになるア
ルミニウム電気めつきの陽極酸化は、GSX陽
極酸化浴内で直接引続いて行なわれる。銅、
鉄、非鉄金属ならびに銀材料製金属心板の場合
は、成長するアルミニウム電気めつきの多かれ
少なかれ大きな層部分のみがアルミニウム電気
めつきアルマイトに変えられる。一方、アルミ
ニウムおよびチタン材料の場合には、すべての
アルミニウム電気めつきおよび望ましい場合に
は板材料の一部分もアルミニウム電気めつきア
ルマイトに陽極酸化される。それは60μmの大
きさである。それは非常に硬くかつ適当に耐摩
耗性であり、そして沸騰された脱イオン化水中
で引続いて30〜60分間濃縮される。このように
して、特に高い絶縁耐力が得られ、この絶縁耐
力は、必要な場合には、薄いポリイミド製の補
助の絶縁ワニス膜によつて高めることができ
る。
ルミニウム電気めつきの陽極酸化は、GSX陽
極酸化浴内で直接引続いて行なわれる。銅、
鉄、非鉄金属ならびに銀材料製金属心板の場合
は、成長するアルミニウム電気めつきの多かれ
少なかれ大きな層部分のみがアルミニウム電気
めつきアルマイトに変えられる。一方、アルミ
ニウムおよびチタン材料の場合には、すべての
アルミニウム電気めつきおよび望ましい場合に
は板材料の一部分もアルミニウム電気めつきア
ルマイトに陽極酸化される。それは60μmの大
きさである。それは非常に硬くかつ適当に耐摩
耗性であり、そして沸騰された脱イオン化水中
で引続いて30〜60分間濃縮される。このように
して、特に高い絶縁耐力が得られ、この絶縁耐
力は、必要な場合には、薄いポリイミド製の補
助の絶縁ワニス膜によつて高めることができ
る。
b) アデイテイブ法による導体路パターンの製
作 得られたアルミニウム電気めつきアルマイト
表面には、公知のホトレジスト技術によつて、
所望の導体路パターンが設けられる。硬化され
ていないレジスト面の剥離後にむき出しにされ
る表面領域(導体路パターン)は無電解銅また
はニツケル浴(化学的銅めつきまたはニツケル
めつき)によつてコーテイングされ、そして僅
か2〜3μmの厚さしかない金属層は電気めつき
用銅浴中で厚くされる。良好なろう付性を得る
ために、導体路パターンは全部あるいは部分的
に錫めつきされる。最後に、残りの硬化された
ホトレジスト膜は除去される。
作 得られたアルミニウム電気めつきアルマイト
表面には、公知のホトレジスト技術によつて、
所望の導体路パターンが設けられる。硬化され
ていないレジスト面の剥離後にむき出しにされ
る表面領域(導体路パターン)は無電解銅また
はニツケル浴(化学的銅めつきまたはニツケル
めつき)によつてコーテイングされ、そして僅
か2〜3μmの厚さしかない金属層は電気めつき
用銅浴中で厚くされる。良好なろう付性を得る
ために、導体路パターンは全部あるいは部分的
に錫めつきされる。最後に、残りの硬化された
ホトレジスト膜は除去される。
例 2
例1で示した製作方法a)に基づいて製作され
たアルミニウム電気めつきアルマイトコーテイン
グ付き金属心入りプリント配線基板上には、導体
路パターンが次に示すようにサブトラクテイブ法
に基づいて製作される。
たアルミニウム電気めつきアルマイトコーテイン
グ付き金属心入りプリント配線基板上には、導体
路パターンが次に示すようにサブトラクテイブ法
に基づいて製作される。
b) サブトラクテイブ法による導体路の製作
このために、アルミニウム電気めつきアルマイ
ト表面はまず全面が無電解で銅めつきされる。僅
か2〜3μmの厚さの銅層は引続いて電気めつき用
銅浴中で15〜35μmまで厚くされる。その後、公
知のホトレジスト技術によつて所望の導体路パタ
ーンが作られる。露光した後、導体路は露出させ
られ、そしてむき出しの銅表面が電気的に錫めつ
きされる。最後に、残つているレジスト薄膜は剥
離され、そして露出された銅はエツチング除去さ
れ、その結果錫めつきされた導体路およびランド
はアルミニウム電気めつきアルマイト表面上に単
独で残される。
ト表面はまず全面が無電解で銅めつきされる。僅
か2〜3μmの厚さの銅層は引続いて電気めつき用
銅浴中で15〜35μmまで厚くされる。その後、公
知のホトレジスト技術によつて所望の導体路パタ
ーンが作られる。露光した後、導体路は露出させ
られ、そしてむき出しの銅表面が電気的に錫めつ
きされる。最後に、残つているレジスト薄膜は剥
離され、そして露出された銅はエツチング除去さ
れ、その結果錫めつきされた導体路およびランド
はアルミニウム電気めつきアルマイト表面上に単
独で残される。
第1図および第2図は本発明により得られたプ
リント配線基板のそれぞれ異なる例の要部断面斜
視図である。 1,6……プリント配線基板、2……心、3…
…アルミニウム電気めつきアルマイト層、4……
絶縁ワニス層、5……銅中間層、7……導体路パ
ターン。
リント配線基板のそれぞれ異なる例の要部断面斜
視図である。 1,6……プリント配線基板、2……心、3…
…アルミニウム電気めつきアルマイト層、4……
絶縁ワニス層、5……銅中間層、7……導体路パ
ターン。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 導電材料からなり1〜5mmの厚さの心板上に
電気めつきアルミニウム層を設け、この電気めつ
きアルミニウム層の陽極酸化により10〜80μmの
厚さのアルミニウム電気めつきアルマイト層を生
成することを特徴とするプリント配線基板の製造
方法。 2 穴を有する心板を使用することを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載の製造方法。 3 心板上に銅または銀より成る厚さ0.1〜2μm
の層を形成することを特徴とする特許請求の範囲
第1項または第2項記載の製造方法。 4 鉄、アルミニウム又は非鉄金属から成る心板
を使用することを特徴とする特許請求の範囲第1
項ないし第3項のいずれか1項に記載の製造方
法。 5 導電性炭素又はグラフアイトから成る心板を
使用することを特徴とする特許請求の範囲第1項
ないし第3項のいずれか1項に記載の製造方法。 6 アルミニウム電気めつきアルマイト層にアデ
イテイブ法によつて導体路パターンを形成するこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項ないし第5
項のいずれか1項に記載の製造方法。 7 アルミニウム電気めつきアルマイト層にサブ
トラクテイブ法によつて導体路パターンを形成す
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項ないし
第5項のいずれか1項に記載の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19803035749 DE3035749A1 (de) | 1980-09-22 | 1980-09-22 | Waermeableitende leiterplatten |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5788793A JPS5788793A (en) | 1982-06-02 |
| JPH046115B2 true JPH046115B2 (ja) | 1992-02-04 |
Family
ID=6112581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56150503A Granted JPS5788793A (en) | 1980-09-22 | 1981-09-22 | Heat dissipating type printed circuit board |
Country Status (4)
| Country | Link |
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| US (1) | US4495378A (ja) |
| EP (1) | EP0048406B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5788793A (ja) |
| DE (2) | DE3035749A1 (ja) |
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