JPH0462660B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0462660B2
JPH0462660B2 JP60248781A JP24878185A JPH0462660B2 JP H0462660 B2 JPH0462660 B2 JP H0462660B2 JP 60248781 A JP60248781 A JP 60248781A JP 24878185 A JP24878185 A JP 24878185A JP H0462660 B2 JPH0462660 B2 JP H0462660B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photosensitive resin
water
acid
polyvinyl alcohol
ion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP60248781A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS62109040A (ja
Inventor
Masanori Fukunaga
Tsutomu Shirosaki
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Kayaku Co Ltd
Original Assignee
Nippon Kayaku Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Kayaku Co Ltd filed Critical Nippon Kayaku Co Ltd
Priority to JP60248781A priority Critical patent/JPS62109040A/ja
Publication of JPS62109040A publication Critical patent/JPS62109040A/ja
Publication of JPH0462660B2 publication Critical patent/JPH0462660B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
    • G03F7/0007Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/038Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
    • G03F7/0388Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable with ethylenic or acetylenic bands in the side chains of the photopolymer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野 本発明は感光性樹脂組成物に関し更に詳しくは
固体撮像素子又はカラー液晶表示装置等に使用さ
れるカラーフイルター用感光性樹脂組成物に関す
る。 従来の技術 VTR用カメラとして需要の大きいカラー固体
撮像素子(例えばCCD,CID,BBD,MOSFET
方式等の撮像IC)及び軽量化、薄型化の趨勢で
CRT方式からの転換が進みつつあるカラー液晶
表示装置等に用いられるカラーフイルターは、2
種以上の色相に着色された微細な領域を固体撮像
素子あるいは透明基板上に設けることによつて形
成されている。そして2種以上の色に着色される
べき微細な基質膜を形成する為には微細なパター
ンを形成しやすく又着色が比較的容易であるとい
う理由から感光性樹脂が用いられる。例えばゼラ
チン、ガゼイン等の蛋白質あるいはポリビニルア
ルコール、ポリビニルピロリドン等の親水性樹脂
に感光材としての重クロム酸アンモニウム、ジア
ゾ化合物等を添加した感光性樹脂を透明基板上に
塗布しその上に所定形状の開口パターンを有する
マスクを介して紫外線を照射して露光部分を光硬
化せしめ、現像処理を経て所定のパターンを形成
せしめたあとこれを水溶性染料等で染色するとい
う操作を染料を変えて2回以上くりかえして2種
以上の色相に着色された微細なパターンを有する
透明な基板等が製造されている。 しかしこのような重クロム酸塩やジアゾ化合物
を感光材として用いる方法は廃液処理上に問題が
あつたりゼラチンを用いる場合にはこれが天然物
であるためその品質が一定せず着色性等にむらが
生じやすいというような欠点があつた。このよう
な欠点を改善するために式 (式中、Rは水素原子、アルキル基又は低級ヒド
ロキシアルキル基を示し、X は強酸の陰イオン
を示す) で示される感光性樹脂が提案されたがこのものは
光に対する感度は良好で、重クロル酸塩のような
取扱いの面倒な薬剤を使用しないというものの染
色性殊に緑系水溶性染料による染着性がよくない
という欠点があつた。最近に至りこのような欠点
を改善すべく式 (但し、式中のRはアミノアルキル基、R′はメ
チル基又はエチル基、Xは塩素、臭素、ヨウ素、
過塩素酸、酢酸、メチル硫酸、硫酸、硝酸又はp
−トリエンスルホン酸のイオン、l,m,nは任
意の整数を示す) で示される感光性樹脂の使用が提案された(特開
昭60−29740) 発明が解決しようとする問題点 前記特開昭60−29740において開示された感光
性樹脂は染色性の改善には成功したというものの
次のような欠点を有することが明らかになつた。 (1) 光硬化された樹脂の耐熱性が十分でない。 (2) ポリビニルアルコールに染色基
【式】と感光基
【式】を反応 されなければならぬという製造上の煩雑さ。 (3) 染色基と感光基が適性に配置されていないと
染色性及び感光性にすぐれた感光性樹脂がえら
れないがそのような分子構造を設計する上での
煩雑さ。 問題点を解決するための手段 本発明者らは前記したような欠点を解決するた
めに鋭意検討を重ねた結果本発明に至つたもので
ある。即ち本発明は式 〔式()においてXは
【式】又は
【式】 (これらの式中R3は水素原子又はアルキル基を
A はハロゲンイオン、硫酸イオン、リン酸イオ
ン、p−トリエンスルホン酸イオン、メチル硫酸
イオン又はヒドロキシイオンを表す)を、n、m
及びlは任意の整数を表す。但しn+m+lは
400〜3000でありn+lに占めるlの割合は0.2〜
10%、n+m+lに占めるn+lの割合は75%以
上であるものとする。 で表されるポリビニルアルコール誘導体()と
水溶性ナイロン、ポリビニルピロリドン、親水性
又は疏水性のモノマーと含窒素モノマーからなる
共重合体又はその塩から選ばれる親水性ポリマー
()を含有することを特徴とする感光性樹脂組
成物を提供する。 本発明を具体的に説明する。 式()で示されるポリビニルアルコール誘導
体は公知の化合物であり例えば特公昭56−5761号
の方法に基づいてポリビニルアルコール又は部分
ケン化ポリ酢酸ビニル(以下両者を端にポリビニ
ルアルコール誘導体という)に下記式 (式()及び()においてR3は水素原子又
はアルキル基(好ましくはC1〜4のアルキル基、よ
り好ましくはメチル基又はエチル基であるもの)
をA はハロゲンイオン、硫酸イオン、リン酸イ
オン、p−トリエンスルホン酸イオン、メチル硫
酸イオン又は水酸イオンを表す) の化合物を反応させることによつてえられる。こ
の場合反応させるべきポリビニルアルコール誘導
体としては重合度が400〜3000より好ましくは500
〜2000のポリ酢酸ビニルを部分ケン化(ケン化度
75%より好ましくは85%以上したものが用いられ
る。感光基
【式】はポリビ ニルアルコール誘導体のビニルアルコール基
【式】数に対して0.2〜10%、より好 ましくは1〜5%の割合で導入するのが光に対す
る感度、現像性等点から好ましい。 一方本願発明において染色可能な親水性ポリマ
ーとしては水溶性ナイロン、ポリビニルピロリド
ン、又は親水性若しくは疏水性のモノマーと含窒
素モノマーからなる共重合体若しくはその塩が用
いられる。水溶性ナイロンとしては共重合体成分
として水溶性のピペラジン誘導体を含んだもの、
スルホン酸基、カルボキシル基を導入したポリア
ミド樹脂が用いられこれらは市場から容易に入手
しうる。次に親水性モノマー(A)又は疏水性モノマ
ー(B)と含窒素モノマー(C)からなる共重合体を合成
する為の各モノマーの具体例としては次のものが
挙げられる。 まず親水性モノマー(A)としては、2−ヒドロキ
シエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメ
タアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリ
レート、2−ヒドロキシプロピルメタリアクリレ
ート、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、
フマル酸、イタコン酸、ビニルベンゼンスルホン
酸等が、次に疏水性モノマー(B)としては、アクリ
ル酸エステル、メタクリル酸エステル、アクリロ
ニトリル等が、そして含窒素モノマー(C)として
は、N,N−ジメチルアミノアルキルアクリル酸
あるいはその酸アミド(但し、アルキルとしては
炭素数0から3である)N,N−ジメチルアミノ
アルキルアクリル酸あるいはアミド(但し、アル
キルとしては炭素数0から3である。)、N−ビニ
ルプロリドン、ビニルピリジン等が挙げられる。 これらのモノマーを公知の方法に従つて共重合
せしめることによつて本願発明で使用する共重合
体又はその塩が得られる。 本発明の感光性樹脂組成物は通常式(1)のポリビ
ニルアルコール誘導体の水溶液に親水性ポリマー
の水溶液をポリビニルアルコール誘導体と親水性
ポリマーの比が1:0.1〜1.5好ましくは1:0.2〜
1.0になるように混合して調製される。 本発明の樹脂組成物は必要に応じて水、又はメ
タノール、エタノールのような有機溶剤等によつ
てその粘度を調整し塗布液としカラーフイルター
の製造に供されるが本発明の樹脂組成物を用いた
カラーフイルターの一般的なつくり方は次のよう
である。 先ず表面を平滑化した撮像素子又は基板上に本
発明の組成物を例えばスピンナー等を用いて均一
に塗布する。次いで50〜80℃で5〜60分間プリベ
ーキング処理を施した後所望のパターンを有する
マスクを介して光照射する。次いで現像処理を施
して形成されたパターンを染料溶液の中に浸漬し
て例えば50〜90℃程度の温度で3〜30分間染色を
行う。 なお本発明の樹脂組成物からえられたパターン
を染色する為の染料としてはスルホン酸基を有す
る水溶性染料とりわけ直接染料及び酸性染料が適
している。 実施例 本発明を実施例によつて更に詳細に説明する。 なお実施例中ことわりのない限り部は重量部を
又%は重量パーセントを表すものとする。 実施例 1 重合度1700、ケン化度87%の部分ケン化された
ポリ酢酸ビニルアルコールにビニルアルコール基
数(モル数)に対してN−メチル−γ−(p−ホ
ルミルスチリル)ピリジニウムメトサルフエート
を1.8モル%反応させたポリビニルアルコール誘
導体の10%水溶液50部と水溶性ナイロン(東レ社
製、商品A−90)の10%水溶液50部を混合して本
発明の感光性樹脂組成物を得た。 この感光性樹脂組成物を透明ガラス板上に1μ
mの膜厚で塗布し90℃で30分間乾燥(プレベー
ク)後ストライプ状の開口部をもつマスクを介し
て200mj/cm2の条件で露光した。続いて純水中に
2分浸漬して現象した後、90℃で30分間ポストベ
ークを行つた後、グリーン1P(日本化薬社製、酸
性染料)の0.5%水溶液からなる染浴(酢酸酸性)
中に60℃で10分間浸漬して染色した。次いで水
洗、乾燥して着色パターンをえた。この着色パタ
ーンの染色濃度(光学濃度)は、3.03(λmax620n
m)であつた。 実施例 2 実施例1で使用した部分ケン化ポリ酢酸ビニル
アルコールにそのビニルアルコール基数(モル
数)に対してN−メチル−γ−(p−ホルミルス
チリル)ピリジニウムメトサルフエートを1.4モ
ル%反応させたポリビニルアルコール誘導体の10
%水溶液50部とポリビニルピロリドン(東京化成
社製、商品名PVPK−90)の10%水溶液20部を混
合して本発明の感光性樹脂組成物を得た。 次いで実施例1と同様にして硬化パターンを形
成し染色を行つた。染色濃度(光学密度)2.80
(620nm)の着色パターンをえた。 実施例 3 重合度500、ケン化度87%の部分ケン化ポリ酢
酸ビニルアルコールにそのビニルアルコール基数
(モル数)に対してN−メチル−γ−(p−ホルミ
ルスチリル)キノリニウムメトサルフエートを
1.6モル%反応させたポリビニルアルコール誘導
体の10%水溶液50部と水溶性ナイロン(東レ社
製、商品A−90)の10%水溶液40部を混合して本
発明の感光性樹脂組成物をえた。 次いで実施例1と同様にして硬化パターンを形
成し染色を行つた。染色濃度(光学密度)3.25
(620nm)の着色パターンをえた。 実施例 4 実施例1で使用した部分ケン化ポリ酢酸ビニル
アルコールにそのビニルアルコール基数(モル
数)に対してN−メチル−γ−(p−ホルミルス
チリル)ピリジニウム−p−トルエンサルフエー
トを1.8モル%反応させたポリビニルアルコール
誘導体の10%水溶液80部とジメチルアミノエチル
アクリレート−ジメチルアミノエチルメタクリレ
ートの(1:1)共重合物(分子量約20000)の
10%水溶液を混合して本発明の感光性樹脂組成物
をえた。 次いで実施例1と同様にして硬化パターンを形
成したのち染色を行つた。染色濃度(光学密度)
3.02(620nm)の着色パターンを得た。 比較例 実施例1において水溶性ナイロン(A−90)を
加えない点を除いては実施例1と同様に処理して
硬化パターンを形成しグリーン1P0.5%水溶液か
らなる染浴中に60℃で10分間浸漬して染色した。
次いで水洗、乾燥して染色濃度(光学密度)0.52
(620nm)の着色パターンを得た。 実施例 5〜9 表に示されるポリビニルアルコール誘導体
()及び親水性ポリマー()を混合して本発
明の感光性樹脂組成物を得た。 これらの樹脂組成物を使用して硬化パターンを
形成し水溶性染料による染色を行つたところすぐ
れた染色濃度を示した。えられた着色(染色)パ
ターンの耐熱性が良好であつた。
【表】
【表】 発明の効果 染色性が良好で感光性、耐熱性のすぐれた感光
性樹脂組成物が容易な方法によつてえられた。こ
のものはフオトリソグラフイー法によつてカラー
フイルター等を調製するのに使用される。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 〔式()においてXは【式】又は 【式】 (これらの式中R3は水素原子又はアルキル基
    を、A はハロゲンイオン、硫酸イオン、リン酸
    イオン、p−トルエンスルホン酸イオン、メチル
    硫酸イオン又はヒドロキシイオンを表す)を、
    n、m及びlは任意の整数を表す。但しn+m+
    lは400〜3000でありn+lに占めるlの割合は
    0.2〜10%、n+m+lに占めるn+lの割合は
    75%以上であるものとする。 で表されるポリビニルアルコール誘導体()と
    水溶性ナイロン、ポリビニルピロリドン、親水性
    又は疎水性のモノマーと含窒素モノマーからなる
    共重合体又はその塩から選ばれる親水性ポリマー
    ()を含有することを特徴とする感光性樹脂組
    成物。
JP60248781A 1985-11-08 1985-11-08 感光性樹脂組成物 Granted JPS62109040A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60248781A JPS62109040A (ja) 1985-11-08 1985-11-08 感光性樹脂組成物

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60248781A JPS62109040A (ja) 1985-11-08 1985-11-08 感光性樹脂組成物

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62109040A JPS62109040A (ja) 1987-05-20
JPH0462660B2 true JPH0462660B2 (ja) 1992-10-07

Family

ID=17183293

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60248781A Granted JPS62109040A (ja) 1985-11-08 1985-11-08 感光性樹脂組成物

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62109040A (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01130102A (ja) * 1987-11-17 1989-05-23 Nippon Kayaku Co Ltd 塗膜の染色法
JP2604770B2 (ja) * 1987-12-28 1997-04-30 工業技術院長 感光性樹脂組成物

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5611906A (en) * 1979-07-11 1981-02-05 Agency Of Ind Science & Technol Photo-insolubilizable polyvinyl alcohol derivative and its preparation
JPS592039A (ja) * 1982-06-29 1984-01-07 Toshiba Corp 色フィルタ染色受容層形成用組成物
JPS60129742A (ja) * 1983-12-16 1985-07-11 Agency Of Ind Science & Technol 着色画像

Also Published As

Publication number Publication date
JPS62109040A (ja) 1987-05-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH05333207A (ja) カラーフィルター
JPS62127735A (ja) 感光性樹脂組成物及びこれを用いたカラ−フイルタ−の製造方法
US4942103A (en) Solid state color imaging sensor having a color filter array
JPH0462660B2 (ja)
JP2926364B2 (ja) ネガ型感光性組成物及びそれを用いたカラーフィルターの作成方法
JPS60129742A (ja) 着色画像
JPH01130102A (ja) 塗膜の染色法
JPH05107757A (ja) 感光性樹脂組成物
JP2668782B2 (ja) 着色パターンの製法
JPS60252341A (ja) 感光性樹脂組成物
JPS62283339A (ja) 基材表面皮膜の染色法
JPS592039A (ja) 色フィルタ染色受容層形成用組成物
JPS63249802A (ja) カラ−フイルタの製造方法
JPH01283503A (ja) カラーフィルターの製造方法
JPH04218001A (ja) カラーフィルター
JPH06329940A (ja) カラーフィルターの製造方法およびカラーフィルター用光硬化性着色組成物
JP2527756B2 (ja) カラ−フイルタ−
JP2800940B2 (ja) カラーフィルタの製造方法
JPH071324B2 (ja) カラ−フイルタ−の製造方法
JPS62194203A (ja) 基材表面皮膜の染色法
US4943514A (en) Negative-working dyeable photoresist
JPH01241541A (ja) 着色パターンの形成方法
JPS62239145A (ja) 感光性組成物
JPH02245704A (ja) カラーフィルタの製造方法
JPH01282504A (ja) カラーフィルターの作成方法